JPH0666375B2 - ウエハ搬送方法 - Google Patents
ウエハ搬送方法Info
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- JPH0666375B2 JPH0666375B2 JP7405387A JP7405387A JPH0666375B2 JP H0666375 B2 JPH0666375 B2 JP H0666375B2 JP 7405387 A JP7405387 A JP 7405387A JP 7405387 A JP7405387 A JP 7405387A JP H0666375 B2 JPH0666375 B2 JP H0666375B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- arm
- cassette
- roller
- contact portion
- Prior art date
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- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハ搬送方法に係り、特にウェハをクリーン
搬送するのに好敵なウェハ搬送方法に関するものであ
る。
搬送するのに好敵なウェハ搬送方法に関するものであ
る。
従来の搬送方法は、例えば、電子材料、1985年3
月、第64頁から第69頁に論じられた“反応性イオン
エッチング装置”の第4図に記載されているように、カ
セット内からのウェハのアンロードをアームによって行
なうようになっており、パーティクル発生がおきないよ
うに注意されたものがある。
月、第64頁から第69頁に論じられた“反応性イオン
エッチング装置”の第4図に記載されているように、カ
セット内からのウェハのアンロードをアームによって行
なうようになっており、パーティクル発生がおきないよ
うに注意されたものがある。
上記従来技術は、カセット内からアーム上にウェハを載
置する際に、アーム上でのウェハの位置決めについて配
慮されておらず、このため、あらかじめ、カセット内で
ウェハの位置を正確に決める必要がある。したがって、
カセット内に収納されたウェハのオリエンテーションフ
ラット(以下、「オリフラ」という。)の方向がまちま
ちの場合は、カセット内でのウェハ収納位置がずれて、
ウェハ端部が不揃いとなるので、このような装置では通
常、カセット内でオリフラを合わせ、ウェハの収納位置
を揃える作業を行なう。この作業は、カセット内にウェ
ハを収納した状態でウェハを回転させるため、ウェハ収
納溝部とのこすれによってパーティクルが発生してウェ
ハに付着したり、ウェハを回転させるローラに発生した
パーティクルが付着して、これがさらにウェハに付着し
たりして、ウェハの歩留まりを悪くするという問題があ
った。
置する際に、アーム上でのウェハの位置決めについて配
慮されておらず、このため、あらかじめ、カセット内で
ウェハの位置を正確に決める必要がある。したがって、
カセット内に収納されたウェハのオリエンテーションフ
ラット(以下、「オリフラ」という。)の方向がまちま
ちの場合は、カセット内でのウェハ収納位置がずれて、
ウェハ端部が不揃いとなるので、このような装置では通
常、カセット内でオリフラを合わせ、ウェハの収納位置
を揃える作業を行なう。この作業は、カセット内にウェ
ハを収納した状態でウェハを回転させるため、ウェハ収
納溝部とのこすれによってパーティクルが発生してウェ
ハに付着したり、ウェハを回転させるローラに発生した
パーティクルが付着して、これがさらにウェハに付着し
たりして、ウェハの歩留まりを悪くするという問題があ
った。
本発明の目的は、オリフラ合せによる位置決めを行なう
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことによって、個々にウェハの位置決めを
確実に行なうとともに、パーティクルの発生を押えて、
信頼性が高くクリーンな搬送を行うことのできるウェハ
搬送方法を提供することにある。
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことによって、個々にウェハの位置決めを
確実に行なうとともに、パーティクルの発生を押えて、
信頼性が高くクリーンな搬送を行うことのできるウェハ
搬送方法を提供することにある。
上記目的は、カセット内からウェハを受け取り、該ウェ
ハをアーム上に載置して搬送するウェハ搬送方法におい
て、ウェハの円周側面に沿った円弧の弦幅を少なくとも
