JPH0666375B2 - ウエハ搬送方法 - Google Patents
ウエハ搬送方法Info
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- JPH0666375B2 JPH0666375B2 JP7405387A JP7405387A JPH0666375B2 JP H0666375 B2 JPH0666375 B2 JP H0666375B2 JP 7405387 A JP7405387 A JP 7405387A JP 7405387 A JP7405387 A JP 7405387A JP H0666375 B2 JPH0666375 B2 JP H0666375B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- arm
- cassette
- roller
- contact portion
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- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハ搬送方法に係り、特にウェハをクリーン
搬送するのに好敵なウェハ搬送方法に関するものであ
る。
搬送するのに好敵なウェハ搬送方法に関するものであ
る。
従来の搬送方法は、例えば、電子材料、１９８５年３
月、第６４頁から第６９頁に論じられた“反応性イオン
エッチング装置”の第４図に記載されているように、カ
セット内からのウェハのアンロードをアームによって行
なうようになっており、パーティクル発生がおきないよ
うに注意されたものがある。
月、第６４頁から第６９頁に論じられた“反応性イオン
エッチング装置”の第４図に記載されているように、カ
セット内からのウェハのアンロードをアームによって行
なうようになっており、パーティクル発生がおきないよ
うに注意されたものがある。
上記従来技術は、カセット内からアーム上にウェハを載
置する際に、アーム上でのウェハの位置決めについて配
慮されておらず、このため、あらかじめ、カセット内で
ウェハの位置を正確に決める必要がある。したがって、
カセット内に収納されたウェハのオリエンテーションフ
ラット（以下、「オリフラ」という。）の方向がまちま
ちの場合は、カセット内でのウェハ収納位置がずれて、
ウェハ端部が不揃いとなるので、このような装置では通
常、カセット内でオリフラを合わせ、ウェハの収納位置
を揃える作業を行なう。この作業は、カセット内にウェ
ハを収納した状態でウェハを回転させるため、ウェハ収
納溝部とのこすれによってパーティクルが発生してウェ
ハに付着したり、ウェハを回転させるローラに発生した
パーティクルが付着して、これがさらにウェハに付着し
たりして、ウェハの歩留まりを悪くするという問題があ
った。
置する際に、アーム上でのウェハの位置決めについて配
慮されておらず、このため、あらかじめ、カセット内で
ウェハの位置を正確に決める必要がある。したがって、
カセット内に収納されたウェハのオリエンテーションフ
ラット（以下、「オリフラ」という。）の方向がまちま
ちの場合は、カセット内でのウェハ収納位置がずれて、
ウェハ端部が不揃いとなるので、このような装置では通
常、カセット内でオリフラを合わせ、ウェハの収納位置
を揃える作業を行なう。この作業は、カセット内にウェ
ハを収納した状態でウェハを回転させるため、ウェハ収
納溝部とのこすれによってパーティクルが発生してウェ
ハに付着したり、ウェハを回転させるローラに発生した
パーティクルが付着して、これがさらにウェハに付着し
たりして、ウェハの歩留まりを悪くするという問題があ
った。
本発明の目的は、オリフラ合せによる位置決めを行なう
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことによって、個々にウェハの位置決めを
確実に行なうとともに、パーティクルの発生を押えて、
信頼性が高くクリーンな搬送を行うことのできるウェハ
搬送方法を提供することにある。
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことによって、個々にウェハの位置決めを
確実に行なうとともに、パーティクルの発生を押えて、
信頼性が高くクリーンな搬送を行うことのできるウェハ
搬送方法を提供することにある。
上記目的は、カセット内からウェハを受け取り、該ウェ
ハをアーム上に載置して搬送するウェハ搬送方法におい
て、ウェハの円周側面に沿った円弧の弦幅を少なくとも
オリフラの幅よりも広くした円弧状のウェハ当接部を、
