JP2015050417A - ロードポート装置及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】重量やフットプリントを増加させることなく、ラッチエラーやドアクローズエラーの発生を抑制することができるロードポート装置を提供する。【解決手段】ウエハWを処理する基板処理装置10に設けられた挿抜用開口部41と対向するようにウエハを収容するMAC30がロードポート14に配置されたときに、MAC30の蓋32を開いて蓋32を保持する共に挿抜用開口部41を開くドア42を有するロードポート装置40において、ドア42が蓋32を保持したときにドア42において蓋32と接触する面の反対側の面に板ばね45,46を配置する。板ばね45,46により、ドア駆動装置44によりドア42に保持された蓋32をMAC30に装着する際に、蓋32がMAC30に収納されたウエハWから反力を受けたときに、MAC30において蓋32を装着するための開口面に対するドア42の蓋32と接触する面の傾きを補正する。【選択図】図3
Description
本発明は、基板を収容する容器と基板に対して所定の処理を施す基板処理装置との間での基板の搬送を可能にするロードポート装置と、このロードポート装置を備える基板処理装置に関する。
半導体ウエハに所定の処理を施す基板処理装置として、所定枚数の半導体ウエハを収容した容器(ポッド)を載置するロードポートを備えるものが知られている。このような基板処理装置では、半導体ウエハを処理する基板処理モジュールへ容器内の半導体ウエハを搬送するために、容器内の半導体ウエハは、ロードポートに隣接するローダーモジュールに配置されたウエハ搬送ロボットによって容器から搬出される。また、基板処理モジュールで処理された半導体ウエハは、同じウエハ搬送ロボットにより、ロードポートに載置された容器の内部に戻される。
一般的に、容器は、半導体ウエハを挿抜(搬入出)するための開口部に蓋が取り付けられた状態で、ローダーモジュールと対向するようにロードポートに載置される。ローダーモジュールのロードポート側の壁部(ローダーモジュールの外観を構成する箱状体の壁)において容器の蓋に対向する部分には、開口部と、この開口部を開閉するドアが設けられている。このドアがロードポートに載置された容器の蓋を保持してローダーモジュールの内部に退避することで容器の内部とローダーモジュールの内部とが連通し、これにより、ウエハ搬送ロボットによる容器に対する半導体ウエハの挿抜が可能になる。
ここで、ローダーモジュールのドアは、SEMIスタンダードE62で規定されるインタフェース規格であるFIMS(Front-opening Interface Mechanical Standard)に準拠した構成とされ、例えば、特許文献1には、FIMSシステムにおいて、容器の開口部を蓋によって閉塞する動作時に、蓋が適切に容器に固定されていることを検知する方法が提案されている。また、特許文献2には、半導体ウエハの大型化に起因して重量が増加したドアに対して、ドア駆動時に発生するモーメントに抗し得る構造を有するロードポート装置が提案されている。
近年、φ450mmの半導体ウエハを収容する容器としてはMAC(Multi Application Carrier)が用いられている。MACには、半導体ウエハを収納する本体部の開口面に蓋を固定するためのラッチ機構が設けられており、このラッチ機構を操作する操作機構がローダーモジュールに配置されたドアに設けられる。ここで、MACに半導体ウエハが収容されている状態で容器に蓋を装着するために、蓋を保持したドアのクローズ動作(ローダーモジュールに設けられた開口部をドアで閉塞する動作)を行う際に、容器の本体部と蓋との間にラッチエラーが発生し、或いは、ローダーモジュールの開口部が確実にドアにより閉塞されないドアクローズエラーが発生することが確認されている。
その原因としては、ドアクローズ動作時には蓋が半導体ウエハを押さえ付けるが、このときに半導体ウエハから蓋が受ける反力によってドアを保持している支柱が変形してしまい、ドアにおいて蓋と当接(密着)する面(以下「FIMS面」という)が傾いてしまうことで、容器の開口面に対して蓋が平行とならずに傾いてしまうことが考えられる。
ここで、上記特許文献1は、ウエハサイズの大型化に伴うドアの傾きと変位等を検知する技術を提案しているが、ラッチエラーやドアクローズエラーの発生を防止することについては言及していない。また、上記特許文献2は、ドアの大型化に伴って、剛性のある構造体を用いることを提案しているが、このような対応では、ローダーモジュールの重量増加やドアを駆動する駆動機構の大型化、フットプリントの増大等の問題が生じ、ひいては、ロードポート装置のコストアップという問題が生じる。
