JP6335473B2 - 弾性表面波デバイス及びフィルタ - Google Patents
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Description
12 反射器
14 保護膜
16 金属膜
18、18a 付加膜
20 IDT
22 櫛型電極
24 電極指
26 ダミー電極指
28 バスバー
30、30a 隙間
38 間隔
Claims (8)
- 圧電基板上に設けられ、それぞれ複数の電極指と複数のダミー電極指と前記複数の電極指および前記複数のダミー電極指が接続されるバスバーとを含み、互いの前記電極指と前記ダミー電極指とが向かい合って配置された1組の櫛形電極と、
前記1組の櫛形電極のうちの一方の櫛形電極の前記電極指の先端と他方の櫛形電極の前記ダミー電極指の先端との間の隙間の少なくとも一部を覆い、前記複数の電極指が並んだ第1方向に延在して設けられた帯状の付加膜と、を備え、
前記付加膜は、前記1組の櫛形電極で励振される弾性波の波長をλとした場合に、前記電極指が延在する第2方向で前記隙間の両側に位置する前記電極指の先端および前記ダミー電極指の先端から0.4λ以下の範囲内で前記電極指及び前記ダミー電極指の少なくとも一方を覆って帯状に延在し、前記0.4λ以下の範囲よりも前記隙間とは反対側には設けられていないことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記付加膜は、前記0.4λ以下の範囲内で前記電極指および前記ダミー電極指の両方を覆って帯状に延在していることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記付加膜は、前記第2方向で前記隙間の両側に位置する前記電極指の先端および前記ダミー電極指の先端の一方と間隔を有して帯状に延在していることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 圧電基板上に設けられ、それぞれ複数の電極指と前記複数の電極指が接続されるバスバーとを含み、互いの前記電極指と前記バスバーとが向かい合って配置された1組の櫛形電極と、
前記1組の櫛形電極のうちの一方の櫛形電極の前記電極指の先端と他方の櫛形電極の前記バスバーの前記電極指の先端に相対する端との間の隙間の少なくとも一部を覆い、前記複数の電極指が並んだ第1方向に延在して設けられた帯状の付加膜と、を備え、
前記付加膜は、前記1組の櫛形電極で励振される弾性波の波長をλとした場合に、前記電極指が延在する第2方向で前記隙間の両側に位置する前記電極指の先端および前記バスバーの前記端から0.4λ以下の範囲内で前記電極指および前記バスバーの少なくとも一方を覆って帯状に延在し、前記0.4λ以下の範囲よりも前記隙間とは反対側には設けられていないことを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記付加膜は、前記0.4λ以下の範囲内で前記電極指および前記バスバーの両方を覆って帯状に延在していることを特徴とする請求項4記載の弾性表面波デバイス。
- 前記付加膜は、前記第2方向で前記隙間の両側に位置する前記電極指の先端および前記バスバーの前記端の一方と間隔を有して帯状に延在していることを特徴とする請求項4記載の弾性表面波デバイス。
- 前記1組の櫛形電極を覆う保護膜を備え、
前記付加膜は、前記保護膜上に設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。 - 前記付加膜は、酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸化シリコン、窒化シリコン、窒化アルミニウム、炭化シリコン、酸化チタン、シリコン、及びダイヤモンドのいずれかを含む膜又は金属膜からなることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
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