JP6016198B2 - 移動体装置、露光装置、及び移動方法 - Google Patents
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Description
次に、上記実施形態の露光装置10をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記実施形態の露光装置10では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上述した露光装置10を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (36)
- 基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材を下方から支持し、前記基板保持部材に対して相対移動可能な第一支持部材と、
前記第一支持部材を下方から支持する第二支持部材と、
第1方向に並んで配置され第二支持部材の異なる部分を下方から支持する第1および第2部材を有する第三支持部材と、
前記第一支持部材が前記基板保持部材を下方から支持した状態で、前記第一支持部材を前記第二支持部材に対して前記第1方向へ相対移動させる第1駆動部と、
前記第二支持部材が前記第一支持部材を下方から支持した状態で、第三支持部材上の前記第二支持部材を前記第1方向に交差する第2方向へ移動させる第2駆動部と、を備える移動体装置。 - 前記第1部材と前記第2部材とは、前記第1方向に離れて配置され、
前記第三支持部材は、前記第二支持部材が前記第1部材と前記第2部材との間に渡された状態で支持する請求項1に記載の移動体装置。 - 前記第2駆動部は、前記第二支持部材とともに前記第1駆動部を前記第2方向へ移動させる請求項1又は2に記載の移動体装置。
- 前記第2駆動部は、前記第2方向に関して前記第一支持部材の両側に配置され前記第一支持部材を前記第2方向へ移動させる第1駆動部材および第2駆動部材を有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1駆動部材と前記第2駆動部材とを連結する連結部をさらに備える請求項4に記載の移動体装置。
- 前記第2駆動部は、前記第1駆動部材または前記第2駆動部材に対して前記第2方向へ移動させる駆動力を付与し、
前記第1駆動部材または前記第2駆動部材は、前記第2駆動部により付与される前記第2方向への前記駆動力を前記第二支持部材に伝える伝達部を有する請求項4又は5に記載の移動体装置。 - 前記伝達部は、前記第二支持部材を押圧する押圧部を含む請求項6に記載の移動体装置。
- 前記第2駆動部は、前記第1駆動部材または前記第2駆動部材を介して前記第二支持部材を前記第2方向へ移動させる請求項4又は5に記載の移動体装置。
- 前記第1駆動部材または前記第2駆動部材は、前記第二支持部材を前記第2方向へ押圧する請求項8に記載の移動体装置。
- 前記第2駆動部は、前記第三支持部材と離間して配置された請求項1〜9のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2駆動部は、前記第三支持部材とは異なる部材に配置された請求項1〜10のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1部材と前記第2部材との間に配置され、前記第2駆動部を支持する第四支持部材を備える請求項1〜11のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2駆動部は、前記第1方向に関して前記第三支持部材の両側に配置されている請求項1〜12のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2駆動部は、前記第一支持部材と前記第二支持部材とが前記第1方向へ相対移動しない状態で前記第2方向へ移動させる請求項1〜13のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2方向に関する前記第一支持部材と前記第二支持部材との相対移動可能な範囲を制限する制限部を備える請求項1〜14のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第一支持部材は、前記第1駆動部に対して上下方向へ相対移動可能に連結された請求項1〜15のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1駆動部は、前記第1方向に沿って設けられた固定部と前記固定部に対して前記第1方向に関して相対移動可能な可動部とを有し、
前記第一支持部材は、前記可動部に連結された請求項1〜16のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記基板保持部材に前記基板が保持される請求項1〜17のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記基板保持部材上に載置された前記基板にエネルギビームを照射するパターニング装置と、を備える露光装置。 - 前記基板は前記移動体装置に保持され、走査しながら露光される請求項18に記載の露光装置。
- 基板を基板保持部材で保持して移動させる移動方法であって、
第一支持部材を用いて前記基板保持部材に対して相対移動可能なように、前記基板保持部材を下方から支持することと、
第二支持部材を用いて、前記第一支持部材を下方から支持することと、
第三支持部材が有する第1および第2部材を用いて、第1方向に並んで配置され第二支持部材の異なる部分を下方から支持することと、
第1駆動部を用いて、前記第一支持部材が前記基板保持部材を下方から支持した状態で、前記第一支持部材を前記第二支持部材に対して前記第1方向へ相対移動させることと、
第2駆動部を用いて、前記第二支持部材が前記第一支持部材を下方から支持した状態で、第三支持部材上の前記第二支持部材を前記第1方向に交差する第2方向へ移動させることと、を含む移動方法。 - 前記第1部材と前記第2部材とを前記第1方向に離れて配置することと、
前記第三支持部材を用いて、前記第二支持部材が前記第1部材と前記第2部材との間に渡された状態で支持することと、を含む請求項20に記載の移動方法。 - 前記第2駆動部を用いて、前記第二支持部材とともに前記第1駆動部を前記第2方向へ移動させることと、を含む請求項20又は21に記載の移動方法。
- 前記第2方向に関して前記第一支持部材の両側に配置された前記第2駆動部が有する第1駆動部材および第2駆動部材を用いて、前記第一支持部材を前記第2方向へ移動させることと、を含む請求項20〜22のいずれか一項に記載の移動方法。
- 連結部を用いて、前記第1駆動部材と前記第2駆動部材とを連結することと、を含む請求項23に記載の移動方法。
- 前記第2駆動部を用いて、前記第1駆動部材または前記第2駆動部材に対して前記第2方向へ移動させる駆動力を付与することと、
前記第1駆動部材または前記第2駆動部が有する伝達部を用いて、前記第2駆動部により付与される前記第2方向への前記駆動力を前記第二支持部材に伝えることと、を含む請求項23又は24に記載の移動方法。 - 前記伝達部が有する押圧部を用いて、前記第二支持部材を押圧することと、を含む請求項25に記載の移動方法。
- 前記第2駆動部を用いて、前記第1駆動部材または前記第2駆動部材を介して前記第二支持部材を前記第2方向へ移動させることと、を含む請求項23又は24に記載の移動方法。
- 前記第1駆動部材または前記第2駆動部材を用いて、前記第二支持部材を前記第2方向へ押圧することと、を含む請求項27に記載の移動方法。
- 前記第2駆動部材を前記第三支持部材と離間して配置することと、を含む請求項20〜28のいずれか一項に記載の移動方法。
- 前記第2駆動部を前記第三支持部材とは異なる部材に配置することと、を含む請求項20〜29のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1部材と前記第2部材との間に配置された第四支持部材を用いて、前記第2駆動部を支持することと、を含む請求項20〜30のいずれか一項に記載の移動方法。
- 前記第1方向に関して前記第三支持部材の両側に前記第2駆動部を配置することと、を含む請求項20〜31のいずれか一項に記載の移動方法。
- 前記第2駆動部を用いて、前記第一支持部材と前記第二支持部材とが前記第1方向へ相対移動しない状態で前記第2方向へ移動させることと、を含む請求項20〜32のいずれか一項に記載の移動方法。
- 制限部を用いて、前記第2方向に関する前記第一支持部材と前記第二支持部材との相対移動可能な範囲を制限することと、を含む請求項20〜33のいずれか一項に記載の移動方法。
- 前記第一支持部材を、前記第1駆動部に対して上下方向へ相対移動可能に連結することと、を含む請求項20〜34のいずれか一項に記載の移動方法。
- 前記第一支持部材を、前記第1駆動部が有する前記第1方向に沿って設けられた固定部に対して前記第1方向に関して相対移動可能な可動部に連結することと、を含む請求項20〜35のいずれか一項に記載の移動方法。
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