JP6095333B2 - 基板処理ライン、基板処理方法 - Google Patents

Description

この発明は、基板を支持しつつ搬送するコンベアを具備する処理装置を複数並べて、隣接する処理装置のコンベア間で基板を受け渡しつつ各処理装置で基板に処理を行う基板処理技術に関する。

特許文献１には、基板投入機と部品実装機をこの順番で基板搬送方向に並べて、基板投入機と部品実装機の間で基板を受け渡しつつ基板への処理を実行する基板処理ライン（同文献の部品実装ライン）が記載されている。具体的には、基板投入機は基板搬送方向の下流側にある部品実装機に基板を投入する処理を行い、部品実装機は基板搬送方向の上流側から投入された基板に対して部品を実装する処理を行う。また、基板投入機や部品実装機といった各処理装置は、コンベアによって基板を基板搬送方向に搬送する構成を具備する。したがって、隣接する処理装置それぞれのコンベアの間で基板の受け渡しが実行されて、これらの処理装置間での基板の搬送が実行される。

特開２０１０−０８７１３６号公報

上述のような処理装置では、基板搬送方向に直交する直交方向に移動自在な可動コンベアを用いて基板の支持や搬送を行うように構成することで、処理装置の汎用性の向上を図ることができる。しかしながら、複数の処理装置を並べた基板処理ラインにおいて、可動コンベアを具備する処理装置を用いるにあたっては、次のような課題があった。つまり、可動コンベアの移動は任意のタイミングで行えるわけではなく、可動コンベアと他のコンベアとの間で基板の受け渡しが行われる際には、不用意に可動コンベアを動かすと、これらのコンベアで基板をしっかりと支持できなくなるおそれがあった。したがって、これらのコンベア間での基板の受け渡しの実行状況を判断して、不適切なタイミングでの可動コンベアの移動を抑制することが求められていた。

この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、少なくとも一方が可動コンベアを具備する互いに隣接する処理装置の各コンベア間での基板の受け渡しの実行状況を的確に判断して、不適切なタイミングでの可動コンベアの移動を抑制することを目的としている。

本発明にかかる基板処理ラインは、上記目的を達成するために、基板を支持しつつ基板搬送方向に搬送するコンベアを具備する処理装置を基板搬送方向に複数併設し、複数の処理装置のコンベアの間で基板を受け渡しつつ各処理装置で基板に処理を行う基板処理ラインにおいて、複数の処理装置のうち、基板搬送方向に直交する直交方向に移動自在な可動コンベアをコンベアとして具備する一の処理装置の可動コンベアを、直交方向に駆動する駆動部と、駆動部による可動コンベアの移動を制御する制御部と、一の処理装置の可動コンベアに支持された基板の基板搬送方向における位置を検出する一の位置検出部と、複数の処理装置のうちの一の処理装置に隣接する他の処理装置のコンベアに支持された基板の基板搬送方向における位置を検出する他の位置検出部とを備え、制御部は、一の処理装置の可動コンベアと他の処理装置のコンベアとの間で基板を受け渡す基板受渡動作の実行状況を、一の位置検出部および他の位置検出部の両方の検出結果から判断した結果に基づいて、駆動部による可動コンベアの移動を制御するとともに、一の位置検出部と他の位置検出部の両方が基板を検出していないことを確認することで、一の処理装置の可動コンベアと他の処理装置のコンベアとの間を跨った基板が存在しないと判断する。

本発明にかかる基板処理方法は、上記目的を達成するために、基板を支持しつつ基板搬送方向に搬送するコンベアを具備する処理装置を基板搬送方向に複数併設し、複数の処理装置のコンベアの間で基板を受け渡しつつ各処理装置で基板に処理を行う基板処理方法において、複数の処理装置のうち、基板搬送方向に直交する直交方向に移動自在な可動コンベアをコンベアとして具備する一の処理装置の可動コンベアに支持された基板の基板搬送方向における位置を一の位置検出結果として検出する工程と、複数の処理装置のうち、一の処理装置に隣接する他の処理装置のコンベアに支持された基板の基板搬送方向における位置を他の位置検出結果として検出する工程と、一の処理装置の可動コンベアと他の処理装置のコンベアとの間で基板を受け渡す基板受渡動作の実行状況を、一の位置検出結果および他の位置検出結果の両方から判断した結果に基づいて、可動コンベアの移動を制御する工程とを備え、一の位置検出結果と他の位置検出結果の両方が基板を検出していないことを確認することで、一の処理装置の可動コンベアと他の処理装置のコンベアとの間を跨った基板が存在しないと判断する。

このように構成された本発明（基板処理装置、基板処理方法）では、一の処理装置の可動コンベアと他の処理装置のコンベアとの間で実行される基板受渡動作の実行状況が、基板搬送方向における基板の位置を検出した結果から判断される。特に、基板受渡動作が一の処理装置と他の処理装置それぞれのコンベアにより協働して実行されることを鑑みて、一の処理装置の可動コンベア側と他の処理装置のコンベア側の両方で基板の位置が検出される。したがって、基板の位置の検出結果から基板受渡動作の実行状況を的確に判断することができる。そして、こうして判断された実行状況に基づいて可動コンベアの移動を制御することで、不適切なタイミングでの可動コンベアの移動を抑制することができる。

また、本発明は、基板の反りや基板の切欠（スリット、ノッチ）に起因して、適切な基板検出結果を得られない場合においても、一の処理装置と他の処理装置との間における基板受渡動作の実行状況を判断し得るといった利点も有する。つまり、基板に反りがあるために基板検出を行う検出領域から基板が外れたり、基板に切欠があるために切欠が検出領域にかかったりすることで、適切な基板検出結果を得られない場合がある。これに対して、本発明では、基板受渡動作を実行する一の処理装置と他の処理装置のそれぞれで基板検出が実行されるため、いずれかの処理装置において適切な基板検出結果が得られなくても、基板受渡動作の実行状況を把握することが可能となる。その結果、基板の反りや切欠が存在する場合であっても、不適切なタイミングでの可動コンベアの移動を抑制することができる。

具体的には、制御部は、一の位置検出部および他の位置検出部の両方の検出結果から、基板受渡動作が実行中であると判断すると、駆動部に可動コンベアの移動が禁止するように、基板処理ラインを構成しても良い。これによって、基板受渡動作の実行中のタイミングにおける可動コンベアの移動を確実に抑制することができる。

なお、基板受渡動作が実行中でないとしても、可動コンベアによる基板の支持状態によっては、可動コンベアを動かすことが適当でない場合もある。そこで、制御部は、一の処理装置の可動コンベアによる基板の支持状態を判断した結果に基づいて、駆動部による可動コンベアの移動を制御するように、基板処理ラインを構成しても良い。

特にこのような制御は、一の処理装置では、直交方向に並ぶ２個の可動コンベアによって構成される支持テーブルが基板を支持しつつ基板搬送方向に搬送し、駆動部は、２個の可動コンベアの間隔を変更するステージ幅変更動作および２個の可動コンベアをそれぞれの間隔を保ったまま移動させるステージ移動動作を実行するように構成された基板処理ラインに対して好適となる。

具体的には、制御部は、２個の可動コンベアによって基板が支持されていると判断すると、少なくともステージ幅変更動作を禁止するように、基板処理ラインを構成しても良い。つまり、２個の可動コンベアによって基板が支持されている場合には、ステージ幅変更動作を実行すると、２個の可動コンベアによる基板の支持が不安定になってしまう。そこで、ステージ幅変更動作を禁止することが好適となる。

また、制御部は、基板搬送方向において２個の可動コンベアそれぞれの内側に基板が収容されており、かつ基板受渡動作が実行中でないと判断すると、ステージ移動動作を許可するように、基板処理ラインを構成しても良い。つまり、基板搬送方向において２個の可動コンベアそれぞれの内側に基板が収容されている場合には、ステージ移動動作を行ったとしても、２個のコンベアによる基板の支持が不安定になることはない。そこで、基板受渡動作が実行中でないことを条件にステージ移動動作を許可することで、ステージ移動動作の頻発を抑止して、基板処理をスムーズに行うことが可能となる。

また、制御部は、基板搬送方向において基板が収容範囲外にあると判断すると、ステージ幅変更動作およびステージ移動動作の両方を禁止するように、基板処理ラインを構成しても良い。つまり、基板搬送方向において基板が収容範囲外にある場合には、ステージ幅変更動作やステージ移動動作を実行すると、２個の可動コンベアによる基板の支持が不安定になってしまう。そこで、ステージ幅変更動作およびステージ移動動作の両方を禁止することが好適となる。

また、制御部が一の処理装置に配置されるように、基板処理ラインを構成しても良い。つまり、制御部による制御対象は、一の処理装置に設けられた可動コンベアである。したがって、制御部を一の処理装置に配置して、制御部を可動コンベアの近くに設けることが合理的である。

この場合、他の処理装置での基板の位置の検出結果を、一の処理装置に配置された制御部にまで伝達する必要がある。そこで、一の処理装置および他の処理装置は、相互に伝送信号をやり取りする通信制御部をそれぞれ有し、他の処理装置は、他の位置検出部の検出結果を通信制御部に送るケーブルを有し、他の処理装置の通信制御部は、ケーブルを介して受け取った検出結果を伝送信号に変換して、一の処理装置の通信制御部へ出力するように、基板処理ラインを構成しても良い。

このように、他の処理装置と一の処理装置との間の信号の伝達を各処理装置に設けられた通信制御部で実行する構成では、例えば、基板位置の検出結果のやり取りをこれら通信制御部の間で実行することができる。したがって、他の処理装置の位置検出部の検出結果を一の処理装置にまで伝達する場合であっても、検出結果を伝達するためにケーブルを処理装置間で引き回す必要がない。つまり、他の処理装置においては、その位置検出部からその通信制御部までケーブルを接続すれば足りる。したがって、検出信号を伝達するためのケーブルの引き回しを容易にすることができる。

この発明によれば、少なくとも一方が可動コンベアを具備する互いに隣接する処理装置の各コンベア間での基板の受け渡しの実行状況を的確に判断して、不適切なタイミングでの可動コンベアの移動を抑制することが可能となる。

本発明の第１実施形態にかかる基板処理ラインの一例を模式的に示した図である。 第１実施形態において上流側の基板処理装置が実行する基板搬出処理の一例を示すフローチャートである。 第１実施形態において下流側の基板処理装置が実行する基板搬入処理の一例を示すフローチャートである。 図２および図３のフローチャートに従って実行される具体的動作の一例を模式的示す動作図である。 図４で例示された動作の時間経過を示すタイミングチャートである。 基板受渡動作の各実行状況の一例を模式的に示す図である。 本発明の第２実施形態にかかる基板処理ラインの一例を模式的に示した図である。 第２実施形態において上流側の基板処理装置が実行する基板搬出処理の一例を示すフローチャートである。 第２実施形態において下流側の基板処理装置が実行する基板搬出処理の一例を示すフローチャートである。 図８および図９のフローチャートに従って実行される具体的動作の一例を模式的示す動作図である。 図１０で例示された動作の時間経過を示すタイミングチャートである。

第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態にかかる基板処理ラインの一例を模式的に示した図である。同図および以下に示す図では、基板搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向に直交する直交方向をＹ軸方向とするＸＹ直交座標軸を適宜示すこととする。この基板処理ライン１は、複数台（２台）の基板処理装置２、３をこの順番で基板搬送方向Ｘに配列し、基板搬送方向Ｘに基板Ａ（図４）を搬送しつつ、基板処理装置２、３のそれぞれで基板Ａに所定の処理を行う。

基板処理ライン１において基板搬送方向Ｘの上流側に配置された基板処理装置２は、２台の搬送ステージ１０をＹ軸方向に並べることで、２本の基板搬送路を並列配置したいわゆるデュアルレーンタイプのものである。各搬送ステージ１０は、Ｙ軸方向に並ぶ２台のコンベア１００で構成される。各コンベア１００は、基板Ａを下方から支持しつつ基板Ａを基板搬送方向Ｘへ搬送するものである。したがって、搬送ステージ１０は、自身を構成する２台のコンベア１００を動作させることで基板Ａを基板搬送方向Ｘへ搬送する。基板搬送方向Ｘの上流側における基板処理装置２の壁面には、２台の搬送ステージ１０それぞれに対して基板Ａの搬入口２０iが開口するとともに、基板搬送方向Ｘの下流側における基板処理装置２の壁面には、２台の搬送ステージそれぞれに対して基板Ａの搬出口２０oが開口する。

搬入口２０iから基板処理装置２内に搬入された基板Ａは、搬送ステージ１０を構成する２台のコンベア１００にＹ軸方向へ架け渡されて、搬送ステージ１０により支持される。こうして搬入された基板Ａは搬送ステージ１０によって基板搬送方向Ｘに搬送されて、作業位置Ｐaで所定の処理を受ける。作業位置Ｐaでの基板Ａへの処理が完了すると、搬送ステージ１０は、基板Ａを作業位置Ｐaから基板搬送方向Ｘへ搬送して、基板搬送方向Ｘの下流側に配置された基板処理装置３へ向けて搬出する。

上述のとおり、この基板処理装置２は、２台の搬送ステージ１０を備えている。したがって、２台の搬送ステージ１０それぞれの作業位置Ｐaに位置決めされた基板Ａに対して、並行して所定の処理を実行することができる。基板処理装置２が実行する処理の具体的な内容としては、基板Ａへの半田ペーストの印刷、基板Ａへの電子部品の実装等が挙げられる。例えば、特開２０１１−１５１２２２号公報に記載されたデュアルレーンタイプの印刷装置のように基板処理装置２を構成した場合には、２箇所の作業位置Ｐaのそれぞれで、基板Ａに対して印刷処理を実行することができる。あるいは、特開２０１１−１４２２４１号公報に記載されたデュアルレーンタイプの部品実装装置のように基板処理装置２を構成した場合には、２箇所の作業位置Ｐaのそれぞれで、基板Ａに対して部品実装処理を実行することができる。なお、２箇所の作業位置Ｐaの両方で同種の処理を行う必要はなく、例えば、一方の作業位置Ｐaで印刷処理を実行するとともに、他方の作業位置Ｐaで部品実装処理を実行することもできる。

ここで、基板処理装置２に設けられた搬送ステージ１０の構成の詳細について説明を行う。なお、２台の搬送ステージ１０はいずれも同様の構成を備えるため、ここでは基本的に１台の搬送ステージ１０について説明を行うこととする。基板処理装置２に設けられた搬送ステージ１０は、Ｙ軸方向への幅を変えられるように構成されている。つまり、搬送ステージ１０を構成する２本のコンベア１００のうちの一方（Ｙ軸方向外側）のコンベア１００dは、駆動機構２１からの駆動力を受けてＹ軸方向へ移動する可動コンベア１００dである。したがって、駆動機構２１により可動コンベア１００dをＹ軸方向へ動かすことで、２本のコンベア１００ｄ、１００の間隔をＹ軸方向へ変化させて、搬送ステージ１０のＹ軸方向への幅を変更することができる（ステージ幅変更動作）。これによって、Ｙ軸方向において、搬送ステージ１０の幅を基板Ａの幅に応じて適切に調整することができる。なお、可動コンベア１００dを移動させる駆動機構２１の具体的構成としては、従来知られている種々の駆動機構を用いることができる。

また、搬送ステージ１０を構成する２本のコンベア１００の一方には、基板搬送方向Ｘに間隔を空けて並ぶ３個の基板センサＳai、Ｓam、Ｓaoが上方から対向する。これら基板センサＳai、Ｓam、Ｓaoは光学式のセンサである。基板センサＳaiは、コンベア１００の基板搬送方向Ｘの上流端に配置されており、基板Ａの搬入口２０i近傍に位置する。基板センサＳamは、基板搬送方向Ｘにおいてコンベア１００の中央よりやや下流側に配置されている。基板センサＳaoは、コンベア１００の基板搬送方向Ｘの下流端に配置されており、基板Ａの搬出口２０i近傍に位置する。これらの基板センサＳai、Ｓam、Ｓaoのそれぞれは直下に存在する基板Ａを検出するものであり、基板Ａが存在すると「ＯＮ」を出力し、基板Ａが存在しないと「ＯＦＦ」を出力する。したがって、基板センサＳai、Ｓam、Ｓaoの出力信号Ｉsから、基板搬送方向Ｘにおける基板Ａの位置を把握することができる。

基板処理装置２は、上述の機械的構成のほかに、制御回路２７および入出力回路２９といった電気的構成を備える。制御回路２７は、ＣＰＵ(Central
Processing Unit)やメモリーで構成されており、基板処理装置２で実行される動作を統括的に制御する。具体的には、制御回路２７は、搬送ステージ１０による基板Ａの基板搬送方向Ｘへの搬送を制御したり、駆動制御信号Ｉdを駆動機構２１に与えて可動コンベア１００dのＹ軸方向への位置を調整したりする。入出力回路２９は、伝送信号として伝送可能に変換された信号を外部と送受信する回路であり、具体的には、基板処理装置３の入出力回路３９との間で伝送信号を通信する。

特に、この実施形態では、基板処理装置２、３それぞれの入出力回路２９、３９の間で、基板センサの出力信号Ｉsがやり取りされる。そこで、基板センサから制御回路２７までケーブルＣsを介して出力信号Ｉsが送られて、制御回路２７が伝送信号に変換した出力信号Ｉsを、入出力回路２９を介して基板処理装置３へ出力する。このような構成では、基板センサからの出力信号Ｉsを基板処理装置３まで送信するにも拘わらず、ケーブルＣsとしては、基板センサから制御回路２７まで出力信号Ｉsを出力するものであれば足りるため、ケーブルＣsを基板処理装置３まで引き回す必要がない。その結果、ケーブルＣsの引き回しが容易となっている。

基板処理ライン１において基板搬送方向Ｘの下流側に配置された基板処理装置３は、２台の搬送ステージ１０（１０b、１０c）を基板搬送方向Ｘに直列に並べたものである。各搬送ステージ１０は、Ｙ軸方向に並ぶ２台のコンベア１００で構成されており、これらのコンベア１００を動作させることで基板Ａを基板搬送方向Ｘへ搬送する。基板搬送方向Ｘの上流側における基板処理装置３の壁面には、基板処理装置２の搬出口２０oそれぞれに対向して基板Ａの搬入口３０iが開口するとともに、基板搬送方向Ｘの下流側における基板処理装置３の壁面には、基板Ａの搬出口３０oが１つ開口する。

基板処理装置２から搬入口３０iを介して基板処理装置３内に搬入された基板Ａは、上流側の搬送ステージ１０bを構成する２台のコンベア１００にＹ軸方向へ架け渡されて、搬送ステージ１０bにより支持される。こうして搬入された基板Ａは搬送ステージ１０bによって基板搬送方向Ｘに搬送されて、作業位置Ｐbで所定の処理を受ける。作業位置Ｐbでの基板Ａへの処理が完了すると、搬送ステージ１０bは、基板Ａを作業位置Ｐbから基板搬送方向Ｘへ搬送して、下流側の搬送ステージ１０cへ受け渡す。

こうして受け渡された基板Ａは、下流側の搬送ステージ１０cを構成する２台のコンベア１００にＹ軸方向へ架け渡されて、搬送ステージ１０cにより支持される。そして、基板Ａは搬送ステージ１０cによって基板搬送方向Ｘに搬送されて、作業位置Ｐcで所定の処理を受ける。作業位置Ｐcでの基板Ａへの処理が完了すると、搬送ステージ１０cは、基板Ａを作業位置Ｐcから基板搬送方向Ｘへ搬送して、搬出口３０oから搬出する。

上述のとおり、この基板処理装置３は、２台の搬送ステージ１０を備えている。したがって、２台の搬送ステージ１０それぞれの作業位置Ｐb、Ｐcに位置決めされた基板Ａに対して、並行して所定の処理を実行することができる。この例では、基板処理装置３は、作業位置Ｐb、Ｐcのそれぞれで基板Ａへ部品実装処理を実行する。

ここで、基板処理装置３に設けられた搬送ステージ１０の構成の詳細について説明を行う。なお、２台の搬送ステージ１０はいずれも同様の構成を備えるため、ここでは基本的に１台の搬送ステージ１０について説明を行うこととする。基板処理装置３に設けられた搬送ステージ１０は、Ｙ軸方向への幅を変えられるように構成されている。つまり、搬送ステージ１０を構成する２本のコンベア１００はいずれも、駆動機構３１からの駆動力を受けてＹ軸方向へ移動する可動コンベア１００dである。したがって、駆動機構３１により可動コンベア１００dをＹ軸方向へ動かすことで、２本のコンベア１００ｄ、１００ｄの間隔をＹ軸方向へ変化させて、搬送ステージ１０のＹ軸方向への幅を変更することができる（ステージ幅変更動作）。これによって、Ｙ軸方向において、搬送ステージ１０の幅を基板Ａの幅に応じて適切に調整することができる。また、駆動機構３１により２本の可動コンベア１００をそれぞれの間隔を保ったままＹ軸方向へ移動させることで、搬送ステージ１０をその幅を保ったままＹ軸方向へ移動させることができる（ステージ移動動作）。なお、可動コンベア１００dを移動させる駆動機構３１の具体的構成としては、従来知られている種々の駆動機構を用いることができる。

また、上流側の搬送ステージ１０bを構成する２本のコンベア１００の一方には、基板搬送方向Ｘに間隔を空けて並ぶ３個の基板センサＳbi、Ｓbm、Ｓboが上方から対向する。これら基板センサＳbi、Ｓbm、Ｓboは光学式のセンサである。基板センサＳbiは、コンベア１００の基板搬送方向Ｘの上流端に配置されており、基板Ａの搬入口３０i近傍に位置する。基板センサＳbmは、基板搬送方向Ｘにおいてコンベア１００の中央よりやや下流側に配置されている。基板センサＳboは、コンベア１００の基板搬送方向Ｘの下流端に配置されており、下流側の搬送ステージ１０cの近傍に位置する。これらの基板センサＳbi、Ｓbm、Ｓboのそれぞれは直下に存在する基板Ａを検出するものであり、基板Ａが存在すると「ＯＮ」を出力し、基板Ａが存在しないと「ＯＦＦ」を出力する。したがって、基板センサＳbi、Ｓbm、Ｓboの出力信号Ｉsから、基板搬送方向Ｘにおける基板Ａの位置を把握することができる。

また、下流側の搬送ステージ１０cを構成する２本のコンベア１００の一方には、基板搬送方向Ｘに間隔を空けて並ぶ３個の基板センサＳci、Ｓcm、Ｓcoが上方から対向する。これら基板センサＳci、Ｓcm、Ｓcoは光学式のセンサである。基板センサＳciは、コンベア１００の基板搬送方向Ｘの上流端に配置されており、上流側の搬送ステージ１０bの近傍に位置する。基板センサＳcmは、基板搬送方向Ｘにおいてコンベア１００の中央よりやや下流側に配置されている。基板センサＳcoは、コンベア１００の基板搬送方向Ｘの下流端に配置されており、基板Ａの搬出口３０o近傍に位置する。これらの基板センサＳci、Ｓcm、Ｓcoのそれぞれは直下に存在する基板Ａを検出するものであり、基板Ａが存在すると「ＯＮ」を出力し、基板Ａが存在しないと「ＯＦＦ」を出力する。したがって、基板センサＳci、Ｓcm、Ｓcoの出力信号Ｉsから、基板搬送方向Ｘにおける基板Ａの位置を把握することができる。

基板処理装置３は、上述の機械的構成のほかに、制御回路３７および入出力回路３９といった電気的構成を備える。制御回路３７は、ＣＰＵやメモリーで構成されており、基板処理装置３で実行される動作を統括的に制御する。具体的には、制御回路３７は、搬送ステージ１０による基板Ａの基板搬送方向Ｘへの搬送を制御したり、駆動制御信号Ｉdを駆動機構３１に与えて可動コンベア１００dのＹ軸方向への位置を調整したりする。入出力回路３９は、伝送信号として伝送可能に変換された信号を外部と送受信する回路であり、具体的には、基板処理装置２の入出力回路２９との間で伝送信号を通信する。