本発明の目的は、重量やフットプリントを増加させることなく、ラッチエラーやドアクローズエラーの発生を抑制することができるロードポート装置及び基板処理装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1記載のロードポート装置は、半導体ウエハを処理する基板処理装置に設けられた開口部と対向するように半導体ウエハを収容する容器が前記基板処理装置の外部に配置されたときに、前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開いて、前記基板処理装置の内部からの前記容器の内部に対する前記半導体ウエハの挿抜を可能とするロードポート装置であって、前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを備えることを特徴とする。
請求項2記載のロードポート装置は、請求項1記載のロードポート装置において、前記弾性体を介して前記ドアを片持ち状態で保持すると共に、前記ドア駆動装置に取り付けられて、前記ドア駆動装置の駆動にしたがって前記ドアを移動させる支柱を有し、前記弾性体は、前記支柱の長手方向に所定の間隔で配置される少なくとも2枚の板ばねであることを特徴とする。
請求項3記載のロードポート装置は、請求項2記載のロードポート装置において、前記少なくとも2枚の板ばねのばね定数は、前記支柱の先端側に配置される板ばねのばね定数が、前記支柱の前記ドア駆動装置側に配置される板ばねのばね定数よりも大きいことを特徴とする。
請求項4記載のロードポート装置は、請求項2又は3に記載のロードポート装置において、前記支柱の先端側に突起部が設けられ、前記少なくとも2枚の板ばねのうち、前記支柱の先端側に配置される板ばねに前記支柱の前記突起部が挿入される穴部が形成されており、前記突起部の外周面と前記穴部の内周面との間に隙間が形成されていることを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項5記載の基板処理装置は、半導体ウエハに所定の処理を施す基板処理ユニットを備える基板処理装置であって、前記基板処理ユニットで処理を施す半導体ウエハ及び前記基板処理ユニットで処理された半導体ウエハを収納する容器を載置するロードポートと、前記ロードポートに載置された容器と対向するように開口部が設けられ、前記開口部を通じて前記容器の内部に対する半導体ウエハの挿抜を行うウエハ搬送装置が配置されたローダーモジュールとを備え、前記ローダーモジュールは、前記ロードポートに前記容器が載置されたときに前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開くロードポート装置を有し、前記ロードポート装置は、前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記ローダーモジュールの基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを有することを特徴とする。
本発明では、ロードポート装置のドアに、ドアの傾きを補正する弾性体を設ける。半導体ウエハが収納された容器本体に蓋を装着する際に、蓋が半導体ウエハから受ける反力をドアに設けた弾性体により吸収することにより、蓋を保持したドアに傾きが生じることを抑制する。これにより、容器本体と蓋との間のラッチエラーの発生を防止して、確実に蓋を容器本体に装着することができ、また、ドアにより基板処理装置に設けられた開口部を確実に閉塞することができるようになり、ドアクローズエラーの発生を防止することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。ここでは、基板として直径が450mm(φ450mm)の半導体ウエハ(以下「ウエハ」という)を取り上げ、ウエハに対して所定の処理を施す基板処理装置を取り上げることとする。なお、ウエハに対して施す所定の処理としては、プラズマエッチング処理やプラズマアッシング処理、プラズマCVD成膜処理等の各種のプラズマ処理や、レジスト膜等の塗布・現像処理、ウエハに付着した異物等を除去する洗浄処理、成膜等のための熱処理、湿式(ウェット)エッチング処理等が挙げられる。
