JP4491311B2 - 画像記録装置及び画像記録方法 - Google Patents

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Description

本発明は、供給リールと巻取リールの間に張架された帯状のフレキシブル基板の描画領域に画像を記録する画像記録装置及び画像記録方法に関する。
ロール状に巻回されたフレキシブル基板を送り出しながら、その描画領域に画像を記録する画像記録装置は従来から知られている。このような画像記録装置は、ロール状に巻回されたフレキシブル基板をセットする供給リールを備えたローダーと、画像が記録されたフレキシブル基板をロール状に巻き取る巻取リールを備えたアンローダーとの間に配設され、フレキシブル基板を一時的に固定するステージ部材を備えている。
したがって、フレキシブル基板は、そのローダーとアンローダーとの間に張架された状態でステージ部材に載置され、そのステージ部材上で描画領域に露光部によって画像が記録される。そして、画像の記録が終了すると、ローダー及びアンローダーの駆動により、フレキシブル基板が所定量搬送され、再度ステージ部材に次の描画領域が載置固定されて露光される。これを順次繰り返すことで、ロール状に巻回されたフレキシブル基板の描画領域に画像が記録される。
また、このフレキシブル基板には、描画領域を区画し、かつ露光部に対して位置補正を実行可能とするための位置決め用のマーク（以下「アライメントマーク」という）が設けられている。つまり、画像記録装置には、アライメントマークを読み取るためのカメラが設けられており、そのカメラによって読み取ったアライメントマークの位置データに基づいて、フレキシブル基板（描画領域）に対する画像データの記録位置を補正するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、このような構成の画像記録装置では、ステージ部材に載置固定されたフレキシブル基板のアライメントマークを読み取ることにより、その搬送方向と直交する方向（以下「主走査方向」又は「幅方向」という）の位置ずれ（斜行）に対しては、その位置を補正することができるが、フレキシブル基板の搬送方向（副走査方向）の位置ずれ（伸び）に対しては補正できない。
つまり、フレキシブル基板はある程度の弾性を有し、ローダー及びアンローダーにある程度のテンションが掛けられた状態で張架されているため、その搬送方向（副走査方向）へ若干伸長した状態で搬送される。したがって、この伸長状態に対し、何らかの手当を講じないで画像が形成（記録）されると、テンションが無くなったときに、その画像が変形するおそれがある。
特開２０００−２２７６６１号公報
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、フレキシブル基板に対して画像を正確に記録することができる画像記録装置及び画像記録方法を得ることを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載の画像記録装置は、供給リールと巻取リールの間に張架された帯状のフレキシブル基板の描画領域に画像を記録する画像記録装置であって、前記フレキシブル基板を吸着するときに上昇し、前記フレキシブル基板に対する吸着を解除したときに下降するように昇降移動可能に構成されたステージ面を有し、所定の搬送経路に沿って往復移動可能に構成されたステージ部と、前記ステージ部の移動方向両側に該ステージ部と共に前記搬送経路に沿って往復移動可能に設けられ、前記ステージ面が下降しているときに、前記フレキシブル基板を下方から支持するガイドローラーと、前記ステージ部の搬送経路の上方に配設され、該ステージ部の往路において、前記フレキシブル基板の少なくともアライメントマークを検知するアライメント部と、前記アライメント部で検知されたアライメントマークに基づいて前記フレキシブル基板の描画領域に記録する画像データを補正する補正手段と、前記ステージ部の搬送経路の上方に配設され、該ステージ部の復路において、前記フレキシブル基板の描画領域に、前記補正手段によって補正された画像データを記録する記録部と、を備えたことを特徴としている。
請求項１に記載の発明によれば、フレキシブル基板をステージ部のステージ面が吸着して搬送するので、斜行や皺の発生等を防止した高精度な搬送が実現できる。また、往路においてアライメント処理をし、復路において画像記録処理をすることから、１つの描画領域において、画像記録処理の前にアライメント処理を完了することができる。したがって、画像データを正確に補正することができ、フレキシブル基板に対して、所望とする画像を正確に記録することができる。また、ステージ面が下降しているときには、ガイドローラーがフレキシブル基板を支持するので、フレキシブル基板がステージ面に接触することはない。
また、請求項２に記載の画像記録装置は、請求項１に記載の画像記録装置において、前記補正手段が、少なくとも前記フレキシブル基板の搬送方向に対する補正量を算出することを特徴としている。
請求項２に記載の発明によれば、フレキシブル基板の搬送方向の位置ずれ（伸び）に対して、アライメント処理をすることができる。したがって、フレキシブル基板に対して画像を正確に記録することができる。
また、請求項３に記載の画像記録装置は、請求項１又は請求項２に記載の画像記録装置において、前記記録部と前記アライメント部が、前記供給リール側から順に配設されていることを特徴としている。
請求項３に記載の発明によれば、往路においてアライメント処理をし、復路において画像記録処理をすることが、効率よく実行できる。
また、請求項４に記載の画像記録装置は、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の画像記録装置において、前記フレキシブル基板が、前記ステージ面にその描画領域が吸着されて搬入・排出されることを特徴としている。
請求項４に記載の発明によれば、フレキシブル基板が、ステージ面にその描画領域が吸着されて搬入・排出される。したがって、別途フレキシブル基板を搬入・排出する機構等が不要となる。
また、請求項５に記載の画像記録装置は、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の画像記録装置において、前記フレキシブル基板が、前記ステージ部へ搬送ローラーによって搬入・排出されることを特徴としている。
請求項５に記載の発明によれば、フレキシブル基板が、ステージ部へ搬送ローラーによって搬入・排出される。したがって、ステージ部によってフレキシブル基板を搬入・排出する場合よりも、１つの描画領域を処理するまでのタクトタイムを低減することができる。
なお、請求項６に記載の画像記録装置は、請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の画像記録装置において、前記記録部が、前記フレキシブル基板を露光して画像データを記録する露光ヘッドを有することを特徴としている。
そして、請求項７に記載の画像記録装置は、請求項６に記載の画像記録装置において、前記露光ヘッドが、画像データに基づいて変調された光ビームを照射して、前記フレキシブル基板を露光することを特徴としている。
また、本発明に係る請求項８に記載の画像記録方法は、供給リールと巻取リールの間に張架された帯状のフレキシブル基板の描画領域に画像を記録する画像記録方法であって、ステージ部のステージ面を上昇させ、前記ステージ部の移動方向両側に該ステージ部と共に移動可能に設けられたガイドローラーによって下方から支持されている前記フレキシブル基板の描画領域を前記ステージ面に吸着する工程と、前記フレキシブル基板の描画領域を前記ステージ面に吸着した前記ステージ部を所定の搬送経路に沿って移動させ、該フレキシブル基板の少なくともアライメントマークをアライメント部により検知する工程と、検知されたアライメントマークに基づいて前記フレキシブル基板の描画領域に記録する画像データを補正する工程と、前記フレキシブル基板の描画領域を前記ステージ面に吸着した前記ステージ部を逆方向に移動させつつ、その補正された画像データを前記フレキシブル基板の描画領域に記録部により記録する工程と、を含むことを特徴としている。
