JP5412400B2 - 透過方式測定のための軸外シート取扱装置および技術 - Google Patents
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Description
光源と、
撮像装置と、
光源と撮像装置の間に配置された透明シート支持構造と、
を備え、
支持構造は、支持構造により誘起される測定誤差が第一の軸に沿って、またはこれと平行に延在するものとして撮像装置から見えるように透明シートを支持するように構成、配置され、第一の軸は、撮像装置から見たときに、透明シートのプロセス誘起特徴がそれに沿って、またはそれに平行に延在する第二の軸に対して斜めである。
透明シートを、光源と撮像装置の間に配置された支持構造の上に設置するステップと、
支持構造により誘起される測定誤差が第一の軸に沿って、またはこれに平行に延在するものとして撮像装置から見えるように透明シートを支持し、第一の軸は、撮像装置から見たときに、透明シートのプロセス誘起特徴がそれに沿って、またはそれに平行に延在する第二の軸に対して斜めであるようなステップと、
透明シートの第一の区画の第一の画像を撮影するステップと、
透明シートを移動させて、透明シートの第一の区画の第二の画像を撮影するステップと、
第一と第二の画像を合成して、透明シートの第一の区画のプロセス誘起特徴の画像を形成するステップと、
を含む。
30 支持手段
40 バー
70 輸送装置
80 撮像装置
Claims (7)
- 光源と、
撮像装置と、
前記光源と前記撮像装置の間に配置された透明シート支持構造と、
を備える、透明シートのプロセス誘起特徴を測定するための装置であって、
前記支持構造は、前記支持構造により誘起される測定誤差が第一の軸に沿って、またはこれと平行に延在するものとして前記撮像装置から見えるように、前記透明シートを支持するように構成、配置され、前記第一の軸は、前記撮像装置から見たときに、前記透明シートの前記プロセス誘起特徴がそれに沿って、またはそれに平行に延在する第二の軸に対して斜めであることを特徴とする装置。 - 前記支持構造は、前記第二の軸に対して斜めの軸に沿って延びるバーを備えることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 透明シートのプロセス誘起特徴を測定する方法であって、
透明シートを、光源と撮像装置の間に配置された支持構造の上に設置するステップと、
前記透明シートを、前記支持構造により誘起される測定誤差が第一の軸に沿って、またはこれに平行に延在するものとして前記撮像装置から見えるように支持し、前記第一の軸は、前記撮像装置から見たときに、前記透明シートの前記プロセス誘起特徴がそれに沿って、またはそれに平行に延在するような第二の軸に対して斜めであるようなステップと、
前記透明シートの第一の区画の第一の画像を撮影するステップと、
前記透明シートを移動させて、前記透明シートの前記第一の区画の第二の画像を撮影するステップと、
前記第一と第二の画像を合成して、前記透明シートの前記第一の区画の前記プロセス誘起特徴の画像を形成するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第一と第二の画像を撮影する前記ステップ中ではなく、前記移動ステップ中に前記透明シートを輸送装置と接触させるステップをさらに含むことを特徴とする、請求項3に記載の方法。
- 前記第一と第二の画像を撮影する前記ステップの前に前記透明シートを平らにするステップと、前記第一と第二の画像を撮影する前記ステップ中に前記透明シートを平らな状態に保持するステップをさらに含むことを特徴とする、請求項3または請求項4に記載の方法。
- 前記透明シートは、前記第二の軸に平行または垂直な方向に移動されることを特徴とする、請求項3から請求項5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記プロセス誘起特徴は応力を含むことを特徴とする、請求項3から請求項6のいずれか一項に記載の方法。
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