JP6331300B2 - テーブル装置、及び搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、テーブル装置、及び搬送装置に関する。

搬送装置において、例えば特許文献１、特許文献２、及び特許文献３に開示されているような、移動可能なテーブルを備えるテーブル装置が使用される。

特開平０５−１３８４８４号公報 特開平０５−２８５７７２号公報 特開平０５−２５９２６３号公報

テーブル装置において、テーブルの位置決め精度が低く、テーブルが目標位置に配置されないと、そのテーブル装置を備える搬送装置の性能が低くなる可能性がある。例えば、水平面内におけるテーブルの位置決め精度が低いと、テーブルに支持されている物体が目標位置に搬送されない可能性がある。

本発明は、位置決め精度の不足を抑制できるテーブル装置及び搬送装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための本発明のテーブル装置は、テーブルと、前記テーブルと一緒に所定面内の第１軸と平行な方向に移動可能な第１可動部材と、前記テーブルと一緒に前記第１軸と直交する前記所定面内の第２軸と平行な方向に移動可能な第２可動部材と、前記テーブル、前記第１可動部材、及び前記第２可動部材を移動可能に支持するベース部材と、前記第１軸と平行な方向に前記第１可動部材を移動する第１駆動装置と、前記第２軸と平行な方向に前記第２可動部材を移動する第２駆動装置と、前記第２可動部材に配置された第１ガイドレール、及び前記テーブルに配置され前記第１ガイドレールを移動可能な第１リニアベアリングを有し、前記第１軸と平行な方向に前記テーブルをガイドする第１ガイド装置と、前記ベース部材に配置された第２ガイドレール、及び前記第２可動部材に配置され前記第２ガイドレールを移動可能な第２リニアベアリングを有し、前記第２軸と平行な方向に前記第２可動部材をガイドする第２ガイド装置と、前記第２可動部材において前記第１ガイドレールと平行に配置された第３ガイドレールと、前記第１軸と平行な方向に前記テーブルと一緒に前記第３ガイドレールを移動可能な第３リニアベアリングを含む第３可動部材と、前記第１可動部材と前記テーブルとの間に配置され、前記第１駆動装置よりも高い分解能で前記第１軸と平行な方向に前記テーブルを移動可能な第１微動アクチュエータと、前記第３可動部材と前記テーブルとの間に配置され、前記第２駆動装置よりも高い分解能で前記第２軸と平行な方向に前記テーブルを移動可能な第２微動アクチュエータと、を備える。

従って、テーブルは、第１駆動装置の作動により第１可動部材と一緒に第１軸と平行な方向に移動し、第２駆動装置の作動により第２可動部材と一緒に第２軸と平行な方向に移動する。また、テーブルは、第１ガイド装置により第１軸と平行な方向にガイドされ、第２ガイド装置により第２可動部材と一緒に第２軸と平行な方向にガイドされる。また、テーブルは、第１微動アクチュエータにより第１軸と平行な方向に関する位置を精密に調整され、第２微動アクチュエータにより第２軸と平行な方向に関する位置を精密に調整される。第１微動アクチュエータは、第１可動部材とテーブルとの間に配置される。第１可動部材は、第１軸と平行な方向にテーブルと一緒に移動する。そのため、第１駆動装置の作動による第１軸と平行な方向に関するテーブルの移動範囲において、第１微動アクチュエータは、第１軸と平行な方向に関するテーブルの位置を調整し続けることができる。第２微動アクチュエータは、第３可動部材とテーブルとの間に配置される。第３可動部材は、第１軸と平行な方向にテーブルと一緒に移動する。そのため、第１駆動装置の作動による第１軸と平行な方向に関するテーブルの移動範囲において、第２微動アクチュエータは、第２軸と平行な方向に関するテーブルの位置を調整し続けることができる。したがって、テーブルの位置決め精度の不足が抑制される。

本発明のテーブル装置は、前記第２軸と平行な方向に関する相対移動を許容し、前記第１軸と平行な方向に関する相対移動を規制するように前記第１微動アクチュエータと前記テーブルとを連結する第１連結部材と、前記第１軸と平行な方向に関する相対移動を許容し、前記第２軸と平行な方向に関する相対移動を規制するように前記第２微動アクチュエータと前記テーブルとを連結する第２連結部材と、を備える。

従って、テーブルを第２軸と平行な方向に移動させるように第２微動アクチュエータが作動しても、第１連結部材により、第２軸と平行な方向に関する力（せん断力）が第１微動アクチュエータに作用することが抑制される。また、テーブルを第１軸と平行な方向に移動させるように第１微動アクチュエータが作動しても、第２連結部材により、第１軸と平行な方向に関する力（せん断力）が第２微動アクチュエータに作用することが抑制される。また、第１連結部材は、第１軸と平行な方向に関する第１微動アクチュエータとテーブルとの相対移動を規制するため、第１軸と平行な方向に関する第１微動アクチュエータの駆動力がテーブルに円滑に作用する。また、第２連結部材は、第２軸と平行な方向に関する第２微動アクチュエータとテーブルとの相対移動を規制するため、第２軸と平行な方向に関する第２微動アクチュエータの駆動力がテーブルに円滑に作用する。

本発明のテーブル装置は、前記第１微動アクチュエータが前記第２軸と平行な方向に関して少なくとも２つ配置され、前記第２微動アクチュエータが前記第１軸と平行な方向に関して少なくとも２つ配置され、前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータそれぞれの作動量を調整して、前記所定面と直交する第３軸まわりの回転方向に関する前記テーブルの位置を調整する。

従って、所定面内における第１軸と平行な方向及び第２軸と平行な方向のみならず、回転方向に関するテーブルの位置が第１微動アクチュエータ及び第２微動アクチュエータによって精密に調整される。

本発明のテーブル装置は、前記テーブルに配置された計測ミラーに計測装置からの計測光が照射されることにより前記所定面内における前記テーブルの位置が計測され、前記計測ミラーに対する計測光の照射位置に基づいて、前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータそれぞれの作動量を調整する。

従って、例えば、第１軸と平行な方向に関するテーブルの位置を計測するための計測光が計測装置から計測ミラーに照射されるとき、計測装置の計測結果に基づくテーブルの位置調整が精密に行われるように、計測ミラーに対する計測光の照射位置に基づいて、第１微動アクチュエータ及び第２微動アクチュエータそれぞれの作動量が調整されてもよい。また、例えば、第２軸と平行な方向に関するテーブルの位置を計測するための計測光が計測装置から計測ミラーに照射されるとき、計測装置の計測結果に基づくテーブルの位置調整が精密に行われるように、計測ミラーに対する計測光の照射位置に基づいて、第１微動アクチュエータ及び第２微動アクチュエータそれぞれの作動量が調整されてもよい。

本発明のテーブル装置は、前記第３リニアベアリングは、転がり軸受を含む。

従って、転がり軸受を含む第３リニアベアリングによって、第３可動部材は円滑に第１軸と平行な方向に移動する。

上記の目的を達成するための本発明の半導体製造装置は、上記のテーブル装置を備える。

従って、半導体製造装置は、目標位置に配置された物体を処理できるので、その物体から不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。なお、半導体製造装置は、例えば露光装置を含み、半導体デバイスの製造工程の少なくとも一部において使用される。

上記の目的を達成するための本発明のフラットパネルディスプレイ製造装置は、上記のテーブル装置を備える。

従って、フラットパネルディスプレイ製造装置は、目標位置に配置された物体を処理できるので、その物体から不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。なお、フラットパネルディスプレイ製造装置は、例えば露光装置を含み、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

上記の目的を達成するための本発明の三次元測定装置は、上記のテーブル装置を備える。

従って、三次元測定装置は、目標位置に配置された物体を測定できるので、その物体の測定を精密に行うことができる。

上記の目的を達成するための本発明の工作機械は、上記のテーブル装置を備える。

従って、工作機械は、目標位置に配置された物体を加工できるので、その物体の加工を精密に行うことができる。

本発明のテーブル装置及び搬送装置によれば、位置決め精度の不足が抑制される。

図１は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図２は、第２実施形態に係るテーブル装置の一例を示す図である。 図３は、第２実施形態に係るテーブル装置の一例を示す図である。 図４は、第３実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図５は、第３実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側面図である。 図６は、第３実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側面図である。 図７は、図４のｍ−ｍ線矢視図である。 図８は、図７のｐ−ｐ線矢視図である。 図９は、第３実施形態に係るテーブルの近傍を示す平面図である。 図１０は、図９のｒ−ｒ線矢視図である。 図１１は、第４実施形態に係るテーブル装置の一例を示す図である。 図１２は、第４実施形態に係るテーブル装置の一例を示す図である。 図１３は、第４実施形態に係るテーブル装置の一例を示す図である。 図１４は、第４実施形態に係るテーブル装置の一例を示す図である。 図１５は、本実施形態に係る搬送装置及び半導体製造装置の一例を示す図である。 図１６は、本実施形態に係る搬送装置及び検査装置の一例を示す図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。Ｘ軸は、ＹＺ平面と直交する。Ｙ軸は、ＸＺ平面と直交する。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。ＸＹ平面は、Ｘ軸及びＹ軸を含む。ＸＺ平面は、Ｘ軸及びＺ軸を含む。ＹＺ平面は、Ｙ軸及びＺ軸を含む。ＸＹ平面は、水平面と平行である。

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡの一例を示す平面図である。図１において、テーブル装置ＴＡは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能なテーブル４と、テーブル４と一緒にＸ軸方向に移動可能な可動部材１と、テーブル４と一緒にＹ軸方向に移動可能な可動部材２と、テーブル４、可動部材１、及び可動部材２を移動可能に支持するベース部材３と、を備えている。可動部材１は、ベース部材３上においてＸ軸方向に移動可能であり、可動部材２は、ベース部材３上においてＹ軸方向に移動可能であり、テーブル４は、ベース部材３上においてＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能である。

また、テーブル装置ＴＡは、少なくとも一部が可動部材１と連結され、Ｘ軸方向に可動部材１を移動する駆動装置５と、少なくとも一部が可動部材２と連結され、Ｙ軸方向に可動部材２を移動する駆動装置６とを備えている。テーブル４の少なくとも一部は、可動部材１と連結される。テーブル４は、可動部材１と一緒にＸ軸方向に移動可能である。テーブル４は、可動部材２と一緒にＹ軸方向に移動可能である。

また、テーブル装置ＴＡは、Ｘ軸方向にテーブル４をガイドするガイド装置７と、Ｙ軸方向に可動部材２をガイドするガイド装置８と、Ｘ軸方向に可動部材１をガイドするガイド装置９と、を備えている。ガイド装置７は、可動部材２の上面に配置されたガイドレール７１と、テーブル４の下面に配置され、ガイドレール７１を移動可能なリニアベアリング７２とを有する。ガイド装置８は、ベース部材３の上面に配置されたガイドレール８１と、可動部材２の下面に配置され、ガイドレール８１を移動可能なリニアベアリングとを有する。ガイド装置９は、可動部材２の上面に配置されたガイドレール９１と、可動部材１の下面に配置され、ガイドレール９１を移動可能なリニアベアリング９２とを有する。

リニアベアリング７２は、テーブル４と一緒にＸ軸方向に移動可能である。リニアベアリング９２は、テーブル４及び可動部材１と一緒にＸ軸方向に移動可能である。可動部材２の上面においてガイドレール７１とガイドレール９１とは平行に配置される。

また、テーブル装置ＴＡは、可動部材１とテーブル４との間に配置され、駆動装置５よりも高い分解能でＸ軸方向にテーブル４を移動可能な微動アクチュエータ１１と、可動部材１とテーブル４との間に配置され、駆動装置６よりも高い分解能でＹ軸方向にテーブル４を移動可能な微動アクチュエータ１２とを備えている。

また、テーブル装置ＴＡは、可動部材１とテーブル４との間に配置される弾性部材１０を備えている。

テーブル４は、物体を支持して移動可能である。テーブル４は、物体を支持可能な上面（支持面）を有する。テーブル４は、ベース部材３の上方においてＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能である。本実施形態において、可動部材２の上にテーブル４が配置される。テーブル４は、可動部材２上においてＸ軸方向に移動可能である。テーブル４は、ベース部材３及び可動部材２の上方でＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動する。

可動部材１は、ベース部材３及び可動部材２の上方でＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動する。可動部材１は、テーブル４と一緒にＸ軸方向に移動可能である。可動部材１は、可動部材２上においてＸ軸方向に移動可能である。

可動部材２は、ベース部材３上においてＹ軸方向に移動可能である。可動部材２は、テーブル４と一緒にＹ軸方向に移動可能である。可動部材２は、テーブル４及び可動部材１を移動可能に支持する。

ベース部材３は、例えばテーブル装置ＴＡが設置される施設（工場など）の支持面（床面など）に配置される。ベース部材３は、可動部材２を移動可能に支持する。本実施形態において、可動部材２の下にベース部材３が配置される。可動部材２は、ベース部材３の上方において、ベース部材３に対してＹ軸方向に移動可能である。テーブル４及び可動部材１の下に可動部材２が配置される。テーブル４及び可動部材１は、ベース部材３の上方において、ベース部材３に対してＸ軸方向に移動可能である。

本実施形態においては、可動部材２がＹ軸方向に移動することにより、その可動部材２に支持されている可動部材１及びテーブル４が可動部材２と一緒にＹ軸方向に移動する。テーブル４は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能な、所謂、ＸＹテーブル（２軸テーブル、２次元テーブル）である。

駆動装置６は、可動部材２をＹ軸方向に移動する。駆動装置６は、サーボモータ（回転モータ）を含む粗動アクチュエータ６１と、動力伝達装置６２とを有する。粗動アクチュエータ６１は、供給される電力により作動する。粗動アクチュエータ６１と可動部材２とは動力伝達装置６２を介して接続される。粗動アクチュエータ６１の動力（駆動力）は、動力伝達装置６２を介して、可動部材２に伝達される。

動力伝達装置６２は、粗動アクチュエータ６１の回転運動を直線運動に変換する。粗動アクチュエータ６１（回転モータ）のシャフトは、θＹ方向に回転する。動力伝達装置６２は、θＹ方向の回転運動を、Ｙ軸方向の直線運動に変換して、可動部材２に伝達する。可動部材２は、動力伝達装置６２を介して伝達される粗動アクチュエータ６１の動力（駆動力）によりＹ軸方向に移動する。

本実施形態において、動力伝達装置６２は、ボールねじ６２１と、カップリング６２２と、可動部材２の過度な移動を規制する規制部材６２３と、を含む。ボールねじ６２１は、粗動アクチュエータ６１の作動により回転するねじ軸と、可動部材２に接続（連結）され、ねじ軸の周囲に配置されるナットと、ねじ軸とナットとの間に配置されるボールとを含む。ボールねじ６２１のねじ軸は、支持軸受６２４により回転可能に支持される。ボールねじ６２１のねじ軸は、θＹ方向に回転する。ボールねじ６２１のねじ軸がθＹ方向に回転することにより、ナット及びそのナットに接続（連結）されている可動部材２がＹ軸方向に移動（直線移動）する。粗動アクチュエータ６１がボールねじ６２１のねじ軸を一方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、可動部材２が＋Ｙ方向に移動する。粗動アクチュエータ６１がボールねじ６２１のねじ軸を逆方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、可動部材２が−Ｙ方向に移動する。

駆動装置５は、可動部材１をＸ軸方向に移動する。駆動装置５は、サーボモータ（回転モータ）を含む粗動アクチュエータ５１と、動力伝達装置５２とを有する。粗動アクチュエータ５１は、供給される電力により作動する。粗動アクチュエータ５１と可動部材１とは動力伝達装置５２を介して接続される。粗動アクチュエータ５１の動力（駆動力）は、動力伝達装置５２を介して、可動部材１に伝達される。

動力伝達装置５２は、粗動アクチュエータ５１の回転運動を直線運動に変換する。粗動アクチュエータ５１（回転モータ）のシャフトは、θＸ方向に回転する。動力伝達装置５２は、θＸ方向の回転運動を、Ｘ軸方向の直線運動に変換して、可動部材１に伝達する。可動部材１は、動力伝達装置５２を介して伝達される粗動アクチュエータ５１の動力（駆動力）によりＸ軸方向に移動する。

本実施形態において、動力伝達装置５２は、ボールねじ５２１と、カップリング５２２と、可動部材１の過度な移動を規制する規制部材５２３と、を含む。ボールねじ５２１は、粗動アクチュエータ５１の作動により回転するねじ軸と、可動部材１に接続（連結）され、ねじ軸の周囲に配置されるナットと、ねじ軸とナットとの間に配置されるボールとを含む。ボールねじ５２１のねじ軸は、支持軸受５２４により回転可能に支持される。ボールねじ５２１のねじ軸は、θＸ方向に回転する。ボールねじ５２１のねじ軸がθＸ方向に回転することにより、ナット及びそのナットに接続（連結）されている可動部材１がＸ軸方向に移動（直線移動）する。粗動アクチュエータ５１がボールねじ５２１のねじ軸をθＸ方向に関して第１の方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、可動部材１が＋Ｘ方向に移動する。粗動アクチュエータ５１がボールねじ５２１のねじ軸をθＸ方向に関して第１の方向の逆方向である第２の方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、可動部材１が−Ｘ方向に移動する。

テーブル４は、微動アクチュエータ１１、微動アクチュエータ１２、及び弾性部材１０などを介して、可動部材１と連結される。駆動装置５により可動部材１がＸ軸方向に移動することにより、テーブル４は可動部材１と一緒にＸ軸方向に移動する。規制部材５２３は、テーブル４及び可動部材１の過度な移動を規制する。

テーブル４は、ガイド装置７などを介して、可動部材２と連結される。可動部材１は、リニアベアリング９２及びガイドレール９１などを介して、可動部材２と連結される。駆動装置６により可動部材２がＹ軸方向に移動することにより、テーブル４及び可動部材１は、可動部材２と一緒にＹ軸方向に移動する。規制部材６２３は、テーブル４、可動部材１、及び可動部材２の過度な移動を規制する。

ガイド装置８は、Ｙ軸方向に可動部材２が移動するように可動部材２をガイドする。ガイド装置８は、ベース部材３の上面に配置されたガイドレール８１と、可動部材２の下面に配置され、ガイドレール８１を移動可能なリニアベアリングとを有する。ガイドレール８１は、Ｙ軸方向に長い。ガイドレール８１は、Ｘ軸方向に２つ（２本）配置される。ガイドレール８１は、ベース部材３の上面の中心に対して＋Ｘ側及び−Ｘ側のそれぞれに配置される。

ガイド装置８は、直動型（リニア型）のベアリングを含む。本実施形態において、ガイド装置８のリニアベアリングは、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、ガイド装置８のリニアベアリングは、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置８のリニアベアリングは、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

ガイド装置７は、Ｘ軸方向にテーブル４が移動するようにテーブル４をガイドする。ガイド装置７は、可動部材２の上面に配置されたガイドレール７１と、テーブル４の下面に配置され、ガイドレール７１を移動可能なリニアベアリング７２とを有する。ガイドレール７１は、Ｘ軸方向に長い。ガイドレール７１は、Ｙ軸方向に２つ（２本）配置される。ガイドレール７１は、可動部材２の上面の中心に対して＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれに配置される。

ガイド装置７は、直動型（リニア型）のベアリングを含む。本実施形態において、ガイド装置７のリニアベアリング７２は、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、ガイド装置７のリニアベアリング７２は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置７のリニアベアリング７２は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

ガイドレール９１は、可動部材２の上面に配置される。ガイドレール９１は、Ｘ軸方向に長い。ガイドレール９１は、Ｙ軸方向に２つ（２本）配置される。可動部材２の上面において、ガイドレール９１は、ガイドレール７１と平行に配置される。ガイドレール９１は、可動部材２の上面の中心に対して＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれに配置される。ガイドレール７１は、可動部材２の上面の中心に対してガイドレール９１の外側に配置される。リニアベアリング９２は、ガイドレール９１を移動可能であり、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、リニアベアリング９２は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、リニアベアリング９２は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

リニアベアリング９２は、可動部材１の下面に接続される。すなわち、本実施形態において、リニアベアリング９２は、Ｘ軸方向に可動部材１が移動するように可動部材１をガイドする。なお、可動部材１とリニアベアリング９２とが一体（単一の部材）でもよい。