アームの根元側のウェハ載置面の端部に設け、該ウェハ
当接部を設けたアームをカセット内のウェハ下面位置に
挿入し、アームがカセット内のウェハ下面位置で、ウェ
ハ当接部の反対側に所定間隔で配置された２個以上のロ
ーラを有したウェハ押出手段によるローラの押し出しに
よって、アーム上に載置するカセット内のウェハを、ア
ームの先端側からウェハ当接部に押し当て、該押し当て
によって生じるウェハ当接部とローラとの相互調心作用
を用いてウェハのオリフラの位置に関係なくウェハをア
ーム上で位置決めし、ウェハをアーム上に載置して、ア
ームによりウェハを搬送することにより、達成される。
ハをアーム上に載置して搬送するウェハ搬送方法におい
て、ウェハの円周側面に沿った円弧の弦幅を少なくとも
オリフラの幅よりも広くした円弧状のウェハ当接部を、
アームの根元側のウェハ載置面の端部に設け、該ウェハ
当接部を設けたアームをカセット内のウェハ下面位置に
挿入し、アームがカセット内のウェハ下面位置で、ウェ
ハ当接部の反対側に所定間隔で配置された２個以上のロ
ーラを有したウェハ押出手段によるローラの押し出しに
よって、アーム上に載置するカセット内のウェハを、ア
ームの先端側からウェハ当接部に押し当て、該押し当て
によって生じるウェハ当接部とローラとの相互調心作用
を用いてウェハのオリフラの位置に関係なくウェハをア
ーム上で位置決めし、ウェハをアーム上に載置して、ア
ームによりウェハを搬送することにより、達成される。
アームの当接部をウェハの円周に沿った円弧状とし、ロ
ーラの配置を当接部の反対側に置き、しかも円弧の中心
線から両側に少なくとも円弧端部にオリフラの一端を揃
えて円弧部にウェハを当接したときのオリフラの他端と
円弧の中心線との最短距離よりも広い位置でローラとウ
ェハとが接するように配置し、アームをカセット内のウ
ェハ下面位置に挿入し、ウェハ押出手段によるローラの
押し出しによりウェハを押し出し、ウェハをアームの当
接部に押し当てることにより、オリフラの位置がどこに
あってもローラと当接部との相互調心作用によって、ウ
ェハが所定の位置に位置決めされ、その後ウェハ上に載
置して搬送するようにしているので、ウェハが１枚毎に
確実にアーム上に位置決めされるとともに、カセット内
でのウェハのこすれが少なくパーティクルの発生を押え
られ、信頼性が高くクリーンな搬送が行なえる。
ーラの配置を当接部の反対側に置き、しかも円弧の中心
線から両側に少なくとも円弧端部にオリフラの一端を揃
えて円弧部にウェハを当接したときのオリフラの他端と
円弧の中心線との最短距離よりも広い位置でローラとウ
ェハとが接するように配置し、アームをカセット内のウ
ェハ下面位置に挿入し、ウェハ押出手段によるローラの
押し出しによりウェハを押し出し、ウェハをアームの当
接部に押し当てることにより、オリフラの位置がどこに
あってもローラと当接部との相互調心作用によって、ウ
ェハが所定の位置に位置決めされ、その後ウェハ上に載
置して搬送するようにしているので、ウェハが１枚毎に
確実にアーム上に位置決めされるとともに、カセット内
でのウェハのこすれが少なくパーティクルの発生を押え
られ、信頼性が高くクリーンな搬送が行なえる。
以下、本発明の一実施例を第１図〜第８図により説明す
る。
る。
第１図にウェハ搬送装置の全体構成を示し、この場合は
ウェハを収納したカセット内からウェハを搬送する場合
について述べる。カセット載置台６は、ハウジング１７
内に設けた軸受１６によって軸方向に移動可能に案内支
持された軸１８の上部に取り付けられて、ウェハ２を収
納したカセット１を上面に載置するようになっている。
ウェハを収納したカセット内からウェハを搬送する場合
について述べる。カセット載置台６は、ハウジング１７
内に設けた軸受１６によって軸方向に移動可能に案内支
持された軸１８の上部に取り付けられて、ウェハ２を収
納したカセット１を上面に載置するようになっている。
軸１８の下部には雌ねじ部が設けられ、ベルト９および
プーリ８，１４を介してモータ１５によって駆動される
ねじ軸７が係合してある。プーリ８はねじ軸の下部に取
り付けてある。
プーリ８，１４を介してモータ１５によって駆動される
ねじ軸７が係合してある。プーリ８はねじ軸の下部に取
り付けてある。
プーリ１４を取り付けたモータ１５のモータ軸には、ス
リット板１０，１１が取り付けてあり、スリット板１
０，１１にはセンサ１２，１３が設けてある。
リット板１０，１１が取り付けてあり、スリット板１
０，１１にはセンサ１２，１３が設けてある。
カセット台６の上部で、カセット１内の最下位のウェハ
２より下にウェハ検出センサ５を位置させて設け、該ウ
ェハ２とウェハ検出センサ５との間に図示しない駆動装
置によって出し入れ可能なアーム３を設け、前記ウェハ
２の反アーム３側にローラ２２を設けている。この場
合、ローラ２２は、軸受２１によってウェハ２側へ移動
可能に案内され、板ばね２０を介してエアーシリンダ１
９に連結してある。板ばね２０は衝撃吸収ならびに過荷
重防止の役目を行う。なお、この場合、エアーシリンダ
１９と板ばね２０と軸受２１とローラ２２とによってウ
ェハ押出手段が形成される。
２より下にウェハ検出センサ５を位置させて設け、該ウ
ェハ２とウェハ検出センサ５との間に図示しない駆動装
置によって出し入れ可能なアーム３を設け、前記ウェハ
２の反アーム３側にローラ２２を設けている。この場
合、ローラ２２は、軸受２１によってウェハ２側へ移動
可能に案内され、板ばね２０を介してエアーシリンダ１
９に連結してある。板ばね２０は衝撃吸収ならびに過荷
重防止の役目を行う。なお、この場合、エアーシリンダ
１９と板ばね２０と軸受２１とローラ２２とによってウ
ェハ押出手段が形成される。
アーム３の根元側には第２図に示すように、ウェハ２の
径に合わせた円弧状の当接部４が設けてあり、円弧状の
弦幅Ｌ１はウェハ２のオリフラの幅Ｌより大きくしてあ
る。また、アーム３のウェハ載置面には、この場合、す
べり防止ならびにウェハとの接触面積を少なくするよう
に、シリコンゴム系でなるウェハ支持部材２３が３か所
取り付けてある。
径に合わせた円弧状の当接部４が設けてあり、円弧状の
弦幅Ｌ１はウェハ２のオリフラの幅Ｌより大きくしてあ
る。また、アーム３のウェハ載置面には、この場合、す
べり防止ならびにウェハとの接触面積を少なくするよう
に、シリコンゴム系でなるウェハ支持部材２３が３か所
取り付けてある。
ローラ２２は第２図に示すように、当接部４の反対側に
位置し、当接部４の円弧の中心線から両側に少なくとも
円弧端部にオリフラの一端を揃えて円弧部にウェハを当
接したときのオリフラの他端と円弧の中心線との最短距
離Ｌ２よりも広い距離Ｌ３でローラ２２とウェハ２とが
接し、中心線から接点までの距離がＬ３となるように配
置してある。この場合、ローラ２２は２個設けてある。
材質はパーティクルの発生を防ぐ観点から４フッ化エチ
レン樹脂，ポリアセタール樹脂，ポリィミド樹脂等の樹
脂類が望ましい。
位置し、当接部４の円弧の中心線から両側に少なくとも
円弧端部にオリフラの一端を揃えて円弧部にウェハを当
接したときのオリフラの他端と円弧の中心線との最短距
離Ｌ２よりも広い距離Ｌ３でローラ２２とウェハ２とが
接し、中心線から接点までの距離がＬ３となるように配
置してある。この場合、ローラ２２は２個設けてある。
材質はパーティクルの発生を防ぐ観点から４フッ化エチ
レン樹脂，ポリアセタール樹脂，ポリィミド樹脂等の樹
脂類が望ましい。
上記のように構成された装置による動作を説明する。第
１図において、図示しない制御装置によりモータ１５を
回転させて、ねじ軸７を回し軸１８を下方向へ移動させ
て、カセット載置台６上のカセット１を降下させると、
カセット１内の最下位に収納されたウェハ２がウェハ検
出センサ５に近づく。
１図において、図示しない制御装置によりモータ１５を
回転させて、ねじ軸７を回し軸１８を下方向へ移動させ
て、カセット載置台６上のカセット１を降下させると、
カセット１内の最下位に収納されたウェハ２がウェハ検
出センサ５に近づく。
ウェハ２が所定の位置、すなわち、アーム３が挿入でき
る位置まで下降すると、ウェハ検出センサ５がこれを検
出し制御装置に信号を送って、モータ１５を停止させ
る。
る位置まで下降すると、ウェハ検出センサ５がこれを検
出し制御装置に信号を送って、モータ１５を停止させ
る。
この位置で、制御装置によりアーム３をカセット１内へ
挿入し、ウェハ２の下部に位置させる。このときのウェ
ハ２とアーム３との関係を第３図に示す。カセット１は
第３図に示すように、最下部のウェハ２ａとアーム３の
ウェハ支持部材２３との間に隙間δを有するように止め
られ、アーム３が隙間δをもって挿入される。このと
き、ウェハ２ａが位置ずれして、カセット１内からはみ
出していても、アーム３をカセット１内へ挿入させるこ
とで、カセット１内へウェハ２ａを押し込む。また、ア
ーム３を挿入した段階ではウェハ２ａおよび上部のウェ
ハ２ｂは、ピッチＰをもってカセット１内の溝部に載置
して収納されている。
挿入し、ウェハ２の下部に位置させる。このときのウェ
ハ２とアーム３との関係を第３図に示す。カセット１は
第３図に示すように、最下部のウェハ２ａとアーム３の
ウェハ支持部材２３との間に隙間δを有するように止め
られ、アーム３が隙間δをもって挿入される。このと
き、ウェハ２ａが位置ずれして、カセット１内からはみ