オリフラの幅よりも広くした円弧状のウェハ当接部を、
アームの根元側のウェハ載置面の端部に設け、該ウェハ
当接部を設けたアームをカセット内のウェハ下面位置に
挿入し、アームがカセット内のウェハ下面位置で、ウェ
ハ当接部の反対側に所定間隔で配置された2個以上のロ
ーラを有したウェハ押出手段によるローラの押し出しに
よって、アーム上に載置するカセット内のウェハを、ア
ームの先端側からウェハ当接部に押し当て、該押し当て
によって生じるウェハ当接部とローラとの相互調心作用
を用いてウェハのオリフラの位置に関係なくウェハをア
ーム上で位置決めし、ウェハをアーム上に載置して、ア
ームによりウェハを搬送することにより、達成される。
ハをアーム上に載置して搬送するウェハ搬送方法におい
て、ウェハの円周側面に沿った円弧の弦幅を少なくとも
オリフラの幅よりも広くした円弧状のウェハ当接部を、
アームの根元側のウェハ載置面の端部に設け、該ウェハ
当接部を設けたアームをカセット内のウェハ下面位置に
挿入し、アームがカセット内のウェハ下面位置で、ウェ
ハ当接部の反対側に所定間隔で配置された2個以上のロ
ーラを有したウェハ押出手段によるローラの押し出しに
よって、アーム上に載置するカセット内のウェハを、ア
ームの先端側からウェハ当接部に押し当て、該押し当て
によって生じるウェハ当接部とローラとの相互調心作用
を用いてウェハのオリフラの位置に関係なくウェハをア
ーム上で位置決めし、ウェハをアーム上に載置して、ア
ームによりウェハを搬送することにより、達成される。
アームの当接部をウェハの円周に沿った円弧状とし、ロ
ーラの配置を当接部の反対側に置き、しかも円弧の中心
線から両側に少なくとも円弧端部にオリフラの一端を揃
えて円弧部にウェハを当接したときのオリフラの他端と
円弧の中心線との最短距離よりも広い位置でローラとウ
ェハとが接するように配置し、アームをカセット内のウ
ェハ下面位置に挿入し、ウェハ押出手段によるローラの
押し出しによりウェハを押し出し、ウェハをアームの当
接部に押し当てることにより、オリフラの位置がどこに
あってもローラと当接部との相互調心作用によって、ウ
ェハが所定の位置に位置決めされ、その後ウェハ上に載
置して搬送するようにしているので、ウェハが1枚毎に
確実にアーム上に位置決めされるとともに、カセット内
でのウェハのこすれが少なくパーティクルの発生を押え
られ、信頼性が高くクリーンな搬送が行なえる。
ーラの配置を当接部の反対側に置き、しかも円弧の中心
線から両側に少なくとも円弧端部にオリフラの一端を揃
えて円弧部にウェハを当接したときのオリフラの他端と
円弧の中心線との最短距離よりも広い位置でローラとウ
ェハとが接するように配置し、アームをカセット内のウ
ェハ下面位置に挿入し、ウェハ押出手段によるローラの
押し出しによりウェハを押し出し、ウェハをアームの当
接部に押し当てることにより、オリフラの位置がどこに
あってもローラと当接部との相互調心作用によって、ウ
ェハが所定の位置に位置決めされ、その後ウェハ上に載
置して搬送するようにしているので、ウェハが1枚毎に
確実にアーム上に位置決めされるとともに、カセット内
でのウェハのこすれが少なくパーティクルの発生を押え
られ、信頼性が高くクリーンな搬送が行なえる。
以下、本発明の一実施例を第1図〜第8図により説明す
る。
る。
第1図にウェハ搬送装置の全体構成を示し、この場合は
ウェハを収納したカセット内からウェハを搬送する場合
について述べる。カセット載置台6は、ハウジング17
内に設けた軸受16によって軸方向に移動可能に案内支
持された軸18の上部に取り付けられて、ウェハ2を収
納したカセット1を上面に載置するようになっている。
ウェハを収納したカセット内からウェハを搬送する場合
について述べる。カセット載置台6は、ハウジング17
内に設けた軸受16によって軸方向に移動可能に案内支
持された軸18の上部に取り付けられて、ウェハ2を収
納したカセット1を上面に載置するようになっている。
軸18の下部には雌ねじ部が設けられ、ベルト9および
プーリ8,14を介してモータ15によって駆動される
ねじ軸7が係合してある。プーリ8はねじ軸の下部に取
り付けてある。
プーリ8,14を介してモータ15によって駆動される
ねじ軸7が係合してある。プーリ8はねじ軸の下部に取
り付けてある。
プーリ14を取り付けたモータ15のモータ軸には、ス
リット板10,11が取り付けてあり、スリット板1
0,11にはセンサ12,13が設けてある。
リット板10,11が取り付けてあり、スリット板1
0,11にはセンサ12,13が設けてある。
カセット台6の上部で、カセット1内の最下位のウェハ
2より下にウェハ検出センサ5を位置させて設け、該ウ
ェハ2とウェハ検出センサ5との間に図示しない駆動装
置によって出し入れ可能なアーム3を設け、前記ウェハ
2の反アーム3側にローラ22を設けている。この場
合、ローラ22は、軸受21によってウェハ2側へ移動
可能に案内され、板ばね20を介してエアーシリンダ1
9に連結してある。板ばね20は衝撃吸収ならびに過荷
重防止の役目を行う。なお、この場合、エアーシリンダ
19と板ばね20と軸受21とローラ22とによってウ
ェハ押出手段が形成される。
2より下にウェハ検出センサ5を位置させて設け、該ウ
ェハ2とウェハ検出センサ5との間に図示しない駆動装
置によって出し入れ可能なアーム3を設け、前記ウェハ
2の反アーム3側にローラ22を設けている。この場
合、ローラ22は、軸受21によってウェハ2側へ移動
可能に案内され、板ばね20を介してエアーシリンダ1
9に連結してある。板ばね20は衝撃吸収ならびに過荷
重防止の役目を行う。なお、この場合、エアーシリンダ
19と板ばね20と軸受21とローラ22とによってウ
ェハ押出手段が形成される。
アーム3の根元側には第2図に示すように、ウェハ2の
径に合わせた円弧状の当接部4が設けてあり、円弧状の
弦幅L1はウェハ2のオリフラの幅Lより大きくしてあ
る。また、アーム3のウェハ載置面には、この場合、す
べり防止ならびにウェハとの接触面積を少なくするよう
に、シリコンゴム系でなるウェハ支持部材23が3か所
取り付けてある。
径に合わせた円弧状の当接部4が設けてあり、円弧状の
弦幅L1はウェハ2のオリフラの幅Lより大きくしてあ
る。また、アーム3のウェハ載置面には、この場合、す
べり防止ならびにウェハとの接触面積を少なくするよう
に、シリコンゴム系でなるウェハ支持部材23が3か所
取り付けてある。
ローラ22は第2図に示すように、当接部4の反対側に
位置し、当接部4の円弧の中心線から両側に少なくとも
円弧端部にオリフラの一端を揃えて円弧部にウェハを当
接したときのオリフラの他端と円弧の中心線との最短距
離L2よりも広い距離L3でローラ22とウェハ2とが
接し、中心線から接点までの距離がL3となるように配
置してある。この場合、ローラ22は2個設けてある。
材質はパーティクルの発生を防ぐ観点から4フッ化エチ
レン樹脂,ポリアセタール樹脂,ポリィミド樹脂等の樹
脂類が望ましい。
位置し、当接部4の円弧の中心線から両側に少なくとも
円弧端部にオリフラの一端を揃えて円弧部にウェハを当
接したときのオリフラの他端と円弧の中心線との最短距
離L2よりも広い距離L3でローラ22とウェハ2とが
接し、中心線から接点までの距離がL3となるように配
置してある。この場合、ローラ22は2個設けてある。
材質はパーティクルの発生を防ぐ観点から4フッ化エチ
レン樹脂,ポリアセタール樹脂,ポリィミド樹脂等の樹
脂類が望ましい。
上記のように構成された装置による動作を説明する。第
1図において、図示しない制御装置によりモータ15を
回転させて、ねじ軸7を回し軸18を下方向へ移動させ
て、カセット載置台6上のカセット1を降下させると、
カセット1内の最下位に収納されたウェハ2がウェハ検
出センサ5に近づく。
1図において、図示しない制御装置によりモータ15を
回転させて、ねじ軸7を回し軸18を下方向へ移動させ
て、カセット載置台6上のカセット1を降下させると、
カセット1内の最下位に収納されたウェハ2がウェハ検
出センサ5に近づく。
ウェハ2が所定の位置、すなわち、アーム3が挿入でき
る位置まで下降すると、ウェハ検出センサ5がこれを検
出し制御装置に信号を送って、モータ15を停止させ
る。
る位置まで下降すると、ウェハ検出センサ5がこれを検
出し制御装置に信号を送って、モータ15を停止させ
る。
この位置で、制御装置によりアーム3をカセット1内へ
挿入し、ウェハ2の下部に位置させる。このときのウェ
ハ2とアーム3との関係を第3図に示す。カセット1は
第3図に示すように、最下部のウェハ2aとアーム3の
ウェハ支持部材23との間に隙間δを有するように止め
られ、アーム3が隙間δをもって挿入される。このと
き、ウェハ2aが位置ずれして、カセット1内からはみ
出していても、アーム3をカセット1内へ挿入させるこ
とで、カセット1内へウェハ2aを押し込む。また、ア
ーム3を挿入した段階ではウェハ2aおよび上部のウェ
ハ2bは、ピッチPをもってカセット1内の溝部に載置
して収納されている。
挿入し、ウェハ2の下部に位置させる。このときのウェ
ハ2とアーム3との関係を第3図に示す。カセット1は
第3図に示すように、最下部のウェハ2aとアーム3の
ウェハ支持部材23との間に隙間δを有するように止め
られ、アーム3が隙間δをもって挿入される。このと
き、ウェハ2aが位置ずれして、カセット1内からはみ
出していても、アーム3をカセット1内へ挿入させるこ
とで、カセット1内へウェハ2aを押し込む。また、ア
ーム3を挿入した段階ではウェハ2aおよび上部のウェ
ハ2bは、ピッチPをもってカセット1内の溝部に載置
して収納されている。
この状態で、第1図および第4図に示すように、ローラ
22が、この場合、制御装置によって制御されるエアー
シリンダ19の収縮動作により板ばね20を介してアー
ム3側に移動し、ウェハ2aをアーム3の根元側へ押し
出す。これにより、ウェハ2aはアーム3の当接部4に
当たって、アーム3に対し位置決めされる。このとき、
ウェハ2aはカセット1内の溝部に支持されて移動す
る。
22が、この場合、制御装置によって制御されるエアー
シリンダ19の収縮動作により板ばね20を介してアー
ム3側に移動し、ウェハ2aをアーム3の根元側へ押し
出す。これにより、ウェハ2aはアーム3の当接部4に
当たって、アーム3に対し位置決めされる。このとき、
ウェハ2aはカセット1内の溝部に支持されて移動す
る。
この位置決めされる状態を第6図ないし第8図により説
明する。第6図の(a)〜(c)は、アーム3の円弧部
の中心とずれてカセット内に収まっているウェハ2をロ
ーラ22でアーム3の当接部4に押し当てる過程を示し
ている。まず、(a)に示すように、この場合、ローラ
22bがウェハ2に当たってアーム3側へ押し、次に
(b)に示すように、この場合、当接部の一端にウェハ
2の円周側面が当たって、ローラ22bをさらに押すこ
とによってウェハ2と当接部4の接した点を中心に、こ
の場合、右回転して(c)に示すように、ウェハ2は当
接部4に収められる。
明する。第6図の(a)〜(c)は、アーム3の円弧部
の中心とずれてカセット内に収まっているウェハ2をロ
ーラ22でアーム3の当接部4に押し当てる過程を示し
ている。まず、(a)に示すように、この場合、ローラ
22bがウェハ2に当たってアーム3側へ押し、次に
(b)に示すように、この場合、当接部の一端にウェハ
2の円周側面が当たって、ローラ22bをさらに押すこ
とによってウェハ2と当接部4の接した点を中心に、こ
の場合、右回転して(c)に示すように、ウェハ2は当
接部4に収められる。
なお、例えば、第7図に示すようにウェハ2のオリフラ
が当接部4の円弧部分に掛かっている場合には、オリフ
ラの角と当接部4との接点Oを中心に、右回りのモーメ
ントF1 2と左回りのモーメントF1 1とが掛か
り、この場合F1 1<F1 2であるため、ウェハ2
は接点Oを中心に右回転しようとするが、この場合、ウ
ェハ2の中心が接点Oとローラ22aとを結ぶ線よりも
O側から見て左側にある(すなわち、ウェハ2が接点O
を中心として右回転しようとした場合、接点Oを中心と
する半径である接点Oとローラ22aとを結ぶ距離が段
々長くなる)ので、ウェハ2の右回転運動はローラ22
aに拘束されて回転できないので、当接部4の円弧の中
心とウェハ2の中心とが一致して、ウェハ2を位置決め
できる。なお、オリフラが反対側に位置する場合は、力
の作用関係が逆になるだけで、同様に位置決めできる。
が当接部4の円弧部分に掛かっている場合には、オリフ
ラの角と当接部4との接点Oを中心に、右回りのモーメ
ントF1 2と左回りのモーメントF1 1とが掛か
り、この場合F1 1<F1 2であるため、ウェハ2
は接点Oを中心に右回転しようとするが、この場合、ウ
ェハ2の中心が接点Oとローラ22aとを結ぶ線よりも
O側から見て左側にある(すなわち、ウェハ2が接点O
を中心として右回転しようとした場合、接点Oを中心と
する半径である接点Oとローラ22aとを結ぶ距離が段
々長くなる)ので、ウェハ2の右回転運動はローラ22
aに拘束されて回転できないので、当接部4の円弧の中
心とウェハ2の中心とが一致して、ウェハ2を位置決め
できる。なお、オリフラが反対側に位置する場合は、力
の作用関係が逆になるだけで、同様に位置決めできる。
また、例えば、第8図に示すようにウェハ2のオリフラ
がローラ22a,22b部に傾いてある場合には、ロー
ラ22bのみがウェハ2に作用し、その力F2はウェハ
2と円弧部とが接した位置に作用するので、ウェハ2の
中心から作用点がずれていても、ウェハ2を円弧部に押
し当てる方の力が強く、ウェハ2を回転させるまでには
至らないので、当接部4の円弧の中心とウェハ2の中心
とを一致させて位置決めできる。
がローラ22a,22b部に傾いてある場合には、ロー
ラ22bのみがウェハ2に作用し、その力F2はウェハ
