JP5944937B2 - 現場での超高純度化学物質又はガスの精製 - Google Patents
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- 238000000746 purification Methods 0.000 title claims description 166
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 86
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 67
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 60
- 238000007670 refining Methods 0.000 claims description 27
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 22
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 15
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 13
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 10
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims description 10
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 6
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 226
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 7
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 5
- 239000012264 purified product Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- 239000012263 liquid product Substances 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 2
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002574 poison Substances 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000013014 purified material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/75—Multi-step processes
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D3/00—Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
- B01D3/42—Regulation; Control
- B01D3/4211—Regulation; Control of columns
- B01D3/4294—Feed stream
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/20—Mixing gases with liquids
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
1)精製される化学物質又はガスを含む供給流れ
2)該供給流れを受け取り、精製するための少なくとも2つの精製ユニット
3)該精製ユニットから流れ出る少なくとも1つの精製流れ
4)少なくとも1つの該精製流れを受け取るための自動流れ制御システムであって、該自動流れ制御システムが産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む、自動流れ制御システム
5)該自動流れ制御システムから出る少なくとも1つの製品流れ、並びに
6)該自動流れ制御システムから少なくとも2つの精製ユニットのうち少なくとも1つへの少なくとも1つのフィードバック流れ
を含む、現場での精製システムを提供する。
該化学物質又はガスを含有する供給流れを提供する工程、
現場での精製システムであって、
1)少なくとも2つの精製ユニット、及び
2)産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む自動流れ制御システム
を含む、現場での精製システムを提供する工程、
少なくとも2つの該精製ユニットを通して該供給流れを流して少なくとも2つの該精製ユニットのうちの最後の精製ユニットから精製流れを提供する工程、並びに
該精製流れを該自動流制御システムに送って該精製流れを要求された製品に応じて産出製品流れ及びフィードバック流れに分割する工程
を含み、該要求された製品が所定の最大製造容量の0%〜100%まで変化する一方で、産出製品流れが所定の純度範囲を維持する、化学物質又はガスの精製方法を提供する。
NH3含有供給流れを提供する工程、
現場での精製システムであって、
1)少なくとも2つの蒸留塔、
2)産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む自動流れ制御システム、
3)蒸留塔のそれぞれのための、揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのベント出口、及び
4)蒸留塔のそれぞれのための、重い不純物を除去するための少なくとも1つのパージ出口
を含み、現場での精製システムを提供する工程、
少なくとも2つの該蒸留塔により該供給流れを流して少なくとも2つの該蒸留塔のうちの最後の蒸留塔から精製流れを提供する工程、並びに
該精製流れを該自動流れ制御システムに送って該精製流れをオンデマンドの製品に応じて産出製品流れ及びフィードバック流れに分割する工程
を含み、該要求された製品が所定の最大製造容量の0%から100%まで変化する一方で、産出製品流が所定の純度範囲を維持する、NH3の現場での精製方法。
