JP6435635B2 - 光学系、光学装置 - Google Patents

Description

本発明は、光学系、光学装置、光学系の製造方法に関する。

従来、写真用カメラや電子スチルカメラ等には、焦点距離の大きな光学系として、テレフォトタイプでインナーフォーカス式の光学系が多く用いられている（例えば、特許文献１を参照。）。また近年、このような光学系に対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増している。そのため、光学系のレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、斯かる要求に応えるべく多層膜の設計技術や成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２を参照。）。

特開２００８−１６４９９７号公報 特開２０００−３５６７０４号公報

しかしながら、上述のような従来の光学系は、小型化と高性能化が十分に図られていないという問題があった。また、それと同時に従来の光学系におけるレンズ面では、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。

そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、ゴーストやフレアをより低減させ、小型で良好な光学性能を備えた光学系、光学装置及び光学系の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明は、
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
前記第２レンズ群が、２つの負レンズ成分を有し、
前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行い、
以下の条件式を満足し、
０．３０＜ｆ／ｆ１２＜０．５５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離
前記第１レンズ群が複数の正レンズを有し、
前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された両凸形状の正レンズが以下の条件式を満足し、
８５＜νｄ１ｐｆ＜１１０
ただし、
νｄ１ｐｆ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
以下の条件式を満足することを特徴とする光学系を提供する。
０．３０＜ＴＬ１ａ／ＴＬ１＜０．５０
ただし、
ＴＬ１ａ：前記第１ａレンズ群の光軸に沿った長さ
ＴＬ１：前記第１レンズ群の光軸に沿った長さ
また本発明は、
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行い、
前記第２レンズ群が、少なくとも３枚のレンズを有し、
以下の条件式を満足し、
０．３０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離
前記第１レンズ群が複数の正レンズを有し、
前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された両凸形状の正レンズが以下の条件式を満足し、
８５＜νｄ１ｐｆ＜１１０
ただし、
νｄ１ｐｆ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
以下の条件式を満足することを特徴とする光学系を提供する。
０．３０＜ＴＬ１ａ／ＴＬ１＜０．５０
ただし、
ＴＬ１ａ：前記第１ａレンズ群の光軸に沿った長さ
ＴＬ１：前記第１レンズ群の光軸に沿った長さ

また、本発明は、
前記光学系を有することを特徴とする光学装置を提供する。

本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、小型で良好な光学性能を備えた光学系、光学装置及び光学系の製造方法を提供することができる。

図１は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。 図２（ａ）、及び図２（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。 図３は、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。 図４（ａ）、及び図４（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。 図５は、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。 図６（ａ）、及び図６（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。 図７は、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。 図８（ａ）、及び図８（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。 図９は、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。 図１０（ａ）、及び図１０（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。 図１１は、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。 図１２（ａ）、及び図１２（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。 図１３は、本願第１又は第２発明の光学系を備えたカメラの構成を示す図である。 図１４は、本願第１発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。 図１５は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系に入射した光線が第１番目の反射面と第２番目の反射面で反射して像面にゴーストやフレアを形成する様子の一例を示す図である。 図１６は、第１及び第２発明反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。 図１７は、第１及び第２発明反射防止膜の分光特性を示すグラフである。 図１８は、第１及び第２発明変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。 図１９は、第１及び第２発明変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。 図２０は、従来技術で作成した反射防止膜の分光特性を示すグラフである。 図２１は、従来技術で作成した反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。 図２２は、本願第２発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。

以下、本願第１発明の光学系、光学装置及び光学系の製造方法について説明する。
本願第１発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行い、以下の条件式（１−１）を満足することを特徴とする。
（１−１） ０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．５５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離

上記のように本願第１発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有している。この構成により、本願第１発明の光学系は大きな焦点距離を有しながら小型化と高性能化とを両立することができる。

また、上記のように本願第１発明の光学系は、第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。この構成により、比較的小型のモーターユニットによって第２レンズ群を駆動することが可能となる。

条件式（１−１）は、第１レンズ群と第２レンズ群との合成屈折力を規定するものである。本願の光学系は、条件式（１−１）を満足することにより、倍率色収差を良好に補正することができる。また、第２レンズ群から射出される光が収束光となる。このため、第２レンズ群をより像側に配置することができ、これに伴って第１レンズ群もより像側に配置することができるため、本願の光学系の全長を小さくすることができる。また、倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第１発明の光学系の条件式（１−１）の対応値が上限値を上回ると、倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−１）の上限値を０．５４とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−１）の上限値を０．５３とすることがより好ましい。

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−１）の対応値が下限値を下回ると、第２レンズ群から射出される光が平行光となるため、本願第１発明の光学系の全長が大きくなる。そこで、本願第１発明の光学系の全長の短縮化を図ろうとすれば、コマ収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−１）の下限値を０．２０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−１）の下限値を０．３０とすることがより好ましい。
以上の構成により、小型で良好な光学性能を備えた光学系を実現することができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいることを特徴とする。この構成により、本願第１発明の光学系は、物体からの光が光学面で反射されることによって生じるゴーストやフレアをより低減させることができ、高い結像性能を達成することができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群、第２レンズ群及び第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内の物体側から４番目のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

なお、本願第１発明の光学系における反射防止膜は、ウェットプロセスに限られず、ドライプロセス等によって形成してもよい。この場合、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。この構成により、反射防止膜をドライプロセス等によって形成した場合でも、反射防止膜をウェットプロセスによって形成した場合と同様の効果を得ることができる。なお、屈折率が１．３０以下となる層は、多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが好ましい。

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が以下の条件式（１−２）を満足する少なくとも１枚の正レンズを有することが望ましい。
（１−２） ８０＜νｄ１ｐ＜１１０
ただし、
νｄ１ｐ：前記第１レンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（１−２）は、第１レンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−２）を満足することにより、軸上色収差や倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第１発明の光学系の条件式（１−２）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差や倍率色収差を過剰に補正してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−２）の上限値を１０５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−２）の上限値を１００とすることがより好ましい。

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−２）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差や倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−２）の下限値を８５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−２）の下限値を９０とすることがより好ましい。

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が複数の正レンズを有し、前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された正レンズが以下の条件式（１−３）を満足することが望ましい。
（１−３） ８０＜νｄ１ｐｆ＜１１０
ただし、
νｄ１ｐｆ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（１−３）は、第１レンズ群中の複数の正レンズうちで最も物体側に配置された正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願の光学系は、条件式（１−３）を満足することにより、軸上色収差や倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第１発明の光学系の条件式（１−３）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差や倍率色収差を過剰に補正してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の上限値を１０５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の上限値を１００とすることがより好ましい。

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−３）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差や倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の下限値を８５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−３）の下限値を９０とすることがより好ましい。

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が以下の条件式（１−４）を満足する少なくとも１枚の負レンズを有することが望ましい。
（１−４） １．５０＜ｎｄ１ｎ＜１．７５
ただし、
ｎｄ１ｎ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率

条件式（１−４）は、第１レンズ群中の負レンズの硝材の屈折率を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−４）を満足することにより、軽量化を図りながら、コマ収差や像面湾曲を良好に補正することができる。

本願第１発明の光学系の条件式（１−４）の対応値が上限値を上回ると、前記第１レンズ群中の前記負レンズの硝材の比重が大きくなる。そこで、本願の光学系の軽量化のために第１レンズ群中の他のレンズの比重を小さくすれば、コマ収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の上限値を１．７０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の上限値を１．６５とすることがより好ましい。

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−４）の対応値が下限値を下回ると、像面湾曲を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の下限値を１．５５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−４）の下限値を１．６０とすることがより好ましい。

