JP6354358B2 - メタルマスクの搬送治具およびメタルマスクの検査方法 - Google Patents
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 115
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 115
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title description 9
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 2
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 26
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、数十μmの厚さの金属板をエッチング加工によって製造したメタルマスクを、直接的に手で持たずに搬送可能とするメタルマスク搬送治具に保持してから搬送を行なった。実施例で使用した治具とメタルマスクについて説明する。
以下、実施例1〜3で本発明のメタルマスク搬送治具について更に詳細に説明する。
<実施例1>
図1に示す様に、メタルマスク1は、メタルマスクの1面当たりの有効サイズは、横40mm、縦70mmとし、厚み25μmのインバー合金材を用いて、エッチングによりスリット部を形成した。スリット部は、スリットの方向は横方向に伸びる向きに配置して、幅40μm、ピッチ120μmのスリット備え、1つのメタルマスクに4箇所のスリット部を配置した。
また、このメタルマスクの長手方向(ストライプ方向)の両端部の製品部の外側に、長手方向に直交する方向の製品の両側端部の延長線上で、長手方向の製品端部から5mmの位置を中心として、直径5mmの孔を2つ形成し、それを位置決めピン9を差し込むための孔8とした。
本発明のメタルマスク搬送治具のハンドル11を以下の様にして作製した。角アルミフレーム3本を用いて、コの字型になる様に連結してグリップ12とした。そのグリップ12の両端のそれぞれに、スライド機構16として市販の1軸ラックピニオンステージを取り付け、市販の1軸ラックピニオンステージの反対側に、マグネチックベースを取り付けた。本発明ではスライド機構として1軸ラックピニオンステージを使用したが、アリ溝、送りネジ方式のいずれの方式でもよく、水平に定量的な送り動作ができる機構であれば、限定せずに使用することができる。また、ハンドル側脱着部21は電磁石を用いた機構とした。
厚さ3.0mmのSUS304の板を凸形状に矩形に切り出しプレート10とした(図2)。次に、メタルマスクに設けた穴8の位置に合わせて、金属製の円柱状のピンをプレート10上に固定した。さらに、着磁性を有するステンレス製の板をプレート10としてメタルマスク1と重ならない位置に、市販の金属用接着剤を塗布して接着し、さらにプレート10にビス止め(図示しない)してプレート側脱着部22とした。
検査に使用するメタルマスク1の両端にプレート10を取り付ける作業を以下の手順で行なった。 搬送には自動搬送ロボットを使用した。ロボットアームの先端に装着した吸盤にてメタルマスク1を吸着把持し、予め決められた位置に配置したプレート10の場所に搬送し、位置決めピン9に、メタルマスク1の孔8が嵌まる様に位置合わせした後、メタルマスク1をプレート10上に載置した。
検査装置は、反射光照明を用いて、その反射光をラインセンサーカメラで撮像し、そこで得られた画像データを所定の画像処理した後、予め設定された検出ルールにより判定して、メタルマスクの非スリット部の折れ、曲がり、凹み、傷の検出および、スリット部のパターンの破断や変形の検査を行った。
メタルマスクの搬送治具および搬送方法の別の実施形態として、ハンドル側脱着部21が電磁石を使用する代わりに、真空を用いる吸盤と吸盤の内部の圧力を大気圧に戻すための弁を備えること以外は、実施例1と同様の搬送治具とし、この搬送治具に固定したメタルマスク1を図示しない検査装置に搬送し、検査を行った。
メタルマスクの搬送治具および搬送方法の別の実施形態として、ハンドル側脱着部21が電磁石を使用する代わりに、ハンドル側脱着部21とプレート側脱着部22を水平に貫通する孔を形成しておき、その間を貫く金属製の閂(かんぬき)を使用して、ハンドル側脱着部21とプレート側脱着部22を連結し固定すること以外は、実施例1と同様の搬送治具とし、この搬送治具に固定したメタルマスク1を図示しない検査装置に搬送し、検査を行った。
2・・・スリット部
8・・・孔
9・・・位置決めピン
10・・・プレート
11・・・ハンドル
12・・・グリップ
16・・・スライド機構
16a・・・グリップ側スライド機構
16b・・・プレート側スライド機構
21・・・ハンドル側脱着部
22・・・プレート側脱着部
50・・・試料ホルダー
60・・・画像処理・判定・制御装置
61・・・撮像装置
62・・・照明装置
Claims (5)
- メタルマスクを架張し表面検査に適した状態で搬送するため、
前記メタルマスクを保持するための位置決めピンを備えたプレートと、
前記プレートを脱着する脱着機構と前記メタルマスクを架張するため前記脱着機構を水平に移動するスライド機構を有するハンドルと、
を備え、前記ハンドルが検査時に前記プレートから離脱することを特徴とするメタルマスクの搬送治具。 - 前記脱着機構が、磁力をON/OFF制御できる手段であり、且つ前記プレートが着磁性材料であることを特徴とする請求項1に記載のメタルマスクの搬送治具。
- 前記脱着機構が、吸盤を使用したことを特徴とする請求項1に記載のメタルマスクの搬送治具。
- 前記脱着機構が、閂(かんぬき)を使用したことを特徴とする請求項1に記載のメタルマスクの搬送治具。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のメタルマスクの搬送治具を使用して、前記メタルマスクを保持したプレートを、前記ハンドルに装着した後、前記スライド機構をスライドさせることで架張し、前記メタルマスクの表面検査に適した状態とした後、検査装置まで搬送して、前記メタルマスクを保持したプレートを前記検査装置の試料ホルダーにセットし、前記ハンドルを離脱した後、前記検査装置にて検査動作を行うことを特徴とするメタルマスクの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014120352A JP6354358B2 (ja) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | メタルマスクの搬送治具およびメタルマスクの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014120352A JP6354358B2 (ja) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | メタルマスクの搬送治具およびメタルマスクの検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016000840A JP2016000840A (ja) | 2016-01-07 |
JP6354358B2 true JP6354358B2 (ja) | 2018-07-11 |
Family
ID=55076576
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014120352A Active JP6354358B2 (ja) | 2014-06-11 | 2014-06-11 | メタルマスクの搬送治具およびメタルマスクの検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6354358B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107849682B (zh) | 2016-04-14 | 2019-04-19 | 凸版印刷株式会社 | 蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法及蒸镀掩模的制造方法 |
JP6319505B1 (ja) | 2017-09-08 | 2018-05-09 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法および表示装置の製造方法 |
JP6299921B1 (ja) | 2017-10-13 | 2018-03-28 | 凸版印刷株式会社 | 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法 |
CN111903188B (zh) * | 2018-03-26 | 2023-07-04 | 夏普株式会社 | 测量装置及测量方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2545974Y2 (ja) * | 1992-05-27 | 1997-08-27 | 日本無線株式会社 | クリーム半田印刷用版枠 |
JP5310982B2 (ja) * | 2007-11-26 | 2013-10-09 | 凸版印刷株式会社 | メタルマスク用保持具 |
JP2013206570A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Sinto S-Precision Ltd | メタルマスク取付方法 |
-
2014
- 2014-06-11 JP JP2014120352A patent/JP6354358B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016000840A (ja) | 2016-01-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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