本発明の実施態様の一部を以下の項目〈1〉−〈20〉に記載する。
〈1〉
現場での精製システムであって、
1)精製される化学物質又はガスを含む供給流れ、
2)該供給流れを受け取り、精製するための少なくとも2つの精製ユニット、
3)該精製ユニットから出る少なくとも1つの精製流れ、
4)少なくとも1つの該精製流れを受け取るための自動流れ制御システムであって、少なくとも1つの該自動流れ制御システムが産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む、自動流れ制御システム、
5)少なくとも1つの該自動流れ制御システムから出る少なくとも1つの製品流れ、並びに
6)該自動流れ制御システムから少なくとも2つの該精製ユニットのうち少なくとも1つへの少なくとも1つのフィードバック流れ、
を含む、現場での精製システム。
〈2〉
項目1に記載の現場での精製システムであって、
7)少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれのための、揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのベント出口、及び
8)少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれのための、重い不純物を除去するための少なくとも1つのパージ出口、
をさらに含む、現場での精製システム。
〈3〉
前記精製される化学物質又はガスが、NH 3 、HCl、Cl 2 、NF 3 、O 2 、N 2 、CO 2 及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、項目1に記載の現場での精製システム。
〈4〉
前記精製される化学物質又はガスがNH 3 である、項目1に記載の現場での精製システム。
〈5〉
少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれがろ過器、吸収床、蒸留塔、凝縮器、蒸発器、及び隔膜から成る群より独立して選択される、項目1に記載の現場での精製システム。
〈6〉
少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの1つが蒸留塔であるか、又は少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの2つが、共通の液体コレクターを共有する蒸留塔である、項目1に記載の現場での精製システム。
〈7〉
化学物質又はガスの現場での精製方法であって、以下の工程、すなわち、
該化学物質又はガスを含有する供給流れを提供する工程、
現場での精製システムであって、
1)少なくとも2つの精製ユニット、及び
2)産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む自動流れ制御システム、
を含む、現場での精製システムを提供する工程、
少なくとも2つの該精製ユニットを通して該供給流れを流して少なくとも2つの該精製ユニットのうちの最後の精製ユニットから精製流れを提供する工程、並びに
該精製流れを該自動流れ制御システムに送って該精製流れを要求された製品に応じて産出製品流れ及びフィードバック流れに分割する工程、
を含み、該要求された製品が所定の最大製造容量の0%〜100%まで変化する一方で、産出製品蒸気が純度ラングを維持する、化学物質又はガスの現場での精製方法。
〈8〉
項目7に記載の方法であって、前記現場での精製システムが、
3)精製ユニットのそれぞれのための、揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのベント出口、及び
4)精製ユニットのそれぞれのための、重い不純物を除去するための少なくとも1つのパージ出口、
をさらに含む、方法。
〈9〉
前記化学物質又はガスが、NH 3 、HCl、Cl 2 、NF 3 、O 2 、N 2 、CO 2 及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、項目7に記載の方法。
〈10〉
前記化学物質又はガスがNH 3 である、項目7に記載の方法。
〈11〉
少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれがろ過器、吸収床、蒸留塔、凝縮器、蒸発器、及び隔膜から成る群より独立して選択される、項目7に記載の方法。
〈12〉
前記フィードバック流れが、少なくとも2つの精製ユニットのうちの最後の前記精製ユニットに送り返される、項目7に記載の方法。
〈13〉
少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの1つが蒸留塔であるか、又は少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの2つが、共通の液体コレクターを共有する蒸留塔である、項目7に記載の方法。
〈14〉
前記精製流れが液体及び蒸気を含有する、項目13に記載の方法。
〈15〉
前記製品流れ及び前記フィードバック流れが、液体、蒸気、及びこれらの組み合わせから成る群を独立して含有する、項目14に記載の方法。
〈16〉
前記要求された製品が前記所定の最大製造容量の0%から100%まで変化する一方で、前記産出製品蒸気の前記純度ラングを維持するため、前記フィードバック流れを少なくとも2つの前記精製ユニットのうち少なくとも最後の精製ユニットに送り返して液体の蒸気に対する一定の比を保つ、項目15に記載の方法。
〈17〉
前記要求された製品が即座に変化する、項目16に記載の方法。
〈18〉
前記産出製品蒸気が、製造プロセスライン、保管場所、及び輸送可能な容器の充填ステーションへの供給を提供する、項目7に記載の方法。
〈19〉
NH 3 の現場での精製方法であって、以下の工程、すなわち、
NH 3 含有供給流れを提供する工程、
現場での精製システムであって、
1)少なくとも2つの蒸留塔、
2)産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む自動流れ制御システム
3)蒸留塔のそれぞれのための、揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのベント出口、及び
4)蒸留塔のそれぞれのための、重い不純物を除去するための少なくとも1つのパージ出口
を含む、現場での精製システムを提供する工程、