特に、この実施形態では、基板処理装置２、３それぞれの入出力回路２９、３９の間で、基板センサの出力信号Ｉsがやり取りされる。そこで、基板センサから制御回路３７までケーブルＣsを介して出力信号Ｉsが送られて、制御回路３７が伝送信号に変換した出力信号Ｉsを、入出力回路３９を介して基板処理装置２へ出力する。このような構成では、基板センサからの出力信号Ｉsを基板処理装置２まで送信するにも拘わらず、ケーブルＣsとしては、基板センサから制御回路３７まで出力信号Ｉsを出力するものであれば足りるため、ケーブルＣsを基板処理装置２まで引き回す必要がない。その結果、ケーブルＣsの引き回しが容易となっている。

上述のように、基板処理装置２、３を基板搬送方向Ｘに直列に並べた基板処理ライン１では、基板処理装置２の搬送ステージ１０aから基板処理装置３の搬送ステージ１０bへ基板Ａを受け渡す基板受渡動作が実行される。この基板受渡動作は、上流側の基板処理装置２が搬出した基板Ａを下流側の基板処理装置３が搬入するのに伴って実行される。そこで、基板Ａの搬出処理および搬入処理と、これに伴って実行される基板受渡動作について、次に詳述する。

図２は、第１実施形態において上流側の基板処理装置が実行する基板搬出処理の一例を示すフローチャートである。図３は、第１実施形態において下流側の基板処理装置が実行する基板搬入処理の一例を示すフローチャートである。なお、第１実施形態における以下の説明では適宜、上流側の基板処理装置２を上流装置２と称し、下流側の基板処理装置３を下流装置３と称することとする。

まずは、図２を用いて、基板Ａを搬出する上流装置２の動作について説明する。なお、図２のフローチャートは、上流装置２の制御回路２７の制御下で実行される。上流装置２による基板搬出のフローチャートが開始されると、ステップＳ１０１において、上流装置２から基板Ａの搬出が可能であるかが判断される。換言すれば、制御回路２７は、下流装置３の搬送ステージ１０bが基板Ａを受け入れられるかを確認する。具体的には、次の搬出条件
・下流装置３の搬送ステージ１０b上に基板Ａが存在しないこと
・上流装置２で搬出対象の基板Ａを支持する搬送ステージ１０aに対して基板搬送方向Ｘに直列に並ぶ位置に、下流装置３の搬送ステージ１０bが存在すること
が確認される。そして、制御回路２７は、上記の搬出条件が満足されずに基板搬出が不能である場合（ステップＳ１０１で「ＮＯ」の場合）は、基板搬出を待機させ、上記の搬出条件が満足されて基板搬出が可能である場合（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」の場合）は、ステップＳ１０２に進む。

ステップＳ１０２では、搬出対象となる基板Ａが載置された搬送ステージ１０aの各コンベア１００が作動して、基板Ａが基板搬送方向Ｘへ搬送されて上流装置２から搬出される。続いて、ステップＳ１０３では、搬出対象となる基板Ａが載置されていた搬送ステージ１０aの基板センサＳaoの出力信号Ｉsが「ＯＦＦ」となったかを確認する。そして、基板Ａが基板センサＳaoの直下を通過して、基板センサＳaoの出力信号Ｉsが「ＯＦＦ」になったことが確認されると（ステップＳ１０３で「ＹＥＳ」と判断されると）、ステップＳ１０４に進む。ステップＳ１０４では、基板センサＳaの出力信号Ｉsが「ＯＦＦ」になってから所定時間が経過したことが確認される。そして、所定時間の経過が確認されると（ステップＳ１０４で「ＹＥＳ」と判断されると）、上流装置２による基板搬出のフローチャートが終了する。

続いて、図３を用いて基板Ａを搬入する下流装置３の動作について説明する。なお、図３のフローチャートは、下流装置３の制御回路３７の制御下で実行される。下流装置３による基板搬入のフローチャートが開始されると、ステップＳ２０１において、下流装置３において基板Ａの搬入が可能であるかが判断される。具体的には、下流装置３の搬送ステージ１０b上に基板Ａが存在しないことを求める搬入条件が確認される。そして、制御回路３７は、上記搬入条件が満足されずに基板搬入が不能である場合（ステップＳ２０１で「ＮＯ」の場合）は、基板搬入を待機させ、上記搬入条件が満足されて基板搬出が可能である場合（ステップＳ２０１で「ＹＥＳ」の場合）は、ステップＳ２０２に進む。

ステップＳ２０２では、上流装置２の搬出口２０o近傍の両基板センサＳao、下流装置３の搬送ステージ１０bの上下流端の基板センサＳbi、Ｓbo、および下流装置３の搬送ステージ１０cの上流端の基板センサＳci全ての出力信号Ｉsが「ＯＦＦ」であることが確認される。これは、基板Ａを受け入れる搬送ステージ１０bと、隣接する搬送ステージ１０aや搬送ステージ１０cとの間で基板Ａが跨っていないことを確認するものである。具体的には、基板センサＳao、Ｓbiの両方が「ＯＦＦ」であることを確認することで、搬送ステージ１０bと搬送ステージ１０aとの間を跨った基板Ａが存在しないことが確認される。また、基板センサＳbo、Ｓciの両方が「ＯＦＦ」であることを確認することで、搬送ステージ１０bと搬送ステージ１０cとの間を跨った基板Ａが存在しないことが確認される。

ステップＳ２０２において、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であることが確認できない場合（ステップＳ２０２で「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２０３に進んで、制御回路３７は図示を省略するユーザインターフェースを介してエラー表示を出力して、基板Ａの搬入を停止し、図３のフローチャートを終了する。一方、ステップＳ２０２において、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であることが確認できた場合（ステップＳ２０２で「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ２０４に進んで、可動コンベア１００dの移動の必要性が判断される。

具体的には、搬送ステージ１０bについて、ステージ幅調整動作やステージ移動動作の必要性が判断される。つまり、下流装置３へ基板Ａを搬入するためには、以下の受取条件
・搬送ステージ１０bの幅が搬入されてきた基板Ａの幅に対して適切であること
・搬送ステージ１０bが搬入されてきた基板Ａを受け取る受渡位置に存在すること
が求められる。つまり、受取条件の前者が満足されていない場合は、ステージ幅調整動作が必要となり、受取条件の後者が満足されていない場合は、ステージ移動動作が必要となる。換言すれば、受取条件の後者は、搬出対象の基板Ａを支持する搬送ステージ１０aに対して基板搬送方向Ｘに直列に並ぶ受渡位置Ｐr（図４）に、下流装置３の搬送ステージ１０bが存在することを要求する。そして、ステップＳ２０４では、受取条件が満たされているか否かを判断した結果に基づいて、ステージ幅調整動作やステージ移動動作の要否が判断されて、可動コンベア１００dを移動させるかが決定される。

ステップＳ２０４以後のフローをより具体的に説明するために、以下では、図４および図５を併用して説明を実行する。ここで、図４は、図２および図３のフローチャートに従って実行される具体的動作の一例を模式的示す動作図である。図４では、上流装置２の２台の搬送ステージ１０aのうち図１、図４で上側の搬送ステージ１０aが対象となる基板Ａを搬出する場合が例示されている。また、図５は、図４で例示された動作の時間経過を示すタイミングチャートであり、基板センサＳam、Ｓao、Ｓbi、Ｓbmの出力信号Ｉsおよび搬送ステージ１０bの位置の時間変化を示している。なお、図５の基板センサＳam、Ｓaoは、対象となる基板Ａを搬出する搬送ステージ１０a（つまり、図１、図４で上側の搬送ステージ１０a）に設けられたものである。

上述のとおり、ステップＳ２０４では、上記の受取条件が満たされるか判断され、受取条件が満たされない場合はステップＳ２０５に進み、受取条件が満たされる場合はステップＳ２０６へ進む。図４では、ステップＳ２０４で受取条件が満たされなかった場合が例示されている。つまり、図４の「動作Ｍ１１」の欄に示す例では、上流装置２では、基板Ａが搬送ステージ１０aの中央に載置され、下流装置３では、搬送ステージ１０bが処理位置Ｐpに位置しており（つまり、受渡位置Ｐrに位置しておらず）、受取条件が満たされていない。したがって、ステップＳ２０４では、搬送ステージ１０bを受渡位置Ｐrにまで移動させるためにステージ移動動作が必要と少なくとも判断される。また、搬送ステージ１０bの幅が基板Ａの幅に対して不適切である場合には、ステージ幅調整動作が必要とも判断される。

そして、続くステップＳ２０５では、搬送ステージ１０bの可動コンベア１００dが駆動されて、ステップＳ２０４で必要と判断された動作が実行される。その結果、搬送ステージ１０bは、時刻ｔ10〜ｔ11をかけて処理位置Ｐpから受渡位置ＰrにまでＹ軸方向へ移動する（図４の「動作Ｍ１２」、図５）。こうして、ステップＳ２０５の動作を実行することで、受取条件が満たされて、ステップＳ２０６へと進む。

ステップＳ２０６では、上流装置２が基板Ａを搬出するとともに、下流装置３が基板Ａを搬入する。この動作に伴って、基板Ａは、上流装置２の搬送ステージ１０aから下流装置３の搬送ステージ１０bへと移動する。具体的には、図４に示すように、基板Ａは、搬送ステージ１０aと搬送ステージ１０bを跨いだ状態（動作Ｍ１３）を経由して、搬送ステージ１０bへと乗り移る（動作Ｍ１４）。

このような基板Ａの移動に応じて、各基板センサが反応する。つまり、基板Ａが搬送ステージ１０a、１０bの境界を通過するため、この境界を挟んで配置された基板センサＳao、Ｓbiがそれぞれ一時的に「ＯＮ」となる。具体的には、時刻ｔ12〜ｔ15の間に、基板搬送方向Ｘの上流側の基板センサＳaoが「ＯＮ」となる。また、時刻ｔ12〜ｔ15より少し遅れた時刻ｔ13〜ｔ16の間に、基板搬送方向Ｘの下流側の基板センサＳbiが「ＯＮ」となる（ｔ12＜ｔ13＜ｔ15＜ｔ16）。上流装置２の搬送ステージ１０aからは基板Ａが搬出されるため、搬送ステージ１０aの略中央に対して設けられた基板センサＳamは、時刻ｔ14において「ＯＮ」から「ＯＦＦ」へと変化する（ｔ13＜ｔ14＜ｔ15）。一方、下流装置３の搬送ステージ１０bには基板Ａが搬入されるため、搬送ステージ１０bの略中央に対して設けられた基板センサＳbmは、時刻ｔ17において「ＯＦＦ」から「ＯＮ」となる。

そして、ステップＳ２０６に続くステップＳ２０７、Ｓ２０８では、これらを含む基板センサの状態が確認される。つまり、ステップＳ２０７では、基板センサＳbmが「ＯＮ」となったことを検出して、基板Ａの搬送ステージ１０bへの搬入が完了したとして、搬送ステージ１０bのコンベア１００を停止させる。また、ステップＳ２０８では、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であるかが確認される。そして、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciのいすれかが「ＯＮ」である場合は、ステップＳ２０３に進んで、制御回路３７は図示を省略するユーザインターフェースを介してエラー表示を出力して、図３のフローチャートを終了する。

一方、ステップＳ２０８で、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であることが確認されると、ステップＳ２０９に進む。ステップＳ２０９では、搬送ステージ１０bについて、可動コンベア１００dを移動させて、ステージ幅調整動作やステージ移動動作の必要性が判断される。そして、必要でない場合（ステップＳ２０９で「ＮＯ」の場合）は、図３のフローチャートを終了する一方、必要である場合（ステップＳ２０９で「ＹＥＳ」の場合）は、ステップＳ２１０に進んで、必要と判断された動作が実行される。

ただし、ここでは、基板センサＳbmが「ＯＮ」となることから、搬送ステージ１０bに基板Ａが載置されていることが判る。したがって、搬送ステージ１０bに対してステージ幅調整動作を実行すると、搬送ステージ１０bによる基板Ａの支持が不安定になるおそれがあるため、ステージ幅調整動作は禁止される。一方、基板センサＳbi、Ｓboが「ＯＦＦ」でかつ基板センサＳbmが「ＯＮ」であることから、基板搬送方向Ｘにおいて基板Ａが搬送ステージ１０bの内側に収まっていることが判る。したがって、搬送ステージ１０bの幅を変えないステージ移動動作については問題なく実行できる。特に、図４の「動作Ｍ１４」の時点では、搬送ステージ１０bは受渡位置Ｐrにある。したがって、作業位置Ｐbで基板Ａに処理を行うために、搬送ステージ１０bを処理位置Ｐpにまで移動させる必要がある。そこで、搬送ステージ１０bに対してステージ移動動作が実行されて、搬送ステージ１０bは時刻ｔ18〜ｔ19をかけて受渡位置Ｐrから処理位置ＰpまでＹ軸方向へ移動する（動作Ｍ１５）。

このように、基板Ａの搬出・搬入に伴って、搬送ステージ１０aから搬送ステージ１０bへ基板Ａを受け渡す基板受渡動作が実行される。そして、この基板受渡動作の実行状況は、主として基板センサＳao、Ｓbiの出力信号Ｉsから判断することができる。ここで、図６を用いて、基板受渡動作の実行状況と基板センサの検出動作との関係について説明しておく。なお、図６は、基板受渡動作の各実行状況の一例を模式的に示す図である。

同図の「実行状況１」では、基板搬送方向Ｘにおいて基板Ａの下流端が搬送ステージ１０aの下流端に一致した基板受渡動作の開始時点が示されている。この実行状況１から基板Ａが基板搬送方向Ｘへ搬送されると、基板搬送方向Ｘにおいて、基板Ａの下流端が搬送ステージ１０a、１０bの境界に対して上流側にある基板センサＳaoに検出された後に、搬送ステージ１０bに到達する（実行状況２）。この後しばらくは、基板Ａは搬送ステージ１０a、１０bを跨ぎながら基板搬送方向Ｘへ搬送されて、基板Ａは基板センサＳao、Ｓbiの両方に検出される（実行状況３）。続いて、基板搬送方向Ｘにおいて基板Ａの上流端が、基板センサＳaoを通過した後に、搬送ステージ１０aの下流端に到達する（実行状況４）。基板Ａはさらに搬送されて、基板搬送方向Ｘにおいて基板Ａの上流端が搬送ステージ１０bの上流端に到達した時点で、基板受渡動作が終了する（実行状況５）。また、上述のとおり、基板Ａの搬送・搬出では、基板Ａは図６の「実行状況５」の状況よりもさらに搬送されて、基板搬送方向Ｘにおいて基板Ａの上流端は、基板センサＳbiを通過する。このように、基板受渡動作の開始・終了の近傍では、基板Ａの端部が基板センサＳao、Ｓbiを通過するため（実行状況１、５）、基板センサＳao、Ｓbiの出力信号Ｉsから基板受渡動作の実行状況を判断することが可能となっている。

以上に説明したように、この実施形態では、上流装置２の搬送ステージ１０aと下流装置３の搬送ステージ１０bとの間で実行される基板受渡動作の実行状況が、基板センサＳao、Ｓbiによって基板搬送方向Ｘにおける基板Ａの位置を検出した結果から判断される。特に、基板受渡動作が上流装置２と下流装置３の搬送ステージ１０a、１０bにより協働して実行されることを鑑みて、上流装置２の搬送ステージ１０a側と下流装置３の搬送ステージ１０b側の両方に設けられた基板センサＳao、Ｓbiによって基板Ａの位置が検出される。したがって、基板Ａの位置の検出結果から基板受渡動作の実行状況を的確に判断することができる。そして、こうして判断された実行状況（ステップＳ２０２、Ｓ２０８の判断結果）に基づいて、下流装置３の搬送ステージ１０bを構成する可動コンベア１００dの移動が制御されている（ステップＳ２０４、Ｓ２０５、Ｓ２０８、Ｓ２０９）。したがって、例えば、基板Ａが搬送ステージ１０a、１０bの境界に差し掛かっていたり跨いでいたりといった状況で可動コンベア１００dが不用意に移動されずにすみ、不適切なタイミングでの可動コンベア１００dの移動が抑制される。

