JP6115147B2 - 配線基板及びその設計方法 - Google Patents
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Description
第1実施形態による配線基板及びその製造方法について図1乃至図14を用いて説明する。
第2実施形態による配線基板及びその製造方法について図15乃至図20を用いて説明する。図1乃至図14に示す第1実施形態による配線基板及びその製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し説明を省略し或いは簡潔にする。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
前記第1の配線の接続部に形成され、1本の配線パターンよりなる第1のランドと、
前記基板上に形成され、前記第1の配線よりも配線長の長い第2の配線と、
前記第2の配線の接続部に形成され、1本の配線パターンよりなる第2のランドと、
前記第1のランド上に絶縁膜を介して形成された第1のパッド電極と、
前記第2のランド上に前記絶縁膜を介して形成された第2のパッド電極と、
前記絶縁膜内に埋め込まれ、前記第1のランドと前記第1のパッド電極とを電気的に接続する第1の層間接続ビアと、
前記絶縁膜内に埋め込まれ、前記第2のランドと前記第2のパッド電極とを電気的に接続する第2の層間接続ビアとを有し、
前記第1の配線の前記接続部と前記第1の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長が、前記第2の配線の前記接続部と前記第2の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長よりも長い
ことを特徴とする配線基板。
前記第1の配線から前記第1のパッド電極へ伝送する信号の伝搬時間と、前記第2の配線から前記第2のパッド電極へ伝送する信号の伝搬時間とが近似するように、前記第1の配線の接続部と前記第1の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの前記配線長と、前記第2の配線の接続部と前記第2の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの前記配線長とが規定されている
ことを特徴とする配線基板。
前記第2のランドと前記第2のパッド電極とを接続する前記第2の層間接続ビアの数が、前記第1のランドと前記第1のパッド電極とを接続する前記第1の層間接続ビアの数よりも多い
ことを特徴とする配線基板
(付記4) 付記1乃至3のいずれか1項に記載の配線基板において、
前記第1のランド及び前記第2のランドを形成する前記配線パターンは、渦巻き形状である
ことを特徴とする配線基板。
前記第1のランド及び前記第2のランドを形成する前記配線パターンは、蛇行形状である
ことを特徴とする配線基板。
前記第1のランドと前記第2のランドは、同一の形状である
ことを特徴とする配線基板。
前記第1の配線の両端部に、前記第1の層間接続ビア及び前記第1のパッド電極がそれぞれ接続されており、
前記第2の配線の両端部に、前記第2の層間接続ビア及び前記第2のパッド電極がそれぞれ接続されている
ことを特徴とする配線基板。
前記第1の配線及び前記第2の配線は、前記基板を貫通する貫通ビアをそれぞれ有する
ことを特徴とする配線基板。
前記複数の配線の接続部にそれぞれ形成され、1本の配線パターンよりなる複数のランドと、
前記複数のランド上に絶縁膜を介してそれぞれ形成された複数のパッド電極と、
前記絶縁膜内に埋め込まれ、前記複数のランドと前記複数のパッド電極とをそれぞれ電気的に接続する複数の層間接続ビアとを有し、
前記複数の配線のうち配線長の長い前記配線ほど、前記配線の前記接続部と前記層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長が短くなるように、前記層間接続ビアが配置されている
ことを特徴とする配線基板。
前記複数のパッド電極の位置を決定する工程と、
前記パッド電極間を接続するための複数の配線を、前記接続端子部間で最短となるようにそれぞれ配置する工程と、
配置した前記複数の配線のうち、等長処理が必要な前記配線のグループを抽出する工程と、
前記グループに属する前記配線のそれぞれについて、配線長を算出する工程と、
算出した前記配線の前記配線長に基づいて、前記配線長の長い前記配線ほど、前記配線の前記接続部と前記層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長が短くなるように、層間接続ビアを配置する工程と
を有することを特徴とする配線基板の設計方法。
前記層間接続ビアを配置する工程では、前記配線長の長い前記配線ほど、前記ランドに接続される前記層間接続ビアの数が多くなるように、前記層間接続ビアを配置する
ことを特徴とする配線基板の設計方法。
前記配線から前記ランド及び前記層間接続ビアを介して前記パッド電極へ伝送する信号の遅延時間が、配線長の異なる前記配線間で近似するように、前記層間接続ビアを配置する
ことを特徴とする配線基板の設計方法。
20…基板
22,24,32…絶縁膜
26…配線溝
28…Cu膜
30,30A,30B,30C…配線層
33…ランドの端部
34…ビアホール
36…W膜
38…層間接続ビア
40,40A,40B,40C,40D,40E,40F…パッド電極
42,42A,42B,42C…外部接続端子
44,44A,44B…多層配線層
46,46A,46B,46C…ランド
48…貫通ビア
50,50A,50B…半導体チップ
Claims (7)
- 基板上に形成された第1の配線と、
前記第1の配線の接続部に形成され、1本の配線パターンよりなる第1のランドと、
前記基板上に形成され、前記第1の配線よりも配線長の長い第2の配線と、
前記第2の配線の接続部に形成され、1本の配線パターンよりなる第2のランドと、
前記第1のランド上に絶縁膜を介して形成された第1のパッド電極と、
前記第2のランド上に前記絶縁膜を介して形成された第2のパッド電極と、
前記絶縁膜内に埋め込まれ、前記第1のランドと前記第1のパッド電極とを電気的に接続する第1の層間接続ビアと、
前記絶縁膜内に埋め込まれ、前記第2のランドと前記第2のパッド電極とを電気的に接続する第2の層間接続ビアとを有し、
前記第1の配線の前記接続部と前記第1の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長が、前記第2の配線の前記接続部と前記第2の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長よりも長く、
前記第2のランドと前記第2のパッド電極とを接続する前記第2の層間接続ビアの数が、前記第1のランドと前記第1のパッド電極とを接続する前記第1の層間接続ビアの数よりも多い
ことを特徴とする配線基板。 - 請求項1記載の配線基板において、
前記第1の配線から前記第1のパッド電極へ伝送する信号の伝搬時間と、前記第2の配線から前記第2のパッド電極へ伝送する信号の伝搬時間とが近似するように、前記第1の配線の接続部と前記第1の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの前記配線長と、前記第2の配線の接続部と前記第2の層間接続ビアとの間の前記配線パターンの前記配線長とが規定されている
ことを特徴とする配線基板。 - 請求項1又は2記載の配線基板において、
前記第1のランド及び前記第2のランドを形成する前記配線パターンは、渦巻き形状である
ことを特徴とする配線基板。 - 請求項1又は2記載の配線基板において、
前記第1のランド及び前記第2のランドを形成する前記配線パターンは、蛇行形状である
ことを特徴とする配線基板。 - 基板上に形成された複数の配線と、
前記複数の配線の接続部にそれぞれ形成され、1本の配線パターンよりなる複数のランドと、
前記複数のランド上に絶縁膜を介してそれぞれ形成さ れた複数のパッド電極と、
前記絶縁膜内に埋め込まれ、前記複数のランドと前記複数のパッド電極とをそれぞれ電気的に接続する複数の層間接続ビアとを有し、
前記複数の配線のうち配線長の長い前記配線ほど、前記配線の前記接続部と前記層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長が短くなり、前記ランドに接続される前記層間接続ビアの数が多くなるように、前記層間接続ビアが配置されている
ことを特徴とする配線基板。 - 基板上に形成された複数の配線と、前記複数の配線の接続部にそれぞれ形成された1本の配線パターンよりなる複数のランドと、前記複数のランド上に絶縁膜を介してそれぞれ形成された複数のパッド電極と、前記絶縁膜内に埋め込まれ、前記複数のランドと前記複数のパッド電極とをそれぞれ接続する複数の層間接続ビアとを有する配線基板の設計方法であって、
前記複数のパッド電極の位置を決定する工程と、
前記パッド電極間を接続するための複数の配線を、前記接続端子部間で最短となるようにそれぞれ配置する工程と、
配置した前記複数の配線のうち、等長処理が必要な前記配線のグループを抽出する工程と、
前記グループに属する前記配線のそれぞれについて、配線長を算出する工程と、
算出した前記配線の前記配線長に基づいて、前記配線長の長い前記配線ほど、前記配線の前記接続部と前記層間接続ビアとの間の前記配線パターンの配線長が短くなり、前記ランドに接続される前記層間接続ビアの数が多くなるように、層間接続ビアを配置する工程と
を有することを特徴とする配線基板の設計方法。 - 請求項6記載の配線基板において、
前記配線から前記ランド及び前記層間接続ビアを介して前記パッド電極へ伝送する信号の遅延時間が、配線長の異なる前記配線間で近似するように、前記層間接続ビアを配置する
ことを特徴とする配線基板の設計方法。
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