ガイド装置７は、Ｘ軸方向に関するテーブル４の移動を許容し、Ｙ軸方向に関するテーブル４の移動を規制する。ガイド装置８は、Ｙ軸方向に関する可動部材２の移動を許容し、Ｘ軸方向に関する可動部材２の移動を規制する。ガイドレール９１及びリニアベアリング９２は、Ｘ軸方向に関する可動部材１の移動を許容し、Ｙ軸方向に関する可動部材１の移動を規制する。

すなわち、本実施形態において、可動部材１及びリニアベアリング９２は、ガイドレール９１にガイドされてＸ軸方向に移動する。テーブル４及びリニアベアリング７２は、ガイドレール９１とは異なるガイドレール７１にガイドされてＸ軸方向に移動する。可動部材１及びリニアベアリング９２は、ガイドレール９１によりＹ軸方向に関する移動を規制（拘束）される。テーブル４及びリニアベアリング７２は、ガイドレール９１とは異なるガイドレール７１によりＹ軸方向に関する移動を規制（拘束）される。

微動アクチュエータ１１は、駆動装置５（粗動アクチュエータ５１）及び駆動装置６（粗動アクチュエータ６１）よりも高い分解能でＸ軸方向にテーブル４を移動可能である。微動アクチュエータ１１は、圧電素子を含む。微動アクチュエータ１１は、可動部材１とテーブル４との間に配置される。微動アクチュエータ１１は、可動部材１に対してテーブル４をＸ軸方向に移動する。微動アクチュエータ１１の少なくとも一部は、可動部材１に接続される。微動アクチュエータ１１の少なくとも一部は、テーブル４に接続される。微動アクチュエータ１１は、可動部材１とテーブル４とを連結するように配置される。

微動アクチュエータ１２は、駆動装置５（粗動アクチュエータ５１）及び駆動装置６（粗動アクチュエータ６１）よりも高い分解能でＹ軸方向にテーブル４を移動可能である。微動アクチュエータ１２は、圧電素子を含む。微動アクチュエータ１２は、可動部材１とテーブル４との間に配置される。微動アクチュエータ１２は、可動部材１に対してテーブル４をＹ軸方向に移動する。微動アクチュエータ１２の少なくとも一部は、可動部材１に接続される。微動アクチュエータ１２の少なくとも一部は、テーブル４に接続される。微動アクチュエータ１２は、可動部材１とテーブル４とを連結するように配置される。なお、微動アクチュエータ１２は、リニアベアリング９２とテーブル４との間に配置されてもよい。

本実施形態において、テーブル４に開口４１が設けられる。微動アクチュエータ１１は、開口４１の中心に対して−Ｘ側に配置されたテーブル４の内側エッジと、可動部材１の少なくとも一部とを連結するように配置される。微動アクチュエータ１２は、開口４１の中心に対して＋Ｙ側に配置されたテーブル４の内側エッジと、可動部材１の少なくとも一部とを連結するように配置される。

弾性部材１０は、開口４１の中心に対して微動アクチュエータ１１の反対側に配置される。弾性部材１０は、開口４１の中心に対して＋Ｘ側に配置されたテーブル４の内側エッジと、可動部材１の少なくとも一部とを連結するように配置される。弾性部材１０により、可動部材１を介して、微動アクチュエータ１１に対してＸ軸方向に関する力（圧力）が付与される。

微動アクチュエータ１２に対してＹ軸方向に関する力（圧力）が付与されてもよい。例えば、開口４１の中心に対して＋Ｙ側に配置されたテーブル４の内側エッジと可動部材１との距離が調整されることによって、微動アクチュエータ１２に力が付与されてもよい。開口４１の中心に対して＋Ｙ側に配置されたテーブル４の内側エッジと微動アクチュエータ１２との間にスペーサー部材が配置されることによって、微動アクチュエータ１２に力が付与されてもよい。可動部材１と微動アクチュエータ１２との間にスペーサー部材が配置されることによって、微動アクチュエータ１２に力が付与されてもよい。なお、開口４１の中心に対して微動アクチュエータ１２の反対側に配置される弾性部材により、可動部材１を介して、微動アクチュエータ１２に対してＹ軸方向に関する力が付与されてもよい。すなわち、開口４１の中心に対して−Ｙ側に配置されたテーブル４の内側エッジと、可動部材１の少なくとも一部とを連結するように配置される弾性部材により、可動部材１を介して、微動アクチュエータ１２に対してＹ軸方向に関する力が付与されてもよい。

なお、開口４１は設けられなくてもよい。微動アクチュエータ１１が可動部材１の少なくとも一部とテーブル４との間に配置されて、可動部材１に対してテーブル４がＸ軸方向に移動可能であればよい。微動アクチュエータ１２が可動部材１の少なくとも一部とテーブル４との間に配置されて、可動部材１に対してテーブル４がＹ軸方向に移動可能であればよい。

なお、本実施形態において、微動アクチュエータ１２の作動により、リニアベアリング９２に対してＹ軸方向に関する力が作用したり、ガイドレール９１に対してリニアベアリング９２が僅かにＹ軸方向に移動したりする可能性がある。また、微動アクチュエータ１２の作動により、リニアベアリング７２に対してＹ軸方向に関する力が作用したり、ガイドレール７１に対してリニアベアリング７２が僅かにＹ軸方向に移動したりする可能性がある。本実施形態においては、ガイドレール９１に対するリニアベアリング９２の移動（Ｘ軸方向に関する移動）、及びガイドレール７１に対するリニアベアリング７２の移動（Ｘ軸方向に関する移動）が円滑に行われるように、微動アクチュエータ１２の作動量（変位量、伸縮量）の範囲が定められる。微動アクチュエータ１２が作動した場合、テーブル４の移動量に応じて、リニアベアリング９２は、テーブル４とは反対の方向に移動する。その移動量は、ガイド装置７及びガイド装置９の水平方向の剛性の比率で決まる。当然のことながら、ガイド装置７及びガイド装置９の両方とも力を受ける。この力が、Ｘ軸方向の移動に影響の無いレベルに設計する必要がある。

次に、上述のテーブル装置ＴＡの動作の一例について説明する。例えば、粗動アクチュエータ６１の作動により、可動部材２がＹ軸方向に移動する。可動部材２がＹ軸方向に移動することにより、可動部材１及びテーブル４が可動部材２と一緒にＹ軸方向に移動する。粗動アクチュエータ５１の作動により、可動部材１がＸ軸方向に移動する。可動部材１がＸ軸方向に移動することにより、テーブル４が可動部材１と一緒にＸ軸方向に移動する。

ＸＹ平面内においてテーブル４が目標位置に配置されるように、微動アクチュエータ１１及び微動アクチュエータ１２の少なくとも一方が作動する。微動アクチュエータ１１及び微動アクチュエータ１２は、粗動アクチュエータ５１及び粗動アクチュエータ６１よりも高い分解能でテーブル４を移動可能（変位可能）である。微動アクチュエータ１１の作動により、可動部材１に対してテーブル４が高い分解能でＸ軸方向に移動する。これにより、Ｘ軸方向に関するテーブル４の位置決めが高精度で行われる。微動アクチュエータ１２の作動により、可動部材１に対してテーブル４が高い分解能でＹ軸方向に移動する。これにより、Ｙ軸方向に関するテーブル４の位置決めが高精度で行われる。

以上説明したように、本実施形態によれば、テーブル４は、駆動装置５の作動により可動部材１と一緒にＸ軸方向に移動し、駆動装置６の作動により可動部材２と一緒にＹ軸方向に移動する。また、テーブル４は、ガイド装置７によりＸ軸方向にガイドされ、ガイド装置８により可動部材２と一緒にＹ軸方向にガイドされる。また、テーブル４は、微動アクチュエータ１１によりＸ軸方向に関する位置を精密に調整され、微動アクチュエータ１２によりＹ軸方向に関する位置を精密に調整される。微動アクチュエータ１１は、可動部材１とテーブル４との間に配置される。可動部材１は、Ｘ軸方向にテーブル４と一緒に移動する。そのため、駆動装置５の作動によるＸ軸方向に関するテーブル４の移動範囲において、微動アクチュエータ１１は、Ｘ軸方向に関するテーブル４の位置を調整し続けることができる。また、可動部材１は、Ｙ軸方向にテーブル４と一緒に移動する。そのため、駆動装置６の作動によるＹ軸方向に関するテーブル４（可動部材２）の移動範囲において、微動アクチュエータ１１は、Ｘ軸方向に関するテーブル４の位置を調整し続けることができる。微動アクチュエータ１２は、可動部材１及びリニアベアリング９２の少なくとも一方とテーブル４との間に配置される。可動部材１及びリニアベアリング９２は、Ｘ軸方向にテーブル４と一緒に移動する。そのため、駆動装置５の作動によるＸ軸方向に関するテーブル４の移動範囲において、微動アクチュエータ１２は、Ｙ軸方向に関するテーブル４の位置を調整し続けることができる。また、可動部材１及びリニアベアリング９２は、Ｙ軸方向にテーブル４と一緒に移動する。そのため、駆動装置６の作動によるＹ軸方向に関するテーブル４（可動部材２）の移動範囲において、微動アクチュエータ１２は、Ｙ軸方向に関するテーブル４の位置を調整し続けることができる。したがって、テーブル４の位置決め精度の不足が抑制される。

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図２は、本実施形態に係る微動アクチュエータ１１及びテーブル４の一部を拡大した図である。図２に示すように、テーブル装置ＴＡＢは、微動アクチュエータ１１とテーブル４とを連結する連結部材１３を有する。連結部材１３は、Ｙ軸方向に関する微動アクチュエータ１１とテーブル４との相対移動を許容し、Ｘ軸方向に関する微動アクチュエータ１１とテーブル４との相対移動を規制するように、微動アクチュエータ１１とテーブル４とを連結する。連結部材１３は、ヒンジ構造（ヒンジ機構）を含む。なお、連結部材１３は、転動体を含んでもよいし、弾性部材を含んでもよいし、可撓性部材を含んでもよい。連結部材１３によりＹ軸方向に関する微動アクチュエータ１１とテーブル４との相対移動が許容されているため、テーブル４をＹ軸方向に移動させるように微動アクチュエータ１２が作動しても、Ｙ軸方向に関する力（せん断力）が微動アクチュエータ１１に作用することが抑制される。また、連結部材１３は、Ｘ軸方向に関する微動アクチュエータ１１とテーブル４との相対移動を規制するため、Ｘ軸方向に関する微動アクチュエータ１１の駆動力がテーブル４に円滑に作用する。なお、連結部材１３は、微動アクチュエータ１１と可動部材１との間に配置されてもよい。

