KR101687496B1 - 액체가스정제장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 유량과 반응공간에서의 유체의 유량과 유속을 변환시킴과 아울러 열교환공간에서의 접촉면적으로 증가시키도록 되어 단순한 구조를 통해 액상가스의 정제반응효율을 향상시킬 수 있도록;
저순도의 액상가스가 유입되는 유입구와 배출되는 배출구를 가지며 내부에 열매체가 순환하는 열교환수단이 배치되어 열교환반응을 발생시켜 고순도의 액상가스로 정제하도록 된 정제탱크를 포함하여 이루어지는 액체가스정제장치에 있어서; 상기한 열교환수단은, 상기 정제탱크의 외부에서 열매체가 내부를 경유한 후, 외부로 배출되어 순환하는 '관' 형상의 순환관이 상기 정제탱크의 내부에서 코일(coil)형태로 배치된 것으로 이루어지며; 상기 정제탱크의 내부에서 상기 유입구와 상기 배출구이 사이 공간에는, 이동하는 액상가스의 경로를 와선형으로 유도하는 다수의 유도판이 구비된 액체가스정제장치를 제공한다.

Description

액체가스정제장치{A liquid gas purification device}

본 발명은, 저순도의 액상가스를 열 교환반응을 인가하여 고순도의 액상가스로 정제하도록 된 액체가스정제장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 유량과 반응공간에서의 유체의 유량과 유속을 변환시킴과 아울러 열교환공간에서의 접촉면적으로 증가시키도록 되어 단순한 구조를 통해 액상가스의 정제반응효율을 향상시킬 수 있도록 된 액체가스정제장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제작 산업에서 제작 공정의 매 단계에서의 주요 관심사 중 하나는 오염물질로, 제작 공정으로 유입된 오염물질은 최종 산물의 특성을 완전히 바꾸게 된다.

이에 따라, 오염 제거를 위해 생산 라인이 중단되고 폐쇄됨으로써, 이미 제작된 상당량의 전자 장치를 부적격을 초래할 수 있고, 일정시간 동안 생산을 지연시키게 된다.

따라서, 전자 기기 제조 설비에서의 막대한 손실을 초래하게 된다.

종래 현장 정제 설비 및 화학물질 및 특수 가스의 공급에 대한 기술들이 공지되어 있다.

즉, US 6616014, EP 1127658, US 6923568, EP 1305107, 및 US 6200414B1에 기술된 바와 같이 화학물질의 더욱 우수한 혼합에 관한 기술들이 있다.

이러한 공지된 시스템 및 방법은, 전자 장치의 제작 공정에 전달되고 사용된 화학 용액의 조성 변화를 최소화시키는 것을 목적으로 한다.

상기에서 US 6200414B1은, 웨이퍼 에칭 공정에 사용된 화학 물질의 온도 및 압력을 제어하기 위한 시스템 및 방법이 기재되어 있다.

즉, 도구가 웨이퍼 교환 공정 중에 있으며 화학물질의 흐름이 중단되어야 하는 경우, 바이패스 라인 (bypass line)을 통한 화학물질의 연속적인 재순환을 제안하고 있으며, 높은 턴다운비 (turn down ratio)를 갖도록 되어 있다.

그리고, 화학물질 및 가스의 정제에 관한 것으로, US 7371313 특허가 있으며, 명세서에 기재된 바와 같이, 암모니아 정제 발명으로, 암모니아 스트림은 암모니아 발생 설비에서 발생되어 요망되는 순도 수준에 도달할 때까지 연속 정제 단계를 거치도록 되어 있다.

이때, 모든 정제 단계는 서로 분리되거나 연결될 수 있어 정제 공정 말기에 요망되는 UHP 생성물 순도로 처리된다.

또한, US 2007007879A에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 액체 생성물 분획의 증발 및 증기 생성물분획의 사용 지점으로의 전달에 기초하여, 정제된 생성물을 사용 지점으로 공급도록 되어 있다.

즉, 한 단계의 정제 스테이지를 이용하며, 액체 분획물이 이미 UHP 스테이지에 있으며, 단지 가능한 농축된 중량 불순물 (heavy impurities) 예컨대, 중량 히드로카본의 제작 공정으로의 의도되지 않은 전달이 방지되어야 하는 경우, UHP 전달에 적용가능하게 되어 있다.