2と円弧部とが接した位置に作用するので、ウェハ2の
中心から作用点がずれていても、ウェハ2を円弧部に押
し当てる方の力が強く、ウェハ2を回転させるまでには
至らないので、当接部4の円弧の中心とウェハ2の中心
とを一致させて位置決めできる。
次に、ウェハ2aかアーム3に対して位置決めされた後
は第5図に示すように、ローラ22を元の位置に戻しウ
ェハ2aから離して、カセット載置台6を移動量Sだけ
下降させる。これにより、アーム3のウェハ支持部材2
3上にウェハ2aが載置される。その後は、アーム3を
移動させてウェハ2aをカセット1内から搬出する。な
お、カセット載置台6を下降させる移動量Sの制御は、
第1図に示すモータ15の回転をセンサ12,13で検
出して、検出信号を制御装置に送り、制御装置でモータ
15の回転量を積算してカセット載置台6の移動量に換
算し、モータ15を制御して行なわれる。
は第5図に示すように、ローラ22を元の位置に戻しウ
ェハ2aから離して、カセット載置台6を移動量Sだけ
下降させる。これにより、アーム3のウェハ支持部材2
3上にウェハ2aが載置される。その後は、アーム3を
移動させてウェハ2aをカセット1内から搬出する。な
お、カセット載置台6を下降させる移動量Sの制御は、
第1図に示すモータ15の回転をセンサ12,13で検
出して、検出信号を制御装置に送り、制御装置でモータ
15の回転量を積算してカセット載置台6の移動量に換
算し、モータ15を制御して行なわれる。
以上説明した動作を繰り返し、カセット1内のウェハ2
を順次下から搬出する。
を順次下から搬出する。
なお、アーム3の当接部4の高さは、第5図に示すよう
に、ウェハ2aをアーム3上に載置したときに、上部の
ウェハ2bが位置ずれしてカセット1内からはみ出して
いる場合でも、上部のウェハ2bに当たらないように隙
間α1を有するようにしてある。当接部4の高さHとウ
ェハ2a,2bとは次式の関係に設定する。なお、第5
図において、2bは移動後の上部ウエハを示し、2b′
は移動前の上部ウェハを示す。2aは移動後の下部ウェ
ハを示し、2a′は移動前の下部ウェハを示し、2a″
は下部ウェハがアーム3上に載置されずそのまま下降し
たと仮定した場合の位置を示す。
に、ウェハ2aをアーム3上に載置したときに、上部の
ウェハ2bが位置ずれしてカセット1内からはみ出して
いる場合でも、上部のウェハ2bに当たらないように隙
間α1を有するようにしてある。当接部4の高さHとウ
ェハ2a,2bとは次式の関係に設定する。なお、第5
図において、2bは移動後の上部ウエハを示し、2b′
は移動前の上部ウェハを示す。2aは移動後の下部ウェ
ハを示し、2a′は移動前の下部ウェハを示し、2a″
は下部ウェハがアーム3上に載置されずそのまま下降し
たと仮定した場合の位置を示す。
P−(α0+α1)<H<δ……(1) ここで、 H:ウェハ支持部材23上面からの当接部4の高さ P:カセット1内のウェハ収納部溝ピッチ δ:アーム3挿入時のウェハ支持部材23上面からウェ
ハ2a下面の隙間 α0:アーム3上へウェハ2aを載置するときのウェハ
2aの移動量(α0=S−δ) α1:カセット1移動後のウェハ2b下面と当接部4上
面との最小隙間 S:アーム3上へウェハ2aを載置するときのカセット
1の移動量 である。
ハ2a下面の隙間 α0:アーム3上へウェハ2aを載置するときのウェハ
2aの移動量(α0=S−δ) α1:カセット1移動後のウェハ2b下面と当接部4上
面との最小隙間 S:アーム3上へウェハ2aを載置するときのカセット
1の移動量 である。
以上、本一実施例によれば、アーム3に設けた当接部4
に所定の間隔で設けたローラ22によってウェハ2を押
し当てることにより、ウェハ2の搬出ごとにアーム3に
対して所定の位置にウェハ2を位置決めすることがで
き、また、カセット1内でウェハ2をずらす量が少ない
ので、パーティクルの発生を押えることができ、信頼性
が高くクリーンな搬出を行なうことができる。
に所定の間隔で設けたローラ22によってウェハ2を押
し当てることにより、ウェハ2の搬出ごとにアーム3に
対して所定の位置にウェハ2を位置決めすることがで
き、また、カセット1内でウェハ2をずらす量が少ない
ので、パーティクルの発生を押えることができ、信頼性
が高くクリーンな搬出を行なうことができる。
また、ローラ22によるウェハ2の押し出しを、カセッ
ト1の溝部にウェハ2が載置されているときに行なうの
で、ウェハ2とカセット1の溝部との接触が少なくパー
ティクルの発生を減ずることができる。
ト1の溝部にウェハ2が載置されているときに行なうの