図３は、本実施形態に係る微動アクチュエータ１２及びテーブル４の一部を拡大した図である。図３に示すように、テーブル装置ＴＡＢは、微動アクチュエータ１２とテーブル４とを連結する連結部材１４を有する。連結部材１４は、Ｘ軸方向に関する微動アクチュエータ１２とテーブル４との相対移動を許容し、Ｙ軸方向に関する微動アクチュエータ１２とテーブル４との相対移動を規制するように、微動アクチュエータ１２とテーブル４とを連結する。連結部材１４は、ヒンジ構造（ヒンジ機構）を含む。なお、連結部材１４は、転動体を含んでもよいし、弾性部材を含んでもよいし、可撓性部材を含んでもよい。連結部材１４によりＸ軸方向に関する微動アクチュエータ１２とテーブル４との相対移動が許容されているため、テーブル４をＸ軸方向に移動させるように微動アクチュエータ１１が作動しても、Ｘ軸方向に関する力（せん断力）が微動アクチュエータ１２に作用することが抑制される。また、連結部材１４は、Ｙ軸方向に関する微動アクチュエータ１２とテーブル４との相対移動を規制するため、Ｙ軸方向に関する微動アクチュエータ１２の駆動力がテーブル４に円滑に作用する。なお、連結部材１４は、微動アクチュエータ１２と可動部材１及びリニアベアリング９２の少なくとも一方との間に配置されてもよい。

＜第３実施形態＞
第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図４は、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡＣの一例を示す平面図である。図５は、テーブル装置ＴＡＣを−Ｙ側から見た側面図である。図６は、テーブルＴＡＣを−Ｘ側から見た側面図である。図７は、図４のｍ−ｍ線矢視図である。図８は、図７のｐ−ｐ線矢視図である。図９は、テーブル４の近傍を示す平面図である。図１０は、図９のｒ−ｒ線矢視図である。

テーブル装置ＴＡＣは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能なテーブル４Ｂと、テーブル４Ｂと一緒にＸ軸方向に移動可能な可動部材１Ｂと、テーブル４Ｂと一緒にＹ軸方向に移動可能な可動部材２Ｂと、テーブル４Ｂ、可動部材１Ｂ、及び可動部材２Ｂを移動可能に支持するベース部材３Ｂと、を備えている。可動部材１Ｂは、ベース部材３Ｂ上においてＸ軸方向に移動可能であり、可動部材２Ｂは、ベース部材３Ｂ上においてＹ軸方向に移動可能であり、テーブル４Ｂは、ベース部材３Ｂ上においてＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能である。

本実施形態において、テーブル４Ｂに計測ミラー１５が配置される。計測ミラー１５に対して、レーザ干渉計（レーザ測長器）からの計測光が照射される。レーザ干渉計により、ＸＹ平面内におけるテーブル４Ｂの位置が計測される。テーブル装置ＴＡＣは、レーザ干渉計の計測結果に基づいて、テーブル４Ｂが目標位置に配置されるように、テーブル４Ｂの位置を調整する。

また、テーブル装置ＴＡＣは、少なくとも一部が可動部材１Ｂと連結され、Ｘ軸方向に可動部材１Ｂを移動する駆動装置５Ｂと、少なくとも一部が可動部材２Ｂと連結され、Ｙ軸方向に可動部材２Ｂを移動する駆動装置６Ｂとを備えている。テーブル４Ｂの少なくとも一部は、可動部材１Ｂと連結される。テーブル４Ｂは、可動部材１Ｂと一緒にＸ軸方向に移動可能である。テーブル４Ｂの少なくとも一部は、可動部材２Ｂと連結される。テーブル４Ｂは、可動部材２Ｂと一緒にＹ軸方向に移動可能である。

また、テーブル装置ＴＡＣは、Ｘ軸方向にテーブル４Ｂをガイドするガイド装置７Ｂと、Ｙ軸方向に可動部材２Ｂをガイドするガイド装置８Ｂと、Ｘ軸方向に可動部材１Ｂをガイドするガイド装置１６と、Ｙ軸方向にテーブル４Ｂをガイドするガイド装置１７とを備えている。ガイド装置７Ｂは、可動部材２Ｂの上面に配置されたガイドレール７１Ｂと、テーブル４Ｂに配置され、ガイドレール７１Ｂを移動可能なリニアベアリング７２Ｂとを有する。ガイド装置８Ｂは、ベース部材３Ｂの上面に配置されたガイドレール８１Ｂと、可動部材２Ｂに配置され、ガイドレール８１Ｂを移動可能なリニアベアリング８２Ｂとを有する。ガイド装置１６は、ベース部材３Ｂの上面に配置されたガイドレール１６１と、可動部材１Ｂに配置され、ガイドレール１６１を移動可能なリニアベアリング１６２とを有する。ガイド装置１７は、可動部材１Ｂの上面に配置されたガイドレール１７１と、テーブル４Ｂに配置され、ガイドレール１７１を移動可能なリニアベアリング１７２とを有する。

本実施形態において、可動部材２Ｂに開口２１が設けられる。テーブル４Ｂの少なくとも一部は、開口２１の内側に配置される。テーブル４Ｂの少なくとも一部は、可動部材２Ｂの下方に配置されている可動部材１Ｂと対向可能である。可動部材１Ｂの上面に配置されたガイドレール１７１と、テーブル４Ｂに配置されたリニアベアリング１７２とは、対向可能である。テーブル４Ｂ（リニアベアリング１７２）は、ガイド装置１７（ガイドレール１７１）により、Ｘ軸方向に関する位置を拘束（案内）される。テーブル４Ｂは、Ｙ軸方向に関して移動可能であり、Ｚ軸方向に関しては、板ばね４０４により、拘束されない。板ばね４０４は、２つのリニアベアリング１７２を連結する接続部材４０１の上方に配置される。

また、テーブル装置ＴＡＣは、Ｘ軸方向に可動部材９９をガイドするガイド装置９Ｂを備えている。ガイド装置９Ｂは、可動部材２Ｂの上面に配置されたガイドレール９１Ｂと、可動部材９９に配置され、ガイドレール９１Ｂを移動可能なリニアベアリング９２Ｂとを有する。可動部材９９及びリニアベアリング９２Ｂは、Ｘ軸方向にテーブル４Ｂと一緒に移動可能である。可動部材２Ｂの上面においてガイドレール７１Ｂとガイドレール９１Ｂとは平行に配置される。

また、テーブル装置ＴＡＣは、Ｙ軸方向に可動部材９５をガイドするガイド装置９８を備えている。ガイド装置９８は、可動部材１Ｂの上面に配置されたガイドレール９３と、可動部材９５に配置され、ガイドレール９３を移動可能なリニアベアリング９４とを有する。可動部材９５及びリニアベアリング９４は、Ｙ軸方向にテーブル４Ｂと一緒に移動可能である。可動部材１Ｂの上面においてガイドレール１７１とガイドレール９３とは平行に配置される。

また、テーブル装置ＴＡＣは、可動部材１Ｂとテーブル４Ｂとの間に配置され、駆動装置５Ｂよりも高い分解能でＸ軸方向にテーブル４Ｂを移動可能な微動アクチュエータ１１Ｂと、可動部材９９とテーブル４Ｂとの間に配置され、駆動装置６Ｂよりも高い分解能でＹ軸方向にテーブル４Ｂを移動可能な微動アクチュエータ１２Ｂとを備えている。

また、テーブル装置ＴＡＣは、可動部材１Ｂとテーブル４Ｂとの間に配置される弾性部材１０Ｂを備えている。本実施形態において、弾性部材１０Ｂは、微動アクチュエータ１１Ｂに対してＸ軸方向に関する力（圧力）を付与する機能を有していない。本実施形態においては、各部材の相対位置を調整することによって、微動アクチュエータ１１Ｂに対してＸ軸方向に関する力（圧力）が付与される。弾性部材１０Ｂの役割は、可動部材９５のＹ軸方向の位置を接続部材４０１と同一にするために配置される。同様の弾性部材１０Ｂが、可動部材９９とテーブル４Ｂとの間にも配置される。

テーブル４Ｂは、ベース部材３Ｂの上方においてＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能である。本実施形態において、テーブル４Ｂの下に可動部材１Ｂが配置され、テーブル４Ｂの下に可動部材２Ｂが配置される。テーブル４Ｂは、ベース部材３Ｂ、可動部材１Ｂ、及び可動部材２Ｂの上方でＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動する。テーブル４Ｂは、可動部材１Ｂ及び可動部材２Ｂの上方において、可動部材２Ｂに対してＸ軸方向に移動可能である。テーブル４Ｂは、可動部材１Ｂ及び可動部材２Ｂの上方において、可動部材１Ｂに対してＹ軸方向に移動可能である。可動部材１Ｂ及び可動部材２Ｂは、テーブル４Ｂを移動可能に支持する。

可動部材１Ｂは、ベース部材３Ｂの上方において、ベース部材３Ｂに対してＸ軸方向に移動可能である。可動部材２Ｂは、ベース部材３Ｂ及び可動部材１Ｂの上方において、ベース部材３Ｂに対してＹ軸方向に移動可能である。本実施形態において、可動部材１Ｂの下にベース部材３Ｂが配置される。可動部材２Ｂの下に可動部材１Ｂが配置される。

可動部材１Ｂは、ベース部材３Ｂ上においてＸ軸方向に移動可能である。ベース部材３Ｂは、可動部材１Ｂを移動可能に支持する。可動部材２Ｂは、ベース部材３Ｂ上においてＹ軸方向に移動可能である。ベース部材３Ｂは、可動部材２Ｂを移動可能に支持する。

本実施形態においては、可動部材２ＢがＹ軸方向に移動することにより、その可動部材２Ｂに支持されているテーブル４Ｂが可動部材２Ｂと一緒にＹ軸方向に移動する。可動部材１ＢがＸ軸方向に移動することにより、その可動部材１Ｂに支持されているテーブル４Ｂが可動部材１Ｂと一緒にＸ軸方向に移動する。テーブル４Ｂは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに移動可能な、所謂、ＸＹテーブル（２軸テーブル、２次元テーブル）である。