그리고, EP 0949470 및 US 6032483에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 액체 화학물질의 정제된 증기 스트림을 사용 지점으로 전달하기 위한 시스템으로, 서로 연결된 다수의 칼럼을 제안하고 있다.

반도체 제작공정에 사용하기 위한 UHP HCl은 TW 306021에 제안된 바와 같이 액체 HCl 수용기로부터 HCl 증기를 유출시키고 저=pH 수성 스크러버에서 여과된 증기를 스크러빙시킴으로써 현장에서 제조된다.

이때, 증기 스트림은 제작 공정으로 이를 공급하는 라인에 유입되기 전에 스크러버를 통과한다.

특허 US 2002128148A1에서는, 암모니아 유체를 정제하거나 오염제거하기 위한 시스템이 기재되어 있는 것으로, 오염물이 축적되는 다수의 흡착 베드로 이루어 져, 암모니아 스트림의 일부는 수소 및 질소로 분해되며, 수소는 흡착제를 재생하는데 사용된다.

이에, 다수의 이러한 베드를 갖는 경우, 시스템을 턴다운하여 제작 공정 요구에 근거하여 생산을 변경시킬 수 없고, 많은 흡착 베드를 스위치 오프시켜야 하며, 시스템이 단지 하나의 베드를 가지는 경우 지정된 생성물 순도 범위가 보존된다고 가정하면, 시스템의 턴다운 비는 광범위하게 변화되지 못하게 된다.

US 6372022B1에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 이온 정제기를 기반으로 하는 UHP 화학물질의 정제 및 생성을 위한 방법 및 장치로써, 생성물 스트림으로부터 제거된 오염물질을 운반하는 오염수 스트림 및 제작 공정에 사용되는 UHP 화학물질 스트림의 정제 및 생성을 위한 연속 공정이 기재되어 있다

US 6395064 및 WO 0145819에서는, 반도체 제작 공정에서 사용되는 UHP 수준으로 가스를 증발시키고 정제하는 시스템에 관한 것으로, 정제된 가스는 버퍼 탱크로 이동되고 그 후, 제작 공정의 사용 지점으로 이동된다.

US 7297181 및 WO 06005990에서는, 암모니아 정제 시스템으로서, 암모니아를 정제하기 위한 다양한 암모니아 정제수단 예컨대, 흡착 및 증류를 이용하는 시스템이 기재된 것으로, 액체 생성물을 증발시키고 이를 요구되는 사용 지점으로 공급하기 위한 증발기가 구비된 정제된 생성물 저장 탱크가 기재되어 있다.

일반적으로, 저장 탱크가 가득차고 생성물에 대한 요구가 없는 경우, 시스템은 생성물을 넣을 장소가 없기 때문에 UHP 암모니아 생성을 중단해야 하며, 관련 시스템의 재가동은 생성물 순도에 흠을 내며, 이는 반도체 제작 공정에서 허용될 수 없는 것으로, 생성물 중 일부 및 가장 중요한 재가동 생성물 공급 시간은 최종 사용자에게 불충분할 수 있다.

한편, 요망되는 생성물 순도를 얻기 위해 자동화된 적절한 제어를 제공하는 제어 시스템에 관한 것으로, 증류 타워용 제어 시스템은 CN 2011006332이 제안되어 있다. 즉, DCS 시스템 및 현장 버스를 이용하며, 여기서 체크 머신은 DCS 실시간 데이타베이스로부터 이력 처리 데이타를 수득하며, 증류 타워에서 액체/증기 (L/V) 비에 대한 출력값을 제어하여, 시스템동력 제어를 통해 고순도의 안정한 작동을 유지하고 확인하기 위해, 상기 L/V 비가 조정되며 일정하게 변경되며 동시에, 증류 타워내의 유량이 최소 임계치 미만인 경우, 순도 범위가 변경될 수 있는 문제점이 있다.

한국특허공개번호 제10-2014-0113539호(명칭: 현장 고순도 화학물질 또는 가스정제)에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 1) 정제될 화학물질 또는 가스를 포함하는 공급 스트림; 2) 공급 스트림을 수용하고 정제하기 위한 2개 이상의 정제 유닛; 3) 정제 유닛으로부터의 하나 이상의 정제된 스트림; 4) 하나 이상의 정제된 스트림을 수용하기 위한 자동 스트림 제어 시스템으로서, 하나 이상의 자동 스트림 제어 시스템이 배출 생성물 연결부 및 피드백 연결부를 포함하는 시스템; 5) 하나 이상의 자동 스트림 제어 시스템으로부터 배출된 하나 이상의 생성물 스트림; 및 6) 자동 스트림 제어 시스템으로부터 배출되어 2개 이상의 정제 유닛중 적어도 하나의 유닛으로 유입되는 하나 이상의 피드백 스트림을 포함하는 현장 정제 시스템이 기재되어 있다.