図1は、本発明の実施の形態に係る基板処理装置10の概略構成を示す斜視図であり、図2は、基板処理装置10の概略構成を示す平面図である。基板処理装置10に対して、図1及び図2に示すように、3次元のXYZ直交座標系を定めるものとする。X方向は、水平方向且つ基板処理装置10の長さ方向であり、Y方向は、水平方向且つ基板処理装置10の幅方向であり、Z方向は、鉛直方向である。
基板処理装置10は、ウエハWに所定の処理を施すウエハ処理モジュール11と、X方向においてウエハ処理モジュール11と対向するように所定の間隔で配置されたローダーモジュール13と、ウエハ処理モジュール11とローダーモジュール13との間に配置されたウエハ中継モジュール12と、X方向においてローダーモジュール13を挟んでウエハ中継モジュール12の反対側に配置されたロードポート14とを備える。
例えば、ウエハ処理モジュール11には、ウエハWに対して所定の処理を施す複数の不図示のプロセスモジュールと、複数のプロセスモジュールとウエハ中継モジュール12との間でウエハWを搬送する不図示のウエハ搬送ロボットが配置されている。なお、ウエハ処理モジュール11が、真空雰囲気でウエハWに対して処理を施すためのものである場合には、ウエハ処理モジュール11の内部全体が所定の真空度に保持され、ウエハ中継モジュール12は、真空雰囲気と大気雰囲気との切り替えを行うことができる構成とされる。
ウエハ中継モジュール12は、ローダーモジュール13からウエハ処理モジュール11へ搬送されるウエハWやウエハ処理モジュール11からローダーモジュール13へ戻されるウエハWを一時的に載置するための不図示のウエハ載置台(載置テーブル)を備える。ウエハ処理モジュール11に配置されたウエハ搬送装置とローダーモジュール13に配置された後述のウエハ搬送装置20とが、ウエハ中継モジュール12に配置されたウエハ載置台に対してアクセス可能となっている。
ローダーモジュール13は、直方体状の大気搬送室として構成されている。ローダーモジュール13の内部には、図2に示すように、ウエハWを搬送するウエハ搬送装置20が配置されている。ウエハ搬送装置20は、不図示のガイドレールと、スカラアームタイプの搬送アーム20aとを有する。搬送アーム20aは、ガイドレールに沿って移動自在であり、また、旋回自在かつ伸縮自在に構成されている。搬送アーム20aの先端にはウエハWを載置して保持するフォーク20bが取り付けられている。ウエハ搬送装置20は、ウエハ中継モジュール12とロードポート14に載置された後述のMAC30との間でウエハWを搬送する。なお、ウエハ搬送装置20は、上述の移動タイプではなく、固定タイプであって、搬送アーム20aに代えて、図示のものではなく、多関節ロングリーチタイプの搬送アームを備えるものを用いることもできる。
3つのロードポート14のそれぞれに、複数(例えば25枚)のウエハWを収容する容器であるMAC30が載置される。MAC30に対するウエハWの挿抜に関する詳細については後述する。基板処理装置10は、コンピュータからなる制御装置15を有し、制御装置15は、基板処理装置10全体の動作制御を行う。
図3(a),(b)は、図2中に示す矢視A−Aの概略断面図である。ローダーモジュール13は、以下に説明するドア42、支柱43及びドア駆動装置44からなるロードポート装置40を備える。図3(c)は、ドア42と支柱43の概略構造を示す斜視図である。
MAC30は、ウエハWを挿抜するための開口部31と、開口部31を閉塞する蓋32とを備える。蓋32が装着される開口部31の開口面は、鉛直方向と平行(つまりX方向と直交する面(Y−Z面))である。
MAC30は、蓋32がローダーモジュール13のロードポート14側の壁部13aと対向するようにロードポート14に載置される。MAC30の蓋32は、MAC30の本体部30aに装着された状態では、図3(a)に示されるように、例えばφ450mmのウエハ用SEMIスタンダードに従う不図示の回転式ラッチ方式のラッチ機構によって、本体部30aに保持されている。
ローダーモジュール13のロードポート14側の壁部13aにおいてロードポート14に載置されたMAC30の蓋32と対向する部分には、MAC30の内部とローダーモジュール13の内部とを連通させて、MAC30に対するウエハWの挿抜を可能ならしめるための挿抜用開口部41が設けられている。そして、挿抜用開口部41は、ドア42により開閉自在となっている。
ドア42の外側の面(後述するFIMS面)には、MAC30の蓋32のラッチ機構を操作する不図示の操作機構が設けられている。MAC30がロードポート14に載置されると、MAC30の蓋32がドア42の外側の面に当接(接触)する。こうして、ドア42に設けられた操作機構による、MAC30の蓋32のラッチ機構の解除が可能になる。ドア42に設けられた操作機構は、ラッチ機構が解除された蓋32を保持する保持機能を備える。したがって、ドア42は、操作機構により蓋32のラッチ機構を解除すると同時に、蓋32を保持する。
ドア42は、板ばね45,46を介して支柱43に保持されている。なお、板ばね45,46の機能については後述する。ドア駆動装置44は、支柱43を駆動することにより、ドア42を図3(a)中に示す矢印B1方向、C1方向に移動させることができ、これにより、蓋32を保持したドア42を、図3(a)の閉塞位置から図3(b)の退避位置へと移動させることができる。逆に、ドア駆動装置44は、ドア42を図3(b)中に示す矢印C2方向、B2方向に移動させることができ、これにより、蓋32を保持したドア42を、図3(b)の退避位置から図3(a)の閉塞位置へと移動させることができる。図3(b)の状態にあるときに、ローダーモジュール13に配置されたウエハ搬送装置20は、MAC30に対するウエハWの挿抜を行うことができる。
MAC30をロードポート14に載置したとき、ローダーモジュール13の壁部13aに設けられた挿抜用開口部41を閉塞しているドア42の外側の面は鉛直方向と平行であり、MAC30の蓋32も鉛直方向と平行であるため、ドア42に設けられた操作機構による蓋32に設けられたラッチ機構の解除は、通常、問題なく行うことができる。
一方、ロードポート14に載置されたMAC30をロードポート14から別の基板処理装置等へ移動させる際には、蓋32を保持したドア42を図3(b)の退避位置から図3(a)の閉塞位置へ移動させ、蓋32をMAC30の開口部31に挿入して、ラッチ機構により蓋32をMAC30の本体部30aに確実に取り付ける(固定する)必要がある。
蓋32をMAC30の開口部31に挿入しようとすると、蓋32はMAC30の内部に収納されているウエハWに当接してウエハWから反力を受ける。この反力により蓋32とドア42は、ローダーモジュール13側へ押圧されるが、蓋32をMAC30の開口部31に装着するためには、この反力に抗して、ラッチ機構により蓋32が本体部30aに固定可能な位置まで押し込む必要がある。
ここで、蓋32と同等の蓋が支柱43と同等の支柱に直接に支持されている構造(板ばね45,46が無い構造)を考える。ドアは支柱に片持ち状態で保持されているため、ウエハWから受ける反力によって、支柱は、ドア駆動装置44に支持されたボトム側を支点として、先端側がローダーモジュール13側に移動するように変形(変位)するおそれがある。これにより、ドアは、上側(図3(a)中の点P1側に相当する位置)が、下側(図3(a)中の点P2側に相当する位置)よりもMAC30から遠ざかるように傾くおそれがある。つまり、ドアにおいて蓋32と当接(密着)している面であるFIMS面が、MAC30の開口部31の開口面(X方向と直交する面)と平行ではなく、傾いた状態になるおそれがあり、こうしてドアのFIMS面が傾くと、蓋32もドアと同じように、MAC30の開口部31の開口面に対して傾いた状態となる。
このような支柱の変形によって、蓋32がMAC30の開口部31の開口面に対して傾いてしまうと、ラッチ機構が係合せずにラッチエラーが発生する可能性が高くなる。また、蓋32を開口部31に正常に装着させることができないときには、ドアクローズエラー(ドアをローダーモジュールの壁部に形成された開口部に対して正確な位置に保持することができないエラー)が発生してしまう可能性が高くなる。
この問題に対処する方法として、ドアを支持する支柱を太くする等して剛性を高め、ウエハWからの反力に負けない強固な構成とする方法が考えられる。しかし、このような方法では、支柱の重量増によって、ドア駆動装置にはドアを動かすための大きなトルクや機械的構造が必要になり、ドア駆動装置の大型化、ローダーモジュールのフットプリントの拡大、コストアップ等の問題が生じる。
そこで、本発明では、ドア42のFIMS面に簡易な構成で自由度を持たせることにより、蓋32をMAC30の開口部31に装着する際に、蓋32を介してウエハWから反力を受けたドア42のFIMS面を、MAC30の開口部31の開口面と平行になるように(X方向と直交するように)、ドア42の姿勢を補正する。
図3(c)は、板ばね45,46の形状とドア42と支柱43との連結状態を示す斜視図である。図3(a)〜(c)に示されるように、ドア42には、支柱43の長手方向である鉛直方向(Z方向)に、Y方向を長手方向とする2枚の板ばね45,46が並べて(略平行に)取り付けられており、ドア42は板ばね45,46を介して支柱43に保持された構造となっている。