駆動装置６Ｂは、可動部材２ＢをＹ軸方向に移動する。駆動装置６Ｂは、サーボモータ（回転モータ）を含む粗動アクチュエータ６１Ｂと、動力伝達装置６２Ｂとを有する。粗動アクチュエータ６１Ｂの動力（駆動力）は、動力伝達装置６２Ｂを介して、可動部材２Ｂに伝達される。可動部材２Ｂは、動力伝達装置６２Ｂを介して伝達される粗動アクチュエータ６１Ｂの動力（駆動力）によりＹ軸方向に移動する。動力伝達装置６２Ｂは、ボールねじを含む。ボールねじは、粗動アクチュエータ６１Ｂの作動により回転するねじ軸と、可動部材２Ｂに接続（連結）され、ねじ軸の周囲に配置されるナットと、ねじ軸とナットとの間に配置されるボールとを含む。

駆動装置５Ｂは、可動部材１ＢをＸ軸方向に移動する。駆動装置５Ｂは、サーボモータ（回転モータ）を含む粗動アクチュエータ５１Ｂと、動力伝達装置５２Ｂとを有する。粗動アクチュエータ５１Ｂの動力（駆動力）は、動力伝達装置５２Ｂを介して、可動部材１Ｂに伝達される。可動部材１Ｂは、動力伝達装置５２Ｂを介して伝達される粗動アクチュエータ５１Ｂの動力（駆動力）によりＸ軸方向に移動する。動力伝達装置５２Ｂは、ボールねじを含む。ボールねじは、粗動アクチュエータ５１Ｂの作動により回転するねじ軸と、可動部材１Ｂに接続（連結）され、ねじ軸の周囲に配置されるナットと、ねじ軸とナットとの間に配置されるボールとを含む。

テーブル４Ｂは、微動アクチュエータ１１Ｂ、弾性部材１０Ｂ、リニアベアリング９４、ガイドレール９３、及びガイド装置１７などを介して、可動部材１Ｂと連結される。駆動装置５Ｂにより可動部材１ＢがＸ軸方向に移動することにより、テーブル４Ｂは可動部材１Ｂと一緒にＸ軸方向に移動する。開口２１は、テーブル４ＢがＸ軸方向に移動可能な大きさを有する。

テーブル４Ｂは、微動アクチュエータ１２Ｂ、可動部材９９、リニアベアリング９２Ｂ、ガイドレール９１Ｂ、及びガイド装置７Ｂなどを介して、可動部材２Ｂと連結される。駆動装置６Ｂにより可動部材２ＢがＹ軸方向に移動することにより、テーブル４Ｂは、可動部材２Ｂと一緒にＹ軸方向に移動する。

ガイド装置８Ｂは、Ｙ軸方向に可動部材２Ｂが移動するように可動部材２Ｂをガイドする。ガイド装置８Ｂは、ベース部材３Ｂの上面に配置されたガイドレール８１Ｂと、可動部材２Ｂに配置され、ガイドレール８１Ｂを移動可能なリニアベアリング８２Ｂとを有する。ガイドレール８１Ｂは、Ｙ軸方向に長い。ガイドレール８１Ｂは、Ｘ軸方向に３つ（３本）配置される。ガイドレール８１Ｂは、ベース部材３Ｂの上面の中心に対して＋Ｘ側及び−Ｘ側のそれぞれに配置される。

ガイド装置８Ｂは、直動型（リニア型）のベアリングを含む。本実施形態において、ガイド装置８Ｂのリニアベアリング８２Ｂは、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、ガイド装置８Ｂのリニアベアリング８２Ｂは、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置８Ｂのリニアベアリング８２Ｂは、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

ガイド装置７Ｂは、Ｘ軸方向にテーブル４Ｂが移動するようにテーブル４Ｂをガイドする。ガイド装置７Ｂは、可動部材２Ｂの上面に配置されたガイドレール７１Ｂと、テーブル４Ｂに配置され、ガイドレール７１Ｂを移動可能なリニアベアリング７２Ｂとを有する。ガイドレール７１Ｂは、Ｘ軸方向に長い。ガイドレール７１Ｂは、Ｙ軸方向に２つ（２本）配置される。ガイドレール７１Ｂは、可動部材２Ｂの上面の中心に対して＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれに配置される。

ガイド装置７Ｂは、直動型（リニア型）のベアリングを含む。本実施形態において、ガイド装置７Ｂのリニアベアリング７２Ｂは、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、ガイド装置７Ｂのリニアベアリング７２Ｂは、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置７Ｂのリニアベアリング７２Ｂは、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

ガイド装置１６は、Ｘ軸方向に可動部材１Ｂが移動するように可動部材１Ｂをガイドする。ガイド装置１６は、ベース部材３Ｂの上面に配置されたガイドレール１６１と、可動部材１Ｂに配置され、ガイドレール１６１を移動可能なリニアベアリング１６２とを有する。ガイドレール１６１は、Ｘ軸方向に長い。ガイドレール１６１は、Ｙ軸方向に３つ（３本）配置される。ガイドレール１６１は、ベース部材３Ｂの上面の中心に対して＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれに配置される。

ガイド装置１６は、直動型（リニア型）のベアリングを含む。本実施形態において、ガイド装置１６のリニアベアリング１６２は、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、ガイド装置１６のリニアベアリング１６２は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置１６のリニアベアリング１６２は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

ガイド装置１７は、Ｙ軸方向にテーブル４Ｂが移動するようにテーブル４Ｂをガイドする。ガイド装置１７は、可動部材１Ｂの上面に配置されたガイドレール１７１と、テーブル４Ｂに配置され、ガイドレール１７１を移動可能なリニアベアリング１７２とを有する。ガイドレール１７１は、Ｙ軸方向に長い。ガイドレール１７１は、Ｘ軸方向に２つ（２本）配置される。ガイドレール１７１は、可動部材１Ｂの上面の中心に対して＋Ｘ側及び−Ｘ側のそれぞれに配置される。

ガイド装置１７は、直動型（リニア型）のベアリングを含む。本実施形態において、ガイド装置１７のリニアベアリング１７２は、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、ガイド装置１７のリニアベアリング１７２は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置１７のリニアベアリング１７２は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

ガイドレール９１Ｂは、可動部材２Ｂの上面に配置される。ガイドレール９１Ｂは、Ｘ軸方向に長い。ガイドレール９１Ｂは、１つ（１本）配置される。可動部材２Ｂの上面において、ガイドレール９１Ｂは、ガイドレール７１Ｂと平行に配置される。ガイドレール９１Ｂは、可動部材２Ｂの上面の中心に対して＋Ｙ側に配置される。ガイドレール９１Ｂは、可動部材２Ｂの上面の中心に対してガイドレール７１Ｂの外側に配置される。可動部材９９は、ガイドレール９１Ｂを移動可能なリニアベアリング９２Ｂを含む。リニアベアリング９２Ｂは、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、リニアベアリング９２Ｂは、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、リニアベアリング９２Ｂは、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

リニアベアリング９２Ｂは、可動部材９９の下面に接続（連結）される。すなわち、本実施形態において、リニアベアリング９２Ｂは、Ｘ軸方向に可動部材９９が移動するように可動部材９９をガイドする。なお、可動部材９９とリニアベアリング９２Ｂとが一体（単一の部材）でもよい。なお、可動部材９９がリニアベアリング９２Ｂとみなされてもよい。

ガイドレール９３は、可動部材１Ｂの上面に配置される。ガイドレール９３は、Ｙ軸方向に長い。ガイドレール９３は、１つ（１本）配置される。可動部材１Ｂの上面において、ガイドレール９３は、ガイドレール１７１と平行に配置される。ガイドレール９３は、２つ（２本）のガイドレール１７１の間に配置される。可動部材９５は、ガイドレール９３を移動可能なリニアベアリング９４を含む。リニアベアリング９４は、直動型（リニア型）の転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、リニアベアリング９４は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、リニアベアリング９４は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

リニアベアリング９４は、可動部材９５の下面に接続（連結）される。すなわち、本実施形態において、リニアベアリング９４は、Ｙ軸方向に可動部材９５が移動するように可動部材９５をガイドする。なお、可動部材９５とリニアベアリング９４とが一体（単一の部材）でもよい。なお、可動部材９５がリニアベアリング９４とみなされてもよい。

ガイド装置７Ｂは、Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂの移動を許容し、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの移動を規制する。ガイド装置７Ｂにより、Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂと可動部材２Ｂとの相対移動が許容され、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂと可動部材２Ｂとの相対移動が規制される。

ガイド装置８Ｂは、Ｙ軸方向に関する可動部材２Ｂの移動を許容し、Ｘ軸方向に関する可動部材２Ｂの移動を規制する。ガイド装置８Ｂにより、Ｙ軸方向に関する可動部材２Ｂとベース部材３Ｂとの相対移動が許容され、Ｘ軸方向に関する可動部材２Ｂとベース部材３Ｂとの相対移動が規制される。

ガイド装置１６は、Ｘ軸方向に関する可動部材１Ｂの移動を許容し、Ｙ軸方向に関する可動部材１Ｂの移動を規制する。ガイド装置１６により、Ｘ軸方向に関する可動部材１Ｂとベース部材３Ｂとの相対移動が許容され、Ｙ軸方向に関する可動部材１Ｂとベース部材３Ｂとの相対移動が規制される。

ガイド装置１７は、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの移動を許容し、Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂの移動を規制する。ガイド装置１７により、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂと可動部材１Ｂとの相対移動が許容され、Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂと可動部材１Ｂとの相対移動が規制される。

ガイドレール９１Ｂ及びリニアベアリング９２Ｂは、Ｘ軸方向に関する可動部材９９の移動を許容し、Ｙ軸方向に関する可動部材９９の移動を規制する。ガイドレール９１Ｂ及びリニアベアリング９２Ｂにより、Ｘ軸方向に関する可動部材９９と可動部材２Ｂとの相対移動が許容され、Ｙ軸方向に関する可動部材９９と可動部材２Ｂとの相対移動が規制される。

