JP6286217B2 - 加振装置 - Google Patents

Description

本発明は、加振装置に関するものである。

特許文献１には、振動台と、振動台に上下動の振動加振を与える上下加振機と、振動台の水平−上下動を許容する平行リンクと、平行リンクとピンジョイントで接続されるスライドバーと、スライドバーの水平方向の運動を許容する静圧軸受と、を備える加振装置が開示されている。

特開平０１−５９１３７号公報

被加振体を鉛直方向に加振する加振装置において、偏荷重が作用する場合や水平軸を中心に回転してロッキング振動が生じた場合などには、被加振体を載置する載置部に傾きや共振が発生し、被加振体に所望の振動を与えることが困難となる。したがって、被加振体に所望の振動を与えるためには、二つの水平軸それぞれに対する傾きや回転を防止し、載置部の水平を確保することが求められる。

特許文献１に開示の加振装置では、載置部（振動台）の傾きや回転を防止するために、対向するリンク部材が平行に保たれる平行リンク機構を設けることによって載置部を支持する。

しかしながら、平行リンク機構は一方向に対する傾きを防止するものであるため、特許文献１に開示のような加振装置では、二つの水平軸両方に対する傾きや回転を防ぐことができず、水平を保つことができないおそれがある。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、水平を保つことが可能な加振装置を提供することを目的とする。

本発明は、加振装置であって、被加振体を載置する載置部と、前記載置部を鉛直方向に加振する鉛直加振部と、前記載置部を鉛直方向に移動可能に支持するリンク機構と、を備え、前記リンク機構は、互いに平行に設けられる一対の第一平行リンクと、互いに平行に設けられ前記第一平行リンクに対して垂直方向に設けられる一対の第二平行リンクと、を有し、第一平行リンク及び第二平行リンクは、水平方向に延在し水平方向に移動可能な水平リンク部材と、水平リンク部材の一端と載置部とに回動自在に連結される第一リンク部材と、水平リンク部材の一端とベース部材とに回動自在に連結される第二リンク部材と、水平リンク部材の他端と載置部とに回動自在に連結される第三リンク部材と、水平リンク部材の他端とベース部材とに回動自在に連結される第四リンク部材と、を有し、載置部が鉛直方向に移動した場合には、一対の第一平行リンクの水平リンク部材はそれぞれ水平方向へ逆向きに移動し、一対の第二平行リンクの水平リンク部材はそれぞれ水平方向へ逆向きに移動し、第一平行リンクの水平リンク部材は、第二平行リンクの水平リンク部材における水平方向の移動方向後方側に向かって移動することを特徴とする。

本発明では、第一平行リンクが、直交する二つの水平軸うち一方を中心とする傾きや回転に対して載置部の水平を保つように支持する。また、第二平行リンクは、第一平行リンクと垂直となるように設けられるため、直交する二つの水平軸のうち他方を中心とする傾きや回転に対して載置部の水平を保つように支持する。したがって、本発明によれば、第一平行リンク及び第二平行リンクによって、直交する二つの水平軸両方に対する傾きや回転を防ぐことができ、加振装置の水平を確保することができる。

本発明の実施形態に係る加振装置の正面図である。 本発明の実施形態に係る加振装置の平面図である。 本発明の実施形態に係る加振装置の右側面図である。 本発明の実施形態に係る平行リンク機構を示す図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。

まず、図１から図３を参照して、本発明の実施形態に係る加振装置１００の構成について説明する。図１は、加振装置１００の正面図であり、図２は平面図、図３は右側面図である。また、本明細書においては、加振装置１００の設置面に対して垂直方向、つまり鉛直方向をＺ軸とし、Ｚ軸に対して垂直な水平面を形成する直交二軸をＸ軸及びＹ軸として説明する。

加振装置１００は、被加振体を加振して耐久性を評価する性能耐久試験等に用いられるものである。

図１から図３に示すように、加振装置１００は、被加振体（図示省略）を載置する載置部１と、水平方向における一方向（Ｘ軸方向）に被加振体を加振する第一水平加振部１０と、第一水平加振部１０の加振方向に対して垂直方向（Ｙ軸方向）に被加振体を加振する第二水平加振部２０と、鉛直方向（Ｚ軸方向）に被加振体を加振する鉛直加振部３０と、載置部１を鉛直方向に移動可能に支持するリンク機構４０と、リンク機構４０が連結されるベース部材７０と、を備える。