このような構造とすることで、以下に説明する通りに、ドア42のFIMS面の傾きを補正して、蓋32を確実にMAC30の開口部31に装着し、ラッチ機構を正常に動作させることができる。
即ち、蓋32をMAC30の開口部31に取り付けるためのドアクローズ動作(ドア42で挿抜用開口部41を閉塞させる動作)では、ドア42に保持された蓋32がMAC30の開口部31へ嵌め込まれると共に、ドア42が壁部13aの挿抜用開口部41を閉塞するように、ドア駆動装置44が駆動される。このとき、蓋32がMAC30の内部に収納されたウエハWに当接してウエハWから反力を受けることで、支柱43がボトム側を支点としてその先端側がローダーモジュール13側に移動するように変形しても、板ばね45,46が変位することでウエハWからの反力が吸収され、ドア42のFIMS面をMAC30の開口部31の開口面と平行な状態に維持することができる。
こうして、ドア42に傾きが生じることを防止することで、ドア42に保持された蓋32に傾きが生じることを防止することができるため、ウエハWからの反力に抗して、蓋32を確実に開口部31へ押し込むことができる。よって、ドア42の操作機構を動作させたときに、蓋32のラッチ機構をMAC30の本体部30aと係合させることができるようになり、ラッチエラーの発生を防止することができ、また、ドアクローズエラーの発生をも防止することができる。
MAC30の開口部31に蓋32を装着する際に、蓋32がMAC30の内部に収納されたウエハWから反力を受けたとき、ドア42のFIMS面が鉛直方向と平行になるように補正することができる限りにおいて、板ばね45,46のばね定数は同じであっても構わず、また、大きさ(形状)にも制限はない。一方、蓋32がウエハWから反力を受けたときの支柱43の変形の形態を考慮すれば、板ばね45として、板ばね46よりもばね定数の大きいものを用いるようにしてもよい。つまり、支柱43のボトム側に配置される板ばね46がウエハWの反力を吸収して縮むようにすることで、変形した支柱43をMAC30側にスライドさせる(図3(b)の矢印B2方向へ移動させる)ことで、ドア42のFIMS面をX方向と直交する状態に維持したまま、蓋32をMAC30の開口部31へと押し込むことができる。
更に、ここでは、2枚の板ばね45,46をドア42と支柱43との間に介在させたが、3枚以上の板ばねをZ方向に並べて配置することで、より細かくドア42のFIMS面の補正を行うことができるようにしてもよく、これに対して、1枚の板ばねであってもドア42のFIMS面の補正が可能な場合には、1枚の板ばねをドア42と支柱43との間に配置した構造としてもよい。
次に、支柱43がドア42を保持する形態の変形例について説明する。図4は、ドア42の別の保持形態を示す上面図及び背面図である。ドア42は、板ばね51と、板ばね46(図3に示す板ばね46と同等)を介して、支柱52に保持されている。
板ばね51の下面(Z方向下側)には、支柱52に設けられたピン部52aが挿入される穴部51aが設けられており、板ばね51は、穴部51aにピン部52aが挿入された状態で支柱52に保持されている。穴部51aの内周面とピン部52aの外周面との間には、若干の隙間(クリアランス)が設けられており、この隙間は、ドア42に保持された蓋32をMAC30の開口部31に装着する際に、蓋32がMAC30の内部に収容されたウエハWから反力を受けた際の反力を吸収してドア42の傾きを補正し、ドア42のFIMS面を鉛直方向と平行に維持する機能を有する。
そのため、蓋32がMAC30の内部に収容されたウエハWから反力を受けた際の反力によって支柱52が変形したときの変形量がこのクリアランスによって吸収可能な程度であれば、板ばね51に代えて、弾性を有さない板材を用いても構わない。
以上、本発明の実施の形態について、本発明に係るロードポート装置40を備えた基板処理装置10を例に説明を行ったが、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記の実施の形態では、平行に配置された2枚の板ばね45,46を用いて蓋32がウエハWから受ける反力を吸収することで、ドア42のFIMS面の傾きを補正したが、板ばね45,46に代えて、同等の機能を有する弾性体(例えば、板状のフレームとコイルばねからなるもの)を用いて、ドア42のFIMS面の傾きを補正するようにしてもよい。また、平行に配置された2枚の板ばね45,46の機能をX字型の1枚の板ばねに変形させることも可能である。