ガイドレール９３及びリニアベアリング９４は、Ｙ軸方向に関する可動部材９５の移動を許容し、Ｘ軸方向に関する可動部材９５の移動を規制する。ガイドレール９３及びリニアベアリング９４により、Ｙ軸方向に関する可動部材９５と可動部材１Ｂとの相対移動が許容され、Ｘ軸方向に関する可動部材９５と可動部材１Ｂとの相対移動が規制される。

本実施形態において、可動部材９９（リニアベアリング９２Ｂ）は、ガイドレール９１ＢにガイドされてＸ軸方向に移動する。テーブル４Ｂ（リニアベアリング７２Ｂ）は、ガイドレール９１Ｂとは異なるガイドレール７１ＢにガイドされてＸ軸方向に移動する。可動部材９９（リニアベアリング９２Ｂ）は、ガイドレール９１ＢによりＹ軸方向に関する移動を規制（拘束）される。テーブル４Ｂ（リニアベアリング７２Ｂ）は、ガイドレール９１Ｂとは異なるガイドレール７１ＢによりＹ軸方向に関する移動を規制（拘束）される。

本実施形態において、可動部材９５（リニアベアリング９４）は、ガイドレール９３にガイドされてＹ軸方向に移動する。テーブル４Ｂ（リニアベアリング１７２）は、ガイドレール９３とは異なるガイドレール１７１にガイドされてＹ軸方向に移動する。可動部材９５（リニアベアリング９４）は、ガイドレール９３によりＸ軸方向に関する移動を規制（拘束）される。テーブル４Ｂ（リニアベアリング１７２）は、ガイドレール９３とは異なるガイドレール１７１によりＸ軸方向に関する移動を規制（拘束）される。

微動アクチュエータ１１Ｂは、駆動装置５Ｂ（粗動アクチュエータ５１Ｂ）及び駆動装置６Ｂ（粗動アクチュエータ６１Ｂ）よりも高い分解能でＸ軸方向にテーブル４Ｂを移動可能である。微動アクチュエータ１１Ｂは、圧電素子を含む。図７及び図８に示すように、微動アクチュエータ１１Ｂは、可動部材９５（可動部材１Ｂ）とテーブル４Ｂとの間に配置される。微動アクチュエータ１１Ｂは、可動部材９５（可動部材１Ｂ）に対してテーブル４ＢをＸ軸方向に移動する。

図７及び図８に示すように、本実施形態において、微動アクチュエータ１１Ｂの少なくとも一部は、可動部材９５に接続される。微動アクチュエータ１１Ｂの少なくとも一部は、テーブル４Ｂに接続される。本実施形態において、テーブル４Ｂは、リニアベアリング１７２と接続される接続部材４０１を含む。接続部材４０１は、リニアベアリング９４に対して−Ｘ側に配置されたリニアベアリング１７２と接続される。本実施形態において、微動アクチュエータ１１Ｂは、テーブル４Ｂの接続部材４０１と接続される。テーブル４Ｂ（接続部材４０１）と可動部材９５とは、微動アクチュエータ１１Ｂを介して連結される。

図７及び図８に示すように、本実施形態において、可動部材９５と、テーブル４Ｂとが、弾性部材１０Ｂを含む連結部材４０３を介して連結される。連結部材４０３（弾性部材１０Ｂ）の少なくとも一部は、可動部材９５に接続される。連結部材４０３（弾性部材１０Ｂ）の少なくとも一部は、テーブル４Ｂに接続される。本実施形態において、テーブル４Ｂは、リニアベアリング１７２と接続される接続部材４０１を含む。接続部材４０１は、リニアベアリング９４に対して＋Ｘ側に配置されたリニアベアリング１７２と接続される。本実施形態において、連結部材４０３（弾性部材１０Ｂ）は、テーブル４Ｂの接続部材４０１と接続される。テーブル４Ｂ（接続部材４０１）と可動部材９５とは、連結部材４０３（弾性部材１０Ｂ）を介して連結される。弾性部材１０Ｂは、可動部材９５に対して微動アクチュエータ１１Ｂの反対側に配置される。テーブル４Ｂは、ガイド装置１７により、Ｘ軸方向に関する位置を拘束され、Ｙ軸方向に関して移動可能であり、Ｚ軸方向に関しては、板ばね４０４により、拘束されない。板ばね４０４は、２つのリニアベアリング１７２を連結する接続部材４０１の上方に配置される。

すなわち、本実施形態において、微動アクチュエータ１１Ｂは、テーブル４Ｂの接続部材４０１と可動部材９５とを連結するように配置される。連結部材４０３（弾性部材１０Ｂ）は、テーブル４Ｂの接続部材４０１と可動部材９５とを連結するように配置される。本実施形態においては、可動部材１Ｂ上においてテーブル４ＢがＹ軸方向に移動することにより、そのテーブル４Ｂに連結されている可動部材９５（リニアベアリング９４）がテーブル４Ｂと一緒にＹ軸方向に移動する。

微動アクチュエータ１２Ｂは、駆動装置５Ｂ（粗動アクチュエータ５１Ｂ）及び駆動装置６Ｂ（粗動アクチュエータ６１Ｂ）よりも高い分解能でＹ軸方向にテーブル４Ｂを移動可能である。微動アクチュエータ１２Ｂは、圧電素子を含む。図９及び図１０に示すように、微動アクチュエータ１２Ｂは、可動部材９９（可動部材２Ｂ）とテーブル４Ｂとの間に配置される。微動アクチュエータ１２Ｂは、可動部材９９（可動部材２Ｂ）に対してテーブル４ＢをＹ軸方向に移動する。

図９及び図１０に示すように、微動アクチュエータ１２Ｂの少なくとも一部は、可動部材９９に接続される。微動アクチュエータ１２Ｂの少なくとも一部は、テーブル４Ｂに接続される。微動アクチュエータ１２Ｂは、可動部材９９とテーブル４Ｂとを連結するように配置される。本実施形態において、微動アクチュエータ１２Ｂは、＋Ｙ側のテーブル４の側面と、可動部材９９の少なくとも一部とを連結するように配置される。

次に、上述のテーブル装置ＴＡＣの動作の一例について説明する。例えば、粗動アクチュエータ６１Ｂの作動により、可動部材２ＢがＹ軸方向に移動する。可動部材２ＢがＹ軸方向に移動することにより、テーブル４Ｂが可動部材２Ｂと一緒にＹ軸方向に移動する。粗動アクチュエータ５１Ｂの作動により、可動部材１ＢがＸ軸方向に移動する。可動部材１ＢがＸ軸方向に移動することにより、テーブル４Ｂが可動部材１Ｂと一緒にＸ軸方向に移動する。

ＸＹ平面内においてテーブル４Ｂが目標位置に配置されるように、微動アクチュエータ１１Ｂ及び微動アクチュエータ１２Ｂの少なくとも一方が作動する。微動アクチュエータ１１Ｂ及び微動アクチュエータ１２Ｂは、粗動アクチュエータ５１Ｂ及び粗動アクチュエータ６１Ｂよりも高い分解能でテーブル４Ｂを移動可能（変位可能）である。微動アクチュエータ１１Ｂの作動により、可動部材９５及び可動部材１Ｂに対してテーブル４Ｂが高い分解能でＸ軸方向に移動する。これにより、Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置決めが高精度で行われる。微動アクチュエータ１２Ｂの作動により、可動部材９９及び可動部材２Ｂに対してテーブル４Ｂが高い分解能でＹ軸方向に移動する。これにより、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置決めが高精度で行われる。

以上説明したように、本実施形態によれば、テーブル４Ｂは、駆動装置５Ｂの作動により可動部材１Ｂと一緒にＸ軸方向に移動し、駆動装置６Ｂの作動により可動部材２Ｂと一緒にＹ軸方向に移動する。また、テーブル４Ｂは、ガイド装置７ＢによりＸ軸方向にガイドされ、ガイド装置８Ｂにより可動部材２Ｂと一緒にＹ軸方向にガイドされる。また、テーブル４Ｂは、ガイド装置１７によりＹ軸方向にガイドされる。また、テーブル４Ｂは、微動アクチュエータ１１ＢによりＸ軸方向に関する位置を精密に調整され、微動アクチュエータ１２ＢによりＹ軸方向に関する位置を精密に調整される。微動アクチュエータ１１Ｂは、可動部材９５（可動部材１Ｂ）と接続部材４０１（テーブル４Ｂ）との間に配置される。ガイドレール９３及びリニアベアリング９４により、Ｘ軸方向に関する可動部材９５と可動部材１Ｂとの相対移動は規制される。可動部材９５は、Ｘ軸方向にテーブル４Ｂと一緒に移動する。そのため、駆動装置５Ｂの作動によるＸ軸方向に関するテーブル４Ｂの移動範囲において、微動アクチュエータ１１Ｂは、Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を調整し続けることができる。また、可動部材９５は、Ｙ軸方向にテーブル４Ｂと一緒に移動する。そのため、駆動装置６Ｂの作動によるＹ軸方向に関するテーブル４Ｂ（可動部材２Ｂ）の移動範囲において、微動アクチュエータ１１Ｂは、Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を調整し続けることができる。微動アクチュエータ１２Ｂは、可動部材９９及び可動部材２Ｂとテーブル４Ｂとの間に配置される。ガイドレール９１Ｂ及びリニアベアリング９２Ｂにより、Ｙ軸方向に関する可動部材９９と可動部材２Ｂとの相対移動は規制される。可動部材９９は、Ｘ軸方向にテーブル４Ｂと一緒に移動する。そのため、駆動装置５Ｂの作動によるＸ軸方向に関するテーブル４Ｂの移動範囲において、微動アクチュエータ１２Ｂは、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を調整し続けることができる。また、可動部材９９は、Ｙ軸方向にテーブル４Ｂと一緒に移動する。そのため、駆動装置６Ｂの作動によるＹ軸方向に関するテーブル４Ｂ（可動部材２Ｂ）の移動範囲において、微動アクチュエータ１２Ｂは、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を調整し続けることができる。したがって、テーブル４Ｂの位置決め精度の不足が抑制される。

＜第４実施形態＞
第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１１及び図１２は、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡＤの一例を示す図である。テーブル装置ＴＡＤは、上述の実施形態で説明したテーブル装置ＴＡＣの変形例である。図１１に示すように、テーブル装置ＴＡＤは、Ｘ軸方向にテーブル４Ｂを移動可能な微動アクチュエータ１１Ｂを２つ備える。２つの微動アクチュエータ１１Ｂは、Ｙ軸方向に配置される。図１２に示すように、テーブル装置ＴＡＤは、Ｙ軸方向にテーブル４Ｂを移動可能な微動アクチュエータ１２Ｂを２つ備える。２つの微動アクチュエータ１２Ｂは、Ｘ軸方向に配置される。