載置部１は、被加振体が載置される加振テーブル２と、リンク機構４０が回動自在に連結される支持プレート３と、加振テーブル２と支持プレート３との間に設けられ加振テーブル２と支持プレート３との水平方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）の相対移動を案内する水平ガイド部４と、を備える。

水平ガイド部４は、直交する水平二方向の一方向（Ｘ軸方向）に沿って支持プレート３に設けられるリニアレール４Ａと、直交する水平二方向の他方向（Ｙ軸方向）に沿って加振テーブル２に設けられるリニアレール４Ｂと、リニアレール４Ａとリニアレール４Ｂとのそれぞれに対して相対移動するように連結されるスライダ４Ｃと、を有する。

加振テーブル２にＸ軸方向の荷重が作用すると、リニアレール４Ａがスライダ４Ｃに案内されるため、加振テーブル２が支持プレート３に対してＸ軸方向に移動する。また、加振テーブル２にＹ方向の荷重が作用すると、リニアレール４Ｂがスライダ４Ｃに案内されるため、加振テーブル２が支持プレート３に対してＹ軸方向に移動する。このように、水平ガイド部４によって、加振テーブル２と支持プレート３との水平方向の相対移動が案内される。水平ガイド部４は、このような構成に限られるものではなく、加振テーブル２と支持プレート３との相対移動を案内するものであれば、任意の構成とすることができる。

第一水平加振部１０は、伸縮作動する第一アクチュエータ１１と、第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との間に設けられ第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との相対移動を案内する第一ガイド部１２と、を備える。

第一アクチュエータ１１は、油圧式シリンダであり、シリンダ１１Ａが図示しない支持部材によって支持され、ピストンロッド１１Ｂが第一ガイド部１２を介して載置部１の加振テーブル２に連結される。第一アクチュエータ１１を伸縮作動することにより、加振テーブル２に載置される被加振体に対して、水平方向における一方向（Ｘ軸方向）の振動を与えることができる。第一アクチュエータ１１は、油圧式シリンダに限らず、例えば電動式など他のアクチュエータであってもよい。

第一ガイド部１２は、第一アクチュエータ１１の伸縮方向に対して垂直方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられるリニアレール１２Ａと、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って設けられるリニアレール１２Ｂと、リニアレール１２Ａとリニアレール１２Ｂとのそれぞれに対して相対移動するように連結されるスライダ１２Ｃと、を有する。リニアレール１２Ａが第一アクチュエータ１１のピストンロッド１１Ｂの先端側に設けられ、リニアレール１２Ｂが加振テーブル２に設けられる。

加振テーブル２にＹ軸方向の荷重が作用すると、リニアレール１２Ａがスライダ１２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第一アクチュエータ１１に対してＹ軸方向に移動する。また、加振テーブル２にＺ方向の荷重が作用すると、リニアレール１２Ｂがスライダ１２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第一アクチュエータ１１に対してＺ軸方向に移動する。このように、第一ガイド部１２によって、第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との水平方向の他方向（Ｙ軸方向）及び鉛直方向（Ｚ軸方向）の相対移動が案内される。第一ガイド部１２は、このような構成に限られるものではなく、第一アクチュエータ１１と加振テーブル２との相対移動を案内するものであれば、任意の構成とすることができる。

第二水平加振部２０は、伸縮作動する第二アクチュエータ２１と、第二アクチュエータ２２と加振テーブル２との間に設けられ第二アクチュエータ２１と加振テーブル２との相対移動を案内する第二ガイド部２２と、を備える。

第二アクチュエータ２１も、第一アクチュエータ１１と同様に、油圧式シリンダであり、シリンダ２１Ａが図示しない支持部材によって支持され、ピストンロッド２１Ｂが第二ガイド部２２を介して載置部１の加振テーブル２に連結される。第二アクチュエータ２１を伸縮作動することにより、加振テーブル２に載置される被加振体に対して、水平方向における他方向（Ｙ軸方向）の振動を与えることができる。第二アクチュエータ２１も、油圧式シリンダに限らず、他のアクチュエータであってもよい。

