JP6632481B2 - 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Description
異方性係数γが正のときを考える。このとき、交叉領域15における異方性係数γが小さくなり0に近づくと、弾性波のY方向成分が生じにくくなる。γが0となると弾性波のY方向成分は0となる。よって、横モードスプリアスは消失する。このように、γを小さくすると横モードスプリアスを抑制できる。発明者らは、異方性係数γとX方向に伝搬する弾性波のグレーティング電極における反射率に着目し、横モードスプリアスを抑制することを考えた。
比較例2はグレーティング電極による弾性波の反射を小さくする例である。図3(b)に示すように、比較例2では、隣接する電極指14bの間に、電極指14aが2本設けられている。隣接する電極指14aの間に電極指14bが2本設けられている。これをダブル電極という。このように、電極指14aと14bが2本おきに配列されている。最も隣接する電極指14a(または14b)のピッチPgはλ/4である。このとき弾性波の反射はブラッグ条件を満たす。ブラッグ条件では、X方向に伝搬する弾性波50が隣接する電極指14bで反射した弾性波50cおよび50dはほぼ逆位相となる。これにより、グレーティング電極16による弾性波の反射率は小さくなる(理想的には0となる)。
作製した1ポート共振器の構造は以下である。
圧電基板10:回転42°YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板
金属膜12:膜厚Tgが0.11λのモリブデン(Mo)膜
ピッチP=λ:4.4μm
交叉幅:20λ
対数:100対
反射器電極指数:10本
ピッチPは同じ櫛型電極の電極指のピッチを示す。交叉幅は、交叉領域15のY方向の幅(電極指14が交叉する幅)を示す。対数は、グレーティング電極16における電極指14の対数である。反射器電極指数は、反射器22の電極指の数を示す。
Z=V×ρ=√(ρ×E)
ここで、E[Pa]はヤング率、ρ[kg/m3]は密度およびV[kg/(m2・s)]は音速である。
このように音響インピーダンスは、ヤング率Eと密度ρの積の平方根となる。
12 金属膜
14a、14b 電極指
15 交叉領域
16 グレーティング電極
17 ギャップ領域
18a、18b バスバー
20a、20b 櫛型電極
21 IDT
22 反射器
30 金属追加膜
32、36 絶縁膜
34 空間
44 送信フィルタ
46 受信フィルタ
Claims (6)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、互いに同電位の複数の第1電極指と前記複数の第1電極指の電位と異なり互いに同電位の複数の第2電極指とを含み、少なくとも一対の隣接する第1電極指の間に2本のみの第2電極指が設けられ、少なくとも一対の隣接する第2電極指の間に2本のみの第1電極指が設けられ、前記複数の第1電極指および前記複数の第2電極指が励振する弾性波の波長をλとし、前記2本のみの第1電極指の中心同士の間隔をPg1としたとき、λ/8<Pg1<λ/4またはλ/4<Pg1<3×λ/8であり、前記2本のみの第2電極指の中心同士の間隔をPg2としたとき、λ/8<Pg2<λ/4またはλ/4<Pg2<3×λ/8であるグレーティング電極と、
を具備し、
前記2本のみの第2電極指の配列方向における前記2本のみの第2電極指の各々の幅は互いに同じであり、
前記複数の第1電極指と前記複数の第2電極指とが交叉する交叉領域における異方性係数は正である弾性波共振器。 - 3×λ/16<Pg1<λ/4であり、かつ3×λ/16<Pg2<λ/4である請求項1記載の弾性波共振器。
- λ/4<Pg1<5×λ/16であり、かつλ/4<Pg2<5×λ/16である請求項1記載の弾性波共振器。
- 前記2本のみの第1電極指の配列方向における前記2本のみの第1電極指の各々の幅は互いに同じである請求項1から3のいずれか一項記載の弾性波共振器。
- 請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波共振器を含むフィルタ。
- 請求項5記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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