JP2006134944A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】物体表面を投影光学系の最良結像面に位置させて、パターンを精度良く物体上に転写する。
【解決手段】制御装置70により、湿度に少なくとも依存する計測装置(102a、102b)の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の雰囲気の湿度が制御される。この湿度の制御が行われた結果、計測装置の湿度に起因する計測値の変化量が最小(例えば零)となるようにすることができる。従って、湿度(の変化)に起因する計測装置の計測誤差の発生を低減して計測装置により精度良く物体表面の位置を計測し、この計測結果に基づいて物体W表面を投影光学系PLの最良結像面に位置させて、レチクルRのパターンを精度良く物体上に転写することが可能となる。
【選択図】図3
【解決手段】制御装置70により、湿度に少なくとも依存する計測装置(102a、102b)の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の雰囲気の湿度が制御される。この湿度の制御が行われた結果、計測装置の湿度に起因する計測値の変化量が最小(例えば零)となるようにすることができる。従って、湿度(の変化)に起因する計測装置の計測誤差の発生を低減して計測装置により精度良く物体表面の位置を計測し、この計測結果に基づいて物体W表面を投影光学系PLの最良結像面に位置させて、レチクルRのパターンを精度良く物体上に転写することが可能となる。
【選択図】図3
Description
本発明は、露光装置に係り、さらに詳しくは半導体素子(集積回路等)、液晶表示素子等の電子デバイスを製造するリソグラフィ工程で用いられる露光装置に関する。
従来より、半導体素子(集積回路等)、液晶表示素子等の電子デバイスを製造するリソグラフィ工程では、マスク又はレチクル(以下、「レチクル」と総称する)のパターンの像を投影光学系を介して、レジスト(感光剤)が塗布されたウエハ又はガラスプレート等の感光性の物体(以下、「ウエハ」と総称する)上の複数のショット領域の各々に転写するステップ・アンド・リピート方式の縮小投影露光装置(いわゆるステッパ)や、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型投影露光装置(いわゆるスキャニング・ステッパ(スキャナとも呼ばれる))などが、主として用いられている。
この種の露光装置において、その表面にレジストが塗布されたウエハ上にレチクルに形成されたパターンを精度良く転写するためには、投影光学系の最良結像面(像面)にウエハ表面の被露光領域を一致させて(焦点深度の範囲内に位置させて)、前記パターンをウエハ上に転写する必要がある。
このため、露光装置では、投影光学系の光軸方向に関するウエハ表面の位置情報(面位置情報)を計測する計測装置が設けられている。特に、近年の露光装置では、この種の計測装置として、ウエハ表面上の複数点を検出点とする多点焦点位置検出系、例えば複数の光束をウエハ表面に対して斜め方向から照射し、その複数の光束のウエハ表面からの反射光を対応する複数の受光素子で個別に受光し、各受光素子からの光電変換信号に基づいて、複数の検出点におけるウエハの面位置情報を高精度に検出する斜入射方式の多点焦点位置検出系が比較的多く採用されている(例えば、特許文献1、2参照)。
この多点焦点位置検出系によると、複数の検出点におけるウエハの位置情報を検出できるため、ウエハ表面の投影光学系の光軸方向に関する位置のみならず、その光軸に直交する面に対する傾斜をも検出でき、ウエハ表面の被露光領域部分を投影光学系の像面に精度良く位置させることができる。
この種の計測装置は、露光装置本体を構成する他の構成部分と同様に、内部の温度等が高精度に制御された環境制御チャンバ(エンバイロンメンタル・チャンバ)内に収容され、その計測精度が高精度に維持されるようになっている。
しかるに、この種の計測装置は、複数種類の光学素子を通常有しており、その光学素子の中には、通常、その裏面側が接着剤により保持部材に固定されるミラー等の反射光学素子が含まれる。接着剤は、多かれ少なかれ吸湿性を有し、例えば水分を吸着した場合に膨張変形する性質を有している。このため、環境制御チャンバ内の湿度に起因してミラーの反射面が変位し、これが面位置情報の計測誤差要因になる。特に、多点焦点位置検出系などのように、面位置情報を高精度に検出するために、受光素子からの出力信号(検出信号)を同期検波することでデフォーカス信号(例えばSカーブ信号)を得る装置では、その同期検波のために所定の回転軸を中心として回転振動する振動ミラーが用いられる。振動ミラーは、通常接着剤で加振装置の一部に固定されるため、接着剤の吸湿に起因して振動ミラーの振動中心がシフトする。この振動中心のシフトは、結果的にその振動ミラーからの反射光の受光素子の受光面上での位置ずれの原因、ひいては面位置情報の計測誤差要因になる。特に、振動ミラーの振動中心のシフト量がある値以上になると、振動ミラーからの反射光が対応する受光素子に入射しなくなる、あるいは対応する受光素子の隣の列の受光素子に入射する現象(ピッチずれ現象)が生じるようになる。
そこで、従来においては、シミュレーションなどで湿度の変化と面位置情報の変化との関係を求め、面位置情報の変化量が小さい間は、その関係を利用して求まる、湿度の変化に応じた面位置情報の変化量をオフセットとして面位置情報を補正していた。また、そのオフセットを利用したソフト的な補正が困難となる前又は直後に、内部の光学部材(振動ミラーを含む)の取り付け状態を機械的に調整する必要があった。この機械的な調整は、装置のダウンタイムを増やす一因となり、結果的に装置の稼動効率の低下を招いていた。
本発明は、上述の事情の下になされたもので、第1の観点からすると、パターンを投影光学系(PL)を介して物体(W)上に転写する露光装置であって、前記物体の表面に計測光(AL)を照射する照射系(102a)と、前記計測光の前記物体の表面からの反射光を受光する受光系(102b)とを有し、前記投影光学系の光軸方向に関する物体の位置情報を計測する計測装置と;湿度に少なくとも依存する前記計測装置の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の雰囲気の湿度を制御する制御装置(70)と;を備える露光装置である。
これによれば、制御装置により、湿度に少なくとも依存する計測装置の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の雰囲気の湿度が制御される。この湿度の制御により、湿度に起因する計測装置の計測値の変化量が最小(例えば零)となるようにすることができる。従って、湿度(の変化)に依存する計測装置の計測誤差の発生を低減して計測装置により精度良く物体表面の位置を計測し、この計測結果に基づいて物体表面を投影光学系の最良結像面に位置させて、パターンを精度良く物体上に転写することが可能となる。また、前述したオフセットを利用したソフト的な補正ではないので、前述の光学素子(振動ミラーを含む)の取り付け状態の機械的な調整が不要となるので、装置のダウンタイムの低減、ひいては稼動効率の向上が可能となる。
以下、本発明の一実施形態を図1〜図4に基づいて説明する。図1には、一実施形態に係る露光装置10の全体構成が概略的に示されている。
この露光装置10は、クリーンルーム内の床面F上に設置された本体チャンバ12と、この本体チャンバ12に隣接して配置された機械室14とを備えている。
本体チャンバ12の内部は、環境条件(清浄度、温度、圧力等)がほぼ一定に維持され、その内部空間内には、機械室14側の1つの大部屋16と、この大部屋16の機械室14と反対側に上下2段に配置された2つの小部屋18、20とが設けられている。この内、大部屋16は、その内部に露光装置本体22が収容された露光室となっている。以下においては、この大部屋16を、露光室16と呼ぶ。
上記一方の小部屋18は、その内部に、複数枚のマスクとしてのレチクルを保管するレチクルライブラリ80、多関節型ロボットから成るレチクルローダ82が、露光室16と反対側から順次配置されている。レチクルローダ82によって、レチクルRが露光装置本体22を構成する後述するレチクルステージRST上に搬入され、かつレチクルステージRST上から搬出される。本実施形態では、これらレチクルライブラリ80とレチクルローダ82とによってレチクルローダ系が構成され、このレチクルローダ系が小部屋18に収容されている。そこで、以下においては、小部屋18を、レチクルローダ室18と呼ぶものとする。
なお、レチクルローダ系は、上記構成に限られるものではなく、例えば複数枚のレチクルを収容可能なボトムオープンタイプの密閉式カセット(コンテナ)をレチクルライブラリ80の代わりに用いても良いし、あるいはレチクルローダとして搬送アームをスライドさせる機構を用いても良い。また、レチクル保管部(レチクルライブラリ80)とレチクルローダ82とを異なる部屋に配置しても良いし、あるいは前述の密閉式カセットをレチクルローダ室18の上部に載置し、その気密性を維持した状態でボトムオープンにてレチクルをレチクルローダ室18内に搬入するようにしても良い。すなわち、小部屋18にはレチクルローダのみが配置されていても良い。
また、他方の小部屋20は、その内部に、複数枚のウエハを保管するウエハキャリア84、ウエハキャリア84に対してウエハを出し入れする多関節型ロボット86及び該ロボット86と露光装置本体22を構成するウエハステージWSTとの間でウエハを搬送するウエハ搬送装置88とが収容されている。本実施形態では、これらウエハキャリア84、ロボット86及びウエハ搬送装置88によってウエハローダ系が構成され、このウエハローダ系が小部屋20に収容されている。そこで、以下においては、小部屋20をウエハローダ室20と呼ぶものとする。
なお、ウエハローダ系は、上記構成に限られるものではなく、例えば多関節型のロボットのみでウエハローダ系を構成しても良いし、ウエハローダ室20内にウエハローダのみを配置しても良い。
上記露光室16、レチクルローダ室18、ウエハローダ室20は、ステンレス(SUS)あるいはテフロン(登録商標)等の脱ガスの少ない素材から成る給気経路としての給気管路24及び伸縮可能な蛇腹状の接続部26を介して機械室14に接続されている。
前記露光室16に収容された露光装置本体22は、ミラーM1,M2を含む照明光学系28、この照明光学系28の下方に配置された投影光学系PL、この投影光学系PLと照明光学系28との間に配置され、レチクルRを保持するレチクルステージRST、投影光学系PLの下方に配置され、ウエハWを保持するウエハステージWST、及び投影光学系PLを保持するとともにウエハステージWSTが搭載された本体コラム30等を備えている。
照明光学系28は、ミラーM1,M2の他、オプティカル・インテグレータ、視野絞り(いずれも図示省略)等を含み、これらの光学部材が不図示の照明系ハウジング内に所定の位置関係で収容されて成る。この照明光学系28は、不図示の引き回し光学系(リレー光学系)を介して不図示の光源としてのKrFエキシマレーザ(出力波長248nm)あるいはArFエキシマレーザ(出力波長193nm)等のエキシマレーザに接続されている。上記の引き回し光学系は、その少なくとも一部にビーム・マッチング・ユニットと呼ばれる、光源と照明光学系28との間の光軸調整用の光学系を含む。また、図示は省略されているが、照明光学系28が収容される照明系ハウジング、上記引き回し光学系が収容される筐体(鏡筒)は、それぞれ内部が不活性ガス(例えば窒素、ヘリウムなど)でパージされ、清浄度が極めて良好に維持されるようになっている。
なお、照明光学系28の少なくとも一部を露光室16の外部に配置しても良いし、これに加えて、あるいは単独で、光源、引き回し光学系、及び照明光学系28を除く残りの一部(例えばウエハステージWSTなど)を露光室とは別の筐体内に配置しても良い。この場合、上記別の筐体は、露光室の内部に配置しても良いし、露光室外に配置しても良い。要は、露光室16内には露光装置本体の少なくとも一部が配置されていれば良く、露光室16内に配置する部材やその構成は任意で構わない。
前記本体コラム30は、本体チャンバ12の底面上に設置されたベースプレートBPの上方に複数の防振台32を介して支持されている。この本体コラム30は、防振台32によって支持されたメインコラム34と、このメインコラム34上部に立設されたサポートコラム36とを有している。メインコラム34の天井部を成すメインフレームにファーストインバと呼ばれる不図示の保持部材を介して投影光学系PLがその光軸方向を上下方向として保持されている。この投影光学系PLとしては、ここでは、投影倍率が1/4あるいは1/5の縮小光学系が用いられている。サポートコラム36は、不図示の照明系ハウジングの少なくとも一部を下方から支持している。
メインコラム34の底板を構成するステージベース34A(図3参照)上に、前記ウエハステージWSTが配置されている。このウエハステージWSTは、実際には、図3に示されるように、ステージベース34Aの上面に沿ってリニアモータあるいは平面モータ等の駆動装置によってXY2次元面内で駆動(Z軸回りの回転方向であるθz方向の回転駆動を含む)されるXYステージ74と、該XYステージ74上に不図示のZ・チルト駆動機構を介して載置されたウエハテーブルTBとを備えている。このウエハテーブルTB上にウエハホルダ38が搭載され、該ウエハホルダ38によってウエハWが真空吸着又は静電吸着等によって固定されている。また、ウエハテーブルTBは、ボイスコイルモータ等を含むZ・チルト駆動機構(不図示)によって、Z軸方向、θx方向(X軸回りの回転方向)及びθy方向(Y軸回りの回転方向)の3自由度方向に微小駆動される。このように、XYステージ74の駆動系とウエハテーブルTBを駆動するZ・チルト駆動機構とは、別々に設けられているが、図3においては、これらが纏めてウエハ駆動系76として示されている。以下の説明においては、ウエハ駆動系76によって、XYステージ74(又はウエハステージWST)がXY2次元面内で駆動されるとともに、ウエハテーブルTBがXYステージ74上でZ軸方向、θx方向及びθy方向の3自由度方向に微小駆動されるものとする。
ウエハテーブルTBのXY面内の位置、及び回転量(ヨーイング量、ピッチング量、及びローリング量の少なくとも1つ)は、ウエハテーブルTB上に設けられた移動鏡77を介してレーザ干渉計IFによって例えば0.5〜1nm程度の分解能で計測されている。
レーザ干渉計IFで計測されるウエハテーブルTBの位置情報(又は速度情報)は主制御装置70に送られ、この主制御装置70により前記位置情報(又は速度情報)に基づいてウエハ駆動系76を介してウエハステージWSTが駆動される。
前記ウエハテーブルTB上には、図3に示されるように、基準マーク板FMがその表面がウエハWとほぼ同一高さとなる状態で固定されている。この基準マーク板FMの表面には、不図示のウエハアライメント系のベースライン計測に用いられるベースライン計測用の基準マークその他の基準マークが形成されている。
図1に戻り、前記レチクルステージRSTは、メインコラム34の上面に設けられた不図示のセカンドインバと呼ばれる支持部材の天井部を構成する不図示のレチクルステージベース上に載置されている。このレチクルステージRSTは、露光装置本体22が静止露光を行うタイプの場合には、水平面内で微少駆動可能に構成され、走査露光を行うタイプの場合には、上記に加え、所定の走査方向に所定ストローク範囲で駆動可能に構成される。ここでは、露光装置本体22は、図1における紙面内左右方向を走査方向として走査露光を行うタイプであるものとする。このレチクルステージRSTの移動面内の位置は、図3に示されるように、レチクルレーザ干渉計(以下、「レチクル干渉計」という)94によって、移動鏡78を介して、例えば0.5〜1nm程度の分解能で常時検出される。レチクル干渉計94からのレチクルステージRSTの位置情報(ヨーイング量などの回転情報を含む)は主制御装置70に供給される。主制御装置70では、レチクルステージRSTの位置情報に基づいてレチクル駆動系79を介してレチクルステージRSTを駆動する。
このようにして構成された露光装置本体22によると、不図示のエキシマレーザから出射されたパルス紫外光(露光光)ELが、各種レンズやミラー等からなる照明光学系28で必要な大きさ、及び照度均一性に整形されて、所定のパターンが形成されたレチクルRを照明し、このレチクルRに形成されたパターンが投影光学系PLを介してウエハステージWST上に保持された物体としてのウエハW上の各ショット領域に縮小転写されるようになっている。
本実施形態では、ウエハWとして、例えば、その表面に感光剤としてポジ型の化学増幅型レジストが塗布されたものが使用される。
図1に戻り、本体チャンバ12内における前記給気管路24の一端(機械室14側の端部)には、ケミカルフィルタCF1aが配置されている。
給気管路24の他端側は、2つに分岐され、その一方の分岐路24aはレチクルローダ室18に接続され、そのレチクルローダ室18側の噴き出し口の部分には、レチクルローダ室18内に流入する空気中のパーティクルを除去するULPAフィルタ(ultra low penetration air-filter)及びフィルタプレナムから成るフィルタボックスAF1が設けられている。また、レチクルローダ室18のフィルタボックスAF1と反対側には、リターン部40が設けられ、このリターン部40の外側の部分に排気経路としてのリターンダクト42の一端が接続され、このリターンダクト42の他端側は機械室14の底面の一部に接続されている。
前記分岐路24aには、更に分岐路24cが設けられ、この分岐路24cは、ウエハローダ室20に接続され、そのウエハローダ室20側の噴き出し口の部分には、ウエハローダ室20内に流入する空気中のパーティクルを除去するエアフィルタとしてのULPAフィルタ及びフィルタプレナムから成るフィルタボックスAF2が設けられている。また、ウエハローダ室20のフィルタボックスAF2と反対側には、リターン部44が設けられ、このリターン部44のウエハローダ室20と反対側には、リターンダクト42に連通する排気口が設けられている。
また、他方の分岐路24bは、レチクルローダ室18の露光室16との境界部に形成された噴き出し口90のレチクルローダ室18側に配置された露光室16内に流入する空気中のパーティクルを除去するULPAフィルタ及びフィルタプレナムから成るフィルタボックスAF3に接続されている。そして、噴き出し口90から均一な気流がサイドフローにて露光室16の上部空間に送り込まれるようになっている。噴き出し口90が形成されたレチクルローダ室18と露光室16との境界部分には、図1のA−A線断面図である図2に示されるように、レチクル搬送エリア92を除いて、その周囲に複数のフィルタボックスAF3が配置されている。
また、露光室16の底部の機械室14側には、図1に示されるように、リターン部46が設けられ、このリターン部46下方のチャンバ12の底壁には、排気経路としてのリターンダクト48の一端側に連通する排気口が形成され、リターンダクト48の他端側は機械室14の底面の一部に接続されている。
前記機械室14底部の本体チャンバ12と反対側には、外気取り入れ口としてのOA口50が形成され、このOA口50部分に対向して第2フィルタ装置としてのケミカルフィルタCF2bが配置されている。本体チャンバ12内、特に露光室16内は、清浄度を保つために、外部に対して常に陽圧に保たれており、そのため本体チャンバ12の前面等や不図示のインラインインターフェース部等から空気が外部に漏れており、この漏れ分の外気を取り入れるため、OA口50が設けられている。また、本実施形態では、化学増幅型レジストのいわゆるTシェイプ対策のため等の目的で、OA口50を介して装置内部に取り込まれる空気中の化学的汚染物質(不純物)を除去して清浄な空気のみを装置内に取り入れるため、ケミカルフィルタCF2bがOA口50部分に設けられている。
機械室14内部の高さ方向中央やや下側の位置には、冷却ユニット52が設けられている。この冷却ユニット52は冷却除湿器、圧縮機、アキュムレータ、圧縮機及び凝縮器等(いずれも不図示)を含む冷凍サイクルを内蔵しており、流入する空気を露点以下の温度まで冷却して除湿すべき水分を凝縮させ分離する。この冷却ユニット52の出口部分には、冷却ユニット52表面の温度を検出する第1温度センサ54が配置されている。この第1温度センサ54の検出値は、主制御装置70(図1では図示せず、図4参照)に供給されている。
冷却ユニット52の上方(出口側)の近傍には、冷却ユニット52で冷却された除湿後の空気の湿度(相対湿度)を検出する第1湿度センサ53が配置されている。この第1湿度センサ53の検出値は、主制御装置70(図1では図示せず、図4参照)に供給されている。
機械室14内の空気通路の冷却ユニット52上方には、冷却ユニット52から所定間隔を隔てて第1ヒータ56が配置されている。この第1ヒータ56の出口側(上方)には、第1加湿器96が配置されている。また、第1ヒータ56上方で第1加湿器96より更に上方の機械室14の出口部分には、第1送風機58が配置されている。
ここで、前記第1加湿器96としては、一例として不図示の貯水タンク内の水を超音波振動子で振動させて霧化し、流入空気中に飛散させることで加湿を行う超音波加湿器が用いられる。
また、機械室14内の空気通路の第1ヒータ56の下方には、冷却ユニット52を下方から上方に通過した空気の一部、例えば約1/5が流れ込む分岐路60が設けられ、この分岐路60の機械室14側の端部は、伸縮可能な蛇腹状部材60aにより構成されている。分岐路60の蛇腹状部材60aより機械室14と反対側の部分は、露光室16内に配置されている。分岐路60内には、第2ヒータ62、第2加湿器98及び第2送風機64が順次配置され、この第2送風機64の機械室14と反対側に、ウエハステージWST近傍に対する空気の噴き出し口が形成されている。ここで、第2加湿器98としては、第1加湿器96と同様の超音波加湿器が用いられている。
前記ウエハステージWST近傍の、第2送風機64から送られる空気の噴き出し口部分にケミカルフィルタCF1b、ULPAフィルタ及びフィルタプレナムから成るフィルタボックスAF4が配置されている。これらケミカルフィルタCF1b、フィルタボックスAF4が設けられた噴き出し口に対向して、露光室16のウエハローダ室20寄りの部分には、排気経路としてのリターンダクト66の一端側の開口端が配置され、このリターンダクト66の他端側は機械室14の底面の一部に接続されている。
本実施形態では、ケミカルフィルタCF1aを通過する空気は相対湿度50%程度で、温度が23℃前後に設定されるものとする。また、ケミカルフィルタCF1bを通過する空気は相対湿度、温度が上記の値を中心とする所定幅の範囲内で微調整される(これについては後述する)。なお、これに限らず、ケミカルフィルタCF1a、CF1bを通過する気体は、相対湿度30〜70%、温度20〜30℃の間に設定されれば良い。
前記3つのリターンダクト42,48,66が接続された機械室14の底面の一部には、開口が形成され、この開口部に対向してケミカルフィルタCF2aが設けられている。このケミカルフィルタCF2aは、機械室14に設けられた不図示の開閉扉を介して容易に出し入れできるようになっている。
更に、機械室14内の冷却ユニット52の下方には、ドレインパン68が配置されている。このドレインパン68には、排水管69が接続されており、この配水管69を介してドレインパン68で受け止められた水が本体チャンバ12の外部に排出されるようになっている。
前記本体チャンバ12内の前記給気管路24の分岐部の機械室14寄りの部分には、給気管路24内部の空気の温度を検出する第2温度センサ72が配置されている。この第2温度センサ72の検出値は、主制御装置70(図1では図示せず、図4参照)に供給されている。また、この第2温度センサ72の近傍には、給気管路24内部の空気の湿度を検出する第2湿度センサ73が配置されている。この第2湿度センサ73の検出値は、主制御装置70(図1では図示せず、図4参照)に供給されている。
また、フィルタボックスAF4の下流側には、第2送風機64から送り出され、ケミカルフィルタCF1b及びフィルタボックスAF4を通過した空気、すなわちメインコラム34の内側の空間に存在する空気の温度を検出する温度計測装置としての第3温度センサ74が配置されている。この第3温度センサ74は、メインコラム34の天井部を成すメインフレームの下面に固定されている。また、第3温度センサ74の近傍には、そのメインコラム34の内側の空間に存在する空気の湿度を検出する第3湿度センサ75が設けられ、該第3湿度センサ75は、メインフレームの下面に固定されている。これら第3温度センサ74及び第3湿度センサ75の検出値は、主制御装置70(図1では図示せず、図3、図4参照)に供給されている。
さらに、本実施形態に係る露光装置本体22は、図1では不図示であるが、投影光学系PLの近傍に計測装置としての多点焦点位置検出系(以下、「多点AF系」と呼ぶ)を備えている。この多点AF系は、図3に示されるように、投影光学系PLの光軸に対して所定角度θ(θは、例えば85°〜78°)傾斜した方向からウエハW表面に多数の光束を照射する照射系102aと、それらの光束のウエハW表面からの反射光を個別に受光する多数のセンサ(フォーカスセンサ)を有する受光系102bとを備えている。照射系102a及び受光系102bは、投影光学系PLの−X側及び+X側に配置され、実際には、メインフレームに吊り下げ状態で固定されている。従って、照射系102a及び受光系102bは、前述の第3温度センサ74及び第3湿度センサ75が配置されたメインコラム34の内側の空間に配置されている。
前記照射系102aは、図3に示されるように、光ファイバ束104、集光レンズ106、パターン形成板108、レンズ110、ミラー112及び照射対物レンズ114等を含んで構成されている。また、受光系102bは、集光対物レンズ116、振動ミラー(回転方向振動板)118、結像レンズ120、受光用スリット板122及び多数のフォトセンサを有する受光器124等を含んで構成されている。このように多点AF系は、振動ミラー118その他の光学部材を複数含んで構成されている。
ここで、この多点AF系(102a、102b)の構成各部の作用を説明すると、露光光ELとは異なるウエハW上のフォトレジストを感光させない波長の計測光としての照明光ALが、不図示の照明光源から光ファイバ束104を介して導かれている。光ファイバ束104から射出された照明光ALは、集光レンズ106を経てパターン形成板108を照明する。パターン形成板108に形成された複数の開口パターンを透過した照明光(複数の開口パターンの像の光束)ALは、レンズ110、ミラー112及び照射対物レンズ114を経てウエハW表面に投影され、ウエハW表面にはパターン形成板108上の複数の開口パターンの像がそれぞれ形成される。ウエハWで反射された照明光(開口パターンの像の光束の反射光束)ALは、集光対物レンズ116、振動ミラー118及び結像レンズ120を経て受光器124の手前側に配置された受光用スリット板122上に再結像される。ここで、受光器124は、複数の開口パターンの像の光束それぞれのウエハ表面での反射光束を個別に受光する複数のフォトダイオード等から成るフォーカスセンサを有し、受光用スリット板122には、各フォーカスセンサに対応するスリットが設けられている。従って、受光用スリット板122上に再結像された開口パターンの像の光束は、それぞれのスリットを介して各フォーカスセンサで受光され、各フォーカスセンサからの検出信号(光電変換信号)は信号処理装置126に供給される。
主制御装置70は、加振装置(例えばバイブレータや超音波振動子等)128を介して振動ミラー118に振動を与える。各開口パターンの像の光束のウエハW表面からの反射光は全て振動ミラー118によって振動されているため、受光用スリット板122上に再結像される各開口パターンの像と各フォーカスセンサとは相対的に振動している。前記信号処理装置126は、受光器124上の複数のフォーカスセンサのうちの選択装置130を介して選択されたフォーカスセンサからの検出信号を加振装置128の振動信号で同期検波することによりフォーカス信号を得て、このフォーカス信号を選択装置130を介して主制御装置70に供給する。
ここで、選択装置130は、主制御装置70からの指示に応じて、ウエハWのフォーカス・レベリング制御に用いられるフォーカスセンサを選択するものである。
なお、本実施形態の多点AF系(102a、102b)と同様の計測装置の構成は、例えば特開平6−283403号公報(対応する米国特許第5,448,332号)等に開示されている。
主制御装置70は、走査露光時に、受光系102bからの焦点ずれ信号(デフォーカス信号)、例えばSカーブ信号に基づいて焦点ずれが零となるように、ウエハ駆動系76を介してウエハテーブルTBのZ軸方向への移動、及び2次元方向の傾斜(すなわち、θx、θy方向の回転)を制御することにより、各ショット領域の走査露光中に、露光光ELの照射領域内で投影光学系PLの結像面とウエハWの表面とを極力合致させるフォーカス・レベリング動作を実行する。
なお、主制御装置70は、ウエハWの表面が基準平面(例えば投影光学系PLの結像面)と一致したとき、各フォーカス信号が0となるように、例えば、受光用スリット板122の前面に配置された不図示の平行平板ガラスの角度を調整したり、あるいはフォーカス信号の値に電気的にオフセットを加えたりして、予め各フォーカスセンサの出力のキャリブレーションを行っているものとする。
図4には、本実施形態の露光装置10における空調用気体(空気)の温度及び湿度の制御に関連する制御系の構成が簡略化して示されている。この制御系は、マイクロコンピュータ(又はワークステーション)から構成される主制御装置70を中心として構成されている。
ここで、露光装置10における空調について説明する前に、ケミカルフィルタCF1a、CF1b、CF2a及びCF2bについて、簡単に説明する。
まず、機械室14の底面の一部に形成された開口部に対向して設けられた前記ケミカルフィルタCF2aと、OA口50部分に対向して配置された前記ケミカルフィルタCF2bについて説明する。これらのケミカルフィルタCF2a,CF2bは、化学的汚染物質を除去する性質を有するフィルタ媒体と、このフィルタ媒体を保持する保持枠とを備えたフィルタ装置を用いることができる。この場合、フィルタ媒体は、保持枠の内部で保持枠内を通過する気体(空気)の全てが通過するような状態(気密状態)で保持されていることが望ましい。フィルタ媒体としては、例えば、ハニカム状の構造をした炭素繊維を用いることができる。なお、フィルタ媒体は、その空気の通過方向の幅及び充填率が、化学的汚染物質を除去する能力、大きさ及び設置スペース等を総合的に勘案して決定される。
次に、本体チャンバ12内の給気管路24の一端に設けられたケミカルフィルタCF1a、及びウエハステージWST近傍に設けられたケミカルフィルタCF1bの構成例等について説明する。これらのケミカルフィルタCF1a、CF1bとしては、基本的には、上記ケミカルフィルタCF2a等と同様にフィルタ媒体とこれを保持する保持枠を備えたフィルタ装置が用いられるが、フィルタ媒体の充填率が、前述の1/2程度になっている。これは、ケミカルフィルタを通過する前後の空気の温度変動が、フィルタ媒体が放散あるいは吸着する水分の量にほぼ比例しており、その温度変動を抑制するためには、フィルタ媒体の充填率を小さくすることが有効であることが知られており、かかる点を考慮して、通過前後の温度変動を抑制する必要が高い場所に設置されたケミカルフィルタCF1a、CF1bには、上述のような変温抑制フィルタを採用することとしたものである。なお、ケミカルフィルタの通過前後の温度変動の原理や、変温抑制フィルタなどについては、例えば特開2002−158170号公報などに開示されており、公知であるから詳細説明は省略するが、本実施形態のように湿度を制御する場合には、その湿度の変化に起因するケミカルフィルタ通過前後の温度変動を抑制するために、変温抑制フィルタ(例えば、フィルタ媒体の充填率が低いものなど)をケミカルフィルタCF1a、CF1bとして採用することが望ましい。
また、ケミカルフィルタCF1a、CF1bとしてフィルタ媒体の充填率が低いものを採用した場合には、化学的汚染物質を吸着する能力も幾分低下するおそれがあるので、温度変動が許容できるリターンダクトの出口やOA口に設置されたケミカルフィルタCF2a、CF2bとして、化学的汚染物質除去能力が高い(フィルタ媒体の充填率が高い)ケミカルフィルタを、あわせて採用することが望ましい。これにより、ケミカルフィルタCF2a、CF2bによって化学的汚染物質を十分に除去した空気をケミカルフィルタCF1a、CF1bに送り込むことができるので、ケミカルフィルタCF1a、CF1bの化学的汚染物質吸着能力の低下があっても特に支障はないからである。
次に、上述のようにして構成された露光装置における空調について図4を適宜参照しつつ、図1に基づいて説明する。
まず、主制御装置70により、第1、第2送風機58,64が作動され、これにより、フィルタボックスAF1,AF2,AF3,AF4をそれぞれ介してレチクルローダ室18、ウエハローダ室20、露光室16及び露光室16内のウエハステージWST近傍に、空気が送り込まれ、前記各部の空調が行われる。この場合、レチクルローダ室18、ウエハローダ室20内では、ダウンフローにより空調が行われる。また、露光室16内では、前述した露光動作中の露光装置本体22の各部の空調がサイドフローにより行われる。そして、リターン部40,44をそれぞれ介してリターンダクト42に戻された空気、リターン部46を介してリターンダクト48に戻された空気、及びリターンダクト66に戻された空気は、これらのリターンダクトの機械室14側の出口(本実施形態では機械室14の入口)部分に設けられたケミカルフィルタCF2aを通過する。このケミカルフィルタCF2aを通過中に、各リターンダクト42,48,66内の空気に含まれる化学的汚染物質がケミカルフィルタCF2aによって吸着除去される。
そして、このケミカルフィルタCF2aを通過したケミカルクリーンな空気は、OA口50を介して露光装置外から取り入れられ、ケミカルフィルタCF2bを通過したケミカルクリーンな空気と一緒になって空調系を構成する冷却ユニット52によって所定温度まで冷却される。この場合において、本実施形態では、主制御装置70により、第1温度センサ54の出力及び第1湿度センサ53の出力をモニタしつつ、冷却ユニット52の冷却動作が制御され、冷却ユニット52表面に結露が生じる露天以下の温度になるように、かつ相対湿度が所定の値以下になるように、冷却ユニット52を通過する空気が除湿・冷却される。このようにして、冷却ユニット52を通過中の空気に含まれていた水分の一部が結露となって除去される。
そして、冷却ユニット52を通過して所定温度まで冷却された空気は、例えば約80%が第1ヒータ56に送り込まれ、残りの約20%が分岐路60内の第2ヒータ62に送り込まれ、それぞれの目標温度まで加熱される。
主制御装置70では、ケミカルフィルタCF1a通過後の給気管路24内部の空気の温度の第2温度センサ72による検出結果に基づいて、第1ヒータ56をフィードバック制御するとともに、ケミカルフィルタCF1b通過後のメインコラム34の内側の空間内の空気の温度の第3温度センサ74による検出結果に基づいて第2ヒータ62をフィードバック制御する。この場合、給気管路24を介して露光室16等の内部に噴き出される空気の目標温度(温度制御範囲を含む)と、分岐路60を介してウエハステージWST近傍に噴き出される空気の目標温度(温度制御範囲を含む)とは、それぞれ個別に設定することができる。
また、主制御装置70では、ケミカルフィルタCF1a通過後の給気管路24内部の空気の湿度(相対湿度)の第2湿度センサ73による検出結果に基づいて、第1加湿器96をフィードバック制御するとともに、ケミカルフィルタCF1b通過後のメインコラム34の内側の空間内の空気の湿度の第3湿度センサ75による検出結果に基づいて第2加湿器98をフィードバック制御する。この場合、給気管路24を介して露光室16等の内部に噴き出される空気の目標湿度(湿度制御範囲を含む)と、分岐路60を介してウエハステージWST近傍に噴き出される空気の目標湿度(湿度制御範囲を含む)とは、それぞれ個別に設定することができる。
そして、上述のようにして、それぞれの目標温度まで加熱され、かつそれぞれの目標湿度まで加湿された化学的に相当に清浄な空気は、第1、第2送風機58,64により、ケミカルフィルタCF1a,CF1bにそれぞれ送り込まれる。そして、ケミカルフィルタCF1aを通過した空気は、本体チャンバ12内の給気管路24及びフィルタボックスAF1,AF2,AF3をそれぞれ介して、レチクルローダ室18、ウエハローダ室20、露光室16内にそれぞれ送り込まれる。また、ケミカルフィルタCF1bを通過した空気は、フィルタボックスAF4を通過してウエハステージWST(及びレーザ干渉計IF)の近傍に送り込まれる。
空気が、フィルタボックスAF1,AF2,AF3,AF4内のULPAフィルタをそれぞれ通過することにより、その空気中に存在するパーティクルがほぼ確実に除去される。従って、レチクルローダ室18、ウエハローダ室20、露光室16内及びウエハステージWST近傍には、パーティクル及び化学的汚染物質等の微小粒子を含まないという意味で清浄度の高い空気のみが供給され、この清浄な空気によってレチクルローダ系、ウエハローダ系、露光装置本体22が空調される。そして、この空調が終了し、露光装置本体22等からの脱ガスに起因する化学的汚染物質を含む化学的に汚れた空気が、リターンダクト42,48,66内に戻され、以後、上述したようにして各部の空調が繰り返し行われる。
これまでの説明から明らかなように、本実施形態では、第1温度センサ54、第2温度センサ72、第3温度センサ74、冷却ユニット52、第1ヒータ56及び第2ヒータ62により温度調整系が構成されている。また、第1湿度センサ53、第2湿度センサ73、第3湿度センサ75、冷却ユニット52、第1加湿器96及び第2加湿器98により、湿度調整系が構成されている。さらに、これら温度調整系及び湿度調整系と、第1、第2送風機58,64と、主制御装置70とによって、空調系が構成されている。
ところで、前述の多点AF系(102a,102b)には、図3に示されるように、ミラー112及び振動ミラー118が設けられており、このうち、ミラー112は、位置・姿勢を固定することができるので、その取り付けには、必ずしも接着剤などを用いなくても良いが、振動ミラー118は、その振動を許容する必要があるので、その裏面に塗布された接着剤を介して加振装置128の可動部に固定される。接着剤は、多かれ少なかれ吸湿性を有し、例えば水分を吸着した場合に膨張変形する性質を有している。このため、露光室16内部、特に多点AF系(102a,102b)が配置されるウエハステージWSTの近傍の空間(メインコラム34の内側空間)内の湿度の変化に伴い、接着剤の吸湿に起因して振動ミラー118の振動中心がシフトするおそれがある。
そこで、本実施形態では、主制御装置70が、許容される温度制御範囲内で、温度に応じた湿度制御を実行することで、上述の振動中心のシフトなどが極力生じないようにしている。
このため、本実施形態では、上述の接着剤の吸湿による振動ミラー48の振動中心のシフトや、ミラー112の位置変化などに起因する多点AF系の計測値の時間変化量(dZ/dt)と、温度T、湿度(相対湿度)Hとの関係を、露光装置の製造過程において、予め求めている。具体的には、多点AF系(102a,102b)を露光装置本体に組み込む前に、単体で温度、湿度などの環境条件の制御が可能な実験チャンバ内で事前計測を行い、その事前計測の際に、温度Tと湿度Hの条件を種々変化させ、各条件についてフォーカス計測値Zの時間変化量dZ/dtを求めている。そして、このようにして得られた時間変化量dZ/dtのデータ、並びにこれに対応する温度及び湿度のデータに基づいて、dZ/dtとTとHとの関係を示す次式(1)の関数を求めている。
dZ/dt=f(T,H) …(1)
この関数f(T,H)は、T,Hをそれぞれ独立変数とする関数である。
この関数f(T,H)は、T,Hをそれぞれ独立変数とする関数である。
上記式(1)の関数の具体例としては、次式(2)のようなべき乗関数を挙げることができる。
なお、製造段階において上記の事前計測を行うようにしたのは、多点AF系の計測値の変化量には、部品の加工精度による個体差があると考えられるため、露光装置毎にその装置に組み込まれる多点AF系を実際に用いて計測を行うことが好ましいと考えられるからである。
上記の事前計測の終了後、多点AF系(102a,102b)が、メインコラム34に取り付けられる。併せて、複数の光学素子から構成される照明光学系28や投影光学系PLなどが露光装置本体に組み込まれ、その後、光学調整がなされる。さらに、多数の機械部品からなるレチクルステージRSTやウエハステージWSTが露光装置本体に取り付けられ、配線や配管が接続され、更に総合調整(電気調整、動作確認等)などが行われて、本実施形態の露光装置10が製造されている。なお、露光装置の製造は温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
本実施形態では、上述のようにして得た式(2)(又は式(1))は、主制御装置70が備えるメモリに記憶されており、主制御装置70では、露光装置10の運転中、dZ/dtが極力零になるような、ウエハステージWSTの近傍の空間(メインコラム34の内側空間)内の空気の温度T及び湿度Hの局所的な制御、より正確には、その空間内の空気の温度(目標温度)Tに応じた湿度Hの微調整を前述の如くして実行するようになっている。
以上説明したように、本実施形態の露光装置10によると、主制御装置70により、前述の式(2)の関数を考慮して、多点AF系(102a、102b)近傍の雰囲気の湿度が制御される。この湿度の制御により、湿度及び温度に依存する多点AF系(102a、102b)の計測値の変化量が最小(例えば零)となるようにすることができる。従って、湿度及び温度(の変化)に起因する多点AF系(102a、102b)の計測誤差の発生を低減して多点AF系(102a、102b)により精度良くウエハW表面の位置を計測し、この計測結果に基づいてウエハW表面を投影光学系PLの最良結像面に位置させて、レチクルRに形成されたパターンを精度良くウエハW上に転写することが可能となる。
また、本実施形態では、多点AF系(102a、102b)の計測値の変化に関する、上記情報(前述の式(1)又は式(2)の関数など)は、多点AF系の部組段階で予め取得されているので、露光装置100の製造直後の段階から上記の湿度制御が可能となるので、多点AF系の計測値が湿度の変化に依存して変化(ドリフトを含む)するのを未然に防止することができる。また、本実施形態の場合、従来のようなオフセットを利用した面位置情報のソフト的な補正を採用する必要がない。
従って、本実施形態の露光装置10では、多点AF系を構成する光学部材、例えば振動ミラー118などの取り付け状態の機械的な調整が不要となり、結果的に、露光装置のダウンタイムの低減、ひいては稼動効率の向上が可能となる。
なお、多点AF系の計測値の湿度の変化に依存する変化をある程度許容できるのであれば、多点AF系の計測値の変化に関する、上記情報を必ずしも多点AF系の部組段階で取得しなくても良い。
また、上記実施形態では、主制御装置70が、湿度及び温度に依存する多点AF系の計測値の変化に関する情報、具体的には前述の式(2)(又は式(1))の関数を考慮して多点AF系近傍の雰囲気の湿度を制御する場合について説明したが、これに限らず、例えば温度制御範囲が非常に狭い範囲である場合などには、主制御装置70は、湿度に依存する多点AF系の計測値の変化に関する情報を考慮して多点AF系近傍の雰囲気の湿度を制御するものとしても良い。
なお、上記実施形態では、主制御装置70がメインコラム34内側のウエハステージWST近傍の空間の湿度を制御することで、その空間内に配置される多点AF系(102a、102b)の計測値の時間変化を極力抑制する場合について説明したが、例えば受光系102b(又は照射系102a)が収容された容器内の気体の湿度を主制御装置70が制御することとしても良い。
また、上記実施形態で説明したケミカルフィルタCF1a,CF1b等の配置、図1に示される空調系や通気経路等の構成は任意で構わない。例えば、冷却ユニット52の下流側に設けられた第1湿度センサ53は、必ずしも設けなくても良い。また、冷却ユニット52を通過して所定温度まで冷却された空気の例えば約80%が第1ヒータ56(ケミカルフィルタCF1a)に送り込まれ、残りの約20%が第2ヒータ62(ケミカルフィルタCF1b)に送り込まれるものとしたが、これに限らず、第1ヒータ56(ケミカルフィルタCF1a)に送り込まれる空気の経路と第2ヒータ62(ケミカルフィルタCF1b)に送り込まれる空気とを独立に温度、湿度制御する第1、第2の空調系を設けても良い。また、上記実施形態の空調系を構成する各部は、上述したタイプのものに限られないことは勿論である。例えば、加湿器は超音波方式でなくても良い。
なお、上記実施形態では、本体チャンバの機械室近傍と、ウエハステージ近傍に変温抑制ケミカルフィルタが設けられた場合について説明したが、これに限らず、レチクルローダ室や、ウエハローダ室に供給される空気の供給口部分に設けることも可能である。これにより、レチクルローダ室、ウエハローダ室の内部が更にケミカルクリーンとされるため、レチクル交換、ウエハ交換を行う際に、各ローダ室と露光室とが連通しても、露光室内の雰囲気が汚染されることが無く、露光精度を高精度に維持することが可能である。
また、上記実施形態ではレチクルローダ室、ウエハローダ室と露光室とが本体チャンバ内に設けられる場合について説明したが、これに限らず、本体チャンバ内に露光室のみを設け、レチクルローダ室、ウエハローダ室を別の環境制御チャンバ内に一緒あるいはそれぞれ単独に設けても良い。
また、上記実施形態では、本体チャンバとは別に機械室が設けられる場合について説明したが、これに限らず、1つのチャンバを隔壁により仕切って露光装置本体が収容される本体チャンバと機械室とを形成しても良い。
なお、図1では本体チャンバに隣接して機械室を配置するものとしたが、クリーンルームの床下(ユーティリティスペース)などに機械室を配置するようにしても良い。この場合、光源もその床下に配置しても良い。また、空調装置では空気の温度を制御するものとしたが、それに加えて圧力をも制御するようにしても良い。
また、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)を露光光として用いる場合には、照明光学系28と同様に、投影光学系PLの鏡筒内、あるいは投影光学系PLを収容する筐体内にも不活性ガス(窒素など)が供給される。さらに、F2レーザ光(波長157nm)を露光光として用いる場合には、レチクルステージ及びウエハステージがそれぞれサブチャンバ内に配置され、照明光学系28及び投影光学系PLに加えて、照明光学系28と投影光学系PLとの間、及び投影光学系PLとウエハWとの間にもそれぞれ不活性ガス(ヘリウムなど)が供給される。従って、光源内を含めてその光源からウエハWに至る照明光路の少なくとも一部を密閉してその内部に不活性ガスなどを供給する露光装置では、例えば照明光学系に供給された不活性ガスが通る排気経路の途中、又は出口にも、化学物質除去フィルタ(ケミカルフィルタ)を設けておくことが好ましい。勿論、不活性ガスの流入経路の途中又は入口にもケミカルフィルタを設けても良く、これは特に回収した不活性ガスを清浄化して再利用する場合に有効である。また、上述のように、例えば波長120nm〜200nm程度の真空紫外域に属する光を露光光として用いる場合などには、空調用気体として上記不活性ガス(窒素ガス、ヘリウムガスなど)が用いられる。従って、計測装置としての多点AF系の近傍の気体は、空気に限らず不活性ガスなどであっても良く、制御装置(主制御装置70)は、湿度に少なくとも依存する前記計測装置の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の不活性ガスの湿度を制御するものであっても良い。
なお、上記実施形態の露光装置における投影光学系の倍率は縮小系のみならず等倍および拡大系のいずれでも良いし、投影光学系PLは屈折系のみならず、反射系及び反射屈折系のいずれでも良いし、その投影像は倒立像及び正立像のいずれでも良い。
また、上記実施形態の露光装置10の光源は、KrFエキシマレーザ又はArFエキシマレーザに限らず、波長が170nm以下の光、例えばF2レーザ光(波長157nm)、Kr2レーザ光(波長146nm)等を出力する他の真空紫外光源は勿論、g線(波長436nm)、i線(波長365nm)などの輝線を発する超高圧水銀ランプなどを用いることも可能である。また、例えば真空紫外光として上記各光源から出力されるレーザ光に限らず、DFB半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム(又はエルビウムとイッテルビウムの両方)がドープされたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いても良い。
また、上記実施形態では、露光装置の露光光ELとしては波長100nm以上の光に限らず、波長100nm未満の光を用いても良いことはいうまでもない。例えば、近年、70nm以下のパターンを露光するために、SORやプラズマレーザを光源として、軟X線領域(例えば5〜15nmの波長域)のEUV(Extreme Ultraviolet)光を発生させるとともに、その露光波長(例えば13.5nm)の下で設計されたオール反射縮小光学系、及び反射型マスクを用いたEUV露光装置の開発が行われている。この装置においては、円弧照明を用いてマスクとウエハを同期走査してスキャン露光する構成が考えられる。さらに、例えば国際公開WO99/49504号パンプレットなどに開示される、投影光学系PLとウエハとの間に液体(例えば純水など)が満たされる液浸型露光装置などにも、本発明を好適に適用できる。
なお、上記実施形態では、ステップ・アンド・スキャン方式等の走査型露光装置に本発明が適用された場合について説明したが、本発明の適用範囲がこれに限定されるものではなく、ステップ・アンド・リピート方式の縮小投影露光装置、又はステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置などにも本発明を適用することができる。また、ウエハステージを2基備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。
なお、本発明は、半導体製造用の露光装置に限らず、液晶表示素子などを含むディスプレイの製造に用いられる、デバイスパターンをガラスプレート上に転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられるデバイスパターンをセラミックウエハ上に転写する露光装置、及び撮像素子(CCDなど)、マイクロマシン、有機EL、DNAチップなどの製造に用いられる露光装置などにも適用することができる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置、EUV露光装置、X線露光装置、及び電子線露光装置などで使用されるレチクル又はマスクを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。ここで、DUV(遠紫外)光やVUV(真空紫外)光などを用いる露光装置では一般的に透過型レチクルが用いられ、レチクル基板としては石英ガラス、フッ素がドープされた石英ガラス、螢石、フッ化マグネシウム、又は水晶などが用いられる。また、プロキシミティ方式のX線露光装置、又は電子線露光装置などでは透過型マスク(ステンシルマスク、メンブレンマスク)が用いられ、マスク基板としてはシリコンウエハなどが用いられる。
なお、半導体デバイスは、デバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたレチクルを製作するステップ、シリコン材料からウエハを製作するステップ、上記実施形態の露光装置で、レチクルに形成されたパターンをウエハ等の物体上に転写するステップ、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)、検査ステップ等を経て製造される。
本発明の露光装置は、半導体素子、液晶表示素子等のマイクロデバイスの製造に適している。
10…露光装置、70…主制御装置(制御装置)、74…第3温度センサ(温度計測装置)、照射系(計測装置の一部)、102b…受光系(計測装置の一部)、118…振動ミラー(光学部材)、PL…投影光学系、W…ウエハ(物体)、AL…照明光(計測光)。
Claims (6)
- パターンを投影光学系を介して物体上に転写する露光装置であって、
前記物体の表面に計測光を照射する照射系と、前記計測光の前記物体の表面からの反射光を受光する受光系とを有し、前記投影光学系の光軸方向に関する物体の位置情報を計測する計測装置と;
湿度に少なくとも依存する前記計測装置の計測値の変化に関する情報を考慮して、前記計測装置近傍の雰囲気の湿度を制御する制御装置と;を備える露光装置。 - 前記計測装置近傍の温度を計測する温度計測装置を更に備え、
前記計測値の変化に関する情報は、前記湿度及び温度に依存する前記計測値の変化に関する情報であることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記計測値の変化に関する情報は、湿度及び温度を独立変数として含む、前記計測値の時間変化関数であることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記照射系及び受光系の少なくとも一方は、吸湿により変形する接着剤で接着された光学部材を少なくとも1つ含み、
前記計測装置の計測値の変化は、前記接着剤の吸湿による変形に起因するものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。 - 前記接着剤で接着された光学部材は、振動ミラーであることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記計測装置の計測値の変化に関する情報は、前記計測装置の部組段階で予め取得されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
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2004
- 2004-11-02 JP JP2004319503A patent/JP2006134944A/ja active Pending
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