JP6224633B2 - ガス回収と再利用のためのシステムと方法 - Google Patents
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Description
本発明は、2014年1月13日に出願された米国仮特許出願第61/926,649号明細書の優先権の利益を主張する。本仮出願の開示は、その全ての内容を参照により本明細書中に取り込む。
(a)プロセスガスを導入するための入力ラインを含む少なくとも1種の生産用具であって、前記少なくとも1種の生産用具がプロセスコントローラーと電気連通している、生産用具と、
(b)少なくとも1種の生産用具と流体連通し、そして前記少なくとも1種の生産用具中で前記物が加工された後で使用されたプロセスガスを除去する流出ラインと、
(c)前記生産用具から前記使用されたプロセスガスの除去を可能にする前記流出ライン中の弁と、
(d)処理ラインへ前記使用されたプロセスガスを向かわせる前記弁の上流にある回収ラインと、
(e)前記使用されたプロセスガスが前記精製器中で処理されて回収されたプロセスガスを提供する精製器を含む前記処理ラインと、
を含む、装置が提供される。
ある形態において、本明細書に記載の装置は、前記処理ラインと流体連通した回収容器をさらに含み、前記回収容器は前記回収されたプロセスガスを含む。この形態または他の形態において、本明細書に記載された装置は、前記入力ラインを介して前記回収されたプロセスガスを前記少なくとも1種の生産用具中に導入することをさらに含む。
(a)プロセスコントローラーと電気連通している、プロセスガスを導入するための1つまたはそれ以上のラインを有する少なくとも1種の生産用具と、
(b)前記生産用具中に導入されたプロセスガスを除去することができる、前記少なくとも1種の生産用具からの流出ラインと、
(c)前記生産用具からの前記プロセスガスの除去を可能にし、前記流出物の少なくとも一部が前記少なくとも1種の生産用具に戻るのを防ぐ、前記流出ライン中の弁と、
(d)前記少なくとも1種の生産用具または前記流出ラインとの接続を有し、前記弁の上流にある回収ラインであって、前記生産用具または流出ラインから前記プロセスガスを除去することができ、これを処理ラインに送ることができる、回収ラインと、
(e)プロセスコントローラーと、
(f)前記プロセスコントローラーと電気連通しており、前記回収されたプロセスガスを収容することができる前記回収容器と、
を含む、システムが提供される。ある具体的態様において、プロセスガスはヘリウムを含む。
そこで加工される物を有する加工用具にプロセスガスを提供することと、
前記プロセスガスを用いて前記物を処理して、使用されたプロセスガスを提供することと、
流出ラインを介して前記加工用具から前記使用されたプロセスガスを除去することと、
前記使用されたプロセスガスを処理して回収されたプロセスガスを提供することと、
を含む、方法が提供される。
ある形態において、本明細書に記載の方法はさらに、前記回収されたプロセスガスを、前記回収されたプロセスガスを封じ込める(特に限定されないが)貯蔵シリンダーまたは貯槽などの回収容器に向かわせる。この形態または他の形態において、本明細書に記載の方法は、前記入力ラインを介して前記回収されたプロセスガスを前記少なくとも1種の生産用具中に導入することをさらに含む。
(態様)
(態様1)
少なくとも1種の生産用具からの物の生産において使用されたプロセスガスの回収のための装置であって、
(a)プロセスガスを導入するための入力ラインを含む少なくとも1種の生産用具であって、該少なくとも1種の生産用具がプロセスコントローラーと電気連通している、生産用具と、
(b)少なくとも1種の生産用具と流体連通し、そして該少なくとも1種の生産用具中で該物が加工された後で使用されたプロセスガスを除去する流出ラインと、
(c)該生産用具からの該使用されたプロセスガスの除去を可能にする該流出ライン中の弁と、
(d)処理ラインへ該使用されたプロセスガスを向かわせる該弁の上流にある回収ラインと、
(e)該使用されたプロセスガスが精製器中で処理されて回収されたプロセスガスを提供する該精製器を含む該処理ラインと、
を含む、装置。
(態様2)
該処理ラインと流体連通した回収容器をさらに含み、該回収容器が該回収されたプロセスガスを含む、態様1に記載の装置。
(態様3)
該入力ラインを介して該回収されたプロセスガスを該少なくとも1種の生産用具中に導入することをさらに含む、態様1に記載の装置。
(態様4)
該少なくとも1種の生産用具中に導入される前に、該回収されたプロセスガスが圧縮される、態様3に記載の装置。
(態様5)
該プロセスガスがヘリウムを含む、態様1に記載の装置。
(態様6)
該精製器が膜精製器である、態様1に記載の装置。
(態様7)
物の製造において使用されるプロセスガスを捕捉しかつ回収するための方法であって、
そこで加工される物を有する加工用具にプロセスガスを提供することと、
該プロセスガスを用いて該物を処理して、使用されたプロセスガスを提供することと、
流出ラインを介して該加工用具から該使用されたプロセスガスを除去することと、
該使用されたプロセスガスを処理して回収されたプロセスガスを提供することと、
