CN111916381B - 一种晶圆放料盒取料辅助机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板，所述安装水平板的顶面的左部顶面固定有连接板，连接板的顶面的前部和后部均固定有侧固定板，两个侧固定板的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽，晶圆放置在对应的两个放置凹槽中。本发明可以自动将晶圆往外推送，方便抓取机构直接抓取而不会触碰其他晶圆，使得其取料时具有一定误差时，也不会触碰其他晶圆，保证加工效果。

Description

一种晶圆放料盒取料辅助机构
技术领域
本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆放料盒取料辅助机构。
背景技术
现有的晶圆在加工时其一般需要放置在储料架上进行放置，然后，通过抓取机构抓取，而由于上下放置的晶圆间距比较小，其抓取的机构抓取时其高低调节精度要非常高，否者容易在抓取时触碰其余晶圆，然而当其内部具有损伤或其他问题时，其抓取精度无法达到要求时就会产生触碰，影响生产。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆放料盒取料辅助机构，它可以自动将晶圆往外推送，方便抓取机构直接抓取而不会触碰其他晶圆，使得其取料时具有一定误差时，也不会触碰其他晶圆，保证加工效果。
本发明的技术解决措施如下：
一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板，所述安装水平板的顶面的左部顶面固定有连接板，连接板的顶面的前部和后部均固定有侧固定板，两个侧固定板的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽，晶圆放置在对应的两个放置凹槽中；
所述安装水平板的右侧顶面固定有竖直支撑架，竖直支撑架的竖直主板的左侧壁上固定有直线电机，直线电机的滑移块上固定有支撑架，支撑架的底板的中部顶面上固定有中间支撑板，中间支撑板的右侧壁上固定有第一推动气缸，第一推动气缸的推杆穿过中间支撑板并固定有推动板，推动板的底面固定有水平固定板，水平固定板的左端顶面固定有左竖直板，左竖直板的右侧壁上固定有第二推动气缸，第二推动气缸的推杆穿过左竖直板的左侧壁并固定有第二推动板，第二推动板的左侧壁上固定有延伸固定板，延伸固定板的顶面固定有抓取吸附块，抓取吸附块的左端向左伸出延伸固定板的左端，抓取吸附块对着两个侧固定板之间的右侧处。
所述支撑架的底板的顶面固定有导轨，水平固定板的底面固定有导向滑块，导轨插套在导向滑块的底面成型有的滑槽中。
所述第二推动板的右侧壁上固定有导向杆，导向杆插套在左竖直板上具有的导向通孔中。
所述竖直支撑架的前部和后部均设有导向柱，支撑架的底板的中部底面固定有导向支撑块，导向柱插套在导向支撑块上具有的竖直导向通孔中。
所述竖直导向通孔的内侧壁上固定有导向套，导向柱插套在导向套中。
所述竖直支撑架包括固定底板和固定顶板，竖直主板的顶端固定在固定顶板的右部底面上，竖直主板的底端固定在固定底板的右部顶面上，两个导向柱固定在固定底板的前部和后部的顶面上，导向柱的顶面固定在固定顶板的底面上。
本发明的有益效果在于：其可以自动将晶圆往外推送，方便抓取机构直接抓取而不会触碰其他晶圆，使得其取料时具有一定误差时，也不会触碰其他晶圆，保证加工效果。
附图说明
图1为本发明的局部剖视图；
图2为图1的局部放大图；
图3为两个侧固定板处的局部剖视图。
具体实施方式
实施例：见图1至3所示，一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板10，所述安装水平板10的顶面的左部顶面固定有连接板11，连接板11的顶面的前部和后部均固定有侧固定板12，两个侧固定板12的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽13，晶圆100放置在对应的两个放置凹槽13中；两个侧固定板12的右端成型有相对延伸的弧形部；
所述安装水平板10的右侧顶面固定有竖直支撑架20，竖直支撑架20的竖直主板的左侧壁上固定有直线电机21，直线电机21的滑移块22上固定有支撑架30，支撑架30的底板的中部顶面上固定有中间支撑板31，中间支撑板31的右侧壁上固定有第一推动气缸32，第一推动气缸32的推杆穿过中间支撑板31并固定有推动板33，推动板33的底面固定有水平固定板34，水平固定板34的左端顶面固定有左竖直板35，左竖直板35的右侧壁上固定有第二推动气缸36，第二推动气缸36的推杆穿过左竖直板35的左侧壁并固定有第二推动板37，第二推动板37的左侧壁上固定有延伸固定板38，延伸固定板38的顶面固定有抓取吸附块39，抓取吸附块39的左端向左伸出延伸固定板38的左端，抓取吸附块40对着两个侧固定板12之间的右侧处。
进一步的说，所述支撑架30的底板的顶面固定有导轨1，水平固定板34的底面固定有导向滑块341，导轨1插套在导向滑块341的底面成型有的滑槽中。
进一步的说，所述第二推动板37的右侧壁上固定有导向杆371，导向杆371插套在左竖直板35上具有的导向通孔中。
进一步的说，所述竖直支撑架20的前部和后部均设有导向柱2，支撑架30的底板的中部底面固定有导向支撑块3，导向柱2插套在导向支撑块3上具有的竖直导向通孔4中。
进一步的说，所述竖直导向通孔4的内侧壁上固定有导向套5，导向柱2插套在导向套5中。
进一步的说，所述竖直支撑架20包括固定底板23和固定顶板24，竖直主板的顶端固定在固定顶板24的右部底面上，竖直主板的底端固定在固定底板23的右部顶面上，两个导向柱2固定在固定底板23的前部和后部的顶面上，导向柱2的顶面固定在固定顶板24的底面上。
本实施例中，其在使用时，晶圆100放置在对应的两个放置凹槽13中，然后，使用时，通过直线电机21的滑移块22升降移动，使得抓取吸附块39处于需要抓取的晶圆100的右部的下方，然后，通过第一推动气缸32的推杆推动，将抓取吸附块39移动至晶圆100的下方，然后，通过直线电机21的滑移块22移动，将抓取吸附块39的吸盘与晶圆100的底面接触并吸附，完成抓取，然后，再通过第二推动气缸36的推杆推动，使得晶圆100向左移动，使得其左部伸出两个侧固定板12，方便左侧的抓取机构抓取，非常方便。
其中，直线电机21和抓取吸附块39的气动***等均为常用结构，不再详述。