請求項８に記載の発明によれば、フレキシブル基板をステージ部のステージ面が吸着して搬送するので、斜行や皺の発生等を防止した高精度な搬送が実現できる。また、往路においてアライメント処理をし、復路において画像記録処理をすることから、１つの描画領域において、画像記録処理の前にアライメント処理を完了することができる。したがって、画像データを正確に補正することができ、フレキシブル基板に対して、所望とする画像を正確に記録することができる。また、ステージ面が下降しているときには、ガイドローラーがフレキシブル基板を支持するので、フレキシブル基板がステージ面に接触することはない。
また、請求項９に記載の画像記録方法は、請求項８に記載の画像記録方法において、前記補正手段が、少なくとも前記フレキシブル基板の搬送方向に対する補正量を算出することを特徴としている。
請求項９に記載の発明によれば、フレキシブル基板の搬送方向の位置ずれ（伸び）に対して、アライメント処理をすることができる。したがって、フレキシブル基板に対して画像を正確に記録することができる。
また、請求項１０に記載の画像記録方法は、請求項８又は請求項９に記載の画像記録方法において、前記記録部と前記アライメント部が、前記供給リール側から順に配設されていることを特徴としている。
請求項１０に記載の発明によれば、往路においてアライメント処理をし、復路において画像記録処理をすることが、効率よく実行できる。
また、請求項１１に記載の画像記録方法は、請求項８乃至請求項１０の何れか１項に記載の画像記録方法において、前記フレキシブル基板が、前記ステージ面にその描画領域が吸着されて搬入・排出されることを特徴としている。
請求項１１に記載の発明によれば、フレキシブル基板が、ステージ面にその描画領域が吸着されて搬入・排出される。したがって、別途フレキシブル基板を搬入・排出する機構等が不要となる。
また、請求項１２に記載の画像記録方法は、請求項８乃至請求項１０の何れか１項に記載の画像記録方法において、前記フレキシブル基板が、前記ステージ部へ搬送ローラーによって搬入・排出されることを特徴としている。
請求項１２に記載の発明によれば、フレキシブル基板が、ステージ部へ搬送ローラーによって搬入・排出される。したがって、ステージ部によってフレキシブル基板を搬入・排出する場合よりも、１つの描画領域を処理するまでのタクトタイムを低減することができる。
なお、請求項１３に記載の画像記録方法は、請求項８乃至請求項１２の何れか１項に記載の画像記録方法において、前記記録部が、前記フレキシブル基板を露光して画像データを記録する露光ヘッドを有することを特徴としている。
そして、請求項１４に記載の画像記録方法は、請求項１３に記載の画像記録方法において、前記露光ヘッドが、画像データに基づいて変調された光ビームを照射して、前記フレキシブル基板を露光することを特徴としている。
以上、何れにしても本発明によれば、フレキシブル基板に画像を正確に記録することができる画像記録装置及び画像記録方法を提供することができる。
以下、本発明の最良な実施の形態を図面に示す実施例を基に詳細に説明する。図１は本発明に係る画像記録装置１０の概略斜視図であり、図２は同じく概略側面図である。なお、図１において、矢印Ｍを主走査方向（幅方向）、矢印Ｓを副走査方向とし、副走査方向の逆方向を搬送方向とする。
［フレキシブル基板の構成］
図１、図２で示すように、本発明に係る画像記録装置１０が対象とする記録媒体は、帯状に連続されたフレキシブル基板１００である。フレキシブル基板１００は、可撓性を有するフィルム状の絶縁層上に、銅箔等の金属薄膜層が形成され、その金属薄膜層がドライフィルムレジストでラミネートされており、ロール状に巻回されてローダー８０にセットされる。なお、フレキシブル基板１００には、液晶ディスプレイ用の基板や、フィルター等の各種可撓性記録媒体が含まれていてもよい。
また、フレキシブル基板１００には、配線パターンが片面にのみ形成される片面回路、両面に形成される両面回路、両面回路の外側に更に配線パターンが形成される層が積層された多層回路等の種類がある。更に、フレキシブル基板１００の露光面には、予め複数の描画領域（図示省略）が設定されており、フレキシブル基板１００の所定位置には、各描画領域に対応する（各描画領域を区画する基準となる）複数組のアライメントマーク１０２（図１０（Ａ）参照）が形成されている。
［画像記録装置の構成］
図１、図２で示すように、画像記録装置１０は、ロール状に巻回された未露光のフレキシブル基板１００を繰り出し可能に保持する供給リール８２を備えたローダー８０と、画像が記録された露光済みのフレキシブル基板１００をロール状に巻き取る巻取リール９２を備えたアンローダー９０との間に配設され、ローダー８０と画像記録装置１０の間及びアンローダー９０と画像記録装置１０の間には、フレキシブル基板１００に加えられるテンションを調整するダンサーローラー８４、９４等が配設されている。
画像記録装置１０は、上面形状が副走査方向（搬送方向）を長手方向とする略長方形状とされた所定厚さの支持台１４と、支持台１４上に副走査方向（搬送方向）と平行に配設された一対のガイドレール１６に移動可能に支持され、ローダー８０及びアンローダー９０に張架されたフレキシブル基板１００を描画領域ごとに吸着して搬送するステージ部材２０と、ステージ部材２０に吸着されて搬送されるフレキシブル基板１００のアライメントマーク１０２を検知するアライメント部２２と、ステージ部材２０に吸着されて搬送されるフレキシブル基板１００の描画領域を露光する露光部２４等を備えている。
なお、フロア上に水平に設置された架台１２と、その架台１２上に設置される支持台１４との間には、フロアからの振動が遮断されるように、防振ゴム（図示省略）等が配設されている。また、ローダー８０には、フレキシブル基板１００に被覆されていた保護フィルム１０６を回収する回収リール８６が配設され、アンローダー９０には、フレキシブル基板１００に被覆する保護フィルム１０６を送出する送出リール９６が配設されている。
上記したように、支持台１４の上面部には、一対のガイドレール１６が副走査方向（搬送方向）と平行に配設されており、そのガイドレール１６上には、ステージ部材２０が往復移動可能に配置されている。ステージ部材２０は、その上面（以下「ステージ面」という）２０Ａの形状が副走査方向（搬送方向）を長手方向とする略長方形状とされた支持体２０Ｂと、その支持体２０Ｂを昇降させる昇降機構２０Ｃと、昇降機構２０Ｃを支持する基台２０Ｄとを有し、基台２０Ｄの下面における四隅には、それぞれ副走査方向（搬送方向）に沿って直線的に延伸する断面視略逆「凹」字状のガイド部材２６が取り付けられている。そして、これらガイド部材２６がガイドレール１６に摺動可能に嵌合されている。
なお、ステージ部材２０をガイドレール１６に沿って往復移動させる構成は任意である。例えば、基台２０Ｄの下面中央に、ガイドレール１６の間に配設されたボールねじ（図示省略）が螺合する筒状部材（図示省略）を固着し、そのボールねじの一端にモーター（図示省略）を接合する等の構成が採用できる。これによれば、モーターの回転駆動力によってボールねじを正逆方向に回転させることにより、筒状部材を介してステージ部材２０が、支持台１４上をガイドレール１６に沿って往復移動可能となる。
また、昇降機構２０Ｃの構成も任意の構成が採用可能であり、例えばエアシリンダー（図示省略）等によって昇降させるような構成が採用できる。更に、ステージ部材２０のステージ面２０Ａには、多数の小孔（図示省略）が穿設されており、ステージ面２０Ａを含む支持体２０Ｂの内部は空洞とされている。そして、その支持体２０Ｂの内部が負圧となるように配管されている。すなわち、ステージ部材２０の支持体２０Ｂには、ステージ部材２０の移動を妨げないようにフレキシブルチューブで構成された配管（図示省略）の一端が接続され、その配管の他端が真空ポンプ（図示省略）に接続されている。
また、その配管の途中には、電気的手段によって作動する切替弁（図示省略）が配設されており、その切替弁によってステージ部材２０の支持体２０Ｂの内部が負圧状態にされたり、負圧状態が解除されたりするようになっている。これにより、フレキシブル基板１００がステージ部材２０のステージ面２０Ａに吸着されたり、その吸着が解除されたりする構成である。
また、ステージ部材２０の搬送方向側及び副走査方向側には、ステージ部材２０による吸着が解除されたフレキシブル基板１００を裏面（下面）側から支持するガイドローラー１８が主走査方向（幅方向）と平行に配設されている。このガイドローラー１８は、基台２０Ｄの搬送方向側及び副走査方向側の両端部に取り付けられたブラケット１９にフリー回転可能に軸支され、ステージ部材２０と共に移動する構成になっており、その高さが変化しない構成になっている。
