JP5833835B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
2 圧力検出部
3 コネクタ接続部
21 圧力検出素子
22 流体流入部
23 べース
23a 貫通孔
23b ハーメチックシール
23c 環状角部
24 受け部材
25 ダイアフラム
26 受圧空間
27 加圧空間
28 ボール
29 ワイヤ
31 配線基板
32 外部出力用リード線
33(33A〜33C) 出力用リードピン
34 コネクタ
35 カバー
35a 環状段部
36(36A〜36E) 調整用リードピン
41 空間
50 配線パターン
51 金属箔
Claims (2)
- ベース及び該ベースの中央部に設けられた圧力検出素子を有する圧力検出部と、
前記圧力検出素子の中心軸から偏心するように前記ベースを貫通して該貫通部においてハーメチックシールにより封止され、一端が前記圧力検出素子に電気的に接続され、他端が前記圧力検出部の外部に突出する複数の出力用リードピンと、
前記圧力検出素子の中心軸から偏心するように前記ベースを貫通して該貫通部においてハーメチックシールにより封止され、一端が前記圧力検出素子に電気的に接続され、他端が前記圧力検出部の外部に突出し、前記複数の出力用リードピンと離間する複数の調整用リードピンと、
前記圧力検出部側の端部が前記複数の出力用リードピンの中心軸から偏心するように設けられた複数の外部出力用リード線と、
前記複数の出力用リードピン及び前記複数の外部出力用リード線の前記圧力検出部側の端部が互いに電気的に接続され、前記ベースから離間した位置に配置された配線基板とを備えた圧力センサにおいて、
前記配線基板が前記複数の調整用リードピン側まで延長され、
前記複数の調整用リードピンが、前記複数の外部出力用リード線と電気的に接続されることなく、前記配線基板に固定されたことを特徴とする圧力センサ。 - 前記複数の出力用リードピン及び前記複数の調整用リードピンは、略円環状に配列され、該円環の中心に対して反対側に位置していることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011105795A JP5833835B2 (ja) | 2011-05-11 | 2011-05-11 | 圧力センサ |
CN201210115444.0A CN102778323B (zh) | 2011-05-11 | 2012-04-18 | 压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011105795A JP5833835B2 (ja) | 2011-05-11 | 2011-05-11 | 圧力センサ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015170351A Division JP5966071B2 (ja) | 2015-08-31 | 2015-08-31 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012237612A JP2012237612A (ja) | 2012-12-06 |
JP5833835B2 true JP5833835B2 (ja) | 2015-12-16 |
Family
ID=47123311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011105795A Active JP5833835B2 (ja) | 2011-05-11 | 2011-05-11 | 圧力センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5833835B2 (ja) |
CN (1) | CN102778323B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013224834A (ja) * | 2012-04-20 | 2013-10-31 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2016191656A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014102115A (ja) * | 2012-11-19 | 2014-06-05 | Saginomiya Seisakusho Inc | 圧力検知ユニット及びその製造方法 |
JP6293562B2 (ja) * | 2014-04-17 | 2018-03-14 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
JP2017146137A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 株式会社不二工機 | 圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサ、並びに圧力検出ユニットの製造方法 |
CN110763393A (zh) * | 2019-09-21 | 2020-02-07 | 蚌埠市力业传感器有限公司 | 压力传感器 |
CN110793706A (zh) * | 2019-09-21 | 2020-02-14 | 蚌埠市力业传感器有限公司 | 压力传感器制作方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3550458B2 (ja) * | 1996-04-17 | 2004-08-04 | 長野計器株式会社 | 静電容量式の気体用圧力センサ |
JPH11295174A (ja) * | 1998-04-09 | 1999-10-29 | Fujikoki Corp | 圧力センサ |
JPH11316166A (ja) * | 1998-05-06 | 1999-11-16 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ |
JP2003315196A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-06 | Denso Corp | 圧力センサの製造方法およびその製造方法に用いる測定装置 |
JP2005308503A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Toyoda Mach Works Ltd | 半導体センサ |
JP4648885B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2011-03-09 | 住友重機械工業株式会社 | 射出成形機及び射出成形機の制御方法 |
-
2011
- 2011-05-11 JP JP2011105795A patent/JP5833835B2/ja active Active
-
2012
- 2012-04-18 CN CN201210115444.0A patent/CN102778323B/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013224834A (ja) * | 2012-04-20 | 2013-10-31 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
JP2016191656A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社不二工機 | 圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012237612A (ja) | 2012-12-06 |
CN102778323B (zh) | 2016-03-09 |
CN102778323A (zh) | 2012-11-14 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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