少なくとも2つの該蒸留塔を通して該供給流れを流して少なくとも2つの該蒸留塔のうちの最後の蒸留塔から精製流れを提供する工程、並びに
該精製流れを該自動流れ制御システムに送って該精製流れを要求された製品に応じて産出製品流れ及びフィードバック流れに分割する工程
を含み、該要求された製品が所定の最大製造容量の0%から100%まで変化する一方で、産出製品蒸気が純度ラングを維持する、NH 3 の現場での精製方法。
〈20〉
前記精製流れが液体及び蒸気を含有し、前記製品流れ及び前記フィードバック流れが、液体、蒸気、及びこれらの組み合わせから成る群を独立して含有し、前記要求された製品が前記所定の最大製造容量の0%から100%まで変化する一方で、前記産出製品蒸気の前記純度ラングを維持するため、前記フィードバック流れを少なくとも最後の前記蒸留塔に送り返して液体の蒸気に対する一定の比を保つ、項目19に記載の方法。
Claims (20)
- 現場での精製システムであって、
1)精製される化学物質を含む供給流れ、
2)該供給流れを受け取り、精製するための少なくとも2つの精製ユニット、
3)該精製ユニットから出る少なくとも1つの精製流れ、
4)少なくとも1つの該精製流れを受け取るための自動流れ制御システムであって、該自動流れ制御システムが産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む、自動流れ制御システム、
5)該自動流れ制御システムから出る少なくとも1つの製品流れ、並びに
6)該自動流れ制御システムから少なくとも2つの該精製ユニットのうち少なくとも1つへの少なくとも1つのフィードバック流れ、
を含み、該自動流れ制御システムにより、該精製流れを該製品流れの純度及び/又は要求される製品流量に応じて該製品流れ及び該フィードバック流れに分割するようにした、現場での精製システム。 - 請求項1に記載の現場での精製システムであって、
7)少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれのための、揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのベント出口、及び
8)少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれのための、不揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのパージ出口、
をさらに含み、
少なくとも2つの前記精製ユニットが蒸留塔、凝縮器、及び蒸発器から成る群より独立して選択される、
現場での精製システム。 - 前記精製される化学物質が、NH3、HCl、Cl2、NF3、O2、N2、CO2及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、請求項1に記載の現場での精製システム。
- 前記精製される化学物質がNH3である、請求項1に記載の現場での精製システム。
- 少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれがろ過器、吸収床、蒸留塔、凝縮器、蒸発器、及び隔膜から成る群より独立して選択される、請求項1に記載の現場での精製システム。
- 少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの1つが蒸留塔であるか、又は少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの2つが、共通の液体コレクターを共有する蒸留塔である、請求項1に記載の現場での精製システム。
- 化学物質の現場での精製方法であって、以下の工程、すなわち、
該化学物質を含有する供給流れを提供する工程、
現場での精製システムであって、
1)少なくとも2つの精製ユニット、及び
2)産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む自動流れ制御システム、
を含む、現場での精製システムを提供する工程、
少なくとも2つの該精製ユニットを通して該供給流れを流して少なくとも2つの該精製ユニットのうちの最後の精製ユニットから精製流れを提供する工程、並びに
該精製流れを該自動流れ制御システムに送って該精製流れを産出製品流れの純度及び/又は要求される産出製品流量に応じて産出製品流れ及びフィードバック流れに分割する工程、
を含み、該要求される産出製品流量が所定の最大設計製品流量の0%〜100%まで変化する一方で、産出製品流れが所定の純度範囲を維持する、化学物質の現場での精製方法。 - 請求項7に記載の方法であって、前記現場での精製システムが、
3)精製ユニットのそれぞれのための、揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのベント出口、及び
4)精製ユニットのそれぞれのための、不揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのパージ出口、
をさらに含み、
少なくとも2つの前記精製ユニットが蒸留塔、凝縮器、及び蒸発器から成る群より独立して選択される、
方法。 - 前記化学物質が、NH3、HCl、Cl2、NF3、O2、N2、CO2及びこれらの組み合わせから成る群より選択される、請求項7に記載の方法。
- 前記化学物質がNH3である、請求項7に記載の方法。
- 少なくとも2つの前記精製ユニットのそれぞれがろ過器、吸収床、蒸留塔、凝縮器、蒸発器、及び隔膜から成る群より独立して選択される、請求項7に記載の方法。
- 前記フィードバック流れが、少なくとも2つの精製ユニットのうちの最後の前記精製ユニットに送り返される、請求項7に記載の方法。
- 少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの1つが蒸留塔であるか、又は少なくとも2つの前記精製ユニットのうちの2つが、共通の液体コレクターを共有する蒸留塔である、請求項7に記載の方法。
- 前記精製流れが液体及び蒸気を含有する、請求項13に記載の方法。
- 前記製品流れ及び前記フィードバック流れが、液体、蒸気、及びこれらの組み合わせから成る群を独立して含有する、請求項14に記載の方法。
- 前記要求される産出製品流量が前記所定の最大設計製品流量の0%から100%まで変化する一方で、前記産出製品流れの所定の純度範囲を維持するため、前記フィードバック流れを少なくとも2つの前記精製ユニットのうち少なくとも最後の精製ユニットに送り返して液体の蒸気に対する一定の比を保つ、請求項15に記載の方法。