그리고, 탱크의 내부에서 열교환을 구현하도록 된 장치 및 시스템의 하나로, 한국특허공개번호 제10-2010-10003호(명칭: 격층 구조의 나선형 물집과, 열기통로를 구비하는 열원회수장치 및 그 결합구조)가 있으며, 공보에 기재된 바와 같이, 보일러 본체 내부의 중앙에 형성되는 온수조와, 상기 온수조의 외측 둘레부를 상하 이격부를 가지도록 감은 나선 형태로 구성하여, 하부에 형성되는 급수관으로 투입되는 물을 가열하여 생성되는 증기를 상부의 증기배출관으로 배출시키는 나선형물집과, 상기 나선형물집을 따라서 형성되는 상하 이격부에 수직의 관을 각각 연결하여 상기 물집의 물을 상부로 통과시키도록 하는 다수개의 순환관과, 상기 나선형물집의 이격부가 상기 본체 내측벽에 의해 각각 밀폐되어 격층 구조를 가짐으로서, 하부에 형성되는 열기투입구로 투입되는 열기를 통과시켜 온수조의 외측벽과, 상기 나선형물집의 상하부와, 순환관을 각각 가열한 후, 상부에 형성되는 열기 배출구로 배출되도록 하는 나선형 물집과 열기통로를 구비하는 열원회수장치가 기재되어 있다.

또한, 한국특허등록번호 제10-1053172호(명칭: 열교환기 및 그 제조방법)에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 일측에 냉매가 유입되는 유입부 및 배출되는 배출부가 형성되며, 내부가 중공되어 냉매가 유동되는 관형태의 튜브; 상기 튜브의 외주를 감싸도록 형성되는 접촉부와, 상기 접촉부에 대략 직각 형상으로 절곡되어 전열면적으로 작용하는 방열부를 포함하는 핀; 및 튜브 및 핀 조립체를 지지하는 고정수단을 포함하여 형성되며, 상기 튜브 및 핀 조립체는 하나의 튜브를 이용하여 단일 유로를 갖도록 벤딩(Bending)되되 복수개의 열을 갖도록 형성되고, 단일 열이 지그재그형태를 가지며, 이웃하는 열이 공기 흐름방향으로 상기 튜브 위치가 서로 이격되도록 형성되는 열교환기가 기재되어 있다.

그리고, 한국특허등록번호 제10-1448202호(명칭: 에너지 파일용 튜브)에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 피삽입물에 관부와 상기 관부의 외주연에 형성되는 복수의 지지단으로 구성되는 둘 이상의 튜브모듈이 내,외측으로 조립되어 튜브모듈조립체가 구성되되, 최외측의 튜브모듈에 있어 지지단과 피삽입물의 내주연에 의해 제 1 유로가 형성되며, 최내측의 튜브모듈에 있어 관부의 내주연에 의해 제 2유로가 형성되는 에너지파일용 튜브가 기재되어 있다.

또한, 한국특허등록번호 제10-1533371호(명칭: 열 교환을 촉진 시키기 위해 이상흐름을 이용하는 압축공기 에너지 저장시스템)에서는, 공보에 기재된 바와 같이, 하나 또는 다수의 벽 내에 정의되는 챔버, 상기 챔버와 압축 가스 저장 유닛 사이의 선택적인 유체 교환을 허용하는 하나 또는 다수의 밸브; 연소가 없는 상태에서 상기 챔버 안에서 팽창하는 가스와 액체간의 열 교환이발생하도록 상기 챔버에 상기 액체를 공급하는 스프레이; 상기 팽창 가스에 의해 구동되는 상기 챔버 내에 있는 이동 가능한 부재; 및 상기 팽창 가스의 파워를 상기 챔버 외부로 전달하도록 구성된 기계적 링크를 포함하며, 상기 챔버 안에서 팽창하는 가스는 상기 압축 가스 저장 유닛으로부터 상기 밸브를 통해 제공되는 압축 가스로부터 에너지를 복구하는 장치가 기재되어 있다.