また、この実施形態は、基板Ａの反りや基板Ａの切欠（スリット、ノッチ）に起因して、適切な基板検出結果を基板センサＳao、Ｓbiの一方から得られない場合においても、上流装置２と下流装置３との間における基板受渡動作の実行状況を判断し得るといった利点も有する。つまり、基板Ａに反りがあるために基板センサＳao、Ｓbiの一方の検出領域から基板Ａが外れたり、基板Ａに切欠があるために切欠が基板センサＳao、Ｓbiの一方の検出領域にかかったりすることで、基板センサＳao、Ｓbiの一方から適切な基板検出結果を得られない場合がある。これに対して、この実施形態では、基板受渡動作を実行する上流装置２と下流装置３のそれぞれで基板センサＳao、Ｓbiによる基板検出が実行されるため、一方の基板センサから適切な基板検出結果が得られなくても、他方の基板センサの基板検出結果から基板受渡動作の実行状況を把握することが可能となる。その結果、基板Ａの反りや切欠が存在する場合であっても、不適切なタイミングでの可動コンベアの移動を抑制することができる。

特にこの実施形態では、ステップＳ２０２やステップＳ２０８で基板センサＳao、Ｓbiの両方が「ＯＦＦ」であることを確認したうえで、可動コンベア１００dを移動させている（ステップＳ２０５、Ｓ２１０）。したがって、基板受渡動作が実行中であると判断された場合には、可動コンベア１００dの移動が禁止される。これによって、基板受渡動作の実行中のタイミングにおける可動コンベア１００dの移動を確実に抑制されている。

なお、基板受渡動作が実行中でないとしても、搬送ステージ１０bによる基板Ａの支持状態によっては、搬送ステージ１０bを構成する可動コンベア１００dを動かすことが適当でない場合もある。そこで、この実施形態では、搬送ステージ１０bによる基板Ａの支持状態を判断した結果にも基づいて、搬送ステージ１０bを構成する可動コンベアの移動を制御している。

具体的には、搬送ステージ１０bによって基板Ａが支持されていると判断すると、少なくともステージ幅変更動作が禁止される。つまり、搬送ステージ１０bによって基板Ａが支持されている場合には、ステージ幅変更動作を実行すると、搬送ステージ１０bによる基板Ａの支持が不安定になってしまう。そこで、ステージ幅変更動作を禁止することが好適となる。

また、基板搬送方向Ｘにおいて搬送ステージ１０b（可動コンベア１００d1、１００d2）の内側に基板Ａが収まっており、なおかつ基板受渡動作が実行中でないと判断されれば、ステージ移動動作が許可される。つまり、基板搬送方向Ｘにおいて搬送ステージ１０bの内側に基板Ａが収まっている場合には、ステージ移動動作を行ったとしても、搬送ステージ１０bによる基板Ａの支持が不安定になることはない。そこで、基板受渡動作が実行中でないことを条件にステージ移動動作を許可することで、ステージ移動動作の頻発を抑止して、基板処理をスムーズに行うことが可能となる。

なお、搬送ステージ１０b（可動コンベア１００d1、１００d2）から基板搬送方向Ｘの下流側に基板Ａが突き出ているような場合（例えば、搬送ステージ１０b、１０cを基板Ａが跨いでいるような場合）には、ステージ幅変更動作やステージ移動動作を実行すると、搬送ステージ１０bによる基板Ａの支持が不安定になってしまう。これに対して、この実施形態では、基板センサＳbo、Ｓciが「ＯＮ」であって、このような基板Ａの突出が発生していると判断された場合には、ステージ幅変更動作およびステージ移動動作の両方が禁止されている（ステップＳ２０２、Ｓ２０８）。これによって、搬送ステージ１０bによる基板Ａの支持が不安定になることが抑制されている。

第２実施形態
図７は、本発明の第２実施形態にかかる基板処理ラインの一例を模式的に示した図である。第２実施形態の基板処理ライン１は、基板処理装置２、３の配列が第１実施形態のそれに対して反転している点で、第１実施形態の基板処理ライン１と異なる。したがって、基板処理装置２、３それぞれの詳細な構成は、第１実施形態で上述した内容と共通するため、説明を適宜省略する。

図７に示すとおり、この基板処理ライン１は、２台の基板処理装置３、２をこの順番で基板搬送方向Ｘに配列し、基板搬送方向Ｘに基板Ａを搬送しつつ、基板処理装置３、２のそれぞれで基板Ａに処理を行う。このような基板処理ライン１では、基板処理装置３の搬送ステージ１０bから基板処理装置２の搬送ステージ１０aへ基板Ａを受け渡す基板受渡動作が実行される。この基板受渡動作は、上流側の基板処理装置３が搬出した基板Ａを下流側の基板処理装置２が搬入するのに伴って実行される。そこで、基板Ａの搬出処理および搬入処理と、これに伴って実行される基板受渡動作について、次に詳述する。

図８は、第２実施形態において上流側の基板処理装置が実行する基板搬出処理の一例を示すフローチャートである。図９は、第２実施形態において下流側の基板処理装置が実行する基板搬出処理の一例を示すフローチャートである。なお、第２実施形態における以下の説明では適宜、上流側の基板処理装置３を上流装置３と称し、下流側の基板処理装置２を下流装置２と称することとする。

まずは、図８を用いて基板Ａを搬出する上流装置３の動作について説明する。なお、図８のフローチャートは、上流装置３の制御回路３７の制御下で実行される。上流装置３による基板搬出のフローチャートが開始されると、ステップＳ３０１において、上流装置３から基板Ａの搬出が可能であるかが判断される。換言すれば、制御回路３７は、下流装置２において基板Ａの搬出先となる搬送ステージ１０aが基板Ａを受け入れられるかを確認する。具体的には、次の搬出条件
・下流装置２の基板Ａの搬出先となる搬送ステージ１０a上に基板Ａが存在しないこと
・下流装置２で搬出対象の基板Ａを受け入れる搬送ステージ１０aに対して基板搬送方向Ｘに直列に並ぶ位置に、上流装置３の搬送ステージ１０bが存在すること
が確認される。そして、制御回路３７は、上記の搬出条件が満足されずに基板搬出が不能である場合（ステップＳ３０１で「ＮＯ」の場合）は、基板搬出を待機させ、上記の搬出条件が満足されて基板搬出が可能である場合（ステップＳ３０１で「ＹＥＳ」の場合）は、ステップＳ３０２に進む。

ステップＳ３０２では、下流装置２の搬入口２０o近傍の両基板センサＳao、上流装置３の搬送ステージ１０bの上下流端の基板センサＳbi、Ｓbo、および上流装置３の搬送ステージ１０cの下流端の基板センサＳci全ての出力信号Ｉsが「ＯＦＦ」であることが確認される。これは、基板Ａを搬出する搬送ステージ１０bと、隣接する搬送ステージ１０aや搬送ステージ１０cとの間で基板Ａが跨っていないことを確認するものである。具体的には、基板センサＳao、Ｓbiの両方が「ＯＦＦ」であることを確認することで、搬送ステージ１０bと搬送ステージ１０aとの間を跨った基板Ａが存在しないことが確認される。また、基板センサＳbo、Ｓciの両方が「ＯＦＦ」であることを確認することで、搬送ステージ１０bと搬送ステージ１０cとの間を跨った基板Ａが存在しないことが確認される。

ステップＳ３０２において、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であることが確認できない場合（ステップＳ３０２で「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ３０３に進んで、制御回路３７は図示を省略するユーザインターフェースを介してエラー表示を出力して、基板Ａの搬出を停止し、図８のフローチャートを終了する。一方、ステップＳ３０２において、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であることが確認できた場合（ステップＳ３０２で「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ３０４に進んで、可動コンベア１００dの移動の必要性が判断される。

具体的には、搬送ステージ１０bについて、ステージ移動動作の必要性が判断される。つまり、下流装置２へ基板Ａを搬入するためには、搬送ステージ１０bがステージ１０aに基板Ａを受け渡す受渡位置に存在することが求められる（受渡条件）。換言すれば、下流装置２で基板Ａを受け取る搬送ステージ１０aに対して基板搬送方向Ｘに直列に並ぶ受渡位置Ｐr（図１０）に、上流装置３の搬送ステージ１０bが存在することが要求される。そして、ステップＳ３０４では、この受渡条件が満たされているか否かを判断した結果に基づいて、ステージ移動動作の要否が判断されて、可動コンベア１００dを移動させるかが決定される。

ステップＳ３０４以後のフローをより具体的に説明するために、以下では、図１０および図１１を併用して説明を実行する。ここで、図１０は、図８および図９のフローチャートに従って実行される具体的動作の一例を模式的示す動作図である。図１０では、下流装置２の２台の搬送ステージ１０aのうち図７、図１０で上側の搬送ステージ１０aに対して対象となる基板Ａを搬出する場合が例示されている。また、図１１は、図１０で例示された動作の時間経過を示すタイミングチャートであり、基板センサＳbm、Ｓbi、Ｓao、Ｓamの出力信号Ｉsおよび搬送ステージ１０bの位置の時間変化を示している。なお、図１１の基板センサＳam、Ｓaoは、対象となる基板Ａが搬出される搬送ステージ１０a（つまり、図７、図１０で上側の搬送ステージ１０a）に設けられたものである。

上述のとおり、ステップＳ３０４では、上記の受渡条件が満たされるか判断され、受渡条件が満たされない場合はステップＳ３０５に進み、受渡条件が満たされる場合はステップＳ３０６へ進む。図１０では、ステップＳ３０４で受渡条件が満たされなかった場合が例示されている。つまり、図１０の「動作Ｍ２１」の欄に示す例では、上流装置３では、搬送ステージ１０bが処理位置Ｐpに位置しており（つまり、受渡位置Ｐrに位置しておらず）、受渡条件が満たされていない。したがって、ステップＳ３０４では、搬送ステージ１０bを受渡位置Ｐrにまで移動させるためにステージ移動動作が必要と判断される。

そして、続くステップＳ３０５では、搬送ステージ１０bの可動コンベア１００dが駆動されて、ステージ移動動作が実行される。その結果、搬送ステージ１０bは、時刻ｔ20〜ｔ21をかけて処理位置Ｐpから受渡位置ＰrにまでＹ軸方向へ移動する（図１０の「動作Ｍ２２」、図１１）。こうして、ステップＳ３０５の動作を実行することで、受取条件が満たされて、ステップＳ３０６へと進む。

ステップＳ３０６では、上流装置３が基板Ａを搬出するとともに、下流装置２が基板Ａを搬入する。この動作に伴って、基板Ａは、上流装置３の搬送ステージ１０bから下流装置２の搬送ステージ１０aへと移動する。具体的には、図１０に示すように、基板Ａは、搬送ステージ１０bと搬送ステージ１０aを跨いだ状態（動作Ｍ２３）を経由して、搬送ステージ１０aへと乗り移る（動作Ｍ２４）。

このような基板Ａの移動に応じて、各基板センサが反応する。つまり、基板Ａが搬送ステージ１０b、１０aの境界を通過するため、この境界を挟んで配置された基板センサＳbi、Ｓaoがそれぞれ一時的に「ＯＮ」となる。具体的には、時刻ｔ22〜ｔ25の間に、基板搬送方向Ｘの上流側の基板センサＳbiが「ＯＮ」となる。また、時刻ｔ22〜ｔ25より少し遅れた時刻ｔ23〜ｔ26の間に、基板搬送方向Ｘの下流側の基板センサＳaoが「ＯＮ」となる（ｔ22＜ｔ23＜ｔ25＜ｔ26）。上流装置３の搬送ステージ１０bからは基板Ａが搬出されるため、搬送ステージ１０bの略中央に対して設けられた基板センサＳbmは、時刻ｔ24において「ＯＮ」から「ＯＦＦ」へと変化する（ｔ23＜ｔ24＜ｔ25）。一方、下流装置２の搬送ステージ１０aには基板Ａが搬入されるため、搬送ステージ１０aの略中央に対して設けられた基板センサＳamは、時刻ｔ27において「ＯＦＦ」から「ＯＮ」となる。

そして、ステップＳ３０６に続くステップＳ３０７、Ｓ３０８では、これらを含む基板センサの状態が確認される。つまり、ステップＳ３０７では、基板センサＳamが「ＯＮ」となったことを検出して、基板Ａの搬送ステージ１０aへの搬入が完了したとして、搬送ステージ１０aのコンベア１００を停止させる。また、ステップＳ３０８では、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であるかが確認される。そして、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciのいすれかが「ＯＮ」である場合は、ステップＳ３０３に進んで、制御回路３７は図示を省略するユーザインターフェースを介してエラー表示を出力して、図８のフローチャートを終了する。

一方、ステップＳ３０８で、基板センサＳao、Ｓbi、Ｓbo、Ｓciの全てが「ＯＦＦ」であることが確認されると、ステップＳ３０９に進む。ステップＳ３０９では、搬送ステージ１０bについて、可動コンベア１００dを移動させて、ステージ幅調整動作やステージ移動動作の必要性が判断される。そして、必要でない場合（ステップＳ３０９で「ＮＯ」の場合）は、図３のフローチャートを終了する一方、必要である場合（ステップＳ３０９で「ＹＥＳ」の場合）は、ステップＳ２１０に進んで、必要と判断された動作が実行される。図１０に示す例では、搬送ステージ１０bは時刻ｔ28〜ｔ29をかけて受渡位置Ｐrから処理位置ＰpまでＹ軸方向へ移動する（動作Ｍ２５）。

続いては、図９を用いて、基板Ａを搬入する下流装置２の動作について説明する。なお、図９のフローチャートは、下流装置２の制御回路２７の制御下で実行される。下流装置２による基板搬入のフローチャートが開始されると、ステップＳ４０１において、上流装置３から基板Ａの搬入が可能であるかが判断される。具体的には、下流装置２において基板Ａの搬入先となる搬送ステージ１０a上に基板Ａが存在しないことを求める搬入条件が確認される。そして、制御回路２７は、上記搬入条件が満足されずに基板搬入が不能である場合（ステップＳ４０１で「ＮＯ」の場合）は、基板搬入を待機させ、上記搬入条件が満足されて基板搬出が可能である場合（ステップＳ４０１で「ＹＥＳ」の場合）は、ステップＳ４０２に進む。

ステップＳ４０２では、搬乳先となる搬送ステージ１０aの各コンベア１００が作動して、上流装置３から基板搬送方向Ｘへ搬送されてきた基板Ａを受け入れる。続いて、ステップＳ４０３では、基板Ａの搬入された搬送ステージ１０aの基板センサＳamが「ＯＮ」となったかを確認する。そして、これが確認されると、下流装置２による基板搬入のフローチャートが終了する。

以上に説明したように、この実施形態では、上流装置３の搬送ステージ１０bと下流装置２の搬送ステージ１０aとの間で実行される基板受渡動作の実行状況が、基板センサＳbi、Ｓaoによって基板搬送方向Ｘにおける基板Ａの位置を検出した結果から判断される。特に、基板受渡動作が上流装置３と下流装置２の搬送ステージ１０b、１０aにより協働して実行されることを鑑みて、上流装置３の搬送ステージ１０b側と下流装置２の搬送ステージ１０a側の両方に設けられた基板センサＳbi、Ｓaoによって基板Ａの位置が検出される。したがって、基板Ａの位置の検出結果から基板受渡動作の実行状況を的確に判断することができる。そして、こうして判断された実行状況（ステップＳ３０２、Ｓ３０８の判断結果）に基づいて、上流装置３の搬送ステージ１０bを構成する可動コンベア１００dの移動が制御されている（ステップＳ３０４、Ｓ３０５、Ｓ３０８、Ｓ３０９）。したがって、例えば、基板Ａが搬送ステージ１０b、１０aの境界に差し掛かっていたり跨いでいたりといった状況で可動コンベア１００dが不用意に移動されずにすみ、不適切なタイミングでの可動コンベア１００dの移動が抑制される。

また、この実施形態は、基板Ａの反りや基板Ａの切欠（スリット、ノッチ）に起因して、適切な基板検出結果を基板センサＳbi、Ｓaoの一方から得られない場合においても、上流装置３と下流装置２との間における基板受渡動作の実行状況を判断し得るといった利点も有する。つまり、基板Ａに反りがあるために基板センサＳbi、Ｓaoの一方の検出領域から基板Ａが外れたり、基板Ａに切欠があるために切欠が基板センサＳbi、Ｓaoの一方の検出領域にかかったりすることで、基板センサＳbi、Ｓaoの一方から適切な基板検出結果を得られない場合がある。これに対して、この実施形態では、基板受渡動作を実行する上流装置３と下流装置２のそれぞれで基板センサＳbi、Ｓaoによる基板検出が実行されるため、一方の基板センサから適切な基板検出結果が得られなくても、他方の基板センサの基板検出結果から基板受渡動作の実行状況を把握することが可能となる。その結果、基板Ａの反りや切欠が存在する場合であっても、不適切なタイミングでの可動コンベアの移動を抑制することができる。

