JP5887089B2 - 液体供給装置 - Google Patents
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Description
5 回転盤
10 供給部
11 液体タンク
12 ポンプ
13 フィルター
14 温度調節器
15 センサー
16 開閉機能を有する弁
20 使用部
21 ノズル
30 供給配管部
31 主配管部
32 使用側配管部
33 副配管部
34 循環配管部
35 ドレイン配管部
50 アスピレータ
52 主流路
53 吸引流路
60 開閉弁
80 流量調節弁
W シリコンウエハ
Claims (7)
- 液体の供給部と、液体の使用部と、前記供給部から前記使用部へ液体を流通させる供給配管部とを有する液体供給装置であって、
前記供給配管部は、前記供給部側から供給される液体を流通させる主配管部と、前記主配管部に接続されるアスピレータと、前記アスピレータにより分岐され前記使用部側に液体を供給する使用側配管部及び副配管部と、前記副配管部に接続され開閉機能を有する弁とを備えており、
前記アスピレータの主流路側に前記主配管部及び前記副配管部が接続され、前記アスピレータの吸引流路側に前記使用側配管部が接続されている
ことを特徴とする液体供給装置。 - 前記副配管部が、液体を前記供給部へ戻すための循環配管部である請求項1に記載の液体供給装置。
- 前記副配管部が、液体を廃棄するためのドレイン配管部である請求項1に記載の液体供給装置。
- 前記開閉機能を有する弁が開閉弁である請求項1に記載の液体供給装置。
- 前記開閉機能を有する弁が流量制御弁である請求項1に記載の液体供給装置。
- 前記主配管部もしくは前記使用側配管部のいずれか一方あるいは両方にフィルターが備えられる請求項1に記載の液体供給装置。
- 前記供給配管部に温度調節器、もしくは液体の温度または濃度をモニタリングするセンサーのいずれか一方あるいは両方が備えられる請求項1に記載の液体供給装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180039458A (ko) * | 2016-10-10 | 2018-04-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치, 그리고 이의 공정 유체 모니터링 장치 및 모니터링 방법 |
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Families Citing this family (10)
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---|---|---|---|---|
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JP2021134859A (ja) * | 2020-02-27 | 2021-09-13 | アドバンス電気工業株式会社 | 小型ダイヤフラム弁及び当該小型ダイヤフラム弁を用いた半導体ウェハー処理用薬液吐出装置 |
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Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58205153A (ja) * | 1982-05-25 | 1983-11-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 薬液散布装置 |
JPH09243419A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-19 | Rion Co Ltd | 液体試料の吸引装置 |
JPH11186141A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2005103453A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Shibaura Mechatronics Corp | 溶液の塗布装置及び塗布装置の脱気方法 |
JP4781057B2 (ja) * | 2005-09-08 | 2011-09-28 | 日立造船株式会社 | 液体充填装置 |
JP2009070958A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面処理方法及び装置 |
JP4923002B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2012-04-25 | 日本ピラー工業株式会社 | 液体ポンプシステム、ポンプ装置、ローリングダイヤフラムポンプの制御方法 |
JP5235556B2 (ja) * | 2008-08-07 | 2013-07-10 | Ckd株式会社 | 液体供給システム |
-
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- 2011-09-14 JP JP2011200447A patent/JP5887089B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180039458A (ko) * | 2016-10-10 | 2018-04-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치, 그리고 이의 공정 유체 모니터링 장치 및 모니터링 방법 |
KR102010264B1 (ko) * | 2016-10-10 | 2019-08-13 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치, 그리고 이의 공정 유체 모니터링 장치 및 모니터링 방법 |
US10717117B2 (en) | 2017-02-22 | 2020-07-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
US10910234B2 (en) | 2017-02-22 | 2021-02-02 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
US11260436B2 (en) | 2017-02-22 | 2022-03-01 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
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