JP5868226B2 - ガルバノスキャナ - Google Patents
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Description
本発明の目的は、回転ミラーが大きくなっても、応答特性の低下を抑制することが可能なガルバノスキャナを提供することである。
回転軸と、
前記回転軸に取り付けられ、前記回転軸の回転中心線に平行な反射面を有し、前記反射面の平面形状は、前記回転中心線に関して非対称であり、前記反射面の面内方向に関して、重心が前記回転中心線と重なる位置にある回転ミラーと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記回転軸への取り付け箇所から前記回転中心線に沿って先端に向かって伸び、先端に向かって細くなる第1の補強リブと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記第1の補強リブから枝分かれし、前記回転中心線に対して垂直な方向から、前記回転ミラーの先端の方に傾いた方向に伸びる複数の第2の補強リブと
を有し、
前記回転中心線を中心として、前記反射面の一方の第1の領域は、他方の第2の領域より広く、
前記第1の領域と前記第2の領域との間で、前記第2の補強リブの本数、高さ、及び長さの少なくとも1つを異ならせることにより、前記反射面の面内方向に関して、前記回転ミラーの重心を前記回転中心線に重ねているガルバノスキャナが提供される。
図1に、実施例1によるガルバノスキャナを用いたレーザドリルの概略図を示す。レーザ光源10から出射したレーザビームが、ベンディングミラー11、1段目のガルバノスキャナ12、2段目のガルバノスキャナ13、及びfθレンズ14を経由して、加工対象物15に入射する。なお、必要に応じて、ビームエキスパンダ、マスク、レンズ等が配置される。加工対象物15の表面をxy面とするxy直交座標系を定義する。
は、回転中心線31に対して反対方向に傾く。
まれて回転軸21に固定されている。回転ミラー20と固定具24とは、例えば接着剤により相互に固定される。背面20Bに、第1の補強リブ41が形成されている。
図7A及び図7Bに、それぞれ実施例2によるガルバノスキャナの回転ミラーの正面図及び背面図を示す。以下、上記実施例1によるガルバノスキャナとの相違点について説明し、同一の構成については説明を省略する。
例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
11 ベンディングミラー
12 1段目のガルバノスキャナ
13 2段目のガルバノスキャナ
14 fθレンズ
15 加工対象物
20 回転ミラー
20A 反射面
20B 背面
21 回転軸
22 エンコーダ
23 モータ
24 固定具
26、27 軸受
30、30A、30B ビーム断面
31 回転中心線
41 第1の補強リブ
42 第2の補強リブ
43 把持部
Claims (3)
- 回転軸と、
前記回転軸に取り付けられ、前記回転軸の回転中心線に平行な反射面を有し、前記反射面の平面形状は、前記回転中心線に関して非対称であり、前記反射面の面内方向に関して、重心が前記回転中心線と重なる位置にある回転ミラーと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記回転軸への取り付け箇所から前記回転中心線に沿って先端に向かって伸び、先端に向かって細くなる第1の補強リブと、
前記回転ミラーの背面に形成され、前記第1の補強リブから枝分かれし、前記回転中心線に対して垂直な方向から、前記回転ミラーの先端の方に傾いた方向に伸びる複数の第2の補強リブと
を有し、
前記回転中心線を中心として、前記反射面の一方の第1の領域は、他方の第2の領域より広く、
前記第1の領域と前記第2の領域との間で、前記第2の補強リブの本数、高さ、及び長さの少なくとも1つを異ならせることにより、前記反射面の面内方向に関して、前記回転ミラーの重心を前記回転中心線に重ねているガルバノスキャナ。 - 前記反射面に垂直な厚さ方向に関して、前記回転ミラーの重心が前記回転中心線と重なる位置にある請求項1に記載のガルバノスキャナ。
- 前記回転ミラーの先端は自由端とされている請求項1または2に記載のガルバノスキャナ。
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