JP6509614B2 - ウエーハの分割方法 - Google Patents
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Description
1a 表面
1b 裏面
2 分割予定ライン
3 デバイス
5 DAFテープ
8 保護テープ
9 レジスト膜
11 チャックテーブル
13 切削ブレード
15 V溝
17 チップ
Claims (1)
- 表面に配線層を備え複数の分割予定ラインで区画してデバイスを形成するウエーハの裏面を研削して所定の厚みに薄化し、該裏面にDAFテープを貼着し、該分割予定ラインに沿って該DAFテープと共に分割するウエーハの分割方法であって、
所定の厚みに薄化されたウエーハの裏面にDAFテープを貼着するDAFテープ貼着工程と、
該DAFテープ貼着工程で貼着された該DAFテープの表面に保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
ウエーハ表面にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、
チャックテーブルが該保護テープを介してウエーハを保持する保持工程と、
該保持工程で該チャックテーブルに保持されたウエーハの表面側から該分割予定ラインに沿って先端が鋭角に尖った切削ブレードを切込ませ、ウエーハ表面にV溝を形成するV溝形成工程と、
該V溝形成工程の後、ウエーハの表面側からプラズマエッチングして該V溝を裏面に向かって進行させ、該V溝の先端が該裏面に達するまでウエーハをプラズマエッチングするプラズマエッチング工程と、
ウエーハ表面の該レジスト膜を除去するレジスト膜除去工程と、
該プラズマエッチング工程の後、該V溝の先端を起点に該DAFテープを分割させる分割工程と、
からなるウエーハの分割方法。
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