出していても、アーム３をカセット１内へ挿入させるこ
とで、カセット１内へウェハ２ａを押し込む。また、ア
ーム３を挿入した段階ではウェハ２ａおよび上部のウェ
ハ２ｂは、ピッチＰをもってカセット１内の溝部に載置
して収納されている。
この状態で、第１図および第４図に示すように、ローラ
２２が、この場合、制御装置によって制御されるエアー
シリンダ１９の収縮動作により板ばね２０を介してアー
ム３側に移動し、ウェハ２ａをアーム３の根元側へ押し
出す。これにより、ウェハ２ａはアーム３の当接部４に
当たって、アーム３に対し位置決めされる。このとき、
ウェハ２ａはカセット１内の溝部に支持されて移動す
る。
２２が、この場合、制御装置によって制御されるエアー
シリンダ１９の収縮動作により板ばね２０を介してアー
ム３側に移動し、ウェハ２ａをアーム３の根元側へ押し
出す。これにより、ウェハ２ａはアーム３の当接部４に
当たって、アーム３に対し位置決めされる。このとき、
ウェハ２ａはカセット１内の溝部に支持されて移動す
る。
この位置決めされる状態を第６図ないし第８図により説
明する。第６図の（ａ）〜（ｃ）は、アーム３の円弧部
の中心とずれてカセット内に収まっているウェハ２をロ
ーラ２２でアーム３の当接部４に押し当てる過程を示し
ている。まず、（ａ）に示すように、この場合、ローラ
２２ｂがウェハ２に当たってアーム３側へ押し、次に
（ｂ）に示すように、この場合、当接部の一端にウェハ
２の円周側面が当たって、ローラ２２ｂをさらに押すこ
とによってウェハ２と当接部４の接した点を中心に、こ
の場合、右回転して（ｃ）に示すように、ウェハ２は当
接部４に収められる。
明する。第６図の（ａ）〜（ｃ）は、アーム３の円弧部
の中心とずれてカセット内に収まっているウェハ２をロ
ーラ２２でアーム３の当接部４に押し当てる過程を示し
ている。まず、（ａ）に示すように、この場合、ローラ
２２ｂがウェハ２に当たってアーム３側へ押し、次に
（ｂ）に示すように、この場合、当接部の一端にウェハ
２の円周側面が当たって、ローラ２２ｂをさらに押すこ
とによってウェハ２と当接部４の接した点を中心に、こ
の場合、右回転して（ｃ）に示すように、ウェハ２は当
接部４に収められる。
なお、例えば、第７図に示すようにウェハ２のオリフラ
が当接部４の円弧部分に掛かっている場合には、オリフ
ラの角と当接部４との接点Ｏを中心に、右回りのモーメ
ントＦ１ ２と左回りのモーメントＦ１ １とが掛か
り、この場合Ｆ１ １＜Ｆ１ ２であるため、ウェハ２
は接点Ｏを中心に右回転しようとするが、この場合、ウ
ェハ２の中心が接点Ｏとローラ２２ａとを結ぶ線よりも
Ｏ側から見て左側にある（すなわち、ウェハ２が接点Ｏ
を中心として右回転しようとした場合、接点Ｏを中心と
する半径である接点Ｏとローラ２２ａとを結ぶ距離が段
々長くなる）ので、ウェハ２の右回転運動はローラ２２
ａに拘束されて回転できないので、当接部４の円弧の中
心とウェハ２の中心とが一致して、ウェハ２を位置決め
できる。なお、オリフラが反対側に位置する場合は、力
の作用関係が逆になるだけで、同様に位置決めできる。
が当接部４の円弧部分に掛かっている場合には、オリフ
ラの角と当接部４との接点Ｏを中心に、右回りのモーメ
ントＦ１ ２と左回りのモーメントＦ１ １とが掛か
り、この場合Ｆ１ １＜Ｆ１ ２であるため、ウェハ２
は接点Ｏを中心に右回転しようとするが、この場合、ウ
ェハ２の中心が接点Ｏとローラ２２ａとを結ぶ線よりも
Ｏ側から見て左側にある（すなわち、ウェハ２が接点Ｏ
を中心として右回転しようとした場合、接点Ｏを中心と
する半径である接点Ｏとローラ２２ａとを結ぶ距離が段
々長くなる）ので、ウェハ２の右回転運動はローラ２２
ａに拘束されて回転できないので、当接部４の円弧の中
心とウェハ２の中心とが一致して、ウェハ２を位置決め
できる。なお、オリフラが反対側に位置する場合は、力
の作用関係が逆になるだけで、同様に位置決めできる。
また、例えば、第８図に示すようにウェハ２のオリフラ
がローラ２２ａ，２２ｂ部に傾いてある場合には、ロー
ラ２２ｂのみがウェハ２に作用し、その力Ｆ２はウェハ
２と円弧部とが接した位置に作用するので、ウェハ２の
中心から作用点がずれていても、ウェハ２を円弧部に押
し当てる方の力が強く、ウェハ２を回転させるまでには
至らないので、当接部４の円弧の中心とウェハ２の中心
とを一致させて位置決めできる。
がローラ２２ａ，２２ｂ部に傾いてある場合には、ロー
ラ２２ｂのみがウェハ２に作用し、その力Ｆ２はウェハ
２と円弧部とが接した位置に作用するので、ウェハ２の
中心から作用点がずれていても、ウェハ２を円弧部に押
し当てる方の力が強く、ウェハ２を回転させるまでには