また、本願第１発明の光学系は、前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動することが望ましい。この構成により、手ぶれ等に起因する像ぶれの補正、即ち防振を行うことができ、さらに防振時の偏芯収差の発生を問題ないレベルまで抑えることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群と、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群と、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群とから構成され、前記第３ｂレンズ群が光軸と直交する方向の成分を含むように移動することが望ましい。この構成により、手ぶれ等に起因する像ぶれの補正、即ち防振を行うことができ、さらに防振時の偏芯収差の発生を問題ないレベルまで抑えることができる。また、第３ｂレンズ群を小径化できるので、防振時に第３ｂレンズ群を駆動するためのメカユニットを小型化することもできる。

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、負レンズと正レンズとの接合レンズを有することが望ましい。この構成により、偏芯収差を良好に補正することができる。なお、当該接合レンズは、前記第１レンズ群中の最も像側に配置することがより好ましい。

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、以下の条件式（１−５）を満足することが望ましい。
（１−５） ０．３０＜ＴＬ１ａ／ＴＬ１＜０．７０
ただし、
ＴＬ１ａ：前記第１ａレンズ群の光軸に沿った長さ
ＴＬ１：前記第１レンズ群の光軸に沿った長さ

条件式（１−５）は、第１レンズ群の長さに対する第１ａレンズ群の長さを規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−５）を満足することにより、軽量化を図りながら、コマ収差を良好に補正することができる。

本願第１発明の光学系の条件式（１−５）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群の重量が増大してしまう。そこで、軽量化のために、例えば第１レンズ群中の負レンズに屈折率の小さな硝材を採用すれば、像面湾曲を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−５）の上限値を０．６０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−５）の上限値を０．５０とすることがより好ましい。

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−５）の対応値が下限値を下回ると、コマ収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−５）の下限値を０．３５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−５）の下限値を０．４０とすることがより好ましい。

なお、本願第１発明の光学系は、前記第１ａレンズ群が、物体側から順に、正レンズと、正レンズと、負レンズとからなることが好ましい。この構成により、本願の光学系の軽量化を図ることができる。
また、本願第１発明の光学系は、前記第１ａレンズ群が、最も物体側に保護フィルタガラスを有することが好ましい。保護フィルタガラスは、実質的に屈折力を有しないレンズであって、その焦点距離が本願の光学系の焦点距離の１０倍以上であることが好ましい。特に、本願第１発明の光学系は、保護フィルタガラスが物体側に凸面を向けた負メニスカス形状であることが好ましい。この構成により、ゴーストを良好にカットすることができる。
また、本願第１発明の光学系は、前記第１ｂレンズ群が、物体側から順に、負レンズと、正レンズを有することが望ましい。この構成により、近距離物体合焦時に球面収差の変動を良好に補正することができる。特に、本願第１発明の光学系は、前記第１ｂレンズ群が、物体側から順に、負レンズと正レンズとの接合レンズのみからなることが好ましい。この構成により、本願第１発明の光学系の軽量化を図ることができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ｂレンズ群が、以下の条件式（１−６）を満足する正レンズを有することが望ましい。
（１−６） ７０＜νｄ１ｂｐ＜１１０
ただし、
νｄ１ｂｐ：前記第１ｂレンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（１−６）は、第１ｂレンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−６）を満足することにより、軸上色収差や倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第１発明の光学系の条件式（１−６）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差や倍率色収差を過剰に補正してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−６）の上限値を１０５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−６）の上限値を１００とすることがより好ましい。

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−６）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差や倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−６）の下限値を７５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−６）の下限値を８０とすることがより好ましい。

また、本願第１発明の光学系は、前記第２レンズ群が、２つの負レンズ成分を有することが望ましい。この構成により、コマ収差を良好に補正することができる。ここで、本願第１発明において「レンズ成分」とは、２枚以上のレンズを接合してなる接合レンズ、或いは単レンズをいう。
なお、本願第１発明の光学系は、前記第２レンズ群が、物体側から順に、負レンズと、正レンズと、負レンズとを有する構成としてもよい。また、前記第２レンズ群が、物体側から順に、正レンズと、負レンズと、負レンズとを有する構成としてもよい。これらの構成により、コマ収差を良好に補正することができる。

また、本願第１発明の光学系は、前記第２レンズ群が以下の条件式（１−７）を満足する正レンズを有することが望ましい。
（１−７） １５＜νｄ２ｐ＜３０
ただし、
νｄ２ｐ：前記第２レンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（１−７）は、第２レンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第１発明の光学系は、条件式（１−７）を満足することにより、倍率色収差や軸上色収差を良好に補正することができる。

本願第１発明の光学系の条件式（１−７）の対応値が上限値を上回ると、倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−７）の上限値を２７とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−７）の上限値を２５とすることがより好ましい。

一方、本願第１発明の光学系の条件式（１−７）の対応値が下限値を下回ると、短波長の光の透過率が低下することを防ぐため、第２レンズ群よりも像側に位置するレンズ群に分散の大きな硝材からなるレンズを用いることができなくなってしまう。このため、軸上色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−７）の下限値を１６とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（１−７）の下限値を１７とすることがより好ましい。

本願第１発明の光学装置は、上述した構成の光学系を有することを特徴とする。これにより、小型で良好な光学性能を備えた光学装置を実現することができる。

本願第１発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むようにし、前記光学系が以下の条件式（１−１）を満足するようにし、前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行うようにすることを特徴とする。これにより、小型で良好な光学性能を備えた光学系を製造することができる。
（１−１） ０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．５５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離

次に、本願第２発明の光学系、光学装置及び光学系の製造方法について説明する。
本願第２発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行い、前記第２レンズ群が、少なくとも３枚のレンズを有し、以下の条件式（２−１）を満足することを特徴とする。
（２−１） ０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離

上記のように本願第２発明の光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有している。この構成により、本願第２発明の光学系は大きな焦点距離を有しながら小型化と高性能化とを両立することができる。

また、上記のように本願第２発明の光学系は、第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。この構成により、比較的小型のモーターユニットをよって第２レンズ群を駆動することが可能となる。
また、上記のように本願第２発明の光学系は、第２レンズ群が少なくとも３枚のレンズを有する。この構成により、コマ収差を良好に補正することができる。

条件式（２−１）は、第１レンズ群と第２レンズ群との合成屈折力を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−１）を満足することにより、倍率色収差を良好に補正することができる。また、第２レンズ群から射出される光が収束光となる。このため、第２レンズ群をより像側に配置することができ、これに伴って第１レンズ群もより像側に配置することができるため、本願第２発明の光学系の全長を小さくすることができる。また、倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−１）の対応値が上限値を上回ると、倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−１）の上限値を０．８０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−１）の上限値を０．７５とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−１）の対応値が下限値を下回ると、第２レンズ群から射出される光が平行光となるため、本願第２発明の光学系の全長が大きくなる。そこで、本願第２発明の光学系の全長の短縮化を図ろうとすれば、コマ収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−１）の下限値を０．２０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−１）の下限値を０．３０とすることがより好ましい。
以上の構成により、小型で良好な光学性能を備えた光学系を実現することができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいることを特徴とする。この構成により、本願の光学系は、物体からの光が光学面で反射されることによって生じるゴーストやフレアをより低減させることができ、高い結像性能を達成することができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることが望ましい。この構成により、前記ウェットプロセスを用いて形成された層と空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより小さくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群、第２レンズ群及び第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内の物体側から４番目のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第３レンズ群における光学面のうち、像面側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが望ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることが望ましい。第１レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることが望ましい。第２レンズ群における光学面のうち、物体側から見て凹形状のレンズ面では反射光が発生しやすい。このため、斯かるレンズ面に反射防止膜を形成することで、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