２つの微動アクチュエータ１１Ｂそれぞれの作動量（駆動量、変位量）が調整されることにより、θＺ方向（回転方向）に関するテーブル４Ｂの位置が調整される。例えば、一方の微動アクチュエータ１１Ｂを第１の作動量で作動させ、他方の微動アクチュエータ１１Ｂを第１の作動量とは異なる第２の作動量で作動させることにより、テーブル４Ｂは、θＺ方向に回転可能である。一方の微動アクチュエータ１１Ｂの作動量、及び他方の微動アクチュエータ１１Ｂの作動量の少なくとも一方が調整されることによって、θＺ方向（回転方向）に関するテーブル４Ｂの位置が調整される。なお、第１の作動量及び第２の作動量の少なくとも一方は、零を含む。例えば、一方の微動アクチュエータ１１Ｂを第１の作動量で作動させ、他方の微動アクチュエータ１１Ｂを作動させなくても、θＺ方向（回転方向）に関するテーブル４Ｂの位置が調整される。

同様に、２つの微動アクチュエータ１２Ｂそれぞれの作動量（駆動量、変位量）が調整されることにより、θＺ方向（回転方向）に関するテーブル４Ｂの位置が調整される。

次に、図１３及び図１４を参照して、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡＤの動作の一例について説明する。以下、Ｙ軸方向にテーブル４Ｂを移動可能な２つの微動アクチュエータ１２Ｂの動作について説明する。また、以下の説明においては、２つの微動アクチュエータ１２Ｂのうち、一方の微動アクチュエータ１２Ｂを、微動アクチュエータ１２１、と称し、他方の微動アクチュエータ１２Ｂを、微動アクチュエータ１２２、と称する。微動アクチュエータ１２１は、微動アクチュエータ１２２よりも−Ｘ側に配置される。

上述のように、テーブル４Ｂには計測ミラー１５が配置される。レーザ干渉計からの計測光が計測ミラー１５に照射される。計測ミラー１５に計測光が照射されることにより、ＸＹ平面内におけるテーブル４Ｂの位置が計測される。すなわち、レーザ干渉計により、Ｘ軸、Ｙ軸、及びθＺの少なくとも一つの方向に関するテーブル４Ｂの位置が計測される。なお、図１３及び図１４において、計測ミラー１５の図示を省略する。

本実施形態においては、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置に基づいて、微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２それぞれの作動量が調整される。

例えば、図１３及び図１４に示すように、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を計測するための計測光がレーザ干渉計から計測ミラー１５に照射されるとき、レーザ干渉計の計測結果に基づくテーブル４Ｂの位置調整が精密に行われるように、計測ミラーに対する計測光の照射位置に基づいて、微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２それぞれの作動量が調整される。

例えば、図１３に示すように、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２１との距離（Ｘ軸方向に関する距離）が、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２２との距離（Ｘ軸方向に関する距離）よりも短い場合において、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を調整するとき、微動アクチュエータ１２１の作動量が微動アクチュエータ１２２の作動量よりも大きくなるように、微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２が制御される。

すなわち、図１３に示す計測光と微動アクチュエータ１２１と微動アクチュエータ１２２との位置関係において、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を調整するとき、計測光に近い微動アクチュエータ１２１が作動される。微動アクチュエータ１２１の作動により、その微動アクチュエータ１２１に接続されているテーブル４Ｂの部分Ｐ１がＹ軸方向に移動する。また、微動アクチュエータ１２１の作動により、その微動アクチュエータ１２１（部分Ｐ１）に近い計測ミラー１５における計測光の照射位置もＹ軸方向に移動する。したがって、レーザ干渉計は、微動アクチュエータ１２１の作動量に応じたＹ軸方向に関するテーブル４Ｂの変位量を計測可能である。

図１３に示す計測光と微動アクチュエータ１２１と微動アクチュエータ１２２との位置関係において、計測光から遠い微動アクチュエータ１２２が作動されると、その微動アクチュエータ１２２の作動により、微動アクチュエータ１２２に接続されているテーブル４Ｂの部分Ｐ２がＹ軸方向に移動する。一方、Ｙ軸方向に関する部分Ｐ１及び計測ミラー１５における計測光の照射位置の変位量は、微動アクチュエータ１２２の作動量よりも小さい可能性が高い。すると、レーザ干渉計は、微動アクチュエータ１２２の作動量に応じたＹ軸方向に関するテーブル４Ｂの変位量を精密に計測できなくなる可能性がある。その結果、レーザ干渉計の計測結果に基づくテーブル４Ｂの位置調整が精密に行われなくなる可能性がある。

本実施形態においては、レーザ干渉計の計測結果に基づくテーブル４Ｂの位置調整が精密に行われるように、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置に基づいて、微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２それぞれの作動量が調整される。

なお、図１３に示す状態において、微動アクチュエータ１２１とともに、微動アクチュエータ１２２も作動されてもよい。θＺ方向に関するテーブル４Ｂの位置を調整する場合、微動アクチュエータ１２１とともに、微動アクチュエータ１２２が適宜作動されてもよい。

図１４に示すように、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２１との距離（Ｘ軸方向に関する距離）と、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２２との距離（Ｘ軸方向に関する距離）とが等しい場合、微動アクチュエータ１２１の作動量と微動アクチュエータ１２２の作動量とは等しくてもよい。

Ｘ軸方向に関して、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置が微動アクチュエータ１２１と微動アクチュエータ１２２との間に存在し、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２１との距離（Ｘ軸方向に関する距離）と、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２２との距離（Ｘ軸方向に関する距離）とが異なる場合、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２１との距離と、計測ミラー１５に対する計測光の照射位置と微動アクチュエータ１２２との距離との比に基づいて、微動アクチュエータ１２１の作動量と微動アクチュエータ１２２の作動量とのそれぞれが調整されてもよい。

以上、Ｙ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を計測するための計測光の照射位置と、Ｙ軸方向に関してテーブル４Ｂを移動可能な微動アクチュエータ１２Ｂ（１２１、１２２）との関係について説明した。Ｘ軸方向に関するテーブル４Ｂの位置を計測するための計測光の照射位置と、Ｘ軸方向に関してテーブル４Ｂを移動可能な微動アクチュエータ１１Ｂとの関係についても同様である。

本実施形態においては、Ｙ軸を計測軸とするレーザ干渉計の計測光（光束）は１つであり、Ｘ軸を計測軸とするレーザ干渉計の計測光は１つである。すなわち、本実施形態において、レーザ干渉計は、θＺ方向に関するテーブル４Ｂの位置を計測しない。そのため、そのレーザ干渉計の計測結果に基づいて、微動アクチュエータ１１Ｂ及び微動アクチュエータ１２Ｂの少なくとも一方を使ったテーブル４Ｂの位置を調整するためのフィードバック制御は行われない。

図１３及び図１４に示した例では、微動アクチュエータ１１Ｂは、２つの微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２を含む。２つの微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２のうち、いずれか一方の微動アクチュエータ（例えば微動アクチュエータ１２１）を作動させる場合、計測及び制御できていないθＺ方向の運動誤差に対し、計測光の照射位置によっては、計測されたテーブル４Ｂの移動方向と微動アクチュエータ１２１の移動方向との間に不一致が生じることがある。しかしながら、図１３などを参照して説明したように、計測光に近い微動アクチュエータ１２１が作動されることにより、移動方向の不一致による計測誤差を抑制することができる。

そして、本実施形態においては、計測光の照射位置に応じて、２つの微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２の作動量に差を設けることにより、移動方向の不一致による計測誤差を抑制することができる。許容されるθＺ誤差を超えないように、２つの微動アクチュエータ１２１及び微動アクチュエータ１２２の作動量に差を設ける必要がある。

このように、本実施形態によれば、θＺ方向に関するテーブルの位置を計測する既存のテーブル装置に比べて、θＺ方向に関するテーブル４Ｂの位置を計測しなくても、テーブル４Ｂの位置制御を行うことができる。

なお、本実施形態において、Ｙ軸方向に関して３つ以上の任意の複数の微動アクチュエータ１１Ｂが配置されてもよい。Ｘ軸方向に関して３つ以上の任意の複数の微動アクチュエータ１２Ｂが配置されてもよい。それら複数の微動アクチュエータ１１Ｂ及び微動アクチュエータ１２Ｂそれぞれの作動量が調整されることによって、θＺ方向に関するテーブル４Ｂの位置が調整される。

なお、上述の第１実施形態及び第２実施形態においても、Ｙ軸方向に関して複数の微動アクチュエータ１１が配置され、Ｘ軸方向に関して複数の微動アクチュエータ１２が配置されてもよい。それら複数の微動アクチュエータ１１及び微動アクチュエータ１２それぞれの作動量が調整されることによって、θＺ方向に関するテーブル４の位置が調整される。

＜第５実施形態＞
第５実施形態について説明する。図１５は、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡを備える半導体製造装置２００の一例を示す図である。半導体製造装置２００は、半導体デバイスを製造可能な半導体デバイス製造装置を含む。半導体製造装置２００は、半導体デバイスの製造工程の少なくとも一部において使用される。半導体製造装置２００は、半導体デバイスを製造するための物体Ｓを搬送可能な搬送装置３００を含む。搬送装置３００は、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡを含む。なお、図１５においては、テーブル装置ＴＡを簡略して図示する。なお、テーブル装置ＴＡが、上述の実施形態で説明したテーブル装置ＴＡＢ、テーブル装置ＴＡＣ、及びテーブル装置ＴＡＤの少なくとも一つでもよい。

本実施形態において、物体Ｓは、半導体デバイスを製造するための基板である。物体Ｓから半導体デバイスが製造される。物体Ｓは、半導体ウエハを含んでもよいし、ガラス板を含んでもよい。物体Ｓにデバイスパターン（配線パターン）が形成されることによって、半導体デバイスが製造される。