즉, 반응공간에서의 유체의 반응효율을 증대하도록 반응조건에 대한 접촉면적을 증대할 수 있도록 되어 있다.

1. 한국특허공개번호 제10-2014-0113539호 2. 한국특허공개번호 제10-2010-10003호 3. 한국특허등록번호 제10-1053172호 4. 한국특허등록번호 제10-1448202호 5. 한국특허등록번호 제10-1533371호

본 발명의 목적은, 유량과 반응공간에서의 유체의 유량과 유속을 변환시킴과 아울러 열교환공간에서의 접촉면적으로 증가시키도록 되어 단순한 구조를 통해 액상가스의 정제반응효율을 향상시킬 수 있도록 된 액체가스정제장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액체가스정제장치는, 저순도의 액상가스가 유입되는 유입구와 배출되는 배출구를 가지며 내부에 열매체가 순환하는 열교환수단이 배치되어 열교환반응을 발생시켜 고순도의 액상가스로 정제하도록 된 정제탱크를 포함하여 이루어지는 액체가스정제장치에 있어서; 상기한 열교환수단은, 상기 정제탱크의 외부에서 열매체가 내부를 경유한 후, 외부로 배출되어 순환하는 '관' 형상의 순환관이 상기 정제탱크의 내부에서 코일(coil)형태로 배치된 것으로 이루어지며; 상기 정제탱크의 내부에서 상기 유입구와 상기 배출구이 사이 공간에는, 이동하는 액상가스의 경로를 와선형으로 유도하는 다수의 유도판이 구비된 것을 특징으로 한다.

상기한 순환관에서 코일형태를 이루는 부위의 내부 공간에는, 금속재질의 금속바가 배치되어 액상가스가 상기 금속바의 외주면을 안내하면서 이동하도록 된 것을 특징으로 한다.

상기한 순환관은, 길이방향으로 다수의 돌출부가 형성된 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 액상가스정제장치는, 상기한 정제탱크의 내부를 이동하는 액상가스와 순환관과의 접촉면적과 접촉시간이 상기 유도판과 금속바에 의해 효율적으로 증대됨에 됨에 따라, 단순한 구조를 통해 액상가스의 반응효율을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

아울러, 상기 정제탱크의 내부를 경유하는 액상가스의 유량 및 유속의 가변을 상기 금속바와 상기 유도판의 구조적인 변경을 용이하게 조절할 수 있어, 설계상의 이익을 구현하는 효과를 가진다.

도 1 내지 도 3은, 본 발명에 따른 일 실시 예에 의한 액상가스정제강치를 보인 개략 예시도.
도 4는, 본 실시 예에 의한 액상가스정제강치를 보인 개략 평단면 예시도.
도 5 내지 도 8은, 본 실시 예에 의한 액상가스정제강치에 적용되는 유도판을 보인 개략 예시도.
도 9는, 본 실시 예에 의한 액상가스정제강치에 적용되는 유도판의 다른 예를 보인 개략 예시도.
도 10은, 본 실시 예에 의한 액상가스정제강치에 적용되는 순환관을 보인 개략 단면 예시도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시 예에 의한 액상가스정제장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시 예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.

도 1 내지 도 10은, 본 발명에 따른 일 실시 예에 의한 액상가스정제강치를 보인 도면으로, 본 실시 예에 의한 액상가스정제장치(1)는, 저순도의 액상가스가 유입되는 유입구(2)와 배출되는 배출구(3)를 가지며 내부에 열매체가 순환하는 열교환수단(4)이 배치되어 열교환반응을 발생시켜 고순도의 액상가스로 정제하도록 된 정제탱크(5)를 포함하여 이루어져, 저순도의 액상가스를 열 교환반응을 통해 고순도의 액상가스로 정제하는 것에 적용된다.

이러한, 본 실시 예에 의한 액상가스정제장치(1)에서, 상기한 정제탱크(5)는, 상기 유입구(2)와 상기 배출구(3)가 서로 대칭되는 위치에 각가 구비되며, 상기 유입구(2)와 배출구(3)의 사이에는 상기 열교환수단(4)이 구비되어 열교환이 이루어지도록 되어 있다.