なお、本願第２発明の光学系における反射防止膜は、ウェットプロセスに限られず、ドライプロセス等によって形成してもよい。この場合、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。この構成により、反射防止膜をドライプロセス等によって形成した場合でも、反射防止膜をウェットプロセスによって形成した場合と同様の効果を得ることができる。なお、屈折率が１．３０以下となる層は、多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることが好ましい。

また、本願第２発明の光学系は、前記第２レンズ群中の前記少なくとも３枚のレンズのうち、少なくとも２枚が負レンズであることが望ましい。この構成により、コマ収差を良好に補正することができる。
なお、本願第２発明の光学系は、前記第２レンズ群が、物体側から順に、負レンズと、正レンズと、負レンズとを有する構成、又は、物体側から順に、正レンズと、負レンズと、負レンズとを有する構成とすることがより好ましい。また、これらの構成において、正レンズと負レンズとを接合することが最も好ましい。以上の構成により、コマ収差をより良好に補正することができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記第２レンズ群が以下の条件式（２−２）を満足する少なくとも１枚の負レンズを有することが望ましい。
（２−２） １．４５＜ｎｄ２ｎ＜１．６５
ただし、
ｎｄ２ｎ：前記第２レンズ群中の前記負レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率

条件式（２−２）は、第２レンズ群中の負レンズの硝材の屈折率を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−２）を満足することにより、合焦レンズ群である第２レンズ群の軽量化を図りながら、コマ収差や像面湾曲を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−２）の対応値が上限値を上回ると、前記第２レンズ群中の前記負レンズの硝材の比重が大きくなる。そこで、本願第２発明の光学系の軽量化のために第２レンズ群中の他のレンズの比重を小さくすれば、コマ収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の上限値を１．６４とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の上限値を１．６３とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−２）の対応値が下限値を下回ると、像面湾曲を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の下限値を１．４８とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−２）の下限値を１．５０とすることがより好ましい。

また、本願第２発明の光学系は、前記第２レンズ群が以下の条件式（２−３）を満足する正レンズを有することが望ましい。
（２−３） １５＜νｄ２ｐ＜３０
ただし、
νｄ２ｐ：前記第２レンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（２−３）は、第２レンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−３）を満足することにより、倍率色収差や軸上色収差を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−３）の対応値が上限値を上回ると、倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の上限値を２７とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の上限値を２５とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−３）の対応値が下限値を下回ると、短波長の光の透過率が低下することを防ぐため、第２レンズ群よりも像側に位置するレンズ群に分散の大きな硝材からなるレンズを用いることができなくなってしまう。このため、軸上色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の下限値を１６とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−３）の下限値を１７とすることがより好ましい。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が以下の条件式（２−４）を満足する少なくとも１枚の正レンズを有することが望ましい。
（２−４） ８０＜νｄ１ｐ＜１１０
ただし、
νｄ１ｐ：前記第１レンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（２−４）は、第１レンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−４）を満足することにより、軸上色収差や倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−４）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差や倍率色収差を過剰に補正してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−４）の上限値を１０５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−４）の上限値を１００とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−４）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差や倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−４）の下限値を８５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−４）の下限値を９０とすることがより好ましい。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が複数の正レンズを有し、前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された正レンズが以下の条件式（２−５）を満足することが望ましい。
（２−５） ８０＜νｄ１ｐｆ＜１１０
ただし、
νｄ１ｐｆ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（２−５）は、第１レンズ群中の複数の正レンズうちで最も物体側に配置された正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−５）を満足することにより、軸上色収差や倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−５）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差や倍率色収差を過剰に補正してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−５）の上限値を１０５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−５）の上限値を１００とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−５）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差や倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−５）の下限値を８５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−５）の下限値を９０とすることがより好ましい。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が以下の条件式（２−６）を満足する少なくとも１枚の負レンズを有することが望ましい。
（２−６） １．５０＜ｎｄ１ｎ＜１．７５
ただし、
ｎｄ１ｎ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率

条件式（２−６）は、第１レンズ群中の負レンズの硝材の屈折率を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−６）を満足することにより、軽量化を図りながら、コマ収差や像面湾曲を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−６）の対応値が上限値を上回ると、前記第１レンズ群中の前記負レンズの硝材の比重が大きくなる。そこで、本願第２発明の光学系の軽量化のために第１レンズ群中の他のレンズの比重を小さくすれば、コマ収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−６）の上限値を１．７０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−６）の上限値を１．６５とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−６）の対応値が下限値を下回ると、像面湾曲を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−６）の下限値を１．５５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−６）の下限値を１．６０とすることがより好ましい。

また、本願第２発明の光学系は、前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動することが望ましい。この構成により、手ぶれ等に起因する像ぶれの補正、即ち防振を行うことができ、さらに防振時の偏芯収差の発生を問題ないレベルまで抑えることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記第３レンズ群が、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群と、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群と、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群とから構成され、前記第３ｂレンズ群が光軸と直交する方向の成分を含むように移動することが望ましい。この構成により、手ぶれ等に起因する像ぶれの補正、即ち防振を行うことができ、さらに防振時の偏芯収差の発生を問題ないレベルまで抑えることができる。また、第３ｂレンズ群を小径化できるので、防振時に第３ｂレンズ群を駆動するためのメカユニットを小型化することもできる。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、負レンズと正レンズとの接合レンズを有することが望ましい。この構成により、偏芯収差を良好に補正することができる。なお、当該接合レンズは、前記第１レンズ群中の最も像側に配置することがより好ましい。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、以下の条件式（２−７）を満足することが望ましい。
（２−７） ０．３０＜ＴＬ１ａ／ＴＬ１＜０．７０
ただし、
ＴＬ１ａ：前記第１ａレンズ群の光軸に沿った長さ
ＴＬ１：前記第１レンズ群の光軸に沿った長さ

条件式（２−７）は、第１レンズ群の長さに対する第１ａレンズ群の長さを規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−７）を満足することにより、軽量化を図りながら、コマ収差を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−７）の対応値が上限値を上回ると、第１レンズ群の重量が増大してしまう。そこで、軽量化のために、例えば第１レンズ群中の負レンズに屈折率の小さな硝材を採用すれば、像面湾曲を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の上限値を０．６０とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の上限値を０．５０とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−７）の対応値が下限値を下回ると、コマ収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の下限値を０．３５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−７）の下限値を０．４０とすることがより好ましい。

なお、本願第２発明の光学系は、前記第１ａレンズ群が、物体側から順に、正レンズと、正レンズと、負レンズとからなることが好ましい。この構成により、本願第２発明の光学系の軽量化を図ることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１ａレンズ群が、最も物体側に保護フィルタガラスを有することが好ましい。保護フィルタガラスは、実質的に屈折力を有しないレンズであって、その焦点距離が本願の光学系の焦点距離の１０倍以上であることが好ましい。特に、本願第２発明の光学系は、保護フィルタガラスが物体側に凸面を向けた負メニスカス形状であることが好ましい。この構成により、ゴーストを良好にカットすることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１ｂレンズ群が、物体側から順に、負レンズと、正レンズを有することが望ましい。この構成により、近距離物体合焦時に球面収差の変動を良好に補正することができる。特に、本願第２発明の光学系は、前記第１ｂレンズ群が、物体側から順に、負レンズと正レンズとの接合レンズのみからなることが好ましい。この構成により、本願第２発明の光学系の軽量化を図ることができる。

また、本願第２発明の光学系は、前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、前記第１ｂレンズ群が、以下の条件式（２−８）を満足する正レンズを有することが望ましい。
（２−８） ７０＜νｄ１ｂｐ＜１１０
ただし、
νｄ１ｂｐ：前記第１ｂレンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数

条件式（２−８）は、第１ｂレンズ群中の正レンズの硝材のアッベ数を規定するものである。本願第２発明の光学系は、条件式（２−８）を満足することにより、軸上色収差や倍率色収差を良好に補正することができる。

本願第２発明の光学系の条件式（２−８）の対応値が上限値を上回ると、軸上色収差や倍率色収差を過剰に補正してしまうため好ましくない。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の上限値を１０５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の上限値を１００とすることがより好ましい。

一方、本願第２発明の光学系の条件式（２−８）の対応値が下限値を下回ると、軸上色収差や倍率色収差を補正することが困難になってしまう。なお、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の下限値を７５とすることがより好ましい。また、本願の効果をより確実にするために、条件式（２−８）の下限値を８０とすることがより好ましい。

本願第２発明の光学装置は、上述した構成の光学系を有することを特徴する。これにより、小型で良好な光学性能を備えた光学装置を実現することができる。

本願第２発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むようにし、前記第２レンズ群が、少なくとも３枚のレンズを有するようにし、前記光学系が以下の条件式（２−１）を満足するようにし、前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行うようにすることを特徴とする。これにより、小型で良好な光学性能を備えた光学系を製造することができる。
（２−１） ０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
ただし、
ｆ：前記光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離

以下、本願第１及び第２発明の数値実施例に係る光学系を添付図面に基づいて説明する。
（第１及び第２発明の第１実施例）
図１は、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、両凹形状の負レンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

本実施例に係る光学系は、第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の像面側レンズ面（面番号２４）と、第３レンズ群Ｇ３の両凸形状の正レンズＬ３６の物体側レンズ面（面番号２７）に、後述する反射防止膜が形成されている。

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂを防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動させることにより防振を行う。

以下の表１に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。
表１において、ｆは焦点距離、Ｂｆはバックフォーカス（フィルタＦＬと像面Ｉとの光軸上の距離）を示す。
[面データ]において、面番号は物体側から数えた光学面の順番、ｒは曲率半径、ｄは面間隔（第n面（nは整数）と第n+1面との間隔）、ｎｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対する屈折率、νｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）に対するアッベ数をそれぞれ示している。また、物面は物体面、可変は可変の面間隔、絞りＳは開口絞りＳ、像面は像面Ｉをそれぞれ示している。なお、曲率半径ｒ＝∞は平面を示している。また、空気の屈折率ｎｄ＝1.00000の記載は省略している。

［各種データ］において、ＦＮＯはＦナンバー、２ωは画角（単位は「°」）、Ｙは像高、ＴＬは本実施例に係る光学系の全長（第１面から像面Ｉまでの光軸上の距離）、dnは第n面と第n+1面との可変の間隔をそれぞれ示す。なお、βは撮影倍率、ｄ0は物体から第１面までの距離を示す。
［レンズ群データ］には、各レンズ群の始面と焦点距離を示す。
［条件式対応値］には、第１及び第２発明の本実施例に係る光学系の各条件式の対応値を示す。

ここで、表１に掲載されている焦点距離ｆ、曲率半径ｒ及びその他の長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われる。しかしながら光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるため、これに限られるものではない。
なお、以上に述べた表１の符号は、後述する各実施例の表においても同様に用いるものとする。

（表１）第１及び第２発明の第１実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 208.5821 17.50 1.43385 95.25
4 -1176.6338 45.00
5 180.4147 18.00 1.43385 95.25
6 -380.1711 3.00
7 -348.9527 6.00 1.61266 44.46
8 384.9936 90.00
9 67.5463 4.00 1.79500 45.31
10 46.6351 15.00 1.49782 82.57
11 1089.9704 可変

12 -1616.0869 2.50 1.77250 49.62
13 118.0496 3.35
14 -285.3999 3.50 1.84666 23.80
15 -87.3702 2.40 1.51823 58.82
16 63.6357 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 84.6009 8.00 1.48749 70.31
19 -63.3175 0.60
20 -66.2548 1.90 1.84666 23.80
21 -116.1778 5.00
22 433.7902 3.50 1.84666 23.80
23 -123.0826 1.90 1.59319 67.90
24 51.3275 3.60
25 -293.4310 1.90 1.75500 52.34
26 110.9976 4.00
27 130.2260 3.50 1.77250 49.62
28 -326.0207 0.10
29 67.6197 4.50 1.64000 60.20
30 -391.1361 1.90 1.84666 23.80
31 276.0025 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 396.95
Ｂｆ 71.551

無限遠物体合焦時 近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.003 -0.173
ｄ0 ∞ 2201.931
ｄ11 19.530 34.930
ｄ16 36.219 20.820
Ｂｆ 71.551 71.575

［レンズ群データ］
群 始面 ｆ
1 1 179.9884
2 12 -67.9431
3 18 163.6612

［条件式対応値］
（第１発明）
（１−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.38
（１−２） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（１−３） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（１−４） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（１−５） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（１−６） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57
（１−７） νｄ２ｐ ＝ 23.80

（第２発明）
（２−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.38
（２−２） ｎｄ２ｎ ＝ 1.52
（２−３） νｄ２ｐ ＝ 23.80
（２−４） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（２−５） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（２−６） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（２−７） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（２−８） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57

図２（ａ）、及び図２（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第１実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
各収差図において、ＦＮＯはＦナンバー、Ｙは像高をそれぞれ示す。ｄはｄ線（波長５８７．６ｎｍ）、ｇはｇ線（波長４３５．８ｎｍ）における収差をそれぞれ示す。非点収差図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示す。コマ収差図は、各像高Ｙにおけるコマ収差を示す。なお、後述する各実施例の収差図においても、本実施例と同様の符号を用いる。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有していることがわかる。

ここで、本実施例に係る光学系においてゴーストやフレアが発生する原因について説明する。
図１５は、本実施例に係る光学系に入射した光線が第１番目の反射面と第２番目の反射面で反射して像面Ｉにゴーストやフレアを形成する様子の一例を示す図である。
図１５において、物体側からの光線ＢＭが図示のように光学系に入射すると、光線ＢＭの一部は第３レンズ群Ｇ３における両凸形状の正レンズＬ３６の物体側レンズ面（面番号２７、ゴーストやフレアとなる反射光が生じる第１番目の反射面）で反射され、さらに第３レンズ群Ｇ３における両凹形状の負レンズＬ３４の像面側レンズ面（面番号２４、ゴーストやフレアとなる反射光が生じる第２番目の反射面）で再度反射され、最終的に像面Ｉに到達してゴーストやフレアを発生させてしまう。なお、前記第１番目の反射面は像面側から見て凹形状のレンズ面、前記第２番目の反射面は像面側から見て凹形状のレンズ面である。
そこで本実施例に係る光学系は、斯かるレンズ面に広い波長範囲で広い入射角の光線に対応した反射防止膜を形成することで、反射光の発生を抑え、ゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

（第１及び第２発明の第２実施例）
図３は、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、両凹形状の負レンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

本実施例に係る光学系は、第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の像面側レンズ面（面番号２４）に、後述する反射防止膜が形成されている。

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂを防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動させることにより防振を行う。
以下の表２に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

（表２）第１及び第２発明の第２実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 205.7091 17.50 1.43385 95.25
4 -1134.8251 45.00
5 173.6014 18.00 1.43385 95.25
6 -417.4854 3.07
7 -374.6983 6.00 1.61266 44.46
8 347.6771 90.00
9 66.1559 4.00 1.79500 45.31
10 45.7808 15.00 1.49782 82.57
11 874.9561 可変

