JP7041482B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
15 露光ステージ
20 基板供給装置
22A、22B 供給リール
30 基板巻取装置
32A、32B 巻取リール
40 露光部
50 ステージ移動機構
60 搬送部移動機構
70 移動制御部
80 位置センサ
90 位置検出用フォトセンサ
Claims (5)
- 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記長尺基板に対してパターン光を投影する露光部と、
前記露光ステージの上流側に配置され、供給リールを設けた基板供給部と、
前記露光ステージの下流側に配置され、巻取リールを設けた基板巻取部と、
露光動作のとき、前記露光ステージと、前記基板供給部と、前記基板巻取部とを、基板搬送ラインに沿って、一体的に移動させる移動機構と
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記基板供給部が上流側支持ローラを備え、
前記基板巻取部が下流側支持ローラを備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記長尺基板が、並列した複数の長尺基板で構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記露光ステージが、前記長尺基板を吸着保持しながら移動するとともに、昇降可能であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置。
- 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記長尺基板に対してパターン光を投影する露光部と、
前記露光ステージの上流側と下流側にそれぞれ配置され、前記長尺基板を搬送する一対のリールと、
露光動作のとき、前記露光ステージと、前記一対のリールとを、基板搬送ラインに沿って、一体的に移動させる移動機構と
を備えることを特徴とする露光装置。
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