至らないので、当接部４の円弧の中心とウェハ２の中心
とを一致させて位置決めできる。
次に、ウェハ２ａかアーム３に対して位置決めされた後
は第５図に示すように、ローラ２２を元の位置に戻しウ
ェハ２ａから離して、カセット載置台６を移動量Ｓだけ
下降させる。これにより、アーム３のウェハ支持部材２
３上にウェハ２ａが載置される。その後は、アーム３を
移動させてウェハ２ａをカセット１内から搬出する。な
お、カセット載置台６を下降させる移動量Ｓの制御は、
第１図に示すモータ１５の回転をセンサ１２，１３で検
出して、検出信号を制御装置に送り、制御装置でモータ
１５の回転量を積算してカセット載置台６の移動量に換
算し、モータ１５を制御して行なわれる。
は第５図に示すように、ローラ２２を元の位置に戻しウ
ェハ２ａから離して、カセット載置台６を移動量Ｓだけ
下降させる。これにより、アーム３のウェハ支持部材２
３上にウェハ２ａが載置される。その後は、アーム３を
移動させてウェハ２ａをカセット１内から搬出する。な
お、カセット載置台６を下降させる移動量Ｓの制御は、
第１図に示すモータ１５の回転をセンサ１２，１３で検
出して、検出信号を制御装置に送り、制御装置でモータ
１５の回転量を積算してカセット載置台６の移動量に換
算し、モータ１５を制御して行なわれる。
以上説明した動作を繰り返し、カセット１内のウェハ２
を順次下から搬出する。
を順次下から搬出する。
なお、アーム３の当接部４の高さは、第５図に示すよう
に、ウェハ２ａをアーム３上に載置したときに、上部の
ウェハ２ｂが位置ずれしてカセット１内からはみ出して
いる場合でも、上部のウェハ２ｂに当たらないように隙
間α１を有するようにしてある。当接部４の高さＨとウ
ェハ２ａ，２ｂとは次式の関係に設定する。なお、第５
図において、２ｂは移動後の上部ウエハを示し、２ｂ′
は移動前の上部ウェハを示す。２ａは移動後の下部ウェ
ハを示し、２ａ′は移動前の下部ウェハを示し、２ａ″
は下部ウェハがアーム３上に載置されずそのまま下降し
たと仮定した場合の位置を示す。
に、ウェハ２ａをアーム３上に載置したときに、上部の
ウェハ２ｂが位置ずれしてカセット１内からはみ出して
いる場合でも、上部のウェハ２ｂに当たらないように隙
間α１を有するようにしてある。当接部４の高さＨとウ
ェハ２ａ，２ｂとは次式の関係に設定する。なお、第５
図において、２ｂは移動後の上部ウエハを示し、２ｂ′
は移動前の上部ウェハを示す。２ａは移動後の下部ウェ
ハを示し、２ａ′は移動前の下部ウェハを示し、２ａ″
は下部ウェハがアーム３上に載置されずそのまま下降し
たと仮定した場合の位置を示す。
Ｐ−（α０＋α１）＜Ｈ＜δ……（１） ここで、 Ｈ：ウェハ支持部材２３上面からの当接部４の高さ Ｐ：カセット１内のウェハ収納部溝ピッチ δ：アーム３挿入時のウェハ支持部材２３上面からウェ
ハ２ａ下面の隙間 α０：アーム３上へウェハ２ａを載置するときのウェハ
２ａの移動量（α０＝Ｓ−δ） α１：カセット１移動後のウェハ２ｂ下面と当接部４上
面との最小隙間 Ｓ：アーム３上へウェハ２ａを載置するときのカセット
１の移動量 である。
ハ２ａ下面の隙間 α０：アーム３上へウェハ２ａを載置するときのウェハ
２ａの移動量（α０＝Ｓ−δ） α１：カセット１移動後のウェハ２ｂ下面と当接部４上
面との最小隙間 Ｓ：アーム３上へウェハ２ａを載置するときのカセット
１の移動量 である。
以上、本一実施例によれば、アーム３に設けた当接部４
に所定の間隔で設けたローラ２２によってウェハ２を押
し当てることにより、ウェハ２の搬出ごとにアーム３に
対して所定の位置にウェハ２を位置決めすることがで
き、また、カセット１内でウェハ２をずらす量が少ない
ので、パーティクルの発生を押えることができ、信頼性
が高くクリーンな搬出を行なうことができる。
に所定の間隔で設けたローラ２２によってウェハ２を押
し当てることにより、ウェハ２の搬出ごとにアーム３に
対して所定の位置にウェハ２を位置決めすることがで
き、また、カセット１内でウェハ２をずらす量が少ない
ので、パーティクルの発生を押えることができ、信頼性
が高くクリーンな搬出を行なうことができる。
また、ローラ２２によるウェハ２の押し出しを、カセッ
ト１の溝部にウェハ２が載置されているときに行なうの
で、ウェハ２とカセット１の溝部との接触が少なくパー
ティクルの発生を減ずることができる。
ト１の溝部にウェハ２が載置されているときに行なうの
で、ウェハ２とカセット１の溝部との接触が少なくパー
ティクルの発生を減ずることができる。
また、ウェハ２の押し出しにローラ２２を用いているた
め、ウェハ２とローラ２２との接触がころがり接触とな
り、パーティクルの発生が極めて少なくなる。