12 -2545.8867 2.50 1.77250 49.62
13 114.9779 3.35
14 -271.4306 3.50 1.84666 23.80
15 -87.3926 2.40 1.51823 58.82
16 63.5469 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 87.7161 7.60 1.48749 70.31
19 -64.5076 1.20
20 -66.7841 1.90 1.84666 23.80
21 -116.0392 5.00
22 325.4187 3.50 1.84666 23.80
23 -134.7294 1.90 1.59319 67.90
24 52.9625 3.60
25 -331.8219 1.90 1.75500 52.34
26 98.9972 4.00
27 117.6253 3.50 1.77250 49.62
28 -402.3365 0.10
29 67.6197 4.50 1.64000 60.20
30 -391.1361 1.90 1.84666 23.80
31 264.8450 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 391.99
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.29
Ｙ 21.63
ＴＬ 397.00
Ｂｆ 71.300

無限遠物体合焦時 近距離物体合焦時
ｆ又はβ 391.991 -0.174
ｄ0 ∞ 2203.000
ｄ11 18.344 33.670
ｄ16 37.438 22.112
Ｂｆ 71.300 71.300

［レンズ群データ］
群 始面 ｆ
1 1 179.8867
2 12 -67.1696
3 18 160.1914

［条件式対応値］
（第１発明）
（１−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.36
（１−２） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（１−３） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（１−４） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（１−５） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（１−６） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57
（１−７） νｄ２ｐ ＝ 23.80

（第２発明）
（２−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.36
（２−２） ｎｄ２ｎ ＝ 1.52
（２−３） νｄ２ｐ ＝ 23.80
（２−４） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（２−５） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（２−６） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（２−７） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（２−８） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57

図４（ａ）、及び図４（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第２実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有していることがわかる。

（第１及び第２発明の第３実施例）
図５は、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、両凹形状の負レンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

本実施例に係る光学系は、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１５の像面側レンズ面（面番号１１）に、後述する反射防止膜が形成されている。

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂを防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動させることにより防振を行う。
以下の表３に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

（表３）第１及び第２発明の第３実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 207.0795 17.50 1.43384 95.26
4 -1127.5309 44.90
5 175.9698 18.00 1.43384 95.26
6 -397.2708 3.07
7 -360.2396 6.00 1.61266 44.46
8 353.1837 90.00
9 66.4844 4.00 1.79500 45.32
10 45.9182 15.00 1.49782 82.54
11 1114.1067 可変

12 2992.5492 2.50 1.75500 52.34
13 118.0399 3.35
14 -241.6942 3.50 1.84668 23.83
15 -86.4136 2.40 1.53996 59.52
16 64.2643 可変

17(絞りＳ) ∞ 1.50

18 90.0336 7.60 1.48749 70.43
19 -63.8039 1.20
20 -65.9768 1.90 1.84668 23.83
21 -114.8763 5.00
22 300.3587 3.50 1.84668 23.83
23 -128.0558 1.90 1.59319 67.94
24 53.9004 3.10
25 -347.5421 1.90 1.75500 52.33
26 94.5337 4.19
27 118.3533 3.50 1.77250 49.68
28 -384.3825 0.10
29 67.4622 4.50 1.64000 60.14
30 -340.4206 1.90 1.84668 23.83
31 246.6417 6.50

32 ∞ 1.50 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.89
２ω 6.28
Ｙ 21.63
ＴＬ 396.91
Ｂｆ 74.220

無限遠物体合焦時 近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.173
ｄ0 ∞ 2203.010
ｄ11 18.503 33.773
ｄ16 38.179 22.909
Ｂｆ 74.220 73.906

［レンズ群データ］
群 始面 ｆ
1 1 179.1160
2 12 -67.4099
3 18 162.8784

［条件式対応値］
（第１発明）
（１−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.37
（１−２） νｄ１ｐ ＝ 95.26(L11), 95.26(L12), 82.54(L15)
（１−３） νｄ１ｐｆ ＝ 95.26
（１−４） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（１−５） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（１−６） νｄ１ｂｐ ＝ 82.54
（１−７） νｄ２ｐ ＝ 23.83

（第２発明）
（２−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.37
（２−２） ｎｄ２ｎ ＝ 1.54
（２−３） νｄ２ｐ ＝ 23.83
（２−４） νｄ１ｐ ＝ 95.26(L11), 95.26(L12), 82.54(L15)
（２−５） νｄ１ｐｆ ＝ 95.26
（２−６） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（２−７） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（２−８） νｄ１ｂｐ ＝ 82.54

図６（ａ）、及び図６（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第３実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有していることがわかる。

（第１及び第２発明の第４実施例）
図７は、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、両凹形状の負レンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

本実施例に係る光学系は、第２レンズ群Ｇ２の負メニスカスレンズＬ２１の像面側レンズ面（面番号１３）に、後述する反射防止膜が形成されている。

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂを防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動させることにより防振を行う。
以下の表４に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

（表４）第１及び第２発明の第４実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 210.9074 17.50 1.43384 95.26
4 -1135.2477 44.90
5 173.4175 18.00 1.43384 95.26
6 -413.8140 3.07
7 -375.4223 6.00 1.61266 44.46
8 358.4435 90.00
9 66.9574 4.00 1.79500 45.32
10 46.1708 15.00 1.49782 82.54
11 1030.2823 可変

12 10236.2589 2.50 1.77250 49.68
13 110.7581 3.35
14 -289.4383 3.50 1.84668 23.83
15 -96.1712 2.40 1.51680 63.88
16 65.0724 可変

17(絞りＳ) ∞ 1.50

18 86.8540 7.60 1.48749 70.43
19 -62.9408 1.20
20 -65.5511 1.90 1.84668 23.83
21 -118.4244 5.00
22 300.3217 3.50 1.84668 23.83
23 -128.4546 1.90 1.59319 67.94
24 53.9974 3.10
25 -348.7023 1.90 1.75500 52.33
26 93.3844 4.19
27 119.2828 3.50 1.77250 49.68
28 -375.3153 0.10
29 68.1234 4.50 1.64000 60.14
30 -426.6037 1.90 1.84668 23.83
31 243.3294 6.50

32 ∞ 1.50 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.89
２ω 6.28
Ｙ 21.63
ＴＬ 396.91
Ｂｆ 74.220

無限遠物体合焦時 近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.174
ｄ0 ∞ 2203.010
ｄ11 18.503 33.773
ｄ16 38.179 22.909
Ｂｆ 74.220 74.374

［レンズ群データ］
群 始面 ｆ
1 1 179.5793
2 12 -68.1638
3 18 164.8495

［条件式対応値］
（第１発明）
（１−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.37
（１−２） νｄ１ｐ ＝ 95.26(L11), 95.26(L12), 82.54(L15)
（１−３） νｄ１ｐｆ ＝ 95.26
（１−４） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（１−５） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（１−６） νｄ１ｂｐ ＝ 82.54
（１−７） νｄ２ｐ ＝ 23.83

（第２発明）
（２−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.37
（２−２） ｎｄ２ｎ ＝ 1.52
（２−３） νｄ２ｐ ＝ 23.83
（２−４） νｄ１ｐ ＝ 95.26(L11), 95.26(L12), 82.54(L15)
（２−５） νｄ１ｐｆ ＝ 95.26
（２−６） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（２−７） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.47
（２−８） νｄ１ｂｐ ＝ 82.54

図８（ａ）、及び図８（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第４実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有していることがわかる。

（第１及び第２発明の第５実施例）
図９は、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と両凹形状の負レンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、両凹形状の負レンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

本実施例に係る光学系は、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１２の像面側レンズ面（面番号６）と、第１レンズ群Ｇ１の両凹形状の負レンズＬ１３の物体側レンズ面（面番号７）に、後述する反射防止膜が形成されている。

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂを防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動させることにより防振を行う。
以下の表５に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

