JP6617416B2 - メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置 - Google Patents
メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6617416B2 JP6617416B2 JP2015040004A JP2015040004A JP6617416B2 JP 6617416 B2 JP6617416 B2 JP 6617416B2 JP 2015040004 A JP2015040004 A JP 2015040004A JP 2015040004 A JP2015040004 A JP 2015040004A JP 6617416 B2 JP6617416 B2 JP 6617416B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal mask
- mask sheet
- frame
- tension
- handling jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
して矢印Aの方向に張力が加えられる。これにより、メタルマスクシート3は、歪みや弛みのない平坦に張った状態に保たれる。
本発明の第一の実施の形態について説明する。
以下、図面を参照して本発明のメタルマスクシートハンドリング治具を実施するための形態を検査のためのパレットへの貼付け工程に受け渡す場合を例として説明する。
次に、本発明の第二の実施の形態について説明する。
第一の実施の形態における張架手段は、図1におけるX方向にのみ張力を加えるため、すべてのしわの発生を抑制できていなかった。
図5は本発明の第二の実施の形態におけるメタルマスクシートハンドリング治具30´の概略構成を示す図であり、図5(a)は平面図、図5(b)は側面図である。
また、前記一対のベースプレート38´は、前記吸着手段31´aによりメタルマスクシートを保持した状態で、ベースプレートの一方または、両方がフレーム枠に沿って、移動させる架張することが可能なメタルマスクシートのハンドリング治具であり、さらにフレーム枠40´にメタルマスクシート20´上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段32´−1、32´−2、32´−3と図示しない張力測定手段を備えたメタルマスクシートのハンドリング治具である。
´−1〜32´−3で撮像されたアライメントマークの撮像位置(座標)によってメタルマスクシート20´の回転ずれ量を算出する図示しない回転ずれ量算出部と、算出結果に基づいてメタルマスクシートハンドリング治具の回転ずれを補正する図示しない回転補正部で構成されている。
メタルマスクシートハンドリング治具30´がメタルマスクシート20´に達すると、XYステージ37に設置した吸着手段31´bがメタルマスクシート20の端部21´aと21´bを吸着する(図7(b))。この時、その他の吸着手段31´aは吸着を行わない。
2a・・・有機ELメタルマスクの蒸着マスク用シート
3・・・メタルマスクシート
3a・・・メタルマスクシート端部
4・・・メタルマスクフレーム
4a・・・メタルマスクフレームの側面
6・・・外部張力装置
8・・・挟持部
10・・・張力部
12・・・固定部材
14・・・プレート
16・・・台車部
18・・・当接部
20、20´・・・メタルマスクシート
20b−1、20b−2、20b−3、20´b−1、20´b−2、20´b−3・・・アライメントマーク
21a、21b、21´a、21´b・・・メタルマスクシートの対向する2つの端部
30、30´・・・メタルマスクシートハンドリング治具
31a、31b、31´a、31´b・・・吸着手段
32−1、32−2、32−3、32´−1、32´−2、32´−3・・・撮像手段
32a−1、32b−1、32c−1、32´a−1、32´b−1、32´c−1・・・アライメントマークの撮像画像
32a−2、32b−2、32c−2、32´a−2、32´b−2、32´c−2・・・アライメントマークの撮像画像
33、33´・・・治具把持部
34、34´・・・張架手段
34a、34´a・・・ボールネジ
34b、34´b・・・モーター
34c、34´c・・・すべりネジ
36、36´、36´´、36´´´・・・吸着手段の移動方向
36a、36b、36´a、36´b・・・ブラケット
37・・・XYステージ
38、38´・・・ベースプレート
39・・・治具把持部
40、40´・・・フレーム枠
41、41´・・・メタルマスクシートハンドリング治具の下降方向
42、42´・・・載せ台
43、43´・・・メタルマスクシートハンドリング治具の上昇方向
50・・・メタルマスクシートの搬送装置
51・・・台車部
52、52´・・・支柱部
53・・・支柱伸縮機構
54・・・昇降・回転機構
55・・・治具受け部
60・・・メタルマスク製造関連装置(検査装置など)
Claims (2)
- 有機発光ダイオードを蒸着でパターン状に成膜するため金属薄板から前記パターンとする部分の金属を除去した矩形のメタルマスクシートを張力の掛かった状態で保持して、工程内で搬送するため、
フレーム枠と、
メタルマスクシートの所定の位置を吸着して保持する様に配置した吸着手段と、
前記メタルマスクシートに張力を掛ける一対のベースプレートと、
前記吸着手段がメタルマスクシートを保持した状態で、前記ベースプレートの一方または、両方が前記フレーム枠に沿って、移動させる架張手段と、
を有し、
前記フレーム枠に前記メタルマスクシート上に設けたアライメントマークを読取る撮像手段を備えるメタルマスクシートハンドリング治具であって、
前記ハンドリング治具の吸着手段のうち、メタルマスクの四隅にあたる位置の吸着手段が前記ベースプレート平面に対して個別にスライド移動するためXYステージを介して取り付けられていることを特徴とするメタルマスクシートハンドリング治具。 - 請求項1に記載のメタルマスクシートハンドリング治具でメタルマスクシートを吸着し、張力を掛けた状態で、前記メタルマスクシートハンドリング治具を移動する手段を備えたメタルマスクシートの搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015040004A JP6617416B2 (ja) | 2014-04-02 | 2015-03-02 | メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014076019 | 2014-04-02 | ||
JP2014076019 | 2014-04-02 | ||
JP2015040004A JP6617416B2 (ja) | 2014-04-02 | 2015-03-02 | メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015199607A JP2015199607A (ja) | 2015-11-12 |
JP6617416B2 true JP6617416B2 (ja) | 2019-12-11 |
Family
ID=54551267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015040004A Active JP6617416B2 (ja) | 2014-04-02 | 2015-03-02 | メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6617416B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6857522B2 (ja) | 2017-03-17 | 2021-04-14 | 株式会社日本製鋼所 | 成膜方法および電子装置の製造方法並びにマスク保持体 |
CN109972086B (zh) * | 2019-03-14 | 2021-12-28 | 昆山国显光电有限公司 | 用于掩膜板的辅助配件及掩膜板组件 |
CN115537717B (zh) * | 2021-06-30 | 2024-06-11 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 金属掩模的张网装置及其方法、张网设备 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006269385A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Dainippon Printing Co Ltd | ガラススケール及びそれを用いたメタルマスク位置アラインメント方法及び装置 |
JP2006330684A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-12-07 | Kyocera Corp | マスク洗浄装置、マスク洗浄方法、蒸着膜の形成方法、elディスプレイの製造装置、及びelディスプレイの製造方法 |
JP2008056393A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Toppan Printing Co Ltd | シート状基材供給装置 |
KR20080106130A (ko) * | 2007-05-30 | 2008-12-04 | 제일모직주식회사 | 유기 광전 소자 및 이에 사용되는 재료 |
US20090311427A1 (en) * | 2008-06-13 | 2009-12-17 | Advantech Global, Ltd | Mask Dimensional Adjustment and Positioning System and Method |
JP2011228377A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Panasonic Corp | 部品実装方法 |
JP2013239613A (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | アライメント装置、アライメント方法、及び保持装置 |
-
2015
- 2015-03-02 JP JP2015040004A patent/JP6617416B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015199607A (ja) | 2015-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6611389B2 (ja) | アライメント装置、アライメント方法、成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 | |
JP6919145B2 (ja) | マスク製造装置及びマスク製造方法 | |
JP6351918B2 (ja) | 基板載置方法、成膜方法、電子デバイスの製造方法 | |
JP6448067B2 (ja) | 基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 | |
JP4624236B2 (ja) | 真空蒸着用アライメント装置 | |
JP2014011231A (ja) | ハンダボール印刷搭載装置 | |
JP6617416B2 (ja) | メタルマスクシートハンドリング治具およびメタルマスクシートの搬送装置 | |
JP2012094770A (ja) | 検査装置および基板の位置決め方法 | |
KR102605917B1 (ko) | 스크라이빙 장치 | |
JP4614807B2 (ja) | 容器溝へのガラス板の挿入方法および装置 | |
KR101318178B1 (ko) | 편광판 부착장치 | |
KR20190124558A (ko) | 무한 트랙 모듈 및 이를 갖는 장치 | |
US20190352113A1 (en) | Transport device | |
JP6322527B2 (ja) | 印刷装置、印刷方法および該印刷装置で用いる担持体 | |
KR102215123B1 (ko) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 | |
JP5878821B2 (ja) | パターン形成装置 | |
JPWO2013141388A1 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP5977044B2 (ja) | 印刷装置および印刷方法 | |
JP2010106297A (ja) | マスクアライメント装置 | |
JP5806454B2 (ja) | オフコンタクト印刷方法、オフコンタクト印刷方法を用いた印刷装置及びオフコンタクト印刷方法を用いたボール搭載装置 | |
JP5894466B2 (ja) | パターン形成方法およびパターン形成装置 | |
JP5773940B2 (ja) | パターン形成装置およびパターン形成方法 | |
JP5826087B2 (ja) | 転写方法および転写装置 | |
KR101297379B1 (ko) | 편광판 부착장치 | |
JP6961444B2 (ja) | 印刷装置および印刷方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180221 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190625 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190820 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191015 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6617416 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |