JP5935461B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
3 処理室
5 ワーク保持装置
8 第1電極棒
9 第2電極棒
10 接続部材
21 高周波電源
22 ガス供給源
A アンテナ体
A1、A3 第1アンテナ体
A2、A4 第2アンテナ体
W ワーク
W1 被処理面
Claims (3)
- 真空状態に減圧可能な処理室にガス供給源から反応ガスが供給される真空チャンバと、
前記真空チャンバに設けられ、交流電源の給電側に基端が接続される給電側電極棒、前記交流電源の接地側に基端が接続されるとともに前記給電側電極棒に対向配置された接地側電極棒、該給電側電極棒および該接地側電極棒の先端同士を通電可能に接続する接続部材を有し、該交流電源からの電力供給によって前記処理室内でプラズマを発生させる複数のアンテナ体と、を備え、
前記複数のアンテナ体は、
前記真空チャンバの所定の第1の面に前記給電側電極棒および接地側電極棒の基端が設けられた第1アンテナ体と、前記第1の面に対向する第2の面に前記給電側電極棒および接地側電極棒の基端が設けられた第2アンテナ体と、を備え、
前記第1アンテナ体を構成する給電側電極棒および接地側電極棒と、前記第2アンテナ体を構成する給電側電極棒および接地側電極棒と、が同一平面上に整列配置されており、
前記接地側電極棒の内部には、前記ガス供給源から供給された前記反応ガスが流通するガス供給路が形成されており、該ガス供給路を通過した反応ガスは、該接地側電極棒に形成された噴出孔を介して前記真空チャンバに供給されていることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第1アンテナ体を構成する給電側電極棒および接地側電極棒と、前記第2アンテナ体を構成する給電側電極棒および接地側電極棒と、が、これら両電極棒の長手方向に直交する方向において交互に設けられていることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1アンテナ体を構成する電極棒と、前記第2アンテナ体を構成する電極棒とが、一直線上に軸心を沿わせて対向配置されていることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
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