第二ガイド部２２は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って設けられるリニアレール２２Ａと、第二アクチュエータ２１の伸縮方向に対して垂直方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられるリニアレール２２Ｂと、リニアレール２２Ａとリニアレール２２Ｂとのそれぞれに対して相対移動するように連結されるスライダ２２Ｃと、を有する。リニアレール２２Ａが加振テーブル２に設けられ、リニアレール２２Ｂが第二アクチュエータ２１のピストンロッド２１Ｂの先端側に設けられる。

加振テーブル２にＺ軸方向の荷重が作用すると、リニアレール２２Ａがスライダ２２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第二アクチュエータ２１に対してＺ軸方向に移動する。また、加振テーブル２にＸ方向の荷重が作用すると、リニアレール２２Ｂがスライダ２２Ｃに案内されるため、加振テーブル２が第二アクチュエータ２１に対してＸ軸方向に移動する。このように、第二ガイド部２２によって、第二アクチュエータ２１と加振テーブル２との水平方向の一方向（Ｘ軸方向）及び鉛直方向（Ｚ軸方向）の相対移動が案内される。第二ガイド部２２も、このような構成に限られるものではなく、第二アクチュエータ２１と加振テーブル２との相対移動を案内するものであれば、任意の構成とすることができる。

このように、第一水平加振部１０と第二水平加振部２０とをそれぞれ直交するように設けることによって、第一、第二水平加振部１０，２０は、水平方向に被加振体を加振すると共に、加振テーブル２を鉛直軸（Ｚ軸）周りに回転させる力を受圧することができる。つまり、第一、第二水平加振部１０，２０によって、鉛直軸（Ｚ軸）周りの加振テーブル２の回転を防止することができる。

鉛直加振部３０は、筒状のシリンダ３０Ａと、シリンダ３０Ａ内に摺動自在に挿入されるピストンロッド３０Ｂと、を有して伸縮作動する油圧式シリンダである。鉛直加振部３０のピストンロッド３０Ｂの先端側は、載置部１の支持プレート３に連結される。鉛直加振部３０が伸縮作動することによって、載置部１を鉛直方向に加振し、被加振体に鉛直方向の振動を与えることができる。

鉛直加振部３０は、電動式アクチュエータ等であってもよいが、載置部１全体の自重を受けるものであり大きな出力が要求されるため、油圧式シリンダであることが好ましい。

載置部１の支持プレート３は、ベース部材７０に連結されるリンク機構４０によって支持される。リンク機構４０は、Ｘ軸方向に沿って互いに平行に設けられる一対の第一平行リンク５０と、互いに平行に設けられ第一平行リンク５０に対して垂直方向であるＹ軸方向に沿って設けられる第二平行リンク６０と、を有する。図１においては、一対の第一平行リンク５０の一方を破線で表し、図３においては、一対の第二平行リンク６０の一方を破線で表す。

一対の第一平行リンク５０は、互いに平行な鉛直面上（Ｘ軸とＺ軸によって形成されるＸＺ平面上）にそれぞれ設けられる。第一平行リンク５０は、鉛直面上において回動し、載置部１全体を鉛直方向に移動可能に支持する。

一対の第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０と同様の構成を有し、互いに平行な鉛直面であって第一平行リンク５０が設けられる鉛直面に対して垂直な鉛直面上（Ｙ軸とＺ軸によって形成されるＹＺ平面上）にそれぞれ設けられる。第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０と同様に、鉛直面上において回動し、載置部１全体を鉛直方向に移動可能に支持する。

加振装置１００は、ベース部材７０と載置部１との間で介装されてベース部材７０と載置部１との鉛直方向における相対移動を案内する一対の鉛直ガイド部８０をさらに備える。

鉛直ガイド部８０は、ベース部材７０に設けられ筒状に形成されるガイドチューブ８１と、載置部１の支持プレート３に設けられガイドチューブ８１の内周に沿って摺動するガイドロッド８２と、を備える。ガイドチューブ８１は、軸方向の全長にわたって、ガイドロッド８２が摺動可能に形成されてもよいし、軸方向の一部においてガイドロッド８２が摺動するように形成されてもよい。また、ベース部材７０にガイドロッド８２が設けられ、支持プレート３にガイドチューブ８１が設けられてもよい。

このような鉛直ガイド部８０を備えることによって、載置部１の鉛直軸（Ｚ軸）周りの回転をさらに防止することができる。

次に、図４を参照して、加振装置１００の第一、第二平行リンク５０，６０の構造について詳しく説明する。第一平行リンク５０と第二平行リンク６０とは、同一の構成を有しており、ベース部材７０及び載置部１の支持プレート３に取り付けられる位置が異なるのみであるため、図４では第一平行リンク５０のみを図示して第二平行リンク６０の図示を省略する。また、図４では、ベース部材７０及び支持プレート３以外の構成についても図示を省略する。また、図４における括弧内の符号は、第二平行リンクの構成を示すものである。

第一、第二平行リンク５０，６０は、水平方向に延在し水平方向に移動可能な水平リンク部材５１，６１と、水平リンク部材５１，６１の一端と載置部１の支持プレート３とに回動自在に連結される第一リンク部材５２，６２と、水平リンク部材５１，６１の一端とベース部材７０とに回動自在に連結される第二リンク部材５３，６３と、水平リンク部材５１，６１の他端と支持プレート３とに回動自在に連結される第三リンク部材５４，６４と、水平リンク部材５１，６１の他端とベース部材７０とに回動自在に連結される第四リンク部材５５，６５と、を有する。

第一リンク部材５２，６２と第三リンク部材５４，６４とは、同一の形状に形成され、互いに平行となるように水平リンク部材５１，６１と支持プレート３に連結される。

第二リンク部材５３，６３と第四リンク部材５５，６５とは、同一の形状に形成され、互いに平行となるように水平リンク部材５１，６１とベース部材７０に連結される。

また、第一、第二平行リンク５０，６０における第一リンク部材５２，６２及び第三リンク部材５４，６４と第二リンク部材５３，６３及び第四リンク部材５５，６５とも、同一の形状に形成される。

つまり、図４に二点鎖線で示すように、第一、第二平行リンク５０，６０では、支持プレート３、水平リンク部材５１，６１、第一リンク部材５２，６２、及び第三リンク部材５４，６４によって、平行四辺形Ａが形成される。また、ベース部材７０、水平リンク部材５１，６１、第二リンク部材５３，６３、及び第四リンク部材５５，６５によって、平行四辺形Ｂが形成される。

第一平行リンク５０と第二平行リンク６０とは、水平方向に対して互いに垂直となるように設けられる（図２参照）。このため、載置部１は、第一平行リンク５０によって、Ｙ軸周りの傾きや回転が防止され、第二平行リンク６０によって、Ｘ軸周りの傾きや回転が防止される。このように、加振装置１００の載置部１は、第一、第二平行リンク５０，６０によって、直交する水平二軸両方に対する傾きや回転が防止され、水平を確保するように支持される。

第一、第二平行リンク５０，６０により、水平方向に対する載置部１の傾きが防止されるため、加振装置１００における水平方向の軸を中心とした傾きに対する剛性が向上する。したがって、載置部１の共振周波数を上昇させることができ、偏荷重などによって生じる載置部１のロッキング振動と鉛直加振部３０が与える振動との共振の発生を抑制することができる。

また、図４に示すように、第一、第二平行リンク５０，６０において、第一リンク部材５２，６２と第二リンク部材５３，６３とは、それぞれ異なる回動軸５６，５７，６６，６７によって、水平リンク部材５１，６１に連結される。また、第三リンク部材５４，６４と第四リンク部材５５，６５とは、それぞれ異なる回動軸５８，５９，６８，６９によって水平リンク部材５１，６１に連結される。このため、それぞれ同じ回動軸によって連結される場合に比べて、第一リンク部材５２，６２、第二リンク部材５３，６３、第三リンク部材５４，６４、第四リンク部材５５，６５の組み立てが容易であり、各リンク部材の幅が増大することを防ぐことができる。

後述するように鉛直加振部３０によって載置部１が鉛直方向に移動する場合において、一対の第一平行リンク５０は、図１に示すように、互いの水平リンク部材５１の移動方向が逆向きになるように設けられる。また、図３に示すように、一対の第二平行リンク６０は、載置部１が鉛直方向に移動した場合において、互いの水平リンク部材６１の移動方向が逆向きとなるように設けられる。そして、第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０におけるそれぞれの水平リンク部材５１が、第二平行リンク６０におけるそれぞれの水平リンク部材６１の移動方向後方側に向かって移動するように設けられる。

第一、第二平行リンク６０がこのように設けられることにより、載置部１が鉛直方向に移動した際に、水平方向に移動する第一平行リンク５０の水平リンク部材５１と第二平行リンク６０における水平リンク部材６１との干渉を防止できる。

次に、加振装置１００の動作について説明する。

載置部１の加振テーブル２に載置される被加振体に対して、鉛直方向の振動を与える場合には、鉛直加振部３０を伸縮作動する。

鉛直加振部３０の伸縮作動によって載置部１に鉛直方向の荷重が作用すると、図４中矢印で示すように、支持プレート３と水平リンク部材５１，６１の間で第一リンク部材５２，６２及び第三リンク部材５４，６４がそれぞれ回動すると共にベース部材７０と水平リンク部材５１，６１の間で第二リンク部材５３，６３及び第四リンク部材５５，６５がそれぞれ回動するのに伴って、水平リンク部材５１，６１が水平方向及び鉛直方向へ移動する。このため、支持プレート３が、水平を保ったまま鉛直方向に移動する。

水平方向の第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１は、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２により、鉛直方向に沿って加振テーブル２との相対移動が案内される。このため、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１が、鉛直方向への支持プレート３の移動を阻害することはない。

このように、鉛直加振部３０によって、載置部１の支持プレート３は、水平を保ったまま鉛直方向に移動し、被加振体には鉛直方向の振動が与えられる。

被加振体に対して、水平方向の振動を与える場合には、与える振動に応じて第一水平加振部１０の第一アクチュエータ１１と第二水平加振部２０第二アクチュエータ２１とを伸縮作動する。

水平方向の第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１を伸縮作動すると、載置部１の加振テーブル２が、水平ガイド部４によって案内されて支持プレート３に対して水平方向に移動する。

また、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１は、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２により、それぞれ伸縮方向に垂直な水平方向に沿って加振テーブル２との相対移動が案内される（図１〜図３参照）。このため、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１の両方が伸縮作動して加振テーブル２に振動を与える場合であっても、一方のアクチュエータが他方のアクチュエータの伸縮作動を阻害することがない。

したがって、第一アクチュエータ１１及び第二アクチュエータ２１を伸縮作動させることによって、被加振体には水平方向の振動が与えられる。

以上のように、水平ガイド部４、第一ガイド部１２、及び第二ガイド部２２によって、互いに阻害することなく鉛直加振部３０及び第一、第二アクチュエータ１１，２１が伸縮作動して、被加振体に振動を与えることができる。

ここで、水平方向に対する加振テーブルの移動を案内する第一ガイド部及び第二ガイド部が滑らかに案内できなくなった場合において、第一、第二アクチュエータが伸縮作動すると、加振装置全体に水平方向の力が作用して、加振装置が倒れるおそれがある。このような場合においても、加振装置１００によれば、ベース部材７０と載置部１との鉛直方向の移動を案内する鉛直ガイド部８０を備えているため、水平方向の力を鉛直ガイド部８０が受圧し、加振装置１００の倒れを防止することができる。

以上の実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。

加振装置１００では、第一平行リンク５０が、直交する二つの水平軸うちＹ軸を中心とする傾きや回転に対して載置部１の水平を保つように支持する。また、第二平行リンク６０は、第一平行リンク５０と垂直となるように設けられるため、直交する二つの水平軸のうちＸ軸を中心とする傾きや回転に対して載置部１の水平を保つように支持する。したがって、加振装置１００によれば、第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０によって、直交する二つの水平軸両方に対する傾きや回転を防ぐことができ、加振装置１００の水平を確保することができる。

また、載置部１は、一対の第一平行リンク５０及び一対の第二平行リンク６０に支持されることにより、水平方向の傾きが防止されるため、水平方向の傾きに対する剛性が向上する。このため、載置部１の共振周波数を上昇させることができ、偏荷重などによるロッキング振動と鉛直加振部３０が与える振動との共振の発生を抑制することができる。

ここで、加振装置における載置部１の水平を確保するための手法として、複数のアクチュエータによって、鉛直加振部３０を構成することも考えられる。しかしながら、油圧式のアクチュエータの場合には複数のアクチュエータ同士の同期制御が困難である。また、電動式のアクチュエータの場合には、油圧式と比較して同期制御は容易であるが、出力が油圧式より低いため多くのアクチュエータを必要とし、装置全体が高コスト化する。

これに対し、加振装置１００によれば、載置部１が第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０によって支持されることにより、水平を確保することができるため、加振装置１００の鉛直加振部３０を単一の油圧式シリンダによって構成することができる。つまり、出力が大きい一つの油圧式アクチュエータによって、鉛直加振部３０を構成することができるため、同期制御を行う必要もなく、複数のアクチュエータを備えることによって高コスト化することもない。したがって、低コストによって、加振装置１００の水平を確保することができる。

また、加振装置１００は、一対の鉛直ガイド部８０を備えているため、載置部１の鉛直軸（Ｚ軸）周りの回転も防止することができる。さらに、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２が滑らかに移動を案内できなくなった場合においても、鉛直ガイド部８０が水平方向に作用する力を受圧することができる。したがって、加振装置１００は水平方向の力に対してより高い剛性を発揮するため、第一ガイド部１２及び第二ガイド部２２の不具合時における加振装置１００の倒れを防止することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。

上記実施形態では、加振装置１００は、被加振体を鉛直方向に加振する鉛直加振部３０と、水平方向に加振する第一、第二アクチュエータ（第一、第二水平加振部）１０，２０と、を備える。これに代えて、水平方向における直交する二方向の振動を与える必要がない場合には、第一、第二水平加振部１０，２０のどちらか一方又は両方を備えていなくてもよい。

また、上記実施形態では、一対の第一平行リンク５０と、一対の第二平行リンク６０と、を備える。これに代えて、互いに平行に設けられる第一、第二平行リンク６０が二対以上設けられていてもよい。

また、上記実施形態では、第一、第二平行リンク５０，６０の第一リンク部材５２，６２と第二リンク部材５３，６３とは異なる回動軸５６，５７，６６，６７によって水平リンク部材５１，６１に連結され、第三リンク部材５４，６４と第四リンク部材５５，６５とは異なる回動軸５８，５９，６８，６９によって水平リンク部材５１，６１に連結される。第一、第二平行リンク５０，６０の製造のしやすさを考慮すると、異なる回動軸によって連結されることが好ましいが、同一の回動軸によって連結されてもよい。

また、上記実施形態では、載置部１が鉛直方向に移動した場合において、一対の第一平行リンク５０の水平リンク部材５１は互いに逆向きに移動し、一対の第二平行リンク６０の水平リンク部材６１は互いに逆向きに移動するものであった。また、第一平行リンク５０の水平リンク部材５１は、第二平行リンク６０の水平リンク部材６１の移動方向後方側に向かって移動するものであった。

第一平行リンク５０と第二平行リンク６０との干渉を防止するためには、上記のように構成することが好ましいが、一対の第一平行リンク５０の水平リンク部材５１は互いに同じ方向に移動するものであってもよく、一対の第二平行リンク６０の水平リンク部材６１は互いに同じ方向に移動するものであってもよい。つまり、第一平行リンク５０の水平リンク部材５１が第二平行リンク６０の水平リンク部材６１の移動方向前方に向かって移動するものであってもよい。

