JP2005033135A - 微細構造体の洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 二酸化炭素と洗浄成分を必須的に含む洗浄剤組成物を、高圧下で流体にして微細構造体と接触させることにより該微細構造体に付着している不要物質を除去するための洗浄装置であって、この洗浄装置により行なわれる洗浄工程では該洗浄装置のいずれかの位置に有害物質が存在しており、該洗浄装置のうち有害物質が漏出する可能性のある部位が、第1の排気手段を備えた密閉構造体に収容されている洗浄装置である。
【選択図】 図1
Description
C:貯留部
1:二酸化炭素貯留タンク 2:二酸化炭素送給ポンプ
3:洗浄成分貯留タンク 4:洗浄成分送給ポンプ
5:切り替えバルブ 6:リンス成分貯留タンク
7:リンス成分送給ポンプ 8:切り替えバルブ
9:高圧洗浄容器
9a:高圧洗浄容器の容器部
9b:高圧洗浄容器の蓋部
10:恒温槽 11:圧力調整弁
12:貯留槽
13:密閉構造体 13a〜13c:密閉構造体
14:第1の流体漏出検知手段
14a〜14c:流体漏出検知器
15:第1の排気手段
16:第1の排気量制御手段 16a〜16c:排気量制御手段
17:容積可変手段
17a:レベル計 17b:仕切り板
17c:弾性部材 17d:ピストン
17e:蛇腹状の弾性部材 17f:枠体
17g:突出部 17h:破裂板
18:第2の密閉構造体 19:第2の流体漏出検知手段
20:第2の排気量制御手段 21:第2の排気手段
22,23,24,27:開閉弁 25:排気手段
26:洗浄容器用洗浄流体供給手段
28:洗浄対象物(微細構造体)
29:シール部材 30:バッファ手段
31:第2の流体漏出検知手段
32:第2の排気量制御手段 33:第2の排気手段
100〜107:経路
100a:高圧流体を通す層 100b:空間層
Claims (10)
- 二酸化炭素と洗浄成分を必須的に含む洗浄剤組成物を、高圧下で流体にして微細構造体と接触させることにより該微細構造体に付着している不要物質を除去するための洗浄装置であって、
この洗浄装置により行なわれる洗浄工程では該洗浄装置のいずれかの位置に有害物質が存在しており、該洗浄装置のうち有害物質が漏出する可能性のある部位が、第1の排気手段を備えた密閉構造体に収容されていることを特徴とする微細構造体の洗浄装置。 - 前記洗浄装置は、微細構造体に付着している不要物質を除去するための洗浄部と、前記洗浄部へ高圧流体を供給するための高圧流体供給手段を少なくとも含むものである請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記密閉構造体が、第1の流体漏出検知手段と、漏出した流体が検知されたときには、前記第1の流体漏出検知手段で得られた検知データに応じて前記密閉構造体からの排気量を制御できる第1の排気量制御手段を備えたものである請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記密閉構造体が、密閉構造体内の容積を変更するための容積可変手段を備えたものである請求項1に記載の洗浄装置。
- 容積の変動が検知されたときには、前記容積可変手段で得られた検知データに応じて前記密閉構造体からの排気量を制御できる第1の排気量制御手段を備えたものである請求項4に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄装置が、前記洗浄部で微細構造体に付着している不要物質を除去した後の廃高圧流体を貯留するための貯留部を含むものである請求項2に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄部で微細構造体に付着している不要物質を除去した後の廃高圧流体を、前記貯留部を経ることなく前記密閉構造体外へ排出できるように構成したものである請求項6に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄部が、洗浄容器用洗浄流体供給手段を有する高圧洗浄容器を備えたものである請求項7に記載の洗浄装置。
- 前記密閉構造体内に第2の排気手段を備えたバッファ手段を設け、且つ、
高圧流体を通す層と該層を囲む空間層を備えた二重構造体で前記洗浄部と高圧流体供給手段を接続すると共に、この空間層と前記バッファ手段を接続し、
前記空間層内または前記バッファ手段内に第2の流体漏出検知手段を備え、
前記二重構造体内で前記高圧流体を通す層から前記空間層ヘ流体が漏出したときには、前記第2の流体漏出検知手段で得られた検知データに応じて排気量を制御することのできる第2の排気量制御手段を備えたものである請求項2に記載の洗浄装置。 - 前記洗浄装置が、前記洗浄部で微細構造体に付着している不要物質を除去した後の廃高圧流体を貯留するための貯留部を含むものであり、
高圧流体を通す層と該層を囲む空間層を備えた二重構造体で前記洗浄部と貯留部を接続すると共に、この空間層と前記バッファ手段を接続したものである請求項9に記載の洗浄装置。
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