JP7175409B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
15 露光ステージ
20 基板供給装置
22A、22B 供給リール
30 基板巻取装置
32A、32B 巻取リール
40 露光部
50 ステージ移動機構
60 搬送部移動機構
70 移動制御部
80 位置センサ
90 位置検出用フォトセンサ
Claims (7)
- 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記露光ステージの上流側に配置され、供給リールを設けた基板供給部と、
前記露光ステージの下流側に配置され、巻取リールを設けた基板巻取部と、
前記露光ステージを基板搬送ラインに沿って往復移動させるステージ移動機構と、
前記基板供給部と前記基板巻取部とを基板搬送ラインに沿って往復移動させる搬送部移動機構とを備え、
前記基板供給部および前記基板巻取部が、前記露光ステージと前記基板供給部および前記基板巻取部との相対的位置関係を維持するように、前記露光ステージの移動に合わせて、基板搬送ラインに沿って移動することを特徴とする露光装置。 - 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記露光ステージの上流側に配置され、供給リールを設けた基板供給部と、
前記露光ステージの下流側に配置され、巻取リールを設けた基板巻取部とを備え、
前記基板供給部および前記基板巻取部が、基板搬送ラインに沿って移動可能であり、
前記露光ステージと前記基板供給部および前記基板巻取部との相対的位置関係を維持するように、前記基板供給部および前記基板巻取部の移動を制御する移動制御部をさらに備えることを特徴とする露光装置。 - 前記基板供給部と前記基板巻取部の少なくとも一方と、前記露光ステージとの距離間隔を検知するセンサをさらに備え、
前記移動制御部が、検出される距離間隔に応じて、前記露光ステージと前記基板供給部および前記基板巻取部の移動を制御することを特徴とする請求項2に記載の露光装置。 - 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
それぞれ前記長尺基板に対してパターン光を投影する複数の露光ヘッドから構成される露光部と、
前記長尺基板の未露光部分を巻いた状態で保持し、送り出す供給リールと、
前記長尺基板の露光済み部分を巻き取り、保持する巻取リールとを備え、
露光動作のとき、前記供給リールおよび前記巻取リールが、前記露光ステージと前記供給リールおよび前記巻取リールとの間の互いの相対的位置関係を維持するように、前記露光ステージの移動機構とは異なる移動機構によって、基板搬送ラインに沿って移動することを特徴とする露光装置。 - 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
それぞれ前記長尺基板に対してパターン光を投影する複数の露光ヘッドから構成される露光部と、
前記長尺基板の未露光部分を巻いた状態で保持し、送り出す供給リールと、
前記長尺基板の露光済み部分を巻き取り、保持する巻取リールとを備え、
露光動作のとき、前記露光ステージと、前記供給リールと、前記巻取リールとを、基板搬送ラインに沿って、一体的に移動させる移動機構と
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記長尺基板が、並列した複数の長尺基板で構成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。
- 前記露光ステージが、前記長尺基板を吸着保持しながら移動するとともに、昇降可能であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2022036821A JP7175409B2 (ja) | 2017-09-13 | 2022-03-10 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017176123A JP7041482B2 (ja) | 2017-09-13 | 2017-09-13 | 露光装置 |
JP2022036821A JP7175409B2 (ja) | 2017-09-13 | 2022-03-10 | 露光装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2022088436A JP2022088436A (ja) | 2022-06-14 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7175409B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006106505A (ja) | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録装置及び画像記録方法 |
JP2010217207A (ja) | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nikon Corp | 転写装置、転写方法、及びデバイス製造方法 |
JP2015222370A (ja) | 2014-05-23 | 2015-12-10 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0675972B2 (ja) * | 1986-06-20 | 1994-09-28 | 株式会社ニコン | パタ−ン描画装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2006106505A (ja) | 2004-10-07 | 2006-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像記録装置及び画像記録方法 |
JP2010217207A (ja) | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nikon Corp | 転写装置、転写方法、及びデバイス製造方法 |
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JP2022088436A (ja) | 2022-06-14 |
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