JP7191565B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1から図3は、本発明の実施形態を説明するための産業用ロボットの一例を示す。産業用ロボット1(以下、「ロボット1」とする。)は、板状の搬送対象物である半導体ウエハ2(以下、「ウエハ2」とする。)を搬送するためのロボットである。ロボット1は、例えば、複数のウエハ2が所定のピッチで積層されて収納されるカセット(図示省略)から複数のウエハ2を同時に搬出する。そして、ロボット1は、複数のウエハ2が所定のピッチで積層されて収納される半導体製造システムの加熱炉(図示省略)の中へカセットから搬出した複数のウエハ2を搬入する。また、ロボット1は、加熱炉から複数のウエハ2を同時に搬出して、搬出した複数のウエハ2をカセットの中へ搬入する。
図4及び図5は、センシング用ハンド5の構成を示す。センシング用ハンド5は、第2アーム6によって回動可能に支持される基端部51と、基端部51から先端側に向かって二又に分岐した第1腕部52及び第2腕部53とを有し、全体としてY字形状を呈している。そして、センシング用ハンド5は、センシング用ハンド5に載置されたウエハ2の裏面21が対向する載置面54を有する。
信号処理部63には、第1センサ61及び第2センサ62それぞれの出力信号が入力される。そして、信号処理部63は、入力された二つの信号に基づいて、センシング用ハンド5上のウエハ2の載置状態が適正か否かを判定する。判定は、閾値を用いて行うことができ、例えば、第1センサ61の出力信号と、第2センサ62の出力信号との両方の出力信号の信号値が閾値以上である場合に、ウエハ2の載置状態を適正と判定し、少なくとも一方の出力信号の信号値が閾値未満である場合に、ウエハ2の載置状態を不適と判定することができる。なお、閾値は、ウエハ2の載置状態が適正である場合の出力信号値と、ウエハ2の載置状態が不適である場合の出力信号値とに基づいて適宜設定できる。
信号処理部63が行うウエハ2の載置状態の判定は、上述した例に限定されない。例えば、第1センサ61の出力信号と、第2センサ62の出力信号との少なくとも一方の出力信号の信号値が閾値以上である場合に、ウエハ2の載置状態が適正と判定され、両方の出力信号の信号値が閾値未満である場合に、ウエハ2の載置状態が不適と判定されてもよい。本例によれば、図12に示した、載置面54に対する傾きが比較的小さいウエハ2の載置状態は適正と判定される。このように、適正と見做すことができるウエハ2の載置状態の幅を広げることができ、例えばロボット1が頻繁に動作を停止する場合に有用である。
2 半導体ウエハ(搬送対象物)
3 ウエハ搭載機構
4 第1アーム
5 センシング用ハンド
6 第2アーム
7 アーム支持部
8 昇降機構
9 第1支持部
10 第2支持部
21 ウエハの裏面
21e ウエハの裏面における外周部の縁
22 ウエハの外周面
23 ウエハの表面
51 センシング用ハンドの基端部
52 センシング用ハンドの第1腕部
53 センシング用ハンドの第2腕部
54 センシング用ハンドの載置面
55 第1支持部
56 第2支持部
57 第3支持部
58 傾斜面
60 検出部
61 第1センサ(反射型光センサ)
62 第2センサ(反射型光センサ)
63 信号処理部
C 中心線
O 中心
L 光
R 三角領域
X 第1方向
Y 第2方向
Claims (4)
- 板状の搬送対象物を搬送する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が載置されるハンドと、
前記ハンド上の前記搬送対象物を検出する検出部と、
を備え、
前記ハンドは、
載置面と、
前記搬送対象物が前記載置面との間に隙間をあけ且つ前記載置面に沿って配置されるように、前記搬送対象物の裏面の三箇所を支持可能な第1支持部、第2支持部、及び第3支持部と、
を有し、
前記検出部は、
前記第1支持部と前記第2支持部と前記第3支持部とによって支持された前記搬送対象物の外周面に対向して配置され、前記外周面からの反射光強度に応じた信号を出力信号とする複数の反射型光センサと、
前記複数の反射型光センサの前記出力信号の大きさに基づいて、前記搬送対象物の載置状態を判定する信号処理部と、
を有し、
前記複数の反射型光センサは、前記第1支持部を通り且つ前記第2支持部と前記第3支持部との中間を通る中心線の一方側に設けられた第1センサと、他方側に設けられた第2センサとを含み、
前記第1支持部、前記第2支持部、及び前記第3支持部は、前記搬送対象物の前記裏面の外周部を支持し、
前記第1支持部、前記第2支持部及び前記第3支持部は、前記第1支持部と前記第2支持部と前記第3支持部とを結んで得られる三角領域の外接円の中心に向いた傾斜面であって、前記載置面に近づくほどに前記中心に近づく傾斜面を有しており、前記傾斜面によって前記搬送対象物の前記裏面の外周部の縁に接する産業用ロボット。 - 請求項1記載の産業用ロボットであって、
前記第1センサと、前記第2センサとは、前記中心線を挟んで互いに対称となる位置に設けられている産業用ロボット。 - 請求項2記載の産業用ロボットであって、
前記第1センサと、前記第2センサとは、前記第1支持部に隣設されている産業用ロボット。 - 請求項1から3のいずれか一項記載の産業用ロボットであって、
前記搬送対象物は半導体ウエハである産業用ロボット。
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