JP7175149B2 - 露光装置および露光方法 - Google Patents
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Description
露光部によって、露光ステージの相対移動の間、長尺基板を露光する。
10” 露光装置
15 露光ステージ
22 供給リール
32 巻取リール
140 露光部
150 基板供給・巻取部
160 ステージ・搬送部移動機構(第1移動機構)
220 基板供給・巻取部
240 露光部
250 露光部移動機構(第3移動機構)
260 ステージ・搬送部移動機構(第2移動機構)
Claims (6)
- 少なくとも1つの長尺基板を保持する露光ステージと、
前記露光ステージを間にして対向配置され、前記長尺基板を搬送する少なくとも1つのリール対と、
前記長尺基板に対して露光する露光部と、
露光動作の際に、前記露光ステージおよび前記リール対を、前記露光部に対し、基板搬送方向に沿った方向および基板搬送方向に直交する方向に沿って相対移動させる相対移動部と
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記相対移動部が、前記リール対と前記露光ステージとを、基台に対し、基板搬送方向に直交する方向に沿って移動させる第1移動機構を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記長尺基板の位置を検出し前記基板搬送方向に沿って並列に配置される複数のアライメント用カメラをさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記露光ステージの基板搬送方向に沿った側面付近に設置され、前記アライメント用カメラの位置情報を得るためのカメラスケール部をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記相対移動部が、前記露光ステージおよび前記リール対を、基台に対し、基板搬送方向に沿って移動させる第2移動機構と、
前記露光部を、前記基台に対し、基板搬送方向に直交する方向に沿って移動させる第3移動機構と
を備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 露光ステージおよびリール対を、露光部に対し、基板搬送方向に沿った方向および基板搬送方向に直交する方向に沿って相対移動させ、
前記露光部によって、前記露光ステージの相対移動の間、前記長尺基板を露光することを特徴とする露光方法。
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---|---|---|---|---|
JP2000214595A (ja) | 1999-01-25 | 2000-08-04 | Ushio Inc | 帯状ワ―クの露光装置 |
JP2010217207A (ja) | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Nikon Corp | 転写装置、転写方法、及びデバイス製造方法 |
JP2015007798A (ja) | 2014-08-21 | 2015-01-15 | 株式会社ニコン | 薄膜トランジスタ用パターンの露光方法 |
JP2018004860A (ja) | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 株式会社オーク製作所 | アライメント装置、露光装置、およびアライメント方法 |
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2018
- 2018-09-27 JP JP2018182595A patent/JP7175149B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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