JP2005308397A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体センサチップが収納された圧力検出エレメントの内部空間と、ダイヤフラムとにより形成された液封室に液体を封入し、外部から加えられた圧力を前記液封室の液体を介して前記半導体センサチップに伝えることで、前記圧力に応じた電気信号を出力する圧力センサであって、外部からの圧力を導入する圧力導入管41と底部に形成された貫通穴32で接続され、圧力検出エレメント21と外周に沿った溶接部63で接続される蓋部材31の外周部33から貫通穴32に至る縦断面の少なくとも一部をL字状に形成した。これにより、蓋部材31の内部空間に圧力導入管41から流体が導入されて蓋部材31の内面に流体圧が作用した際における、溶接部63を支点とした回転方向への力が低減され、溶接部63の破断が防止される。
【選択図】 図1
Description
間の流体によって風船が膨らむような力を受けるため、高圧が付与されると、同図の破線で示した状態から実線で示した状態に、溶接部63を支点として回転方向に変形する。この回転方向への変形が大きくなると、溶接部63は破断してしまう。このように、従来の蓋部材31では、傾斜部72に対して作用する流体圧が、溶接部63を支点とした回転力に大きく寄与し、この回転力についての慣性モーメントが大きい構造となっている。
外部からの圧力を導入する圧力導入管と底部に形成された貫通穴で接続され、前記圧力検出エレメントと外周部で接続される蓋部材を備え、該蓋部材は、その外周部から貫通穴に至る縦断面の少なくとも一部がL字状に形成されていることを特徴としている。
このように構成された本発明では、屈曲部が曲面であるため、蓋部材に流体圧が作用して屈曲部が回転方向への力を受けた際にも、曲面が柔軟に変形することによって、屈曲部が永久変形もしくは破壊することを有効に防止することができる。
垂直面37に対する水平方向への流体圧82に分散される。このため、流体の加圧による、圧力検出エレメント21との溶接部63を支点とした回転方向(蓋部材が膨らんで外側へ開く方向)に作用する力84を受けにくい。
11 コネクタハウジング
12 端子
21 圧力検出エレメント
22 半導体センサチップ
23 ハウジング
24 ハーメチックガラス
25 リードピン
26 外部出力用基板
27 ダイヤフラム
28 保護カバー
29 液封室
31 蓋部材
32 貫通穴
33 外周部
34 屈曲部
35 上端面
36 水平底面
37 垂直面
38 底部
41 圧力導入管
51 かしめカバー
52 開口端部
62 溶接部
63 溶接部
64 Oリング
65 オイル充填用パイプ
71 平坦部
72 傾斜部
73 底面部
81 流体圧
82 流体圧
83 流体圧
84 回転方向への力
85 角部
Claims (3)
- 半導体センサチップが収納された圧力検出エレメントの内部空間と、ダイヤフラムとにより形成された液封室に液体を封入し、外部から加えられた圧力を前記液封室の液体を介して前記半導体センサチップに伝えることで、前記圧力に応じた電気信号を出力する圧力センサであって、
外部からの圧力を導入する圧力導入管と底部に形成された貫通穴で接続され、前記圧力検出エレメントと外周部で接続される蓋部材を備え、該蓋部材は、その外周部から貫通穴に至る縦断面の少なくとも一部がL字状に形成されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記蓋部材は、L字状の縦断面における屈曲部の内面側がR状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力検出エレメントと前記蓋部材とが、これらの外周に沿った溶接により互いに固定されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
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