また、上記の実施形態では、基板処理装置10は、ウエハ処理モジュール11、ウエハ中継モジュール12、ローダーモジュール13及びロードポート14を備えるとしたが、ウエハ中継モジュール12を備えずに、ローダーモジュール13に配置されたウエハ搬送装置20が、ウエハ処理モジュール11に配置されたプロセスモジュールに対するウエハWの搬入出をも行う構成となっていてもよい。また、上記の実施の形態では、ウエハWを収容する容器としてMAC30を取り上げたが、容器は、φ450mmのウエハWを収容するFOUP(Front-Opening Unified Pod)であっても構わない。また、φ300mmのウエハWを収納するFOUPの蓋の着脱を行うロードポート装置にも、本発明の適用が可能である。
10 基板処理装置
13 ローダーモジュール
30 MAC(容器)
31 開口部
32 蓋
40 ロードポート装置
41 挿抜用開口部
42 ドア
43 支柱
44 ドア駆動装置
45,46,51 板ばね
51a 穴部
52a ピン部
13 ローダーモジュール
30 MAC(容器)
31 開口部
32 蓋
40 ロードポート装置
41 挿抜用開口部
42 ドア
43 支柱
44 ドア駆動装置
45,46,51 板ばね
51a 穴部
52a ピン部
Claims (5)
- 半導体ウエハを処理する基板処理装置に設けられた開口部と対向するように半導体ウエハを収容する容器が前記基板処理装置の外部に配置されたときに、前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開いて、前記基板処理装置の内部からの前記容器の内部に対する前記半導体ウエハの挿抜を可能とするロードポート装置であって、
前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、
前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを備えることを特徴とするロードポート装置。 - 前記弾性体を介して前記ドアを片持ち状態で保持すると共に、前記ドア駆動装置に取り付けられて、前記ドア駆動装置の駆動にしたがって前記ドアを移動させる支柱を有し、
前記弾性体は、前記支柱の長手方向に所定の間隔で配置される少なくとも2枚の板ばねであることを特徴とする請求項1記載のロードポート装置。 - 前記少なくとも2枚の板ばねのばね定数は、前記支柱の先端側に配置される板ばねのばね定数が、前記支柱の前記ドア駆動装置側に配置される板ばねのばね定数よりも大きいことを特徴とする請求項2記載のロードポート装置。
- 前記支柱の先端側に突起部が設けられ、
前記少なくとも2枚の板ばねのうち、前記支柱の先端側に配置される板ばねに前記支柱の前記突起部が挿入される穴部が形成されており、
前記突起部の外周面と前記穴部の内周面との間に隙間が形成されていることを特徴とする請求項2又は3に記載のロードポート装置。 - 半導体ウエハに所定の処理を施す基板処理ユニットを備える基板処理装置であって、
前記基板処理ユニットで処理を施す半導体ウエハ及び前記基板処理ユニットで処理された半導体ウエハを収納する容器を載置するロードポートと、
前記ロードポートに載置された容器と対向するように開口部が設けられ、前記開口部を通じて前記容器の内部に対する半導体ウエハの挿抜を行うウエハ搬送装置が配置されたローダーモジュールとを備え、
前記ローダーモジュールは、前記ロードポートに前記容器が載置されたときに前記容器の蓋を開くと共に前記開口部を開くロードポート装置を有し、
前記ロードポート装置は、
前記容器の蓋の前記容器への着脱と前記蓋の保持が可能であり、前記ローダーモジュールの基板処理装置の内部側から前記開口部の開閉を行うドアと、
前記ドアに前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動装置と、
前記ドアが前記蓋を保持したときに前記ドアにおいて前記蓋と接触する面の反対側の面に配置され、前記ドア駆動装置により前記ドアに保持された前記蓋を前記容器に装着する際に前記蓋が前記容器に収納された半導体ウエハから反力を受けたときに、前記容器において前記蓋が装着される開口面に対する前記ドアの前記蓋と接触する面の傾きを補正する弾性体とを有することを特徴とする基板処理装置。
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