また、支持台１４とダンサーローラー８４との間には、フレキシブル基板１００の少なくとも露光面（描画領域）をクリーニングするクリーニングローラー２８が主走査方向（幅方向）と平行に配設されている。このクリーニングローラー２８は、所定のタイミングでフレキシブル基板１００に摺接したり、フレキシブル基板１００から離間するように構成されている。
露光部２４は、複数の露光ヘッド３０を有し、各露光ヘッド３０は、支持台１４の副走査方向（搬送方向）略中央上方に設けられた支持部材（図示省略）に下方を向くように支持されている。そして、その支持部材の真下の露光位置をフレキシブル基板１００が通過するときに、画像データに基づいて変調された複数本のレーザービームをフレキシブル基板１００の露光面（描画領域）へ上方から照射し、その露光面（描画領域）に画像（潜像）を形成（記録）するようになっている。
露光ヘッド３０は、図３（Ｂ）で示すように、支持台１４の幅方向（主走査方向）に沿って、複数行複数列、例えば２行４列のマトリックス状で、かつ平面視で千鳥状となるように互いにずれて配列されている。したがって、図３（Ａ）で示すような露光済み領域１０４が形成される。
すなわち、露光ヘッド３０は、ステージ部材２０の移動する副走査方向（搬送方向）と直交する主走査方向（幅方向）に配列され、その露光エリア３０Ａは、副走査方向（搬送方向）を短辺とする矩形状で、かつ副走査方向（搬送方向）に対して所定の角度で傾斜している。したがって、ステージ部材２０の移動に伴い、フレキシブル基板１００には、露光ヘッド３０毎に帯状の露光済み領域１０４が形成される。
また、ステージ部材２０の移動を妨げない場所には、光源ユニット（図示省略）が配設されている。この光源ユニットには、複数のレーザー（半導体レーザー）発生装置（図示省略）が収容されており、このレーザー発生装置から出射する光を光ファイバー（図示省略）を介して各露光ヘッド３０へ案内している。
各露光ヘッド３０は、光ファイバーによって案内されて入射された光ビームを空間光変調素子である図示しないデジタル・マイクロミラー・デバイス（以下「ＤＭＤ」という）によってドット単位で制御し、フレキシブル基板１００に対してドットパターンを露光するようになっている。そして、この複数のドットパターンを用いて１画素の濃度を表現するようになっている。
ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上に複数行複数列の２次元状に配列されたミラーデバイスである。したがって、ＤＭＤに単一の光が照射されると、その分解能に応じて、複数の光を独立して変調制御することができる。つまり、画像データに応じて光ビーム（レーザービーム）を変調することができる。
一般に、ＤＭＤ等の空間光変調素子は、各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するマトリックス状に配列されているが、このＤＭＤを副走査方向（搬送方向）に対して傾斜させて配置すると、走査時に走査線の間隔が密になり、解像度を上げることができる。つまり、二次元配列のドットパターンは、副走査方向（搬送方向）に対して傾斜されることで、副走査方向（搬送方向）に並ぶ各ドットが、副走査方向（搬送方向）と交差する主走査方向（幅方向）に並ぶドット間を通過する。したがって、実質的なドット間ピッチを狭めることができ、高解像度化を実現することができる。
また、上記した支持部材において、露光部２４よりもフレキシブル基板１００の搬送方向下流側の所定位置には、フレキシブル基板１００の所定位置に設けられた複数組のアライメントマーク１０２（図１０（Ａ）参照）を読み取ることにより、描画領域を区画するとともに、フレキシブル基板１００の位置補正データ、特に搬送方向における位置ずれ量（伸びＦによる拡縮の比率：図１０（Ｂ）参照）を算出するためのアライメント部２２が配設されている。
アライメント部２２は、図４で示すように、支持部材に固定されるベースプレート３２と、ベースプレート３２に配設され、主走査方向（幅方向）に平行な一対のガイドレール３４と、ガイドレール３４に沿って主走査方向（幅方向）に摺動可能に取り付けられた複数（例えば２個）のブラケット３６と、各ブラケット３６に支持された複数（例えば２基）のカメラ４０とを備えている。
ブラケット３６は、例えばボールねじ３８の正逆回転駆動によってガイドレール３４に沿って主走査方向（幅方向）へ往復移動可能とされている。カメラ４０は、本体部４２の下面にレンズ４４が設けられ、レンズ４４の突出先端部に、１回の発光時間が極めて短いリング状のストロボ（ＬＥＤストロボ）４６が取り付けられて構成されている。そして、カメラ４０は、図９で示すカメラ動作制御部６４により、ストロボ４６の発光時のみ撮像が可能となるように、その感度が調整されている。
したがって、各カメラ４０は、その光軸上に位置する撮像位置をステージ部材２０が通過する際に、図９で示すストロボ発光制御部６６によって、所定のタイミングでストロボ４６を発光させることにより、フレキシブル基板１００におけるアライメントマーク１０２を含む撮像範囲をそれぞれ撮像することが可能である。つまり、ストロボ４６からの光が、ステージ部材２０上のフレキシブル基板１００へ照射され、その反射光を、レンズ４４を介して本体部４２に入力させることで、フレキシブル基板１００上のアライメントマーク１０２が撮影される。
なお、アライメントマーク１０２を撮影するときには、ステージ部材２０を一旦停止させる構成とした方が好ましい。このような構成にすれば、ステージ部材２０を移動させながら撮影したときのアライメントマーク１０２の形状誤差を排除することができ、フレキシブル基板１００の搬送方向における位置ずれ量、即ち伸びＦによる拡縮の比率のみを正確に算出することができる。もちろん、ステージ部材２０を移動させながらアライメントマーク１０２の検出を行ってもよいことは言うまでもない。
また、各カメラ４０は、フレキシブル基板１００の幅方向（主走査方向）に沿って、それぞれ異なる領域を撮像範囲としており、撮像対象となるフレキシブル基板１００の幅方向（主走査方向）の一端部（エッジ）が、後述するエッジ検出センサー４８によって検出されることにより、複数組のアライメントマーク１０２の位置がそれぞれ推測され、その推測データに基づいて、図９で示す幅方向位置設定部６２によりボールねじ３８の駆動が制御されて、予め所定の位置に配設される構成である。
ここで、この画像記録装置１０には、図９で示すように、カメラ４０によって撮影したアライメントマーク１０２を識別する撮影データ解析部６８と、撮影したアライメントマーク１０２のアナログ画像データをデジタル画像データに変換するアライメントマーク抽出部７２と、予め基準となるアライメントマークを記憶させておくアライメントマークデータメモリー７０と、アライメントマーク抽出部７２によって抽出されたアライメントマーク１０２とアライメントマークデータメモリー７０に記憶された基準アライメントマークとを比較するアライメントマーク照合部７４と、アライメントマーク照合部７４によって検出された比較データとアライメントマーク抽出部７２によって得られた位置データから位置補正データを算出する画像データ補正演算部７６が備えられている。
したがって、ステージ部材２０の搬送方向へ向かう移動（往路）に伴って、アライメント部２２を通過することにより、カメラ４０によって撮影され、撮影データ解析部６８によって識別されたアライメントマーク１０２は、アライメントマーク抽出部７２によってデジタル画像データに変換され、アライメントマーク照合部７４により、基準アライメントマークと比較される。
そして、画像データ補正演算部７６により、図１０（Ｂ）で示すような搬送方向への伸びＦや斜行等に対する位置補正データが算出される。なお、ステージ部材２０は、アライメント部２２を通過すると（１つの描画領域に対応する複数組のアライメントマーク１０２の撮影が終了すると）一旦停止し、その間に上記した位置補正データが算出される構成である。
こうして、拡縮の比率等の位置補正データが算出されたら、露光ヘッド３０にて露光する際の画像データに、その位置補正データに基づく補正が掛けられる。つまり、ステージ部材２０が元の位置へ戻る復帰移動（復路）に伴い、フレキシブル基板１００の描画領域に、その補正された画像データに基づいて変調された光ビームが露光ヘッド３０によって照射される。これにより、フレキシブル基板１００の描画領域に、所望とする画像が正確に形成（記録）される構成である。
また、図５で示すように、ステージ部材２０の搬送方向側には、フレキシブル基板１００を露光する前に（フレキシブル基板１００に画像を記録する前に）、露光ヘッド３０の光量や繋ぎ目等を検査するＰｏｗｅｒ Ｄｅｔｅｃｔｏｒセンサー（以下「ＰＤセンサー」という）５０が、筐体４９を介して、支持体２０Ｂと一体的に設けられている。
上記したように、露光ヘッド３０は、例えば２行４列の略マトリックス状に配置されているので、各露光ヘッド３０の境界部分（繋ぎ目）に隙間（未露光となる部分）が存在していないかを、そのＰＤセンサー５０で予め検査するようになっている。そして、その検査結果に基づいて、露光ヘッド３０の光量、ビーム位置等を調整するようになっている。なお、ＰＤセンサー５０は、不使用時、即ちフレキシブル基板１００を露光する（フレキシブル基板１００に画像を記録する）ときには、カバー５２で被覆されるようになっている。このカバー５２は自動で開閉するように構成されるが、その構成は任意である。
例えば図５で示すように、筐体４９の両外側面にガイドレール５１を配設するとともに、カバー５２の両内側面にガイドレール５１に上下方向から嵌合するガイドレール５３を設ける。そして、カバー５２の一方の側壁下部にラック５４を設け、そのラック５４と噛合するピニオン５６を設ける。そして更に、そのピニオン５６に噛合するギア５８が駆動軸に固着されたモーター６０を設ける。このような構成にすると、モーター６０の正逆回転駆動により、カバー５２が搬送方向及び副走査方向にスライド可能となる。
また、ＰＤセンサー５０は、図２、図５で示すように、側面視でステージ部材２０のステージ面２０Ａよりも若干下方に位置するように配設されており、カバー５２で被覆されたときも、そのカバー５２が側面視でステージ面２０Ａより若干下位置にあるように構成されている（カバー５２はステージ面２０Ａと面一であってもよいが、若干下位置となる方が好ましい）。これにより、フレキシブル基板１００にＰＤセンサー５０（カバー５２）が接触しない構成である。また、画像記録装置１０において、フレキシブル基板１００の搬送ライン上における適宜位置には、フレキシブル基板１００の幅方向（主走査方向）の一端部（エッジ）を検出するエッジ検出センサー４８が設けられている。
このエッジ検出センサー４８の検知結果により、幅方向位置設定部６２（図９参照）を介して、ボールねじ３８の回転駆動が制御され、アライメント部２２におけるカメラ４０の位置が変更される。なお、図示のエッジ検出センサー４８は、ＰＤセンサー５０の近傍に配設され、ＰＤセンサー５０がカバー５２で被覆されることにより、フレキシブル基板１００のエッジを検出可能となる構成とされている。
［画像記録装置の作用］
以上のような構成の画像記録装置１０において、次に、その作用を主に図６、図７を基に説明する。まず、最初に図６（Ａ）で示すように、昇降機構２０Ｃによって支持体２０Ｂを上昇させ、ＰＤセンサー５０をフレキシブル基板１００に対する露光ヘッド３０の露光位置に配置する。このときの支持体２０Ｂ（ステージ面２０Ａ）の上昇高さは、ステージ面２０ＡとＰＤセンサー５０の高さの差と等しい。
そして、図５（Ａ）で示すように、モーター６０を回転させ、ギア５８、ピニオン５６、ラック５４を介してカバー５２を搬送方向へスライドさせ、ＰＤセンサー５０を開放する。これにより、露光ヘッド３０の光量や繋ぎ目を検査し、必要に応じてそれらを調整する。なお、カバー５２が開放される際には、その高さがガイドローラー１８の高さよりも若干高くなるので、カバー５２はガイドローラー１８の上方でスライドし、ガイドローラー１８に干渉することがない。
こうして、露光ヘッド３０の検査・調整が終了したら、図５（Ｂ）で示すように、モーター６０を逆回転させ、カバー５２を副走査方向にスライドさせる。そして、昇降機構２０Ｃによって支持体２０Ｂを下降させることによりステージ面２０Ａを下降させる。次いで、図６（Ｂ）で示すように、ローダー８０の供給リール８２にセットされたロール状のフレキシブル基板１００の先端を、ダンサーローラー８４に巻回するとともに、クリーニングローラー２８間に通し、ステージ部材２０のステージ面２０Ａに、小孔からのエア吸引によって吸着させる。
その後、ステージ部材２０をガイドレール１６に沿って搬送方向に移動させ、所定の位置で停止させたら、小孔からのエア吸引を解除する。そして、ステージ部材２０のステージ面２０Ａからフレキシブル基板１００の先端を剥離し、アンローダー９０側のダンサーローラー９４に巻回した後、巻取リール９２にそのフレキシブル基板１００の先端を取り付ける。なお、このとき、送出リール９６から引き出した保護フィルム１０６の先端をフレキシブル基板１００の先端に取り付ける。
この作業は、オペレーターの手動によるが、このときＰＤセンサー５０はカバー５２で被覆されているので、そのＰＤセンサー５０に人手が接触するおそれはない。つまり、ＰＤセンサー５０は非常に繊細な光学系であるため汚れを嫌う。したがって、フレキシブル基板１００を手動によって巻取リール９２に取り付ける作業時には、ＰＤセンサー５０に人手が接触しないようにカバー５２で被覆される。また、このとき、クリーニングローラー２８がフレキシブル基板１００に摺接している。これにより、最初の描画領域がクリーニングされる。
更に、巻取リール９２への取付作業が終了すると、ステージ面２０Ａ（支持体２０Ｂ）は昇降機構２０Ｃによって所定高さ下降し、ステージ部材２０が副走査方向へガイドレール１６に沿って移動する。このとき、ガイドローラー１８は、その高さが不変とされているので、フレキシブル基板１００の裏面（下面）側から接触し、そのフレキシブル基板１００を支持する。したがって、フレキシブル基板１００が撓んでもステージ面２０Ａに接触（摺接）することはない。なお、ガイドローラー１８は、ステージ部材２０と共に移動する際、フレキシブル基板１００との摩擦接触によって従動回転する。
こうして、ローダー８０及びアンローダー９０にフレキシブル基板１００が張架され、ステージ部材２０が所定の位置まで移動して停止したら、図７（Ａ）で示すように、クリーニングローラー２８がフレキシブル基板１００から離間し、ステージ面２０Ａ（支持体２０Ｂ）が昇降機構２０Ｃにより所定高さ上昇して、フレキシブル基板１００の最初の描画領域をそのステージ面２０Ａに吸着する。なお、このとき、ダンサーローラー８４は下降位置にあり、ダンサーローラー９４は上昇位置にある。また、このとき、ガイドローラー１８がフレキシブル基板１００の裏面（下面）から離間する。
更に、このとき、カバー５２で被覆されたＰＤセンサー５０は、ステージ面２０Ａよりも所定高さ下方に配設されているので、フレキシブル基板１００の裏面（下面）にカバー５２（ＰＤセンサー５０）が接触することはない。したがって、そのフレキシブル基板１００によって繊細な光学系であるＰＤセンサー５０が汚される心配はない。そして、このとき、エッジ検出センサー４８により、フレキシブル基板１００のエッジが検出される。
こうして、ステージ部材２０のステージ面２０Ａがフレキシブル基板１００の描画領域を吸着したら、その吸着状態のままステージ部材２０をガイドレール１６に沿って搬送方向へ所定の速度で移動させ、フレキシブル基板１００の描画領域を同方向へ搬送する。そして、図７（Ｂ）で示すように、露光部２４を通過させ、更にアライメント部２２を通過させる。
アライメント部２２を通過させるとき、フレキシブル基板１００のアライメントマーク１０２及びその付近の描画領域をカメラ４０によって撮影する。つまり、ストロボ発光制御部６６によりストロボ４６を発光させ、カメラ動作制御部６４によりカメラ４０を作動させる。
なお、このとき、エッジ検出センサー４８によってフレキシブル基板１００のエッジが検出されているので、カメラ４０は幅方向位置設定部６２により、既に所定の位置へ移動されている。すなわち、ボールねじ３８の回転が制御され、カメラ４０の主走査方向（幅方向）における位置が調整されている。また、ステージ部材２０の移動に伴って、ダンサーローラー８４が上昇移動し、ダンサーローラー９４が下降移動する。これにより、搬送されるフレキシブル基板１００に対するテンションが一定になるように調整される。