め、ウェハ２とローラ２２との接触がころがり接触とな
り、パーティクルの発生が極めて少なくなる。
また、アーム３のウェハ２の載置部にすべり止めのウェ
ハ支持部材２３を取り付けているので、位置決めされた
ウェハ２をカセット１から搬出する際に、ウェハ２がず
れることがない。
ハ支持部材２３を取り付けているので、位置決めされた
ウェハ２をカセット１から搬出する際に、ウェハ２がず
れることがない。
さらに、ローラ２２とローラ２２を動かすエアーシリン
ダ１９との間に板ばね２０を介しているので、ウェハ２
に強い衝撃を与えることがなく、ウェハ２の損傷を防ぐ
ことができる。板ばね２０は衝撃を吸収できるものであ
れば、他のものに置き換えられる。
ダ１９との間に板ばね２０を介しているので、ウェハ２
に強い衝撃を与えることがなく、ウェハ２の損傷を防ぐ
ことができる。板ばね２０は衝撃を吸収できるものであ
れば、他のものに置き換えられる。
なお、本一実施例ではカセット１を下降させてウェハ２
をアーム３上に載置する構成としていたが、アーム３を
上昇させてウェハ２を載置するようにしても良い。
をアーム３上に載置する構成としていたが、アーム３を
上昇させてウェハ２を載置するようにしても良い。
また、本一実施例はカセット内からウェハを搬出する場
合について述べたが、ウェハの位置決めを行なって搬送
するものとしてはこれに限られるものではない。
合について述べたが、ウェハの位置決めを行なって搬送
するものとしてはこれに限られるものではない。
本発明によれば、オリフラ合せによる位置決めを行なう
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことができ、個々にウェハの位置決めを確
実に行なうことができるとともに、パーティクルの発生
を押えることができるので、信頼性が高くクリーンな搬
送を行なうことができるという効果がある。
ことなく、アーム上にウェハを載置する間に簡単に位置
決めを行なうことができ、個々にウェハの位置決めを確
実に行なうことができるとともに、パーティクルの発生
を押えることができるので、信頼性が高くクリーンな搬
送を行なうことができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
縦断面図、第２図は第１図をＡ−Ａから見た平面図、第
３図から第５図はウェハとアームとの位置関係を示す縦
断面図、第６図から第８図はウェハの位置決めの様子を
示す平面図である。 １……カセット、２……ウェハ、３……アーム、４……
当接部、５……ウェハ検出センサ、６……カセット載置
台、１９……エアーシリンダ、２２……ローラ
縦断面図、第２図は第１図をＡ−Ａから見た平面図、第
３図から第５図はウェハとアームとの位置関係を示す縦
断面図、第６図から第８図はウェハの位置決めの様子を
示す平面図である。 １……カセット、２……ウェハ、３……アーム、４……
当接部、５……ウェハ検出センサ、６……カセット載置
台、１９……エアーシリンダ、２２……ローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坪根 恒彦 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸工場内 (72)発明者 川原 博宣 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (56)参考文献 特開 昭50−1639（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−273441（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−41079（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−107140（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−2135（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】カセット内からウェハを受け取り、該ウェ
ハをアーム上に載置して搬送するウェハ搬送方法におい
て、 前記ウェハの円周側面に沿った円弧の弦幅を少なくとも
オリエンテーションフラットの幅よりも広くした円弧状
のウェハ当接部を、前記アームの根元側のウェハ載置面
の端部に設け、該ウェハ当接部を設けた前記アームを前
記カセット内のウェハ下面位置に挿入し、 前記アームが前記カセット内のウェハ下面位置で、前記
ウェハ当接部の反対側に所定間隔で配置された２個以上
