JP6173192B2 - 液体噴射装置 - Google Patents
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Description
F 環状フレーム
11 半導体ウエーハ
17 フレームユニット
18 チャックテーブル
24 レーザービーム照射ユニット
28 集光器
30 保護膜被覆装置
46 スピンナーテーブル
54 電動モータ
66 樹脂噴射ノズル(液体噴射ノズル)
68 洗浄水噴射ノズル
70 エアノズル
71 液体噴射装置
72 液体供給源
78 ポンプ
80 液体搬送路
82 電磁弁
84 アスピレーター
86 液体バッグ
88 主流路
90 絞り部
92 負圧発生部
94 液滴
Claims (4)
- ウエーハの上面に液体を噴射する液体噴射装置であって、
ウエーハを保持して回転するスピンナーテーブルと、該スピンナーテーブルを回転させる回転駆動手段と、該スピンナーテーブルに保持されたウエーハに液体を噴射する液体噴射ノズルと、該液体噴射ノズルに液体を供給する液体供給源と、該液体供給源と該液体噴射ノズルとを連結する液体搬送経路と、該液体搬送経路に配設され該液体供給源から該液体噴射ノズルに向けて液体を送るポンプと、該液体搬送経路における該ポンプと該液体噴射ノズルとの間に配設され該液体搬送経路を開閉する電磁弁と、該電磁弁と該液体噴射ノズルとの間に配設され該液体搬送経路を液体が流れることによって負圧を発生するアスピレーターと、を備え、
該アスピレーターは、第1端と第2端が該液体搬送経路に連通するとともに該第1端と該第2端の間に絞り部を有する主流路と、該主流路の該絞り部から分岐し該主流路を液体が流れることによって負圧を発生する負圧発生部と、を有し、
該負圧発生部は、該負圧発生部で負圧が発生した際には内部が吸引されて収縮し、該負圧発生部で発生していた負圧が解除された際には膨張して復元する弾性を有する液体バッグに連通し、
該液体バッグは、該電磁弁の閉作動によって液体の流れが停止して該負圧発生部での負圧の発生がなくなった際、収縮した状態から収縮前の形状に復元するときに該液体搬送経路の該液体噴射ノズル側から該液体バッグに向けて液体を吸引することを特徴とする液体噴射装置。 - 該液体噴射ノズルと、該液体噴射ノズルに連通した液体供給源とをそれぞれ複数有することを特徴とする請求項1記載の液体噴射装置。
- 該液体供給源から供給される液体は水である請求項2記載の液体噴射装置。
- 該液体供給源から供給される液体は水溶性樹脂である請求項2又は3記載の液体噴射装置。
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