JP2016122710A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態の一態様に係る基板搬送装置は、基台と、保持部と、少なくとも3個の検出部と、制御部とを備える。保持部は、基台に対して進退自在に設けられ、複数の基板を多段に保持可能である。検出部は、保持部に保持された基板の外縁をそれぞれ異なる位置で検出する。制御部は、検出部の検出結果に基づき基板の位置を推定し、推定した基板の位置と予め決められた基準位置とのずれ量を算出し、算出したずれ量が閾値以内であると判定した場合に、保持部に保持された複数の基板の搬送を実行させる。
【選択図】図3
Description
次に、処理ユニット16の構成について図2を参照して説明する。図2は、処理ユニット16の概略構成を示す図である。
次に、本実施形態に係る基板搬送装置13の構成について図3を参照して説明する。図3は、本実施形態に係る基板搬送装置13の構成を示す図である。
次に、検出部103a〜103dの構成について図4および図5を参照して説明する。図4は、本実施形態に係る基板搬送装置13の平面図である。図5は、投光部131および受光部132の模式的な側面図である。
本実施形態に係る位置ずれ判定処理は、「第1判定処理」、「第2判定処理」および「第3判定処理」の3段階で行われる。まず、「第1判定処理」の内容について図6を参照して説明する。図6は、第1判定処理の説明図である。
第1判定処理において、制御部18は、全ての検出部103a〜103dについて、保持部102に保持されたウェハWの外縁が検出範囲内に含まれているか否かを判定する。
つづいて、第2判定処理の内容について図7を参照して説明する。図7は、第2判定処理の説明図である。
つづいて、第3判定処理の内容について図8〜図10を参照して説明する。図8〜図10は、第3判定処理の説明図である。
Δa={(a’点の画素数)−(a点の画素数)}×検出部103aの分解能
Δb={(b’点の画素数)−(b点の画素数)}×検出部103bの分解能
となる。なお、たとえばa点の画素数とは、リニアイメージセンサである受光部132における、第1検出部103aのウェハWの中心側における始点からa点までにおける画素の数を意味する。
a点(Xa,Ya)=(X+Rsinθa,Y−Rcosθa)
b点(Xb,Yb)=(X+Rsinθb,Y+Rcosθb)
a’点(Xa’,Ya’)={X+(R+Δa)sinθa,Y−(R+Δa)cosθa}
b’点(Xb’,Yb’)={X+(R+Δb)sinθb,Y+(R+Δb)cosθb}
となる。
次に、基板搬送装置13の具体的動作について図11を参照して説明する。図11は、基板搬送処理13の処理手順を示すフローチャートである。なお、図11には、キャリア載置部11からウェハWを取り出した後、キャリア載置部11から取り出したウェハWを受渡部14へ搬入するまでの処理手順を示している。
ここで、ステップS209に示す位置補正処理の内容について図13〜図17を参照して説明する。図13は、一時載置部の配置を示す図である。また、図14〜図17は、位置補正処理の説明図である。
1 基板処理システム
13 基板搬送装置
16 処理ユニット
18 制御部
101 基台
102 保持部
103a〜103d 第1検出部〜第4検出部
111〜115 フォーク
120 移動機構
121 第1移動機構
122 第2移動機構
131 投光部
132 受光部
Claims (10)
- 基台と、
前記基台に対して進退自在に設けられ、複数の基板を多段に保持可能な保持部と、
前記保持部に保持された前記基板の外縁をそれぞれ異なる位置で検出する少なくとも3個の検出部と、
前記検出部の検出結果に基づき前記基板の位置を推定し、推定した前記基板の位置と予め決められた基準位置とのずれ量を算出し、算出したずれ量が閾値以内であると判定した場合に、前記保持部に保持された複数の前記基板の搬送を実行させる制御部と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記制御部は、
隣接する2個の前記検出部が同一の前記基板の外縁を検出したと仮定した場合における当該基板の前記基準位置からのずれ量を算出し、他の隣接する2個の前記検出部についても前記ずれ量を算出し、算出した複数のずれ量の最大値が閾値以内であるか否かを判定すること
を特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記保持部に保持された複数の前記基板を収容可能な一時載置部
を備え、
前記制御部は、
前記ずれ量が前記閾値を超える場合に、前記保持部に保持された複数の前記基板のうち1枚を前記保持部に保持させ、残りの基板を前記一時載置部に収容させた後、前記保持部に保持された前記1枚の基板の外縁を前記検出部を用いて再度検出させ、前記検出部の検出結果に基づいて前記1枚の基板の前記基準位置からのずれ量を算出し、算出したずれ量に応じて前記保持部の位置を変更して、前記1枚の基板の位置を前記基準位置に一致させること
を特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送装置。 - 前記制御部は、
前記保持部の位置を変更したうえで前記1枚の基板を前記一時載置部へ収容させた後、前記一時載置部から他の1枚の前記基板を取り出し、前記検出部の検出結果に基づいて当該基板の前記基準位置からのずれ量を算出し、算出したずれ量に応じて前記保持部の位置を変更したうえで当該基板を前記一時載置部へ収容させる処理を、前記残りの基板について繰り返し、その後、前記一時載置部に収容された全ての前記基板を前記保持部に保持させること
を特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。 - 前記制御部は、
全ての前記検出部について、当該検出部によって検出された前記基板の外縁が、当該検出部の検出範囲内に含まれると判定した場合に、前記ずれ量が閾値以内であるか否かの判定を行うこと
を特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板搬送装置。 - 前記制御部は、
全ての前記検出部について、当該検出部によって検出された前記基板の外縁が、当該検出部の検出範囲内に含まれると判定し、さらに、当該検出部によって検出された前記基板の外縁が、当該検出部の検出範囲のうちの所定範囲内に含まれると判定した場合に、前記ずれ量が閾値以内であるか否かの判定を行うこと
を特徴とする請求項5に記載の基板搬送装置。 - 前記検出部が有する受光部は、
リニアイメージセンサであること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の基板搬送装置。 - 前記リニアイメージセンサは、
受光素子の配列方向に沿って延びる仮想的な直線が前記基準位置を通るように配置されること
を特徴とする請求項7に記載の基板搬送装置。 - 前記リニアイメージセンサは、
前記基台に設けられること
を特徴とする請求項7または8に記載の基板搬送装置。 - 基台と、前記基台に対して進退自在に設けられ、複数の基板を多段に保持可能な保持部と、前記保持部に保持された前記基板の外縁をそれぞれ異なる位置で検出する少なくとも3個の検出部とを備える基板搬送装置における基板搬送方法であって、
前記検出部を用いて、前記保持部に保持された前記基板の外縁をそれぞれ異なる位置で検出する検出工程と、
前記検出部の検出結果に基づき前記基板の位置を推定し、推定した前記基板の位置と予め決められた基準位置とのずれ量を算出し、算出したずれ量が閾値以内であると判定した場合に、前記保持部に保持された複数の前記基板の搬送を実行させる制御工程と
を含むことを特徴とする基板搬送方法。
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