JP6035913B2 - 濃度測定装置及び濃度測定方法 - Google Patents
濃度測定装置及び濃度測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6035913B2 JP6035913B2 JP2012149109A JP2012149109A JP6035913B2 JP 6035913 B2 JP6035913 B2 JP 6035913B2 JP 2012149109 A JP2012149109 A JP 2012149109A JP 2012149109 A JP2012149109 A JP 2012149109A JP 6035913 B2 JP6035913 B2 JP 6035913B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- probe light
- measurement object
- mirror
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
Claims (3)
- プローブ光の照射領域を実像として得ることが可能な濃度測定装置であって、
励起光としてのレーザ光を発生するレーザ光源と、
前記励起光の波長変換によって、測定対象物に対するオン波長及びオフ波長のプローブ光を発生するプローブ光発生部と、
前記プローブ光に対して角度調整可能に設置された第1のミラーと、
前記第1のミラーと前記プローブ光発生部との間に設置され、前記プローブ光と可視光のうちの何れか一方を反射し、その他方を透過する第2のミラーと、
前記第2のミラーから出射した前記可視光を用いて前記プローブ光の照射領域を撮像する撮像装置と
前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した前記プローブ光を検出する光検出器と、
前記プローブ光の強度から前記測定対象物の濃度を算出する制御部と
を備えることを特徴とする濃度測定装置。 - 前記測定対象物からの前記プローブ光を前記光検出器に集光する光学系を更に備え、
前記光学系の光軸は、前記測定対象物に向けて前記第1のミラーから出射した前記プローブ光の進行方向と平行であることを特徴とする請求項1に記載の濃度測定装置。 - プローブ光の照射領域を実像として得ることが可能な濃度測定方法であって、
測定対象物に対するオン波長及びオフ波長のプローブ光の進行方向を前記測定対象物に向けて偏向させ、
前記プローブ光の光路上に、前記プローブ光の進行方向とは逆の方向に進行する前記測定対象物からの可視光を通過させ、
前記光路上で反射又は透過により前記可視光のみを取り出して当該可視光を用いた前記プローブ光の照射領域の撮像を行い、
前記測定対象物を透過した又は前記測定対象物から反射した前記プローブ光を検出し、
前記プローブ光の強度から前記測定対象物の濃度を算出する
ことを特徴とする濃度測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012149109A JP6035913B2 (ja) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 濃度測定装置及び濃度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012149109A JP6035913B2 (ja) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 濃度測定装置及び濃度測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014010128A JP2014010128A (ja) | 2014-01-20 |
JP6035913B2 true JP6035913B2 (ja) | 2016-11-30 |
Family
ID=50106937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012149109A Active JP6035913B2 (ja) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 濃度測定装置及び濃度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6035913B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016063918A1 (ja) * | 2014-10-23 | 2017-08-31 | 国立研究開発法人理化学研究所 | ガス分析装置、ガス分析方法、メタボローム解析方法およびデータベース |
CN106092965A (zh) * | 2016-08-09 | 2016-11-09 | 上海禾赛光电科技有限公司 | 空间气体的扫描装置及方法 |
CN116223450B (zh) * | 2023-03-23 | 2024-03-19 | 中南大学 | 一种测量透明液体浓度的仪器和方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1039019A (ja) * | 1996-07-18 | 1998-02-13 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザレーダ装置 |
JP2001325069A (ja) * | 2000-03-07 | 2001-11-22 | Nikon Gijutsu Kobo:Kk | 位置検出装置およびその方法 |
AU2001294807A1 (en) * | 2000-09-28 | 2002-04-08 | Sandia Corporation | Pulsed laser linescanner for a backscatter absorption gas imaging system |
US8085301B2 (en) * | 2009-03-16 | 2011-12-27 | Southwest Research Institute | Compact handheld detector for greenhouse gasses |
-
2012
- 2012-07-03 JP JP2012149109A patent/JP6035913B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014010128A (ja) | 2014-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5977828B2 (ja) | 光ビームアラインメントのためのエネルギセンサ | |
US8237922B2 (en) | Laser beam analysis apparatus | |
JP6035913B2 (ja) | 濃度測定装置及び濃度測定方法 | |
JP5462462B2 (ja) | レーザ装置および距離測定装置 | |
JP5628256B2 (ja) | フラッシュ光分解システム | |
JP2012237714A5 (ja) | ||
TWI757446B (zh) | 用於euv光源的系統及方法 | |
KR102076997B1 (ko) | 광축 정렬 상태의 모니터링을 위한 라만 라이다 장치 및 광축 정렬 상태 모니터링 방법 | |
JP2019514000A (ja) | レーザ検出システム及び方法 | |
JP2000121558A (ja) | 計測装置 | |
JP2776253B2 (ja) | レーザ・レーダ | |
JP2008026190A (ja) | ガス検知装置 | |
JP2010085205A (ja) | レーザ装置および距離測定装置 | |
US9733431B2 (en) | Noise reduction device and detection apparatus including same | |
JP6523840B2 (ja) | ガス成分検出装置 | |
JP2015166094A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2016080349A (ja) | 水素ガス濃度計測装置および方法 | |
JP6376963B2 (ja) | 開先部監視装置を有するレーザ溶接装置およびレーザ溶接装置の開先部監視方法 | |
JP2011503591A (ja) | 流れている液体の流動量を決定する方法および装置 | |
JP3884594B2 (ja) | 蛍光寿命測定装置 | |
JP4091193B2 (ja) | 媒質の非線形光学応答測定装置 | |
KR102528969B1 (ko) | 레이저 파워를 모니터링하는 레이저 가공 장치 | |
JP7110686B2 (ja) | 濃度測定装置 | |
JP6414257B2 (ja) | 濃度測定装置及び濃度測定方法 | |
JP2003205378A (ja) | レーザ照射アーク溶接装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160322 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161004 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161017 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6035913 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |