JP6010981B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Description
まず、図1〜図4を用いて、本実施形態のアレイアンテナ式(誘導結合型)プラズマ処理装置の真空チャンバの構造について説明する。図1は、真空チャンバの正面側を示す斜視図、図2は、真空チャンバの背面側を示す斜視図である。
図5は、アレイアンテナユニット30が真空チャンバ1に取り付けられた状態の正面側の断面を模式的に示す図であり、図6は、アレイアンテナユニット30が真空チャンバ1に取り付けられた状態の右側面図である。これらの図に示すように、アレイアンテナユニット30は、アンテナ支持部材31を備えており、このアンテナ支持部材31に複数のアンテナ体50が支持されている。
まず、真空チャンバ1の処理室10を密閉するとともに、真空ポンプ16を駆動して処理室10を真空状態に減圧する。この状態で、ゲートバルブを介して真空チャンバ1に接続され内部が真空状態に維持された基板搬送チャンバから、処理室10内より詳細には処理空間Xに基板Wを搬入する。そして、ガス供給源15から第2電極棒52に反応ガスを供給して、噴出孔52bから真空チャンバ1内に反応ガスを噴出させる。この状態で、高周波電源12によってアンテナ体50に高周波電力を供給すると、アレイアンテナユニット30の周辺、より詳細には、図中x方向に隣り合って配置された両電極棒51、52間にプラズマが発生し、このプラズマによって分解された反応ガスの成分が基板Wの被処理面W1、W2に付着する。このようにして、基板Wの被処理面W1、W2に、非結晶シリコン膜または微結晶シリコン膜などの薄膜が成膜されることとなる。
10 処理室
12 高周波電源
15 ガス供給源
50 アンテナ体
51、100、110、120、130、140、150、160 第1電極棒
52、101、111、121、131、141、151、161 第2電極棒
53 接続部材
130a、131a 転回部
W 基板
W1、W2 被処理面
X 処理空間
Claims (2)
- 真空状態に減圧可能な処理室にガス供給源から反応ガスが供給される真空チャンバと、
交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、前記交流電源の接地側に接続され前記給電側電極棒に離間して対向配置された接地側電極棒、前記給電側電極棒および接地側電極棒を通電可能に接続する接続部材を有し、前記交流電源からの電力供給により前記処理室内でプラズマを発生させるアンテナ体と、
処理対象の被処理面を前記給電側電極棒および前記接地側電極棒に対向させて保持可能な処理対象保持手段と、を備え、
前記処理対象保持手段は、前記給電側電極棒および前記接地側電極棒の対向間隔によって形成される処理空間に、前記処理対象を配置することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空状態に減圧可能な処理室にガス供給源から反応ガスが供給される真空チャンバと、
交流電源の給電側に接続される給電側電極棒、前記交流電源の接地側に接続され前記給電側電極棒に離間して対向配置された接地側電極棒、前記給電側電極棒および接地側電極棒を通電可能に接続する接続部材を有し、前記交流電源からの電力供給により前記処理室内でプラズマを発生させるアンテナ体と、
処理対象の被処理面を前記給電側電極棒および前記接地側電極棒に対向させて保持可能な処理対象保持手段と、を備え、
前記給電側電極棒および接地側電極棒のそれぞれは、
当該両電極棒の対向方向に交差する方向に、当該電極棒の一部を屈曲もしくは湾曲させた転回部と、
前記転回部を境にして一端側に位置する第1の部分、および、前記転回部を境にして他端側に位置するとともに前記第1の部分に対向する第2の部分と、を有し、
前記接地側電極棒の内部には、前記ガス供給源から供給された前記反応ガスが流通するガス供給路が形成されており、該ガス供給路を通過した反応ガスは、該接地側電極棒に形成された噴出孔を介して前記真空チャンバに供給され、
前記処理対象保持手段は、前記第1の部分および第2の部分の対向空間によって形成される処理空間に、前記処理対象を配置することを特徴とするプラズマ処理装置。
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