で、ウェハ2とカセット1の溝部との接触が少なくパー
ティクルの発生を減ずることができる。
また、ウェハ2の押し出しにローラ22を用いているた
め、ウェハ2とローラ22との接触がころがり接触とな
り、パーティクルの発生が極めて少なくなる。
め、ウェハ2とローラ22との接触がころがり接触とな
り、パーティクルの発生が極めて少なくなる。
また、アーム3のウェハ2の載置部にすべり止めのウェ
ハ支持部材23を取り付けているので、位置決めされた
ウェハ2をカセット1から搬出する際に、ウェハ2がず
れることがない。
ハ支持部材23を取り付けているので、位置決めされた
ウェハ2をカセット1から搬出する際に、ウェハ2がず
れることがない。
さらに、ローラ22とローラ22を動かすエアーシリン
ダ19との間に板ばね20を介しているので、ウェハ2
に強い衝撃を与えることがなく、ウェハ2の損傷を防ぐ
ことができる。板ばね20は衝撃を吸収できるものであ
れば、他のものに置き換えられる。
ダ19との間に板ばね20を介しているので、ウェハ2
に強い衝撃を与えることがなく、ウェハ2の損傷を防ぐ
ことができる。板ばね20は衝撃を吸収できるものであ
れば、他のものに置き換えられる。
なお、本一実施例ではカセット1を下降させてウェハ2
をアーム3上に載置する構成としていたが、アーム3を
上昇させてウェハ2を載置するようにしても良い。
をアーム3上に載置する構成としていたが、アーム3を
上昇させてウェハ2を載置するようにしても良い。
また、本一実施例はカセット内からウェハを搬出する場
合について述べたが、ウェハの位置決めを行なって搬送
するものとしてはこれに限られるものではない。
合について述べたが、ウェハの位置決めを行なって搬送
するものとしてはこれに限られるものではない。
本発明によれば、オリフラ合せによる位置決めを行なう
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことができ、個々にウェハの位置決めを確
実に行なうことができるとともに、パーティクルの発生
を押えることができるので、信頼性が高くクリーンな搬
送を行なうことができるという効果がある。
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことができ、個々にウェハの位置決めを確
実に行なうことができるとともに、パーティクルの発生
を押えることができるので、信頼性が高くクリーンな搬
送を行なうことができるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
縦断面図、第2図は第1図をA−Aから見た平面図、第
3図から第5図はウェハとアームとの位置関係を示す縦
断面図、第6図から第8図はウェハの位置決めの様子を
示す平面図である。 1……カセット、2……ウェハ、3……アーム、4……
当接部、5……ウェハ検出センサ、6……カセット載置
台、19……エアーシリンダ、22……ローラ
縦断面図、第2図は第1図をA−Aから見た平面図、第
3図から第5図はウェハとアームとの位置関係を示す縦
断面図、第6図から第8図はウェハの位置決めの様子を
示す平面図である。 1……カセット、2……ウェハ、3……アーム、4……
当接部、5……ウェハ検出センサ、6……カセット載置
台、19……エアーシリンダ、22……ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坪根 恒彦 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (72)発明者 川原 博宣 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (56)参考文献 特開 昭50−1639(JP,A) 特開 昭61−273441(JP,A) 特開 昭54−41079(JP,A) 実開 昭59−107140(JP,U) 実開 昭59−2135(JP,U)
Claims (1)
- 【請求項1】カセット内からウェハを受け取り、該ウェ
ハをアーム上に載置して搬送するウェハ搬送方法におい
て、 前記ウェハの円周側面に沿った円弧の弦幅を少なくとも
オリエンテーションフラットの幅よりも広くした円弧状
のウェハ当接部を、前記アームの根元側のウェハ載置面
の端部に設け、該ウェハ当接部を設けた前記アームを前
記カセット内のウェハ下面位置に挿入し、 前記アームが前記カセット内のウェハ下面位置で、前記
ウェハ当接部の反対側に所定間隔で配置された2個以上
のローラを有したウェハ押出手段による前記ローラの押
し出しによって、前記アーム上に載置する前記カセット