- 前記要求される産出製品流量が即座に変化する、請求項16に記載の方法。
- 前記産出製品流れが、製造プロセスライン、保管場所、及び輸送可能な容器の充填ステーションへの供給を提供する、請求項7に記載の方法。
- NH3の現場での精製方法であって、以下の工程、すなわち、
NH3含有供給流れを提供する工程、
現場での精製システムであって、
1)少なくとも2つの蒸留塔、
2)産出製品ジャンクション及びフィードバックジャンクションを含む自動流れ制御システム
3)蒸留塔のそれぞれのための、揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのベント出口、及び
4)蒸留塔のそれぞれのための、不揮発性不純物を除去するための少なくとも1つのパージ出口
を含む、現場での精製システムを提供する工程、
少なくとも2つの該蒸留塔を通して該供給流れを流して少なくとも2つの該蒸留塔のうちの最後の蒸留塔から精製流れを提供する工程、並びに
該精製流れを該自動流れ制御システムに送って該精製流れを産出製品流れの純度及び/又は要求される産出製品流量に応じて産出製品流れ及びフィードバック流れに分割する工程
を含み、該要求される産出製品流量が所定の最大設計製品流量の0%から100%まで変化する一方で、産出製品流れが所定の純度範囲を維持する、NH3の現場での精製方法。 - 前記精製流れが液体及び蒸気を含有し、前記製品流れ及び前記フィードバック流れが、液体、蒸気、及びこれらの組み合わせから成る群を独立して含有し、前記要求される産出製品流量が前記所定の最大設計製品流量の0%から100%まで変化する一方で、前記産出製品流れの所定の純度範囲を維持するため、前記フィードバック流れを少なくとも最後の前記蒸留塔に送り返して液体の蒸気に対する一定の比を保つ、請求項19に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/839,497 US9216364B2 (en) | 2013-03-15 | 2013-03-15 | Onsite ultra high purity chemicals or gas purification |
US13/839,497 | 2013-03-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014180667A JP2014180667A (ja) | 2014-09-29 |
JP5944937B2 true JP5944937B2 (ja) | 2016-07-05 |
Family
ID=51497072
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014052037A Active JP5944937B2 (ja) | 2013-03-15 | 2014-03-14 | 現場での超高純度化学物質又はガスの精製 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9216364B2 (ja) |
JP (1) | JP5944937B2 (ja) |
KR (2) | KR101727246B1 (ja) |
CN (1) | CN104043381B (ja) |
TW (1) | TWI539991B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9695049B2 (en) * | 2014-03-14 | 2017-07-04 | Saes Getters S.P.A. | System and method for ultra high purity (UHP) carbon dioxide purification |
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-
2013
- 2013-03-15 US US13/839,497 patent/US9216364B2/en active Active
-
2014
- 2014-03-10 TW TW103108257A patent/TWI539991B/zh active
- 2014-03-14 KR KR1020140030326A patent/KR101727246B1/ko active IP Right Grant
- 2014-03-14 JP JP2014052037A patent/JP5944937B2/ja active Active
- 2014-03-17 CN CN201410099104.2A patent/CN104043381B/zh active Active
-
2015
- 2015-11-13 US US14/940,612 patent/US10317136B2/en active Active
-
2016
- 2016-07-04 KR KR1020160084331A patent/KR20160086300A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104043381A (zh) | 2014-09-17 |
US20140262732A1 (en) | 2014-09-18 |
US10317136B2 (en) | 2019-06-11 |
TWI539991B (zh) | 2016-07-01 |
US9216364B2 (en) | 2015-12-22 |
CN104043381B (zh) | 2016-06-15 |
US20160069612A1 (en) | 2016-03-10 |
TW201434524A (zh) | 2014-09-16 |
KR20160086300A (ko) | 2016-07-19 |
JP2014180667A (ja) | 2014-09-29 |
KR20140113539A (ko) | 2014-09-24 |
KR101727246B1 (ko) | 2017-04-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150526 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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