カメラ４０によってアライメントマーク１０２及びその付近の描画領域を撮影したら、撮影データ解析部６８によってアライメントマーク１０２のみを識別し、アライメントマーク抽出部７２によってデジタル画像データに変換する。そして、アライメントマーク照合部７４により、アライメントマークデータメモリー７０に記憶されている基準アライメントマークと比較し、その比較データとアライメントマーク抽出部７２によって得られた位置データを基に、画像データ補正演算部７６により、描画領域に記録する画像データに対する位置補正データを算出する。
つまり、ステージ部材２０が移動する副走査方向における露光開始位置やステージ部材２０の主走査方向及び副走査方向におけるドットのシフト位置等の補正係数を演算し、この補正係数に基づいて、フレキシブル基板１００の幅方向（主走査方向）の位置ずれや搬送方向（副走査方向）の位置ずれ（図１０（Ｂ）では誇張されて表現されているが、例えば描画領域の搬送方向の長さが５００ｍｍに対し、約１０μｍの伸びＦ）、斜行等に対する補正比率等を算出する。
なお、このとき、ステージ部材２０は、副走査方向側のガイドローラー１８の上方にアライメント部２２が来る位置まで（露光に必要な距離以上）移動している。つまり、１つの描画領域におけるアライメント処理が露光処理前に完了するようになっている。したがって、画像データの位置補正データを正確に算出することができる（画像データを正確に補正できる）。
また、ステージ部材２０は、アライメント部２２によるアライメントマーク１０２の撮影が終了すると、一旦停止する。そして、この停止時間中に、上記位置補正データが算出され、その算出された位置補正データを基に露光部２４で露光する画像データに補正が掛けられる。
その後、ステージ部材２０は、図７（Ｃ）で示すように、フレキシブル基板１００を吸着したまま副走査方向に所定の速度で移動し（折り返し）、アライメント部２２を通過し、更に露光部２４を通過する。すなわち、この露光部２４では、補正が掛けられた画像データに基づいてオン・オフされたＤＭＤにより変調された光ビームを露光ヘッド３０から照射・結像して、フレキシブル基板１００の描画領域を露光する。したがって、フレキシブル基板１００の描画領域には、所望とする画像が正確に形成（記録）される。
なお、画像データに対する補正完了前に、ステージ部材２０が移動を開始するようにしてもよい。また、このとき、ステージ部材２０の移動に伴って、ダンサーローラー８４が下降移動し、ダンサーローラー９４が上昇移動する。これにより、搬送されるフレキシブル基板１００に対するテンションが一定になるように調整される。また、このように、露光部２４のフレキシブル基板１００の搬送方向下流側にアライメント部２２が配設されていることから、往路においてアライメント処理をし、復路において画像記録処理をすることが効率よく実行される。
露光ヘッド３０により、フレキシブル基板１００の描画領域に画像を形成（記録）したら、ステージ部材２０は再度一旦停止する。このとき、ステージ部材２０は、カバー５２で被覆されたＰＤセンサー５０の上方に露光部２４が来る位置まで（露光に必要な距離以上）移動している。したがって、１つの描画領域全体を確実に露光することができる。そして、図７（Ｄ）で示すように、ステージ部材２０は、フレキシブル基板１００を吸着したまま再度搬送方向へ移動する。
このように、フレキシブル基板１００の露光済みの描画領域をステージ部材２０によって搬送（排出）する構成にすると、別途フレキシブル基板１００を搬送（排出）させる機構を設けなくて済む利点がある。なお、このとき、クリーニングローラー２８がフレキシブル基板１００に摺接し、フレキシブル基板１００の次の描画領域をクリーニングする。また、ステージ部材２０の移動に伴い、ダンサーローラー８４が上昇移動し、ダンサーローラー９４が下降移動する。これにより、搬送されるフレキシブル基板１００に対するテンションが一定になるように調整される。
そして、次の描画領域が所定の位置まで搬送されたら、ステージ部材２０は停止し、そのステージ面２０Ａがフレキシブル基板１００に対する吸着を解除する。このとき、ダンサーローラー８４は所定位置で停止し、ダンサーローラー９４が所定位置で停止する。そして、図７（Ｅ）で示すように、ステージ部材２０のステージ面２０Ａが昇降機構２０Ｃにより所定高さ下降する。
なお、このとき、ステージ部材２０の両側に設けられたガイドローラー１８の高さは不変なので、そのガイドローラー１８がフレキシブル基板１００の裏面（下面）側から、そのフレキシブル基板１００を支持する。したがって、フレキシブル基板１００が撓んでもステージ面２０Ａに接触（摺接）することはない。
ステージ面２０Ａがフレキシブル基板１００に対する吸着を解除し、所定高さ下降したステージ部材２０は、副走査方向へ移動する。このとき、ガイドローラー１８は、フレキシブル基板１００の裏面（下面）に摩擦接触しているので、そのステージ部材２０の移動に伴って従動回転しながら移動する。そして、所定の位置までステージ部材２０が復帰移動したら、供給リール８２が回転することにより、未露光のフレキシブル基板１００が引き出され、ダンサーローラー８４が下降移動する。
ダンサーローラー８４が所定の下方位置に達すると、図示しないセンサーがオンとなり、これによって供給リール８２の回転駆動が停止する。また、このとき、巻取リール９２がフレキシブル基板１００を巻き取るが、その巻き取り動作に伴ってダンサーローラー９４が上昇移動する。なお、ステージ部材２０が副走査方向に移動している間に、供給リール８２や巻取リール９２、ダンサーローラー８４、９４が作動するようにしてもよい。
そして、その後、図７（Ｆ）で示すように、ステージ部材２０のステージ面２０Ａが昇降機構２０Ｃにより所定高さ上昇し、次の描画領域が存在するフレキシブル基板１００の裏面（下面）をそのステージ面２０Ａに吸着保持する。こうして、再び図７（Ａ）〜図７（Ｆ）までの動作を行い、これを繰り返し実行することにより、順次フレキシブル基板１００の描画領域に画像が形成（記録）される。
次に、図８で示す画像記録装置１０の変形例を説明する。この図８で示すように、クリーニングローラー２８の搬送方向側とダンサーローラー９４の副走査方向側には、回転駆動可能に構成された搬送ローラー７８が配設されている。この搬送ローラー７８は、フレキシブル基板１００の露光済みの描画領域を搬送方向へ搬送（排出）させるためのもので、上記実施例のようにステージ部材２０の移動によってフレキシブル基板１００を搬送（排出）しなくて済む分、上記実施例よりも１つの描画領域を処理するタクトタイムを低減できる効果がある。以下、その作用を説明するが、上記と重複する内容については適宜省略する。
ローダー８０及びアンローダー９０に張架されたフレキシブル基板１００の描画領域をクリーニングローラー２８がクリーニングしたら、図８（Ａ）で示すように、そのクリーニングローラー２８はフレキシブル基板１００から離間する。なお、このとき、搬送ローラー７８もフレキシブル基板１００から離間していることが望ましい。
また、このとき、ダンサーローラー８４は下降位置にあり、ダンサーローラー９４は上昇位置にある。そして、ステージ部材２０のステージ面２０Ａ（支持体２０Ｂ）が昇降機構２０Ｃにより所定高さ上昇して、フレキシブル基板１００の描画領域をそのステージ面２０Ａが吸着し、ガイドローラー１８がフレキシブル基板１００の裏面（下面）から離間する。
また、このとき、カバー５２で被覆されたＰＤセンサー５０は、ステージ面２０Ａよりも所定高さ下方に配設されているので、フレキシブル基板１００の裏面（下面）にカバー５２（ＰＤセンサー５０）が接触することはない。したがって、そのフレキシブル基板１００によって繊細な光学系であるＰＤセンサー５０が汚される心配はない。そして、このとき、エッジ検出センサー４８によりフレキシブル基板１００のエッジが検出される。
こうして、ステージ部材２０のステージ面２０Ａがフレキシブル基板１００の描画領域を吸着したら、その吸着状態のままステージ部材２０をガイドレール１６に沿って搬送方向へ所定の速度で移動させ、フレキシブル基板１００の描画領域を同方向へ搬送する。そして、図８（Ｂ）で示すように、露光部２４を通過させ、更にアライメント部２２を通過させる。
アライメント部２２を通過させるとき、フレキシブル基板１００のアライメントマーク１０２及びその付近の描画領域をカメラ４０によって撮影する。つまり、ストロボ発光制御部６６によりストロボ４６を発光させ、カメラ動作制御部６４によりカメラ４０を作動させる。
なお、このとき、エッジ検出センサー４８によってフレキシブル基板１００のエッジが検出されているので、カメラ４０は幅方向位置設定部６２により、既に所定の位置へ移動されている。すなわち、ボールねじ３８の回転が制御され、カメラ４０の主走査方向（幅方向）における位置が調整されている。また、ステージ部材２０の移動に伴って、ダンサーローラー８４が上昇移動し、ダンサーローラー９４が下降移動する。これにより、搬送されるフレキシブル基板１００に対するテンションが一定になるように調整される。
カメラ４０によってアライメントマーク１０２及びその付近の描画領域を撮影したら、撮影データ解析部６８によってアライメントマーク１０２のみを識別し、アライメントマーク抽出部７２によってデジタル画像データに変換する。そして、アライメントマーク照合部７４により、アライメントマークデータメモリー７０に記憶されている基準アライメントマークと比較し、その比較データとアライメントマーク抽出部７２によって得られた位置データを基に、画像データ補正演算部７６により、描画領域に記録する画像データに対する位置補正データを算出する。
つまり、ステージ部材２０が移動する副走査方向における露光開始位置やステージ部材２０の主走査方向及び副走査方向におけるドットのシフト位置等の補正係数を演算し、この補正係数に基づいて、フレキシブル基板１００の幅方向（主走査方向）の位置ずれや搬送方向（副走査方向）の位置ずれ（図１０（Ｂ）では誇張されて表現されているが、例えば描画領域の搬送方向の長さが５００ｍｍに対し、約１０μｍの伸びＦ）、斜行等に対する補正比率等を算出する。
なお、このとき、ステージ部材２０は、副走査方向側のガイドローラー１８の上方にアライメント部２２が来る位置まで（露光に必要な距離以上）移動している。つまり、１つの描画領域におけるアライメント処理が露光処理前に完了するようになっている。したがって、画像データの位置補正データを正確に算出することができる（画像データを正確に補正できる）。
また、ステージ部材２０は、アライメント部２２によるアライメントマーク１０２の撮影が終了すると、一旦停止する。そして、この停止時間中に、上記位置補正データが算出され、その算出された位置補正データを基に露光部２４で露光する画像データに補正が掛けられる。
その後、ステージ部材２０は、図８（Ｃ）で示すように、フレキシブル基板１００を吸着したまま副走査方向に所定の速度で移動し（折り返し）、アライメント部２２を通過し、更に露光部２４を通過する。すなわち、この露光部２４では、補正が掛けられた画像データに基づいてオン・オフされたＤＭＤにより変調された光ビームを露光ヘッド３０から照射・結像して、フレキシブル基板１００の描画領域を露光する。したがって、フレキシブル基板１００の描画領域には、所望とする画像が正確に形成（記録）される。
なお、画像データに対する補正完了前に、ステージ部材２０が移動を開始するようにしてもよい。また、このとき、ステージ部材２０の移動に伴って、ダンサーローラー８４が下降移動し、ダンサーローラー９４が上昇移動する。これにより、搬送されるフレキシブル基板１００に対するテンションが一定になるように調整される。また、このように、露光部２４のフレキシブル基板１００の搬送方向下流側にアライメント部２２が配設されていることから、往路においてアライメント処理をし、復路において画像記録処理をすることが効率よく実行される。
露光ヘッド３０により、フレキシブル基板１００の描画領域に画像を形成（記録）したら、ステージ部材２０は再度一旦停止する。このとき、ステージ部材２０は、カバー５２で被覆されたＰＤセンサー５０の上方に露光部２４が来る位置まで（露光に必要な距離以上）移動している。したがって、１つの描画領域全体を確実に露光することができる。そして、図８（Ｄ）で示すように、ステージ部材２０のステージ面２０Ａは、フレキシブル基板１００に対する吸着を解除し、昇降機構２０Ｃにより所定高さ下降する。
なお、このとき、ステージ部材２０の両側に設けられたガイドローラー１８の高さは不変なので、そのガイドローラー１８がフレキシブル基板１００の裏面（下面）側から、そのフレキシブル基板１００を支持する。したがって、フレキシブル基板１００が撓んでもステージ面２０Ａに接触（摺接）することはない。そして、搬送ローラー７８がフレキシブル基板１００に摩擦を有する状態で接触し、図８（Ｄ）で示す回転方向に回転駆動することにより、フレキシブル基板１００を所定距離搬送する（１つの描画領域を排出する）。
更に、このとき、ガイドローラー１８は、フレキシブル基板１００の裏面（下面）に摩擦接触しているので、そのフレキシブル基板１００の搬送に伴って従動回転する。また、このとき、クリーニングローラー２８もフレキシブル基板１００に摺接し、フレキシブル基板１００の次の描画領域をクリーニングする。また、フレキシブル基板１００の搬送に伴い、ダンサーローラー８４が上昇移動し、ダンサーローラー９４が下降移動する。これにより、搬送されるフレキシブル基板１００に対するテンションが一定になるように調整される。
そして、次の描画領域がステージ部材２０のステージ面２０Ａ上まで搬送されたら、搬送ローラー７８の回転駆動が停止し、フレキシブル基板１００から搬送ローラー７８が離間する。なお、このとき、供給リール８２が回転することにより、未露光のフレキシブル基板１００が引き出され、ダンサーローラー８４が下降移動する。そして、ダンサーローラー８４が所定の下方位置に達すると、図示しないセンサーがオンとなり、これによって供給リール８２の回転駆動が停止する。
また、このとき、巻取リール９２がフレキシブル基板１００を巻き取るが、その巻き取り動作に伴ってダンサーローラー９４が所定高さ上昇移動する。その後、ステージ部材２０のステージ面２０Ａが昇降機構２０Ｃにより所定高さ上昇し、次の描画領域が存在するフレキシブル基板１００の裏面（下面）をそのステージ面２０Ａに吸着保持する。こうして、再び図８（Ａ）〜図８（Ｄ）までの動作を行い、これを繰り返し実行することにより、順次フレキシブル基板１００の描画領域に画像が形成（記録）される。
以上、何れにしてもフレキシブル基板１００をステージ部材２０で吸着して搬送するので、斜行や皺の発生を防止できるとともに、高精度な搬送が実現できる。また、往路においてアライメント処理をし、復路において画像記録処理をすることから、１つの描画領域において、画像記録処理の前にアライメント処理を完了することができる。したがって、画像データを正確に補正することができ、フレキシブル基板１００に対して、所望とする画像を正確に記録することができる。
つまり、フレキシブル基板１００における１つの描画領域全体をアライメント部２２によって先に確認してから位置補正データを算出し、その算出した位置補正データを基に画像データに補正を掛けて露光する構成になっているので、露光精度を向上させることができる。したがって、フレキシブル基板１００の斜行だけではなく、フレキシブル基板１００の搬送方向（副走査方向）の位置ずれ（伸びＦ）についても対応して露光することが可能であり、製品の品質及び信頼性を向上させることができる。
なお、上記実施例では、空間光変調素子としてＤＭＤについて説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Ｓｐｅｃｉａｌ Ｌｉｇｈｔ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッター（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。
なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサー、アクチュエーター、そして、制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。更に、Ｇｒａｔｉｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｖａｌｖｅ（ＧＬＶ）を複数並べて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザーの他にランプ等も光源として使用可能である。