内のウェハを、前記アームの先端側から前記ウェハ当接
部に押し当て、 該押し当てによって生じる前記ウェハ当接部と前記ロー
ラとの相互調心作用を用いて前記ウェハのオリエンテー
ションフラットの位置に関係なく前記ウェハを前記アー
ム上で位置決めし、 前記ウェハを前記アーム上に載置して、前記アームによ
り前記ウェハを搬送することを特徴とするウェハ搬送方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7405387A JPH0666375B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ウエハ搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7405387A JPH0666375B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ウエハ搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63241948A JPS63241948A (ja) | 1988-10-07 |
JPH0666375B2 true JPH0666375B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=13536060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7405387A Expired - Lifetime JPH0666375B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ウエハ搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0666375B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5884624B2 (ja) * | 2012-05-02 | 2016-03-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、調整方法及び記憶媒体 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS501639A (ja) * | 1973-05-07 | 1975-01-09 | ||
JPS5441079A (en) * | 1977-09-08 | 1979-03-31 | Kobatoron Kk | Device for inspecting semiconductor |
JPS592135U (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-09 | 株式会社東芝 | ウエハ回転装置 |
JPS592135A (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-07 | Nec Corp | デ−タのブロツク転送方式 |
JPS59107140A (ja) * | 1982-12-11 | 1984-06-21 | Toyotomi Kogyo Co Ltd | 風呂釜等の構造 |
JPS59107140U (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-19 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体ウエ−ハ移送装置 |
JPS61273441A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-12-03 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
JPH0318435Y2 (ja) * | 1985-09-10 | 1991-04-18 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP7405387A patent/JPH0666375B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63241948A (ja) | 1988-10-07 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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