JP6091236B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
11 被加工物
13 切断予定ライン
15 チップ
17 チップ領域
19 外周余剰領域
28 チャックテーブル
36 集光器(レーザーヘッド)
62 ベース
64 チャックテーブル本体部
66 保持面
68 レーザービーム逃げ溝
70 凹部
72 吸着パッド
75,76 吸引路
78 吸引源
82 外周余剰領域押さえ部材
84 押さえ部
85 切欠き部
Claims (1)
- 表面に設定された交差する複数の切断予定ラインによって複数のチップに区画された板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザービームを照射して切断加工するレーザービーム照射手段と、を備えたレーザー加工装置であって、
該チャックテーブルは、
被加工物を保持する保持面を有し、
被加工物の各チップに対応するように該保持面に形成された複数の凹部と、
該凹部内にそれぞれ配設されて該保持面から吸着部が突出する複数の吸着パッドと、
一端が該各吸着パッドに連通され、他端が吸引源に連通された吸引路と、
被加工物の該切断予定ラインにそれぞれ対応し、各チップに対応して該保持面を区画する該保持面に形成された複数のレーザービーム逃げ溝と、を備え、
該レーザービーム逃げ溝は、
被加工物に照射され被加工物を貫通した該レーザービームが、該レーザービーム逃げ溝の底面を損傷しない程度に拡散される深さに形成されており、
前記被加工物は、前記チップが複数形成されているチップ領域と、該チップ領域を囲繞する外周余剰領域とを有し、
前記チャックテーブルは、前記保持面に保持された被加工物の該外周余剰領域部分を該保持面とで挟持する外周余剰領域押さえ手段を備え、
該外周余剰領域押さえ手段は、
該保持面と対面して被加工物を挟持する押さえ部と、
前記レーザービーム逃げ溝に対応して該押さえ部に形成された複数の切欠き部と、
を有することを特徴とするレーザー加工装置。
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