JP5637769B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
2 レーザー加工ユニット(レーザー加工手段)
4 保護膜形成・除去ユニット(保護膜形成手段、保護膜除去手段)
13 保持テーブル(保持手段)
26 保護膜形成・除去用テーブル(保持部)
27 開口部
28 筐体
29 樹脂供給ノズル
30 シャッター機構(シャッター部)
32 洗浄用ノズル
33 シート部材
34 巻回ローラ(巻き取り部)
36 シート部材保持部(引き出し部)
40 洗浄ユニット
41 洗浄用ローラ(洗浄部)
42 付勢ローラ
43 洗浄水供給ノズル
44 エアーブロアーノズル
W ウェーハ
Claims (1)
- ワークを保持する保持手段と、前記保持手段に保持されたワークにレーザービームを照射してアブレーション加工を行うレーザー加工手段と、前記レーザー加工手段によって加工される前のワークの被加工面に保護膜を形成するための液状樹脂を塗布する保護膜形成手段と、前記レーザー加工手段によって加工された後のワークの被加工面に洗浄水を供給して前記保護膜を除去する保護膜除去手段と、を備えたレーザー加工装置であって、
前記保護膜除去手段は、
ワークを保持する保持部と、
上面に開口部を有し前記保持部を収容する筐体と、
前記筐体内に位置づけられた前記保持部に保持されたワークの被加工面に洗浄水を供給する洗浄ノズルと、
前記開口部を覆うシャッター部と、を有し、
前記シャッター部は、
可撓性を有し前記開口部を覆うシート部材と、
前記シート部材を巻き取って前記開口部を開放する開位置に位置づける巻き取り部と、
前記シート部材を前記巻き取り部から引き出して前記開口部を覆う閉位置に位置づける引き出し部と、
前記シート部材が前記閉位置から前記開位置に移動する際に、前記シート部材の下面が擦動する洗浄部と、
前記洗浄部に洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルと、
前記シート部材の下面にエアーを噴き出すエアーブロアーノズルと、を有し、
前記洗浄部と前記洗浄水供給ノズルと前記エアーブロアーノズルとは、ドレインに連通する収容部の内部に設けられることを特徴とするレーザー加工装置。
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