また、上記実施形態では、一対の第一平行リンク５０及び一対の第二平行リンク６０が全て同一の構成を有するものであった。第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０の製造のしやすさを考慮すると、同一の構成であることが好ましいが、第一平行リンク５０が設けられる方向と第二平行リンク６０が設けられる方向とが垂直となる限りは、異なる構成であってもよい。例えば、一対の第一平行リンク５０の水平リンク部材５１の長さが、一対の第二平行リンク６０の水平リンク部材６１の長さと異なってもよい。

また、上記実施形態では、第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０は、水平リンク部材５１，６１と、水平リンク部材５１，６１に連結される第一リンク部材５２，６２と、第二リンク部材５３，６３と、第三リンク部材５４，６４と、第四リンク部材５５，６５と、を有していた。第一平行リンク５０及び第二平行リンク６０は、このような構成に限られるものではなく、それぞれが平行リンクとして機能するものであれば、任意の構成とすることができる。

また、上記実施形態では、加振装置１００は、載置部１の鉛直方向の移動を案内する鉛直ガイド部８０を備えていた。これに加えて、筒状のガイドチューブとガイドチューブの内周に沿って摺動するガイドロッドとを有し、第一、第二アクチュエータの伸縮作動をガイドするアクチュエータガイド部をさらに備えていてもよい。この場合には、第一、第二アクチュエータ及びアクチュエータガイドによって、Ｚ軸周りの傾きや回転に対する剛性がさらに向上させることができる。

１００ 加振装置
１ 載置部
２ 加振テーブル
３ 支持プレート
４ 水平ガイド部
１０ 第一水平加振部
２０ 第二水平加振部
３０ 鉛直加振部
４０ 平行リンク機構
５０ 第一平行リンク
６０ 第二平行リンク
５１、６１ 水平リンク部材
５２、６２ 第一リンク部材
５３、６３ 第二リンク部材
５４、６４ 第三リンク部材
５５、６５ 第四リンク部材
７０ ベース部材
８０ 鉛直ガイド部

Claims (3)

1. 加振装置であって、
   被加振体を載置する載置部と、
   前記載置部を鉛直方向に加振する鉛直加振部と、
   前記載置部を鉛直方向に移動可能に支持するリンク機構と、を備え、
   前記リンク機構は、
   互いに平行に設けられる一対の第一平行リンクと、
   互いに平行に設けられ前記第一平行リンクに対して垂直方向に設けられる一対の第二平行リンクと、を有し、
   前記第一平行リンク及び前記第二平行リンクは、
   水平方向に延在し水平方向に移動可能な水平リンク部材と、
   前記水平リンク部材の一端と前記載置部とに回動自在に連結される第一リンク部材と、
   前記水平リンク部材の一端と前記ベース部材とに回動自在に連結される第二リンク部材と、
   前記水平リンク部材の他端と前記載置部とに回動自在に連結される第三リンク部材と、
   前記水平リンク部材の他端と前記ベース部材とに回動自在に連結される第四リンク部材と、を有し、
   前記載置部が鉛直方向に移動した場合には、一対の前記第一平行リンクの前記水平リンク部材はそれぞれ水平方向へ逆向きに移動し、一対の前記第二平行リンクの前記水平リンク部材はそれぞれ水平方向へ逆向きに移動し、前記第一平行リンクの前記水平リンク部材は、前記第二平行リンクの前記水平リンク部材における水平方向の移動方向後方側に向かって移動することを特徴とする加振装置。
2. ベース部材と、
   前記ベース部材と前記載置部との鉛直方向の相対移動を案内する鉛直ガイド部と、をさらに備え、
   前記鉛直ガイド部は、
   前記載置部及び前記ベース部材の一方に設けられる筒状のガイドチューブと、
   前記載置部及び前記ベース部材の他方に設けられ前記ガイドチューブの内周に沿って摺動するガイドロッドと、を有することを特徴とする請求項１に記載の加振装置。
3. 前記第一リンク部材と前記第三リンク部材とは、それぞれ異なる回動軸によって前記水平リンク部材に連結され、
   前記第二リンク部材と前記第四リンク部材とは、それぞれ異なる回動軸によって前記水平リンク部材に連結されることを特徴とする請求項１又は２に記載の加振装置。

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