JP6106004B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
2 圧力検出素子
3 流入管
4 べース
4a 貫通孔
4b ハーメチックシール
4c 周縁部
4d 側面部
4e 上面部
5 受け部材
5a 周縁部
5b 側面部
5c 下面部
6 ダイアフラム
7 受圧空間
8 加圧空間
9 ボール
10 ワイヤ
11(11A〜11C) 出力用リードピン
12(12A〜12E) 調整用リードピン
14、15 溶接部
22 挟持部材
22a 傾斜部
22b 円筒部
22c 外周部
Claims (3)
- 圧力検出素子と、
該圧力検出素子が内面に固定されたべースと、
該べースに対向して配置された受け部材と、
前記べースと前記受け部材とで挟持されたダイアフラムと、
該ダイアフラムを挟持した状態の前記べース及び前記受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材であって、前記ベース及び前記受け部材のいずれか一方側から装着され、両者が互いに押圧される方向に荷重を加えた状態で前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方側に溶接接合された挟持部材と、
前記ベースと前記ダイアフラムとの間の空間に封入され、前記受け部材と前記ダイアフラムとの間の空間内の圧力を前記圧力検出素子に伝達する液体とを備え、
前記挟持部材は、前記ダイアフラムを挟持した状態のベース及び受け部材の外径より大きい内径を備えた円筒部と、前記円筒部の上部に連続して設けられ、前記円筒部の中心軸に対して垂直な平面を有する外周部と、前記円筒部の上部に前記外周部を介して連続して形成され、前記中心軸の方向に傾斜するように設けられた傾斜部と、を有し、前記傾斜部と前記外周部とが連結された部分の内壁と前記ベース及び前記受け部材の一方との間に空隙が形成されると共に、前記傾斜部が弾発力を持って前記ベースと前記受け部材とが互いに押圧された状態で、前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方側に溶接接合されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記荷重は、前記挟持部材と前記ベース及び前記受け部材の一方との間に形成された空隙を押し縮めるように加えられることを特徴とする請求項1記載の圧力センサ。
- 前記ベースと前記受け部材とが互いに押圧される方向に、前記ベース及び前記受け部材のいずれか他方の周縁部と前記平面とに前記荷重を加えた状態で前記挟持部材が前記溶接接合されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力センサ。
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