Claims (6)

1.一种晶圆放料盒取料辅助机构，包括安装水平板(10)，其特征在于：所述安装水平板(10)的顶面的左部顶面固定有连接板(11)，连接板(11)的顶面的前部和后部均固定有侧固定板(12)，两个侧固定板(12)的内侧壁上成型有前后对应的放置凹槽(13)，晶圆(100)放置在对应的两个放置凹槽(13)中；
所述安装水平板(10)的右侧顶面固定有竖直支撑架(20)，竖直支撑架(20)的竖直主板的左侧壁上固定有直线电机(21)，直线电机(21)的滑移块(22)上固定有支撑架(30)，支撑架(30)的底板的中部顶面上固定有中间支撑板(31)，中间支撑板(31)的右侧壁上固定有第一推动气缸(32)，第一推动气缸(32)的推杆穿过中间支撑板(31)并固定有推动板(33)，推动板(33)的底面固定有水平固定板(34)，水平固定板(34)的左端顶面固定有左竖直板(35)，左竖直板(35)的右侧壁上固定有第二推动气缸(36)，第二推动气缸(36)的推杆穿过左竖直板(35)的左侧壁并固定有第二推动板(37)，第二推动板(37)的左侧壁上固定有延伸固定板(38)，延伸固定板(38)的顶面固定有抓取吸附块(39)，抓取吸附块(39)的左端向左伸出延伸固定板(38)的左端，抓取吸附块(40)对着两个侧固定板(12)之间的右侧处。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述支撑架(30)的底板的顶面固定有导轨(1)，水平固定板(34)的底面固定有导向滑块(341)，导轨(1)插套在导向滑块(341)的底面成型有的滑槽中。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述第二推动板(37)的右侧壁上固定有导向杆(371)，导向杆(371)插套在左竖直板(35)上具有的导向通孔中。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述竖直支撑架(20)的前部和后部均设有导向柱(2)，支撑架(30)的底板的中部底面固定有导向支撑块(3)，导向柱(2)插套在导向支撑块(3)上具有的竖直导向通孔(4)中。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述竖直导向通孔(4)的内侧壁上固定有导向套(5)，导向柱(2)插套在导向套(5)中。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆放料盒取料辅助机构，其特征在于：所述竖直支撑架(20)包括固定底板(23)和固定顶板(24)，竖直主板的顶端固定在固定顶板(24)的右部底面上，竖直主板的底端固定在固定底板(23)的右部顶面上，两个导向柱(2)固定在固定底板(23)的前部和后部的顶面上，导向柱(2)的顶面固定在固定顶板(24)的底面上。
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