のローラを有したウェハ押出手段による前記ローラの押
し出しによって、前記アーム上に載置する前記カセット
内のウェハを、前記アームの先端側から前記ウェハ当接
部に押し当て、 該押し当てによって生じる前記ウェハ当接部と前記ロー
ラとの相互調心作用を用いて前記ウェハのオリエンテー
ションフラットの位置に関係なく前記ウェハを前記アー
ム上で位置決めし、 前記ウェハを前記アーム上に載置して、前記アームによ
り前記ウェハを搬送することを特徴とするウェハ搬送方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7405387A JPH0666375B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ウエハ搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7405387A JPH0666375B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ウエハ搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63241948A JPS63241948A (ja) | 1988-10-07 |
| JPH0666375B2 true JPH0666375B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=13536060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7405387A Expired - Lifetime JPH0666375B2 (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ウエハ搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666375B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5884624B2 (ja) * | 2012-05-02 | 2016-03-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、調整方法及び記憶媒体 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS501639A (ja) * | 1973-05-07 | 1975-01-09 | ||
| JPS5441079A (en) * | 1977-09-08 | 1979-03-31 | Kobatoron Kk | Device for inspecting semiconductor |
| JPS592135U (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-09 | 株式会社東芝 | ウエハ回転装置 |
| JPS592135A (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-07 | Nec Corp | デ−タのブロツク転送方式 |
| JPS59107140A (ja) * | 1982-12-11 | 1984-06-21 | Toyotomi Kogyo Co Ltd | 風呂釜等の構造 |
| JPS59107140U (ja) * | 1982-12-29 | 1984-07-19 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 半導体ウエ−ハ移送装置 |
| JPS61273441A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-12-03 | Canon Inc | ウエハ搬送装置 |
| JPH0318435Y2 (ja) * | 1985-09-10 | 1991-04-18 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP7405387A patent/JPH0666375B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63241948A (ja) | 1988-10-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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