（表５）第１及び第２発明の第５実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.00
3 237.4785 15.50 1.43385 95.25
4 -1507.8850 45.00
5 198.3323 19.00 1.43385 95.25
6 -342.1796 3.00
7 -327.8324 6.00 1.61266 44.46
8 772.9939 93.00
9 70.7391 5.40 1.79952 42.09
10 47.9832 16.00 1.49782 82.57
11 1681.9346 可変

12 -2709.1390 3.00 1.77250 49.62
13 136.3998 3.50
14 -487.1729 4.00 1.84666 23.80
15 -108.0510 2.50 1.51742 52.20
16 59.4298 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 228.1074 5.25 1.59319 67.90
19 -85.4981 0.60
20 -124.4314 1.90 2.00069 25.46
21 -295.5719 3.85
22 294.4912 3.30 1.84666 23.80
23 -171.7558 1.90 1.59319 67.90
24 54.4393 4.05
25 -281.8305 1.90 1.69680 55.52
26 152.6451 2.94
27 104.2002 3.00 1.77250 49.62
28 -1538.2155 0.10
29 71.9218 4.80 1.57957 53.74
30 -155.3605 1.90 1.84666 23.80
31 1092.5548 11.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 391.99
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 399.38
Ｂｆ 70.081

無限遠物体合焦時 近距離物体合焦時
ｆ又はβ 391.990 -0.172
ｄ0 ∞ 2203.007
ｄ11 16.500 31.900
ｄ16 40.401 25.001
Ｂｆ 70.081 70.033

［レンズ群データ］
群 始面 ｆ
1 1 177.7760
2 12 -73.1720
3 18 187.9179

［条件式対応値］
（第１発明）
（１−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.51
（１−２） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（１−３） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（１−４） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（１−５） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.45
（１−６） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57
（１−７） νｄ２ｐ ＝ 23.80

（第２発明）
（２−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.51
（２−２） ｎｄ２ｎ ＝ 1.52
（２−３） νｄ２ｐ ＝ 23.80
（２−４） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（２−５） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（２−６） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（２−７） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.45
（２−８） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57

図１０（ａ）、及び図１０（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第５実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有していることがわかる。

（第１及び第２発明の第６実施例）
図１１は、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時のレンズ配置を示す断面図である。
本実施例に係る光学系は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。なお、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間には開口絞りＳが備えられており、第３レンズ群Ｇ３と像面Ｉとの間にはフィルタＦＬが備えられている。

第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１ａレンズ群Ｇ１ａと、正の屈折力を有する第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとから構成されている。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から順に、保護フィルタガラスＦＬＧと、両凸形状の正レンズＬ１１と、両凸形状の正レンズＬ１２と、両凹形状の負レンズＬ１３とからなる。なお、保護フィルタガラスＦＬＧは、物体側に凸面を向けた負メニスカス形状をしており、実質的に屈折力を有していない。
第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５との接合レンズからなる。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２２と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２３との接合負レンズとからなる。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群Ｇ３ａと、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群Ｇ３ｂと、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群Ｇ３ｃとから構成されている。
第３ａレンズ群Ｇ３ａは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなる。
第３ｂレンズ群Ｇ３ｂは、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３３と両凹形状の負レンズＬ３４との接合レンズと、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３５とからなる。
第３ｃレンズ群Ｇ３ｃは、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３６と、両凸形状の正レンズＬ３７と両凹形状の負レンズＬ３８との接合レンズとからなる。

本実施例に係る光学系は、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の物体側レンズ面（面番号１４）に、後述する反射防止膜が形成されている。

以上の構成の下、本実施例に係る光学系では、第２レンズ群Ｇ２を光軸に沿って像側へ移動させることにより、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う。
本実施例に係る光学系では、第３レンズ群Ｇ３における第３ｂレンズ群Ｇ３ｂを防振レンズ群として光軸と直交する方向の成分を含むように移動させることにより防振を行う。
以下の表６に、本実施例に係る光学系の諸元の値を掲げる。

（表６）第１及び第２発明の第６実施例
[面データ]
面番号 ｒ ｄ ｎｄ νｄ
物面 ∞ ∞

1 1200.3704 5.00 1.51680 63.88
2 1199.7897 1.50
3 217.9147 15.50 1.43385 95.25
4 -2272.2650 45.00
5 191.4672 18.50 1.43385 95.25
6 -388.7337 3.24
7 -366.9736 6.00 1.61266 44.46
8 692.0557 90.02
9 65.4296 5.20 1.80610 40.97
10 45.0727 15.00 1.49782 82.57
11 760.0090 可変

12 2386.5723 2.50 1.81600 46.59
13 64.7944 6.50
14 -159.3202 4.50 1.80809 22.74
15 -67.3666 2.00 1.61772 49.81
16 -4529.1486 可変

17(絞りＳ) ∞ 2.00

18 128.3829 8.00 1.59319 67.90
19 -58.5025 0.60
20 -58.7397 1.90 1.79504 28.69
21 -122.7539 5.79
22 -216.6393 3.30 1.84666 23.80
23 -61.9303 1.90 1.59319 67.90
24 59.0225 3.00
25 728.9238 1.90 1.81600 46.59
26 93.0674 4.00
27 141.2086 3.00 1.77250 49.62
28 -1505.6719 0.15
29 69.4894 4.80 1.74320 49.26
30 -136.7089 1.90 1.84666 23.80
31 672.4408 9.00

32 ∞ 2.00 1.51680 63.88
33 ∞ Ｂｆ

像面 ∞

［各種データ］
ｆ 392.00
ＦＮＯ 2.88
２ω 6.27
Ｙ 21.60
ＴＬ 400.00
Ｂｆ 71.300

無限遠物体合焦時 近距離物体合焦時
ｆ又はβ 392.000 -0.173
ｄ0 ∞ 2200.000
ｄ11 17.463 31.763
ｄ16 37.536 23.236
Ｂｆ 71.300 71.260

［レンズ群データ］
群 始面 ｆ
1 1 172.5113
2 12 -69.4949
3 18 175.8293

［条件式対応値］
（第１発明）
（１−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.46
（１−２） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（１−３） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（１−４） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（１−５） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.46
（１−６） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57
（１−７） νｄ２ｐ ＝ 22.74

（第２発明）
（２−１） ｆ／ｆ１２ ＝ 0.46
（２−２） ｎｄ２ｎ ＝ 1.62
（２−３） νｄ２ｐ ＝ 22.74
（２−４） νｄ１ｐ ＝ 95.25(L11), 95.25(L12), 82.57(L15)
（２−５） νｄ１ｐｆ ＝ 95.25
（２−６） ｎｄ１ｎ ＝ 1.61
（２−７） ＴＬ１ａ／ＴＬ１ ＝ 0.46
（２−８） νｄ１ｂｐ ＝ 82.57

図１２（ａ）、及び図１２（ｂ）はそれぞれ、本願第１及び第２発明の第６実施例に係る光学系の無限遠物体合焦時、及び近距離物体合焦時の諸収差図である。
各収差図より、本実施例に係る光学系は諸収差を良好に補正し優れた結像性能を有していることがわかる。

ここで、本願第１及び第２発明の実施形態に係る光学系に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。図１６は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。

そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。

このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（ａ）に示す。

（ａ） ２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2→ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ

この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。

このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図１７に示す分光特性を用いて説明する。

本願第１及び第２発明の実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表７に示す条件で形成されている。ここで表７は、基準波長をλとし、基板（光学部材）の屈折率が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表７では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。

（表７）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1
第７層 MgF2＋SiO2 1.26 0.268λ 0.271λ 0.269λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ 0.054λ 0.059λ
第５層 Al2O3 1.65 0.171λ 0.178λ 0.162λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.127λ 0.13λ 0.158λ
第３層 Al2O3 1.65 0.122λ 0.107λ 0.08λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.059λ 0.075λ 0.105λ
第１層 Al2O3 1.65 0.257λ 0.03λ 0.03λ
基板の屈折率 1.62 1.74 1.85

図１７は、表７において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。

図１７から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが判る。また、表７において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１７に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有する。

次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表７と同様、以下の表８で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。

（表８）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1
第５層 MgF2＋SiO2 1.26 0.275λ 0.269λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.045λ 0.043λ
第３層 Al2O3 1.65 0.212λ 0.217λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.077λ 0.066λ
第１層 Al2O3 1.65 0.288λ 0.290λ
基板の屈折率 1.46 1.52

図１８は、表８において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図１８から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表８において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図１８に示す分光特性とほぼ同等の特性を有する。

図１９は、図１８に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図１８、図１９には表８に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。

また比較のため、図２０に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図２１は、表８と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表９で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図２１は、図２０に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。

（表９）
物質 屈折率 光学膜厚
媒質 空気 1
第７層 MgF2 1.39 0.243λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.119λ
第５層 Al2O3 1.65 0.057λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.220λ
第３層 Al2O3 1.65 0.064λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ
第１層 Al2O3 1.65 0.193λ
基板の屈折率 1.52

図１７〜図１９で示される本願第１及び第２発明の実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図２０および図２１で示される従来例の分光特性と比較すると、本実施形態に係る反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。

次に、本願第１及び第２発明の第１実施例から第６実施例に、上記表７および表８に示す反射防止膜を適用した例について説明する。

本願第１及び第２発明の第１実施例の光学系において、
第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の屈折率は、
表１に示すように、
ｎｄ＝１．５９３１９であり、
第３レンズ群Ｇ３の両凸形状の正レンズＬ３６の屈折率は、
ｎｄ＝１．７７２５０であるため、
両凹形状の負レンズＬ３４における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜１０１（表８参照）を用い、
両凸形状の正レンズＬ３６における物体側のレンズ面に、
基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表８参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本願第１及び第２発明の第２実施例の光学系において、
第３レンズ群Ｇ３の両凹形状の負レンズＬ３４の屈折率は、
表２に示すように、
ｎｄ＝１．５９３１９であるため、
両凹形状の負レンズＬ３４における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜１０１（表８参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本願第１及び第２発明の第３実施例の光学系において、
第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１５の屈折率は、
表３に示すように、
ｎｄ＝１．４９７８２であるため、
正メニスカスレンズＬ１５における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜１０１（表７参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本願第１及び第２発明の第４実施例の光学系において、
第２レンズ群Ｇ２の負メニスカスレンズＬ２１の屈折率は、
表４に示すように、
ｎｄ＝１．７７２５０であるため、
負メニスカスレンズＬ２１における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表８参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本願第１及び第２発明の第５実施例の光学系において、
第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１２の屈折率は、
表５に示すように、
ｎｄ＝１．４３３８５であり、
第１レンズ群Ｇ１の両凹形状の負レンズＬ１３の屈折率は、
ｎｄ＝１．６１２６６であるため、
両凸形状の正レンズＬ１２における像面側のレンズ面に
基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜１０１（表７参照）を用い、
両凹形状の負レンズＬ１３における物体側のレンズ面に、
基板の屈折率が１．６２に対応する反射防止膜（表８参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本願第１及び第２発明の第６実施例の光学系において、
第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、
表６に示すように、
ｎｄ＝１．８０８０９であるため、
正メニスカスレンズＬ２２における物体側のレンズ面に
基板の屈折率が１．８５に対応する反射防止膜１０１（表８参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

上記各実施例によれば、４〜９度の画角を有し、小型軽量で、諸収差を良好に補正し、かつ防振時の光学性能の劣化を抑えた光学系を実現することができる。なお、上記各実施例は本願発明の一具体例を示しているものであり、本願発明はこれらに限定されるものではない。以下の内容は、本願の光学系の光学性能を損なわない範囲で適宜採用することが可能である。

本願の光学系の数値実施例として３群構成のものを示したが、本願はこれに限られず、その他の群構成（例えば、４群や５群等）の光学系を構成することもできる。具体的には、本願の光学系の最も物体側や最も像側にレンズ又はレンズ群を追加した構成でも構わない。なお、上記各実施例に係る光学系は、第１レンズ群中の最も物体側に保護フィルタガラスを備えているが、これを備えない構成としてもよい。

また、本願の光学系は、無限遠物体から近距離物体への合焦を行うために、レンズ群の一部、１つのレンズ群全体、或いは複数のレンズ群を合焦レンズ群として光軸方向へ移動させる構成としてもよい。特に、第２レンズ群の少なくとも一部を合焦レンズ群とすることが好ましい。斯かる合焦レンズ群は、オートフォーカスに適用することも可能であり、オートフォーカス用のモータ、例えば超音波モータ等による駆動にも適している。

また、本願の光学系において、いずれかのレンズ群全体又はその一部を、防振レンズ群として光軸に対して垂直な方向の成分を含むように移動させ、又は光軸を含む面内方向へ回転移動（揺動）させることにより、防振を行う構成とすることもできる。特に、本願の光学系では第３レンズ群の少なくとも一部を防振レンズ群とすることが好ましい。

また、本願の光学系を構成するレンズのレンズ面は、球面又は平面としてもよく、或いは非球面としてもよい。レンズ面が球面又は平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、レンズ加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を防ぐことができるため好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないため好ましい。レンズ面が非球面の場合、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に成型したガラスモールド非球面、又はガラス表面に設けた樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれでもよい。また、レンズ面は回折面としてもよく、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）或いはプラスチックレンズとしてもよい。

また、本願の光学系において開口絞りは第３レンズ群の物体側の近傍に配置されることが好ましく、開口絞りとして部材を設けずにレンズ枠でその役割を代用する構成としてもよい。

また、本願の光学系を構成するレンズのレンズ面に、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施してもよい。これにより、フレアやゴーストを軽減し、高コントラストの高い光学性能を達成することができる。

次に、本願第１又は第２発明の光学系を備えたカメラを図１３に基づいて説明する。
図１３は、本願第１又は第２発明の光学系を備えたカメラの構成を示す図である。
本カメラ１は、撮影レンズ２として上記第１実施例に係る光学系を備えたレンズ交換式のデジタル一眼レフカメラである。
本カメラ１において、被写体である不図示の物体からの光は、撮影レンズ２で集光されて、クイックリターンミラー３を介して焦点板４に結像される。そして焦点板４に結像されたこの光は、ペンタプリズム５中で複数回反射されて接眼レンズ６へ導かれる。これにより撮影者は、被写体像を接眼レンズ６を介して正立像として観察することができる。

また、撮影者によって不図示のレリーズボタンが押されると、クイックリターンミラー３が光路外へ退避し、不図示の被写体からの光は撮像素子７へ到達する。これにより被写体からの光は、当該撮像素子７によって撮像されて、被写体画像として不図示のメモリに記録される。このようにして、撮影者は本カメラ１による被写体の撮影を行うことができる。

ここで、本カメラ１に撮影レンズ２として搭載した上記第１実施例に係る光学系は、上述のように小型で良好な光学性能を有している。即ち本カメラ１は、小型化と良好な光学性能を実現することができる。なお、上記第２〜第６実施例に係る光学系を撮影レンズ２として搭載したカメラを構成しても、上記カメラ１と同様の効果を奏することができる。また、クイックリターンミラー３を有しない構成のカメラに上記各実施例に係る光学系を搭載した場合でも、上記カメラ１と同様の効果を奏することができる。

