JP6158280B2 - リソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
放射ビームB(例えばUV放射またはDUV放射)を調整するよう構成されている照明システム(イルミネータ)ILと、
パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するよう構成され、いくつかのパラメタに従ってパターニングデバイスMAを正確に位置決めするよう構成されている第1の位置決め装置PMに接続されている支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
基板(例えばレジストでコーティングされた基板)Wを保持するよう構成され、いくつかのパラメタに従って例えば基板Wの表面などのテーブルの表面を正確に位置決めするよう構成されている第2の位置決め装置PWに接続されている支持テーブル(例えばひとつまたは複数のセンサを支持するセンサテーブルまたは基板テーブル)WTと、
パターニングデバイスMAにより放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの(例えば1つまたは複数のダイからなる)目標部分Cに投影するよう構成されている投影システム(例えば屈折投影レンズ)PSと、を備える。
これは、基板Wと基板テーブルWTとの隙間を液体で満たすことにより液浸液中での気泡形成を抑制するという点で結像中に有効である。
Claims (13)
- 投影システムの最終要素と基板および/または基板テーブルの対向表面との間の局所的な空間に液浸液を閉じ込める液体閉じ込め構造を備える流体ハンドリングシステムと、
前記空間に隣接する領域に、前記液浸液への溶解度が摂氏20度および全圧1atmにおいて5x10−3mol/kgよりも大きいガスを供給するガス供給デバイスと、を備え、
前記液体閉じ込め構造は、
前記液体閉じ込め構造の底部から液体を抽出する流体抽出器と、
前記流体抽出器と前記対向表面との間のメニスカスにて前記液浸液に生成される気泡が前記ガスを実質的に含むように、前記ガス供給デバイスからの前記ガスの供給用に前記流体抽出器の半径方向外側にある1つ又は複数のガス供給開口と、を備え、
前記ガスが前記局所的な空間を実質的に囲むように、かつ、前記局所的な空間を囲むとともに前記局所的な空間の周りで前記ガスと接触する別の周囲雰囲気ガスから前記ガスが前記局所的な空間を隔てるように、前記1つ又は複数のガス供給開口が前記ガスを提供するよう配置され、
前記液体閉じ込め構造は、前記液体閉じ込め構造と前記投影システムとの間に張るメニスカスに隣接して前記ガス供給デバイスからガスを提供するさらなる開口を備える、液浸リソグラフィ装置。 - 前記ガス供給デバイスは、前記ガスの供給のためのガスソースを備える、請求項1に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記投影システムと前記対向表面との間の前記空間へと延在するプレートをさらに備え、前記プレートは、前記投影システムの露光領域の半径方向外側にあり液体を流通させる開口を有し、
前記流体抽出器は、前記プレートの半径方向外側にある、請求項1または2に記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記液体閉じ込め構造は、前記1つ又は複数のガス供給開口の半径方向外側に1つ又は複数の第2のガス供給開口を備える、請求項1から3のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記液体閉じ込め構造は、前記流体抽出器の半径方向外側に凹部を備え、
前記1つ又は複数のガス供給開口は、前記流体抽出器と前記凹部との間に設けられている、請求項1から3のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記液体閉じ込め構造は、前記凹部の半径方向外側に1つ又は複数の第2のガス供給開口を備える、請求項5に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記凹部は環境雰囲気に接続され、及び/または、前記凹部は低圧源に接続されている、請求項5または6に記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記1つ又は複数のガス供給開口は、前記流体抽出器の半径方向外側に隣接する、請求項1から7のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記液体閉じ込め構造は、前記空間のまわりで前記空間を部分的に画定する境界表面を形成し、
前記液体閉じ込め構造は、前記空間を部分的に画定する前記境界表面において前記空間に液体を供給する複数の開口を備える、請求項1から8のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。 - 前記液体閉じ込め構造は、前記投影システムの前記最終要素の少し上まで延在しており、前記液浸液の液位が前記最終要素の上まで上昇する、請求項1から9のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記ガス供給デバイスは、前記液浸リソグラフィ装置の露光領域をガスで満たすよう前記ガスを供給する、請求項1から10のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記液体閉じ込め構造は、前記投影システムと前記対向表面との間の前記空間へと延在するプレートを備える、請求項1から11のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
- 前記流体抽出器は、平面図で、コーナを有する形状が形成されるよう配置された複数の離散開口を備え、
前記1つ又は複数のガス供給開口は、前記コーナを有する形状の半径方向外側で前記コーナを有する形状の辺に沿って設けられている、請求項1から12のいずれかに記載の液浸リソグラフィ装置。
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