JP6300564B2 - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(1−1. 固体撮像装置Iの全体構成の例)
図1は、固体撮像装置Iの全体構成例を説明するための模式図である。固体撮像装置Iは、撮像領域R1および周辺領域R2を有する。
図2は、図1におけるカットラインA−Bの断面構成を示す模式図である。固体撮像装置Iは、第1の構造ST1、第2の構造ST2および第3の構造ST3を有する。
以下、図3(A)〜3(F)を参照しながら固体撮像装置Iの製造方法の例を述べる。固体撮像装置Iは、公知の半導体製造技術を用いて製造することが可能である。
以下、図4〜図7を参照しながら、インナーレンズの頂部が平坦であることによる効果等について述べる。図4の(A1)〜(A4)は、インナーレンズILの形成方法の例を示す模式図である。ここでは説明の容易化のため構造ST1及びST2を単純化して示している。
Tr:赤色光(波長630nm)の透過率、
Tg:緑色光(波長550nm)の透過率、
Tb:青色光(波長450nm)の透過率、
とする。これらは、ベイヤ配列にしたがう画素アレイの各画素を測定することにより得られる。また、
(Tr/Tg)MAX:Tr/Tgの最大値、
(Tr/Tg)MIN:Tr/Tgの最小値、
(Tb/Tg)MAX:Tb/Tgの最大値、
(Tb/Tg)MIN:Tb/Tgの最小値、
とする。
SV≡{((Tr/Tg)MAX/(Tr/Tg)MIN−1)2+((Tb/Tg)MAX/(Tb/Tg)MIN−1)2}1/2、
と定義される。この定義によると、RGB光感度比ばらつきSVが大きいほど、RGB各色の画素間での光感度ばらつき量が大きいことを示し、RGB光感度比ばらつきSVが小さいほど、RGB各色の画素間での光感度ばらつき量が小さいことを示す。
平坦化層の材料 :1.55、
酸化シリコン(SiO2) :1.47、
窒化シリコン(Si3N4):2.0、
酸窒化シリコン(SiNO):1.73、
シリコン(Si) :4.0、
とした。
また、以上の実施形態は、カメラ等に代表される撮像システムに含まれる固体撮像装置について述べた。撮像システムの概念には、撮影を主目的とする装置のみならず、撮影機能を補助的に備える装置(例えば、パーソナルコンピュータ、携帯端末)も含まれる。撮像システムは、上記の実施形態として例示された本発明に係る固体撮像装置と、該固体撮像装置から出力される信号を処理する信号処理部とを含みうる。該信号処理部は、例えば、A/D変換器、および、このA/D変換器から出力されるデジタルデータを処理するプロセッサを含みうる。
Claims (15)
- 光電変換部が設けられた基板を準備する工程と、
前記基板の上に、前記光電変換部に対応するインナーレンズを形成するための誘電体膜を形成する工程と、
レンズ形状、円錐形状および多角錐形状のいずれか1つを有する部材を前記誘電体膜の上に形成する工程と、
前記部材および前記誘電体膜を、
前記誘電体膜の平坦な上面に前記部材の一部が残存し、かつ、
前記誘電体膜のうちの前記残存した一部の周辺の部分が除去される
ようにエッチングして前記インナーレンズを形成する工程と、
前記インナーレンズを形成する工程の後に、前記誘電体膜を除去せずに、前記誘電体膜の前記平坦な上面の上の前記部材の前記残存した一部を除去する工程と、
前記部材の前記残存した一部を除去する工程の後に、前記インナーレンズの上に、前記光電変換部に対応するマイクロレンズを形成する工程と、を有する
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記誘電体膜を形成する工程において、前記誘電体膜の上面は、CVD法によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記部材は、熱可塑性の材料で構成されており、前記誘電体膜上に熱可塑性の部材を形成し、該形成された熱可塑性の部材をパターニングし、該パターニングされた熱可塑性の部材を加熱することによって形成される
ことを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記部材は、感光性の材料で構成されており、前記誘電体膜上に感光性の部材を形成し、該形成された感光性の部材を露光し、該露光された感光性の部材を現像することによって形成される
ことを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記感光性の部材を露光するのに多階調フォトマスクを用いる
ことを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記部材はレジストパターンである
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記マイクロレンズを形成する工程は、
前記インナーレンズの上に、前記マイクロレンズを形成するための第2の誘電体膜を形成する工程と、
前記マイクロレンズに平坦な上面が形成されるように前記第2の誘電体膜を成形する工程と、
を含む
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記基板を準備する工程の後かつ前記誘電体膜を形成する工程の前に、
前記基板の上に、絶縁部材と該絶縁部材の中に配された配線部とを含む構造を形成する工程と、
前記構造の前記光電変換部と対応する部分に、導光路を形成する工程と、をさらに有する
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記インナーレンズは、平坦な頂部と、前記頂部の周辺にあり曲面形状を有する周辺部とを含み、前記基板に直交する入射光のうち、前記頂部に入射した部分と前記周辺部に入射した部分とのそれぞれが前記導光路の上面に到達する形状を有する
ことを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記インナーレンズを形成する工程では、前記残存した一部の外縁が前記導光路の外縁よりも内側になるように、前記部材および前記誘電体膜をエッチングする
ことを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記インナーレンズを形成する工程では、前記残存した一部の外縁が前記光電変換部の外縁よりも内側になるように、前記部材および前記誘電体膜をエッチングする
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記インナーレンズを形成する工程では、前記残存した一部に覆われた前記平坦な上面の周辺に、前記平坦な上面に接続された曲面または傾斜面が前記誘電体膜の上面の他の一部として形成される
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 基板に配列された複数の光電変換部と、
前記基板の上に配され、絶縁部材と該絶縁部材の中に配された配線部とを含む構造と、
前記構造に形成され、前記絶縁部材よりも高い屈折率を有する部材で構成された導光路と、
前記構造の上に、前記複数の光電変換部に対応するように配された複数のインナーレンズと、
前記複数のインナーレンズの上に、前記複数の光電変換部に対応するように配された複数のマイクロレンズと、を備え、
前記複数のインナーレンズの各々は、平坦な頂部と、前記頂部の周辺にあり曲面形状を有する周辺部とを含み、前記基板に直交する光のうち、前記頂部に入射した部分と前記周辺部に入射した部分とのそれぞれが前記導光路の上面に到達する形状を有する
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記複数のマイクロレンズの各々は、その頂部が平坦である
ことを特徴とする請求項13に記載の固体撮像装置。 - 請求項13または14のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する信号処理部と、を備える
ことを特徴とするカメラ。
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