次に、本願第１発明の光学系の製造方法の概略を図１４に基づいて説明する。
図１４は、本願第１発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。
図１４に示す本願第１発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、以下のステップＳ１〜Ｓ３を含むものである。

ステップＳ１：第１レンズ群、第２レンズ群及び第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むようにし、各レンズ群を鏡筒内に物体側から順に配置する。

ステップＳ２：光学系が以下の条件式（１−１）を満足するように、第１〜第３レンズ群を準備する。
（１−１） ０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．５５
ただし、
ｆ：光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の第１レンズ群と第２レンズ群の合成焦点距離

ステップＳ３：公知の移動機構を設けることにより、第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行うようにする。

斯かる本願第１発明の光学系の製造方法によれば、小型で良好な光学性能を備えた光学系を製造することができる。

最後に、本願第２発明の光学系の製造方法の概略を図２２に基づいて説明する。
図２２は、本願第２発明の光学系の製造方法の概略を示す図である。
図２２に示す本願第２発明の光学系の製造方法は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有する光学系の製造方法であって、以下のステップＳ１〜Ｓ４を含むものである。

ステップＳ１：第１レンズ群、第２レンズ群及び第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜を設け、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むようにし、各レンズ群を鏡筒内に物体側から順に配置する。

ステップＳ２：第２レンズ群が、少なくとも３枚のレンズを有するようにする。
ステップＳ３：光学系が以下の条件式（２−１）を満足するように、第１〜第３レンズ群を準備し、
（２−１） ０．１０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
ただし、
ｆ：光学系の焦点距離
ｆ１２：無限遠物体合焦時の第１レンズ群と第２レンズ群の合成焦点距離

ステップＳ４：公知の移動機構を設けることにより、第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行うようにする。

斯かる本願第２発明の光学系の製造方法によれば、小型で良好な光学性能を備えた光学系を製造することができる。

Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ１ａ 第１ａレンズ群
Ｇ１ｂ 第１ｂレンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｇ３ 第３レンズ群
Ｇ３ａ 第３ａレンズ群
Ｇ３ｂ 第３ｂレンズ群
Ｇ３ｃ 第３ｃレンズ群
ＦＬＧ 保護フィルタガラス
Ｓ 開口絞り
Ｉ 像面
１０１ 反射防止膜
１０１ａ 第１層
１０１ｂ 第２層
１０１ｃ 第３層
１０１ｄ 第４層
１０１ｅ 第５層
１０１ｆ 第６層
１０１ｇ 第７層
１０２ 光学部材

Claims (23)

1. 物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
   前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
   前記第２レンズ群が、２つの負レンズ成分を有し、
   前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行い、
   以下の条件式を満足し、
   ０．３０＜ｆ／ｆ１２＜０．５５
   ただし、
   ｆ：前記光学系の焦点距離
   ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離
   前記第１レンズ群が複数の正レンズを有し、
   前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された両凸形状の正レンズが以下の条件式を満足し、
   ８５＜νｄ１ｐｆ＜１１０
   ただし、
   νｄ１ｐｆ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
   前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
   前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
   以下の条件式を満足することを特徴とする光学系。
   ０．３０＜ＴＬ１ａ／ＴＬ１＜０．５０
   ただし、
   ＴＬ１ａ：前記第１ａレンズ群の光軸に沿った長さ
   ＴＬ１：前記第１レンズ群の光軸に沿った長さ
2. 物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群とを有し、
   前記第１レンズ群、前記第２レンズ群及び前記第３レンズ群における光学面のうちの少なくとも１面に反射防止膜が設けられており、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでおり、
   前記第２レンズ群を光軸に沿って移動させることで無限遠物体から近距離物体への合焦を行い、
   前記第２レンズ群が、少なくとも３枚のレンズを有し、
   以下の条件式を満足し、
   ０．３０＜ｆ／ｆ１２＜０．８５
   ただし、
   ｆ：前記光学系の焦点距離
   ｆ１２：無限遠物体合焦時の前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の合成焦点距離
   前記第１レンズ群が複数の正レンズを有し、
   前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された両凸形状の正レンズが以下の条件式を満足し、
   ８５＜νｄ１ｐｆ＜１１０
   ただし、
   νｄ１ｐｆ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズのうちで最も物体側に配置された前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
   前記第１レンズ群が、物体側から順に、第１ａレンズ群と、第１ｂレンズ群とから構成され、
   前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との空気間隔が、前記第１レンズ群中の空気間隔のうちで最大であり、
   以下の条件式を満足することを特徴とする光学系。
   ０．３０＜ＴＬ１ａ／ＴＬ１＜０．５０
   ただし、
   ＴＬ１ａ：前記第１ａレンズ群の光軸に沿った長さ
   ＴＬ１：前記第１レンズ群の光軸に沿った長さ
3. 前記第２レンズ群が以下の条件式を満足する少なくとも１枚の負レンズを有することを特徴とする請求項２に記載の光学系。
   １．４５＜ｎｄ２ｎ＜１．６５
   ただし、
   ｎｄ２ｎ：前記第２レンズ群中の前記負レンズの硝材のｄ線に対する屈折率
4. 前記反射防止膜は多層膜であり、
   前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうちの最も表面側の層であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光学系。
5. 前記ウェットプロセスを用いて形成された層のｄ線（波長λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄが１．３０以下であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光学系。
6. 前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、像面側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光学系。
7. 前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項６に記載の光学系。
8. 前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項６に記載の光学系。
9. 前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項６に記載の光学系。
10. 前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項６に記載の光学系。
11. 前記像面側から見て凹形状のレンズ面は、前記第３レンズ群内の物体側から４番目のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項６に記載の光学系。
12. 前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の光学系。
13. 前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項１２に記載の光学系。
14. 前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群内のレンズの像面側レンズ面であることを特徴とする請求項１２に記載の光学系。
15. 前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群内のレンズの物体側レンズ面であることを特徴とする請求項１２に記載の光学系。
16. 前記第２レンズ群が以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載の光学系。
    １５＜νｄ２ｐ＜３０
    ただし、
    νｄ２ｐ：前記第２レンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
17. 前記第１レンズ群が以下の条件式を満足する少なくとも１枚の正レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか一項に記載の光学系。
    ８０＜νｄ１ｐ＜１１０
    ただし、
    νｄ１ｐ：前記第１レンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
18. 前記第１レンズ群が以下の条件式を満足する少なくとも１枚の負レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項１７のいずれか一項に記載の光学系。
    １．５０＜ｎｄ１ｎ＜１．７５
    ただし、
    ｎｄ１ｎ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの硝材のｄ線に対する屈折率
19. 前記第３レンズ群の少なくとも一部が光軸と直交する方向の成分を含むように移動することを特徴とする請求項１から請求項１８のいずれか一項に記載の光学系。
20. 前記第３レンズ群が、物体側から順に、正の屈折力を有する第３ａレンズ群と、負の屈折力を有する第３ｂレンズ群と、正の屈折力を有する第３ｃレンズ群とから構成され、
    前記第３ｂレンズ群が光軸と直交する方向の成分を含むように移動することを特徴とする請求項１から請求項１９のいずれか一項に記載の光学系。
21. 前記第１レンズ群が、物体側から順に、負レンズと正レンズとの接合レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項２０のいずれか一項に記載の光学系。
22. 前記第１ｂレンズ群が、以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項１から請求項２１のいずれか一項に記載の光学系。
    ７０＜νｄ１ｂｐ＜１１０
    ただし、
    νｄ１ｂｐ：前記第１ｂレンズ群中の前記正レンズの硝材のｄ線に対するアッベ数
23. 請求項１から請求項２２のいずれか一項に記載の光学系を有することを特徴とする光学装置。

Images