を含む、方法。
(態様8)
本明細書中に記載された、該回収されたプロセスガスを回収容器中に向かわせることをさらに含む、態様7に記載の方法。
(態様9)
該回収容器が貯蔵シリンダーまたは貯槽から選択される、態様8に記載の方法。
(態様10)
該入力ラインを介して該回収されたプロセスガスを該少なくとも1種の生産用具中に導入することをさらに含む、態様7に記載の方法。
(態様11)
該使用されたプロセスガスが精製器を介して処理される、態様7に記載の方法。
Claims (17)
- 少なくとも1種の生産用具からの物の生産において使用されたプロセスガスの回収のための装置であって、
(a)プロセスガスを導入するための入力ラインを含む少なくとも1種の生産用具であって、該少なくとも1種の生産用具がプロセスコントローラーと電気連通している、生産用具と、
(b)少なくとも1種の生産用具と流体連通し、そして該少なくとも1種の生産用具中で該物が加工された後で使用されたプロセスガスを除去する流出ラインと、
(c)該生産用具からの該使用されたプロセスガスの除去を可能にする該流出ライン中の弁と、
(d)処理ラインへ該使用されたプロセスガスを向かわせる該弁の上流にある回収ラインと、
(e)該使用されたプロセスガスが精製器中で処理されて回収されたプロセスガスを提供する該精製器を含む該処理ラインと、
を含み、該処理ラインが精製バイパスラインをさらに含む、装置。 - 該処理ラインと流体連通した回収容器をさらに含み、該回収容器が該回収されたプロセスガスを含む、請求項1に記載の装置。
- 該入力ラインを介して該回収されたプロセスガスを該少なくとも1種の生産用具中に導入することをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 該少なくとも1種の生産用具中に導入される前に、該回収されたプロセスガスが圧縮される、請求項3に記載の装置。
- 該プロセスガスがヘリウムを含む、請求項1に記載の装置。
- 該精製器が膜精製器である、請求項1に記載の装置。
- 該入力ラインの上流に供給ラインをさらに含み、該供給ラインが純度生成プロセスラインをさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 物の製造において使用されるプロセスガスを捕捉しかつ回収するための方法であって、
そこで加工される物を有する加工用具にプロセスガスを提供することと、
該プロセスガスを用いて該物を処理して、使用されたプロセスガスを提供することと、
流出ラインを介して該加工用具から該使用されたプロセスガスを除去することと、
該使用されたプロセスガスが予め定められた純度を有さない場合、該使用されたプロセスガスを精製器を介して処理して回収されたプロセスガスを提供することと、
該使用されたプロセスガスが予め定められた純度を有する場合、該使用されたプロセスガスに精製器をバイパスさせて該回収されたプロセスガスを提供することと、
を含む、方法。 - 該回収されたプロセスガスを回収容器中にさらに向かわせることをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 該回収容器が貯蔵シリンダーまたは貯槽から選択される、請求項9に記載の方法。
- 該入力ラインを介して該回収されたプロセスガスを該少なくとも1種の生産用具中に導入することをさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 該プロセスガスがネオンを含む、請求項1に記載の装置。
- 該プロセスガスがネオンを含む、請求項8に記載の方法。
- 該プロセスガスが圧縮によって処理される、請求項8に記載の方法。
- 該加工用具の上流にある供給ライン中のプロセスガスがプロセス規格を外れている場合、純度生成プロセスラインを使用して、該加工用具の上流にある供給ライン中のプロセスガスの純度が上昇させられること、をさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 物の製造において使用されヘリウムまたはネオンからなるプロセスガスを捕捉しかつ回収するための方法であって、
そこで加工される物を有する加工用具にプロセスガスを提供することと、
該プロセスガスを用いて該物を処理して、使用されたプロセスガスを提供することと、
流出ラインを介して該加工用具から該使用されたプロセスガスを除去することと、
該使用されたプロセスガスが予め定められた純度を有さない場合、該使用されたプロセスガスを圧縮によってかつ精製器を介して処理し回収されたプロセスガスを提供することと、
該使用されたプロセスガスが予め定められた純度を有する場合、該使用されたプロセスガスに精製器をバイパスさせて該回収されたプロセスガスを提供することと、
を含む、方法。 - 該加工用具の上流にある供給ライン中のプロセスガスがプロセス規格を外れている場合、純度生成プロセスラインを使用して、該加工用具の上流にある供給ライン中のプロセスガスの純度が上昇させられること、をさらに含む、請求項16に記載の方法。
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