また、上記実施例における光源としては、合波レーザー光源を複数備えたファイバーアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザーから入射されたレーザー光を出射する１本の光ファイバーを備えたファイバー光源をアレイ化したファイバーアレイ光源、複数の発光点が二次元状に配列された光源等（例えば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）が適用可能である。更に、上記実施例では、露光ヘッド３０を用いて画像を記録する構成としたが、インクジェット記録ヘッド（図示省略）を用いて画像を記録する構成とした場合も同様である。
画像記録装置の概略斜視図 画像記録装置の概略側面図 （Ａ）露光ヘッドによる露光領域を示す概略平面図、（Ｂ）露光ヘッドの配列パターンを示す概略平面図 アライメント部の概略斜視図 （Ａ）カバー開放時のＰＤセンサーの概略斜視図、（Ｂ）カバー閉塞時のＰＤセンサーの概略斜視図 （Ａ）ＰＤセンサーによって露光ヘッドを検査している様子を示す概略側面図、（Ｂ）ステージ部材によってフレキシブル基板をアンローダーにセットする様子を示す概略側面図 フレキシブル基板に画像を形成するプロセスを説明する概略側面図 フレキシブル基板に画像を形成する別のプロセスを説明する概略側面図 アライメントマークを検出する制御系を示すブロック図 （Ａ）ローダー及びアンローダーに張架される前のフレキシブル基板の概略平面図、（Ｂ）ローダー及びアンローダーに張架された後のフレキシブル基板の概略平面図
符号の説明
１０ 画像記録装置
２０ ステージ部材（ステージ部）
２２ アライメント部
２４ 露光部（記録部）
２８ クリーニングローラー
３０ 露光ヘッド
４０ カメラ
４８ エッジ検出センサー
５０ ＰＤセンサー
５２ カバー
７０ アライメントマークデータメモリー
７２ アライメントマーク抽出部
７４ アライメントマーク照合部
７６ 画像データ補正演算部（補正手段）
７８ 搬送ローラー
８０ ローダー
８２ 供給リール
８４ ダンサーローラー
９０ アンローダー
９２ 巻取リール
９４ ダンサーローラー
１００ フレキシブル基板
１０２ アライメントマーク

Claims (14)

  1. 供給リールと巻取リールの間に張架された帯状のフレキシブル基板の描画領域に画像を記録する画像記録装置であって、
    前記フレキシブル基板を吸着するときに上昇し、前記フレキシブル基板に対する吸着を解除したときに下降するように昇降移動可能に構成されたステージ面を有し、所定の搬送経路に沿って往復移動可能に構成されたステージ部と、
    前記ステージ部の移動方向両側に該ステージ部と共に前記搬送経路に沿って往復移動可能に設けられ、前記ステージ面が下降しているときに、前記フレキシブル基板を下方から支持するガイドローラーと、
    前記ステージ部の搬送経路の上方に配設され、該ステージ部の往路において、前記フレキシブル基板の少なくともアライメントマークを検知するアライメント部と、
    前記アライメント部で検知されたアライメントマークに基づいて前記フレキシブル基板の描画領域に記録する画像データを補正する補正手段と、
    前記ステージ部の搬送経路の上方に配設され、該ステージ部の復路において、前記フレキシブル基板の描画領域に、前記補正手段によって補正された画像データを記録する記録部と、
    を備えたことを特徴とする画像記録装置。
  2. 前記補正手段は、少なくとも前記フレキシブル基板の搬送方向に対する補正量を算出することを特徴とする請求項１に記載の画像記録装置。
  3. 前記記録部と前記アライメント部は、前記供給リール側から順に配設されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の画像記録装置。
  4. 前記フレキシブル基板は、前記ステージ面にその描画領域が吸着されて搬入・排出されることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の画像記録装置。
  5. 前記フレキシブル基板は、搬送ローラーによって前記ステージ部へ搬入・排出されることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の画像記録装置。
  6. 前記記録部は、前記フレキシブル基板を露光して画像データを記録する露光ヘッドを有することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の画像記録装置。
  7. 前記露光ヘッドは、画像データに基づいて変調された光ビームを照射して、前記フレキシブル基板を露光することを特徴とする請求項６に記載の画像記録装置。
  8. 供給リールと巻取リールの間に張架された帯状のフレキシブル基板の描画領域に画像を記録する画像記録方法であって、
    ステージ部のステージ面を上昇させ、前記ステージ部の移動方向両側に該ステージ部と共に移動可能に設けられたガイドローラーによって下方から支持されている前記フレキシブル基板の描画領域を前記ステージ面に吸着する工程と、
    前記フレキシブル基板の描画領域を前記ステージ面に吸着した前記ステージ部を所定の搬送経路に沿って移動させ、該フレキシブル基板の少なくともアライメントマークをアライメント部により検知する工程と、
    検知されたアライメントマークに基づいて前記フレキシブル基板の描画領域に記録する画像データを補正する工程と、
    前記フレキシブル基板の描画領域を前記ステージ面に吸着した前記ステージ部を逆方向に移動させつつ、その補正された画像データを前記フレキシブル基板の描画領域に記録部により記録する工程と、
    を含むことを特徴とする画像記録方法。
  9. 前記補正手段は、少なくとも前記フレキシブル基板の搬送方向に対する補正量を算出することを特徴とする請求項８に記載の画像記録方法。
  10. 前記記録部と前記アライメント部は、前記供給リール側から順に配設されていることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の画像記録方法。
  11. 前記フレキシブル基板は、前記ステージ面にその描画領域が吸着されて搬入・排出されることを特徴とする請求項８乃至請求項１０の何れか１項に記載の画像記録方法。
  12. 前記フレキシブル基板は、搬送ローラーによって前記ステージ部へ搬入・排出されることを特徴とする請求項８乃至請求項１０の何れか１項に記載の画像記録方法。
  13. 前記記録部は、前記フレキシブル基板を露光して画像データを記録する露光ヘッドを有することを特徴とする請求項８乃至請求項１２の何れか１項に記載の画像記録方法。
  14. 前記露光ヘッドは、画像データに基づいて変調された光ビームを照射して、前記フレキシブル基板を露光することを特徴とする請求項１３に記載の画像記録方法。
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8594983B2 (en) * 2006-03-20 2013-11-26 Duetto Integrated Systems, Inc. System for manufacturing laminated circuit boards
GB0619548D0 (en) 2006-10-03 2006-11-15 Plastic Logic Ltd Distortion tolerant processing
EP2095946A1 (en) * 2008-02-27 2009-09-02 Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO A system for patterning flexible foils
KR100975647B1 (ko) * 2008-10-09 2010-08-17 주식회사 나래나노텍 잉크젯 헤드의 얼라인 장치, 액적 실시간 검사 장치, 및 잉크젯 헤드의 얼라인 및 액적 실시간 검사 장치
JP5210199B2 (ja) * 2009-02-23 2013-06-12 大日本スクリーン製造株式会社 画像記録方法
JP5534549B2 (ja) * 2009-03-13 2014-07-02 株式会社ニコン 転写装置、転写方法、及びデバイス製造方法
US8379186B2 (en) * 2009-07-17 2013-02-19 Nikon Corporation Pattern formation apparatus, pattern formation method, and device manufacturing method
JP5360571B2 (ja) * 2009-08-12 2013-12-04 株式会社ニコン 位置検査方法及び装置、露光方法及び装置、並びにインライン検査システム
EP2315507A1 (en) * 2009-10-22 2011-04-27 Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Apparatus and method for manufacturing devices on a flexible substrate
JP2012159713A (ja) * 2011-02-01 2012-08-23 Arisawa Mfg Co Ltd フィルム状製品の製造方法、フィルム状製品の製造装置、及び、マスク
JP5842925B2 (ja) * 2011-11-04 2016-01-13 株式会社ニコン 基板処理装置、及び基板処理方法
JP6149214B2 (ja) * 2013-03-26 2017-06-21 サンエー技研株式会社 露光装置、露光方法
JP6144581B2 (ja) * 2013-09-06 2017-06-07 株式会社オーク製作所 搬送装置及びこれを備えた露光装置
CN106896647B (zh) * 2013-10-22 2019-05-10 应用材料公司 用于基于网的处理的无掩模平版印刷
JP6510768B2 (ja) * 2014-05-23 2019-05-08 株式会社オーク製作所 露光装置
TW201624142A (zh) * 2014-09-26 2016-07-01 Orc Mfg Co Ltd 直接曝光裝置
EP3633462B1 (en) * 2014-10-31 2021-07-28 Canon Kabushiki Kaisha Image forming apparatus and image processing apparatus that specify pixels to be subjected to correction, and correct exposure amount
JP6409518B2 (ja) * 2014-11-14 2018-10-24 株式会社ニコン パターン形成装置
JP6428741B2 (ja) * 2016-10-06 2018-11-28 トヨタ自動車株式会社 膜検査装置
JP6252697B2 (ja) * 2017-01-10 2017-12-27 株式会社ニコン 基板処理装置
JP6406411B2 (ja) * 2017-10-13 2018-10-17 株式会社ニコン パターン形成方法、パターン形成装置、及び搬送装置
CN109884860B (zh) * 2019-03-22 2020-12-04 上海微电子装备（集团）股份有限公司 多工位柔性卷带曝光装置及曝光方法
FR3120454A1 (fr) * 2021-03-04 2022-09-09 Altix Préparation d’image pour machine d’insolation de bande
US11867639B2 (en) * 2021-09-15 2024-01-09 Te Connectivity Solutions Gmbh Method and apparatus for flattening and imaging a printed thin film product
US20240042773A1 (en) * 2022-08-04 2024-02-08 Reophotonics, Ltd. Large area laser printing system and method

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000095402A (ja) * 1998-09-28 2000-04-04 Ushio Inc 帯状ワークの露光装置
JP2000235269A (ja) * 1999-02-15 2000-08-29 Asahi Optical Co Ltd 走査式描画装置及びその媒体ローディング方法
JP2000235268A (ja) * 1999-02-15 2000-08-29 Asahi Optical Co Ltd 走査式描画装置
JP2000235267A (ja) * 1999-02-15 2000-08-29 Asahi Optical Co Ltd 走査式描画装置
JP2000329544A (ja) * 1999-05-24 2000-11-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 処理装置の基板位置決め装置及びその方法
JP2001142225A (ja) * 1999-11-11 2001-05-25 Asahi Optical Co Ltd レーザ描画装置
JP2002040669A (ja) * 2000-07-19 2002-02-06 Toray Eng Co Ltd 描画装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5057861A (en) * 1987-11-28 1991-10-15 Dainippon Screen Mfg. Co. Ltd. Color image recorder and image projector useful therefor
US5216442A (en) * 1991-11-14 1993-06-01 Xerox Corporation Moving platen architecture for an ink jet printer
JP3379361B2 (ja) * 1996-12-12 2003-02-24 ウシオ電機株式会社 シート状ワークのプロキシミティ露光装置
JP3204137B2 (ja) * 1996-12-25 2001-09-04 ウシオ電機株式会社 帯状ワークの投影露光装置
US6109745A (en) * 1998-07-17 2000-08-29 Eastman Kodak Company Borderless ink jet printing on receivers
JP2001030532A (ja) * 1999-05-19 2001-02-06 Fuji Photo Film Co Ltd プリント画像形成方法及び装置
US6375296B1 (en) * 2001-06-29 2002-04-23 Hewlett-Packard Company Printing system and method for continuous web print medium

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000095402A (ja) * 1998-09-28 2000-04-04 Ushio Inc 帯状ワークの露光装置
JP2000235269A (ja) * 1999-02-15 2000-08-29 Asahi Optical Co Ltd 走査式描画装置及びその媒体ローディング方法
JP2000235268A (ja) * 1999-02-15 2000-08-29 Asahi Optical Co Ltd 走査式描画装置
JP2000235267A (ja) * 1999-02-15 2000-08-29 Asahi Optical Co Ltd 走査式描画装置
JP2000329544A (ja) * 1999-05-24 2000-11-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 処理装置の基板位置決め装置及びその方法
JP2001142225A (ja) * 1999-11-11 2001-05-25 Asahi Optical Co Ltd レーザ描画装置
JP2002040669A (ja) * 2000-07-19 2002-02-06 Toray Eng Co Ltd 描画装置

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