상기에서, 정제탱크(5)에는, 외부에서 내부를 투시하여 액상가스를 육안으로 점검하도록 된 투시포트(51)가 구비되는 것이 바람직하며, 상기 투시포트(51)는, 상기 유입구(2)와 상기 배출구(3)의 위치에 각각 배치되어, 상기 정제탱크(5)의 내부로 유입되는 저순도의 액상가스의 상태와, 정제되어 배출되는 고순도의 액상가스의 상태를 각각 점검할 수 있도록 되는 것이 가장 바람직하다.

한편, 상기한 열교환수단(4)은, 상기 정제탱크(5)의 외부에서 열매체가 내부를 경유한 후, 외부로 배출되어 순환하는 '관' 형상의 순환관(41)이 상기 정제탱크(5)의 내부에서 코일(coil)형태로 배치된 것으로 이루어지는 것이 바람직하다.

즉, 액상가스가 상기 유입구(2)에서 상기 배출구(3)로 이동하는 중에 상기 순환관(41)과 접촉하여 열교환하면서 고순도로 정제된다.

상기에서 순환관(41)은, 도 10에서 도시된 바와 같이, 길이방향으로 돌출된 다수의 돌출부(411)가 형성되는 것이 바람직하며, 상기 돌출부(411)를 통해 액상가스와의 접촉면적으로 구조적으로 증대시켜, 열교환효율을 향상시킬 수 있게 된다.

그리고, 상기 정제탱크(5)의 내부에서 상기 유입구(2)와 상기 배출구(3)의 사이 공간에는, 이동하는 액상가스의 경로를 와선형으로 유도하는 다수의 유도판(6)이 구비된다.

즉, 상기 유도판(6)을 통해 액상가스가 상기 유입구(2)에서 상기 배출구(3)로 이동하는 경로를 와선형으로 형성함으로써, 상기 정제탱크(5)의 내부에서 액상가스의 잔류시간과 이동길이를 구조적으로 증대시켜 열교환효율을 향상시키게 된다.

상기에서 유도판(6)은, 상기 정제탱크(5)의 내주면과 상기 순환관(41)에서 코일형태로 이루어진 부위와의 사이를 폐쇄시키도록 된 '판' 형상의 판체로 이루어지며, 바람직하게는 상기 정제탱크(5)의 내부를 평면상 1/2 면적으로 각각 분할하여, 상기 정제탱크(5)의 내부를 평면상 1/2 면적은 폐쇄하고, 나머지 면적은 개방하여 액상가스가 이동하는 이동로를 구현하도록 되는 것이 가장 바람직하다.

이와 더불어, 상기 유도판(6)은, 도 5 내지 도 8에서 도시된 바와 같이, 상기 액상가스의 이동로를 구현하는 부위의 위치를 각각 달리하여, 액상가스가 지그재그 형태로 이동하도록 하거나, 혹은, 와선형으로 이동하도록 배치되는 것이 바람직하며, 서로 연접되는 유도판(6)의 이동로들이 평면상 90도의 엇각을 가지도록 각각 배치되어 와선형으로 이동하도록 배치되는 것이 가장 바람직하다.

상기한 유도판(6)은, 도 9에서 도시된 바와 같이, 상기 정제탱크(5)의 내부를 평면상 3/4 면적은 폐쇄하고, 나머지 면적은 개방하여 액상가스가 이동하는 이동로를 구현하도록 될 수도 있는 것으로, 사용자의 선택에 의해 적용하는 것이 바람직하다.

이와 같이, 상기 유도판(6)들의 형태와 사이 간격을 설계시 임의로 조절하면, 액상가스의 유량 및 유속의 가변을 용이하게 조절할 수 있게 된다.

상기와 같이 이루어지는 본 실시 예에 의한 액상가스정제장치(1)에서, 상기한 순환관(41)에서 코일형태를 이루는 부위의 내부 공간에는, 금속재질의 금속바(7)가 배치되어 액상가스가 상기 금속바(7)의 외주면을 안내하면서 이동하도록 되는 것이 바람직하다.

즉, 액상가스가 상기 정제탱크(5)의 중앙부위를 경유하지 않고 상기 순환관(41)과 최대한 근접되는 공간을 통해 이동하도록 되어 열교환효율을 구조적으로 증대하도록 되는 것이 가장 바람직하다.