半導体製造装置２００は、処理位置ＰＪ１に配置された物体Ｓに対して、デバイスパターンを形成するための処理を行う。テーブル装置ＴＡは、テーブル４に支持された物体Ｓを処理位置ＰＪ１に配置する。搬送装置３００は、テーブル装置ＴＡのテーブル４に物体Ｓを搬送（搬入）可能な搬入装置３０１と、テーブル４から物体Ｓを搬送（搬出）可能な搬出装置３０２とを含む。搬入装置３０１によって、処理前の物体Ｓがテーブル４に搬送（搬入）される。テーブル装置ＴＡによって、テーブル４に支持された物体Ｓが処理位置ＰＪ１まで搬送される。搬出装置３０２によって、処理後の物体Ｓがテーブル４から搬送（搬出）される。

テーブル装置ＴＡは、テーブル４を移動して、テーブル４に支持された物体Ｓを処理位置ＰＪ１に移動する。テーブル装置ＴＡは、テーブル４を目標軌道で移動可能であり、テーブル４に支持された物体Ｓを処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置可能である。

例えば、半導体製造装置２００が、投影光学系２０１を介してデバイスパターンの像を物体Ｓに投影する露光装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、投影光学系２０１の像面の位置（露光位置）を含む。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、半導体製造装置２００は、投影光学系２０１を介して、デバイスパターンの像を物体Ｓに投影可能である。

処理位置ＰＪ１において物体Ｓが処理された後、その処理後の物体Ｓが搬出装置３０２によってテーブル４から搬送される。搬出装置３０２によって搬送（搬出）された物体Ｓは、後工程を行う処理装置に搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置ＴＡは、物体Ｓを処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置可能であるため、不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。すなわち、テーブル装置ＴＡによって、半導体製造装置２００における物体Ｓの位置決め精度の不足が抑制されるため、不良な製品の発生が抑制される。

なお、半導体製造装置２００が、光学系を介して物体Ｓのデバイスパターンを計測する計測装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、光学系の焦点の位置（計測位置）を含む。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、半導体製造装置２００は、光学系を介して、物体Ｓに形成されたデバイスパターンの画像を取得可能である。半導体製造装置２００が、物体Ｓに膜を形成する成膜装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、膜を形成するための材料が供給可能な位置である。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、デバイスパターンを形成するための膜が物体Ｓに形成される。

なお、フラットパネルディスプレイ製造装置が、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡ（テーブル装置ＴＡＢ、テーブル装置ＴＡＣ、テーブル装置ＴＡＤ）を備えてもよいし、テーブル装置ＴＡを含む搬送装置３００を備えてもよい。フラットパネルディスプレイ製造装置は、例えば露光装置を含み、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイ製造装置が露光装置を含む場合、フラットパネルディスプレイを製造するためのパターンの像が投影光学系を介してガラス板を含む物体Ｓに投影される。フラットパネルディスプレイ製造装置は、目標位置に配置された物体Ｓを処理できるので、その物体Ｓから不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

図１６は、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡを備える検査装置４００の一例を示す図である。検査装置４００は、半導体製造装置２００によって製造された物体（半導体デバイス）Ｓ２を検査する。検査装置４００は、物体Ｓ２を搬送可能な搬送装置３００Ｂを含む。搬送装置３００Ｂは、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡを含む。なお、図１６においては、テーブル装置ＴＡを簡略して図示する。なお、テーブル装置ＴＡが、上述の各実施形態で説明したテーブル装置ＴＡＢ、テーブル装置ＴＡＣ、及びテーブル装置ＴＡＤの少なくとも一つでもよい。

検査装置４００は、検査位置ＰＪ２に配置された物体Ｓ２の検査を行う。テーブル装置ＴＡは、テーブル４に支持された物体Ｓ２を検査位置ＰＪ２に配置する。搬送装置３００Ｂは、テーブル装置ＴＡのテーブル４に物体Ｓ２を搬送（搬入）可能な搬入装置３０１Ｂと、テーブル４から物体Ｓ２を搬送（搬出）可能な搬出装置３０２Ｂとを含む。搬入装置３０１Ｂによって、検査前の物体Ｓ２がテーブル４に搬送（搬入）される。テーブル装置ＴＡによって、テーブル４に支持された物体Ｓ２が検査位置ＰＪ２まで搬送される。搬出装置３０２Ｂによって、検査後の物体Ｓ２がテーブル４から搬送（搬出）される。

テーブル装置ＴＡは、テーブル４を移動して、テーブル４に支持された物体Ｓ２を検査位置ＰＪ２に移動する。テーブル装置ＴＡは、テーブル４を目標軌道で移動可能であり、テーブル４に支持された物体Ｓ２を検査位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能である。

本実施形態において、検査装置４００は、検出光を用いて物体Ｓ２の検査を光学的に行う。検査装置４００は、検出光を射出可能な照射装置４１１と、照射装置４１１から射出され、物体Ｓ２で反射した検出光の少なくとも一部を受光可能な受光装置４１２とを含む。本実施形態において、検査位置ＰＪ２は、検出光の照射位置を含む。検査位置ＰＪ２に物体Ｓ２が配置されることにより、物体Ｓ２の状態が光学的に検査される。

検査位置ＰＪ２において物体Ｓ２の検査が行われた後、その検査後の物体Ｓ２が搬出装置３０２Ｂによってテーブル４から搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置ＴＡは、物体Ｓ２を検査位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能であるため、検査不良の発生を抑制できる。すなわち、検査装置４００は、物体Ｓ２が不良であるか否かを良好に判断することができる。これにより、例えば不良な物体Ｓ２が後工程に搬送されたり、出荷されたりすることが抑制される。

なお、三次元測定装置が、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡ（テーブル装置ＴＡＢ、テーブル装置ＴＡＣ、テーブル装置ＴＡＤ）を備えてもよいし、テーブル装置ＴＡを含む搬送装置を備えてもよい。測定対象の物体がテーブルに支持されることにより、三次元測定装置は、目標位置に配置された物体を測定できるので、その物体の測定を精密に行うことができる。

なお、工作機械が、本実施形態に係るテーブル装置ＴＡ（テーブル装置ＴＡＢ、テーブル装置ＴＡＣ、テーブル装置ＴＡＤ）を備えてもよいし、テーブル装置ＴＡを含む搬送装置を備えてもよい。測定対象の物体がテーブルに支持されることにより、工作機械は、目標位置に配置された物体を加工できるので、その物体の加工を精密に行うことができる。

なお、本実施形態においては、テーブル４がＸＹ平面内（水平面内）に移動することとした。本実施形態において、テーブル４がＸＹ平面に対して傾斜する方向に移動されてもよい。可動部材２がＸＹ平面に対して傾斜する方向に移動されてもよい。換言すれば、可動部材２及びテーブル４の一方又は両方が、水平面に対して傾斜する所定面内において移動されてもよい。

１ 可動部材
２ 可動部材
３ ベース部材
４ テーブル
５ 駆動装置
６ 駆動装置
７ ガイド装置
８ ガイド装置
９ 可動部材
１０ 弾性部材
１１ 微動アクチュエータ
１２ 微動アクチュエータ
１３ 連結部材
１４ 連結部材
１５ 計測ミラー
７１ ガイドレール
７２ リニアベアリング
８１ ガイドレール
９１ ガイドレール
９２ リニアベアリング
２００ 半導体製造装置
３００ 搬送装置
４００ 検査装置
ＴＡ テーブル装置

Claims (7)

1. テーブルと、
   前記テーブルと一緒に所定面内の第１軸と平行な方向に移動可能な第１可動部材と、
   前記テーブルと一緒に前記第１軸と直交する前記所定面内の第２軸と平行な方向に移動可能な第２可動部材と、
   前記テーブル、前記第１可動部材、及び前記第２可動部材を移動可能に支持するベース部材と、
   前記第１軸と平行な方向に前記第１可動部材を移動する第１駆動装置と、
   前記第２軸と平行な方向に前記第２可動部材を移動する第２駆動装置と、
   前記第２可動部材に配置された第１ガイドレール、及び前記テーブルに配置され前記第１ガイドレールを移動可能な第１リニアベアリングを有し、前記第１軸と平行な方向に前記テーブルをガイドする第１ガイド装置と、
   前記ベース部材に配置された第２ガイドレール、及び前記第２可動部材に配置され前記第２ガイドレールを移動可能な第２リニアベアリングを有し、前記第２軸と平行な方向に前記第２可動部材をガイドする第２ガイド装置と、
   前記第２可動部材において前記第１ガイドレールと平行に配置された第３ガイドレールと、
   前記第１可動部材と前記テーブルとの間に配置され、前記第１駆動装置よりも高い分解能で前記第１軸と平行な方向に前記テーブルを移動可能な第１微動アクチュエータと、
   前記第１軸と平行な方向に前記テーブルと一緒に前記第３ガイドレールを移動可能な第３リニアベアリングを含む第３可動部材と前記テーブルとの間に配置され、前記第２駆動装置よりも高い分解能で前記第２軸と平行な方向に前記テーブルを移動可能な第２微動アクチュエータと、を備えるテーブル装置。
2. 前記第２軸と平行な方向に関する相対移動を許容し、前記第１軸と平行な方向に関する相対移動を規制するように前記第１微動アクチュエータと前記テーブルとを連結する第１連結部材と、
   前記第１軸と平行な方向に関する相対移動を許容し、前記第２軸と平行な方向に関する相対移動を規制するように前記第２微動アクチュエータと前記テーブルとを連結する第２連結部材と、を備える請求項１に記載のテーブル装置。
3. 前記第１微動アクチュエータが前記第２軸と平行な方向に関して少なくとも２つ配置され、
   前記第２微動アクチュエータが前記第１軸と平行な方向に関して少なくとも２つ配置され、
   前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータそれぞれの作動量を調整して、前記所定面と直交する第３軸まわりの回転方向に関する前記テーブルの位置を調整する請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。
4. 前記テーブルに配置された計測ミラーに計測装置からの計測光が照射されることにより前記所定面内における前記テーブルの位置が計測され、
   前記計測ミラーに対する計測光の照射位置に基づいて、前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータそれぞれの作動量を調整する請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のテーブル装置。
5. 前記第３リニアベアリングは、転がり軸受を含む請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のテーブル装置。
6. 前記第３可動部材は、前記第１可動部材を含む請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のテーブル装置。
7. 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のテーブル装置を備える搬送装置。

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