特にこの実施形態では、ステップＳ３０２やステップＳ３０８で基板センサＳbi、Ｓaoの両方が「ＯＦＦ」であることを確認したうえで、可動コンベア１００dを移動させている（ステップＳ３０５、Ｓ３１０）。したがって、基板受渡動作が実行中であると判断された場合には、可動コンベア１００dの移動が禁止される。これによって、基板受渡動作の実行中のタイミングにおける可動コンベア１００dの移動を確実に抑制されている。

その他
以上のように上記実施形態では、基板処理ライン１が本発明の「基板処理ライン」の一例に相当し、基板処理装置２、３が本発明の「処理装置」の一例に相当し、基板処理装置３が本発明の「一の処理装置」の一例に相当し、基板処理装置２が本発明の「他の処理装置」の一例に相当し、基板センサＳbiが本発明の「一の位置検出部」の一例に相当し、基板センサＳaoが本発明の「他の位置検出部」の一例に相当し、駆動機構３１が本発明の「駆動部」の一例に相当し、制御回路３７が本発明の「制御部」の一例に相当し、制御回路３７と入出力回路３９が協働して本発明の「通信制御部」の一例として機能し、ケーブルＣsが本発明の「ケーブル」の一例に相当している。

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行なうことが可能である。例えば、基板処理ライン１を構成する基板処理装置の個数は、上記の内容に限られず、適宜変更することができる。

また、基板処理装置２、３の具体的構成も上記のものに限られない。したがって、基板処理装置２、３それぞれに対して、搬送ステージ１０の個数や配列方法、可動コンベア１００dの設置態様等について種々の変更が可能である。

また、基板処理装置２、３で実行される処理の内容も上述のものに限られず、リフロー処理や、単に基板を搬送するだけの搬送処理であっても構わない。

また、基板センサの具体的構成、取付態様、取付個数等についても、種々の変更を加えることができる。例えば、上記実施形態では、基板センサは、基板Ａの搬送経路の上方に取り付けられて、直下の基板Ａを検出するものであった。しかしながら、基板センサは、基板Ａの搬送経路の下方に取り付けられて、直上の基板Ａを検出するものでも良い、基板Ａの搬送経路に水平方向から臨むように取り付けられたものでも良い。また、基板センサの種類も、反射型のセンサに限られず、透過型のセンサを用いることもできる。

また、上記実施形態では、基板Ａが収容範囲外にある場合を示す例として、基板Ａがコンベア１００から突き出ている場合が示されていた。しかしながら、基板Ａが突き出ていなくても、基板Ａがコンベア１００に収容されていないと判断される場合には、上記実施形態のように可動コンベア１００dの動作を制御するように構成しても良い。

１…基板処理ライン
２…基板処理装置（他の処理装置）
３…基板処理装置（一の処理装置）
１０，１０a，１０b，１０c…搬送ステージ
２１…駆動機構
２７…制御回路
２９…入出力回路
３１…駆動機構（駆動部）
３７…制御回路（制御部、通信制御部）
３９…入出力回路（通信制御部）
１００…コンベア
１００d…可動コンベア
Ａ…基板
Ｃs…ケーブル
Ｉd…駆動制御信号
Ｉs…出力信号
Ｐp…処理位置
Ｐr…受渡位置
Ｓai，Ｓam，Ｓao，Ｓbi，Ｓbm，Ｓbo，Ｓci，Ｓcm，Ｓco…基板センサ
Ｓbi…基板センサ（一の位置検出部）
Ｓao…基板センサ（他の位置検出部）
Ｘ…基板搬送方向

Claims (10)

1. 基板を支持しつつ基板搬送方向に搬送するコンベアを具備する処理装置を前記基板搬送方向に複数併設し、前記複数の処理装置の前記コンベアの間で前記基板を受け渡しつつ前記各処理装置で前記基板に処理を行う基板処理ラインにおいて、
   前記複数の処理装置のうち、前記基板搬送方向に直交する直交方向に移動自在な可動コンベアを前記コンベアとして具備する一の処理装置の前記可動コンベアを、前記直交方向に駆動する駆動部と、
   前記駆動部による前記可動コンベアの移動を制御する制御部と、
   前記一の処理装置の前記可動コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を検出する一の位置検出部と、
   前記複数の処理装置のうちの前記一の処理装置に隣接する他の処理装置の前記コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を検出する他の位置検出部と
   を備え、
   前記制御部は、前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間で前記基板を受け渡す基板受渡動作の実行状況を、前記一の位置検出部および前記他の位置検出部の両方の検出結果から判断した結果に基づいて、前記駆動部による前記可動コンベアの移動を制御するとともに、前記一の位置検出部と前記他の位置検出部の両方が前記基板を検出していないことを確認することで、前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間を跨った前記基板が存在しないと判断する基板処理ライン。
2. 前記制御部は、前記一の位置検出部および前記他の位置検出部の両方の検出結果から、前記基板受渡動作が実行中であると判断すると、前記駆動部は前記可動コンベアの移動を禁止する請求項１に記載の基板処理ライン。
3. 前記制御部は、前記一の処理装置の前記可動コンベアによる前記基板の支持状態を判断した結果に基づいて、前記駆動部による前記可動コンベアの移動を制御する請求項１または２に記載の基板処理ライン。
4. 前記一の処理装置では、前記直交方向に並ぶ２個の前記可動コンベアによって構成される支持テーブルが前記基板を支持しつつ前記基板搬送方向に搬送し、
   前記駆動部は、前記２個の可動コンベアの間隔を変更するステージ幅変更動作および前記２個の可動コンベアをそれぞれの間隔を保ったまま移動させるステージ移動動作を実行する請求項３に記載の基板処理ライン。
5. 前記制御部は、前記２個の可動コンベアによって前記基板が支持されていると判断すると、少なくとも前記ステージ幅変更動作を禁止する請求項４に記載の基板処理ライン。
6. 前記制御部は、前記基板搬送方向において前記２個の可動コンベアそれぞれの内側に前記基板が収容されており、かつ前記基板受渡動作が実行中でないと判断すると、前記ステージ移動動作を許可する請求項５に記載の基板処理ライン。
7. 前記制御部は、前記基板搬送方向において前記基板が収容範囲外にあると判断すると、前記ステージ幅変更動作および前記ステージ移動動作の両方を禁止する請求項５または６に記載の基板処理ライン。
8. 前記制御部は、前記一の処理装置に配置される請求項１ないし７のいずれか一項に記載の基板処理ライン。
9. 前記一の処理装置および前記他の処理装置は、相互に伝送信号をやり取りする通信制御部をそれぞれ有し、
   前記他の処理装置は、前記他の位置検出部の検出結果を前記通信制御部に送るケーブルを有し、
   前記他の処理装置の前記通信制御部は、前記ケーブルを介して受け取った検出結果を前記伝送信号に変換して、前記一の処理装置の前記通信制御部へ出力する請求項１ないし８のいずれか一項に記載の基板処理ライン。
10. 基板を支持しつつ基板搬送方向に搬送するコンベアを具備する処理装置を前記基板搬送方向に複数併設し、前記複数の処理装置の前記コンベアの間で前記基板を受け渡しつつ前記各処理装置で前記基板に処理を行う基板処理方法において、
    前記複数の処理装置のうち、前記基板搬送方向に直交する直交方向に移動自在な可動コンベアを前記コンベアとして具備する一の処理装置の前記可動コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を一の位置検出結果として検出する工程と、
    前記複数の処理装置のうち、前記一の処理装置に隣接する他の処理装置の前記コンベアに支持された前記基板の前記基板搬送方向における位置を他の位置検出結果として検出する工程と、
    前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間で前記基板を受け渡す基板受渡動作の実行状況を、前記一の位置検出結果および前記他の位置検出結果の両方から判断した結果に基づいて、前記可動コンベアの移動を制御する工程と
    を備え、
    前記一の位置検出結果と前記他の位置検出結果の両方が前記基板を検出していないことを確認することで、前記一の処理装置の前記可動コンベアと前記他の処理装置の前記コンベアとの間を跨った前記基板が存在しないと判断する基板処理方法。

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