아울러, 상기 순환관(41)과 근접된 상기 금속바(7)가 상기 순환관(41)과 열교환되어 충열하게 됨에 따라, 액상가스와 상기 금속바(7)의 사이에서 열교환이 이루어지도록 됨에 따라, 열교환효율이 증대된다.

상기에서 금속바(7)의 외주면에는 길이 방향으로 다수의 요철홈(71)이 형성되어 표면적을 증대시킴으로써, 액상가스와의 접촉면적으로 구조적으로 행상시킬 수 있도록 되는 것이 바람직하며, 상기 요철홈(71)은, 상기 금속바(7)의 길이방향으로 나선형으로 형성되어, 액상가스가 상기 요철홈(71)에서 와류상으로 접촉되도록 되는 것이 가장 바람직하다.

상기와 같이 이루어지는 본 실시 예에 의한 액상가스정제장치의 작용효과를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 실시 예에 의한 액상가스정제장치(1)를 통해 저순도의 액상가스를 고순도의 액상가스로 정제하고자 할 경우에는, 먼저, 상기 순환관(41)을 통해 열매체를 순환시켜 상기 정제탱크(5)의 내부와 상기 금속바(7)를 원하는 온도로 냉각시키고, 상기 유입구(2)를 통해 저순도의 액상가스를 정제탱크(5)의 내부로 공급하면, 액상가스가 상기 배출구(3)로 이동하면서 열교환하여 냉각됨으로써, 고순도의 액상가스로 정제된다.

이때, 액상가스가 상기 유입구(2)에서 상기 배출구(3)로 이동하는 중에 상기 유도판(6)과 상기 금속바(7)에 의해 경로가 유도되어 와선형으로 이동하게 되며, 이에 따라, 열교환 시간과 길이가 효율적으로 증대되어 열교환효율이 향상된다.

이에 따라, 상기 정제탱크(5)를 소형으로 형성하여도 고순도의 액상가스를 얻을 수 있어, 현장에서 용이하게 적용할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 본 실시 예에 의한 액상가스정제장치(1)는, 상기한 정제탱크(5)의 내부를 이동하는 액상가스와 순환관(41)과의 접촉면적과 접촉시간이 상기 유도판(6)과 금속바(7)에 의해 효율적으로 증대되도록 된 것을 기술적 구성의 특징으로 한다.

이상에서 설명된 본 발명의 일 실시 예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 잘 알 수 있을 것이다. 그러므로 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 형태로만 한정되는 것은 아님을 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다. 또한, 본 발명은 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 그 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

1 : 액상가스정제장치 2 : 유입구
3 : 배출구 4 : 열교환수단
41 : 순환관 411 : 돌출부
5 : 정제탱크 51 : 투시포트
6 : 유도판 7 : 금속바
71 : 요철홈

Claims (3)

1. 저순도의 액상가스가 유입되는 유입구(2)와 배출되는 배출구(3)를 가지며 내부에 열매체가 순환하는 열교환수단(4)이 배치되어 열교환반응을 발생시켜 고순도의 액상가스로 정제하도록 된 정제탱크(5)를 포함하여 이루어지되; 상기한 열교환수단(4)은 상기 정제탱크(5)의 외부에서 열매체가 내부를 경유한 후, 외부로 배출되어 순환하는 '관' 형상의 순환관(41)이 상기 정제탱크(5)의 내부에서 코일(coil)형태로 배치된 것으로 이루어지며; 상기한 정제탱크(5)의 내부에서 상기 유입구(2)와 상기 배출구(3)의 사이 공간에는 이동하는 액상가스의 경로를 와선형으로 유도하는 다수의 유도판(6)이 구비되는 액체가스정제장치(1)에 있어서;
   상기한 순환관(41)에서 코일형태를 이루는 부위의 내부 공간에는,
   금속재질의 금속바(7)가 배치되어 액상가스가 상기 금속바(7)의 외주면을 안내하면서 이동하도록 되며;
   상기한 정제탱크(5)에는,
   외부에서 내부를 투시하여 액상가스를 육안으로 점검하도록 된 투시포트(51)가 구비되되;
   상기한 투시포트(51)는,
   상기 유입구(2)와 상기 배출구(3)의 위치에 각각 배치되고;
   상기한 금속바(7)의 외주면에는,
   길이 방향으로 다수의 요철홈(71)이 형성되되;
   상기한 요철홈(71)은,
   상기 금속바(7)의 길이방향으로 나선형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액체가스정제장치.
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