JP3531554B2 - 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 - Google Patents
光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機Info
- Publication number
- JP3531554B2 JP3531554B2 JP29963399A JP29963399A JP3531554B2 JP 3531554 B2 JP3531554 B2 JP 3531554B2 JP 29963399 A JP29963399 A JP 29963399A JP 29963399 A JP29963399 A JP 29963399A JP 3531554 B2 JP3531554 B2 JP 3531554B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- mirror
- motor shaft
- optical mirror
- tension
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速で回転運動を
させる光学ミラーとそれを用いた光学スキャナーおよび
レーザ加工機に関する。
させる光学ミラーとそれを用いた光学スキャナーおよび
レーザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下に従来の技術について説明する。
【０００３】図８には従来の軽量化された光学ミラーの
構造を示すものである。
構造を示すものである。
【０００４】図８において、８１はミラーの反射面、８
２はモーター軸挿入溝、８３はネジ穴である。
２はモーター軸挿入溝、８３はネジ穴である。
【０００５】ミラーをモーター軸（図示せず）に取りつ
ける固定部は、モーター軸挿入溝８２とネジ穴８３から
なる部分を指す。
ける固定部は、モーター軸挿入溝８２とネジ穴８３から
なる部分を指す。
【０００６】８４はミラー面裏面の背骨構造部であり、
８５は肋骨構造の張り、８６は固定部近傍の肋骨構造の
張りである。
８５は肋骨構造の張り、８６は固定部近傍の肋骨構造の
張りである。
【０００７】以上のように構成された光学ミラーについ
て、以下動作について説明する。
て、以下動作について説明する。
【０００８】本図に示した光学ミラーはモーター軸に直
接固定され、モーター（図示せず）の回転角により反射
方向が決定するガルバノスキャナー等に使用される。
接固定され、モーター（図示せず）の回転角により反射
方向が決定するガルバノスキャナー等に使用される。
【０００９】レーザ光や照明光などは反射面８１で反射
され、その形状および面積は入射する光の径と配置され
る光学ミラーの角度および回転角度から一義的に決定さ
れる。
され、その形状および面積は入射する光の径と配置され
る光学ミラーの角度および回転角度から一義的に決定さ
れる。
【００１０】まず、光学ミラーを固定するにはモーター
軸挿入溝８２にモーター軸を挿入し、半円状の押さえリ
ングでモーター軸を挟んでネジ穴部８３にネジを入れ締
めつけて固定する。
軸挿入溝８２にモーター軸を挿入し、半円状の押さえリ
ングでモーター軸を挟んでネジ穴部８３にネジを入れ締
めつけて固定する。
【００１１】一般にモーター軸挿入溝８２はモーター軸
より数μｍ大きい径で切削されている。
より数μｍ大きい径で切削されている。
【００１２】従って、光学ミラーの固定するために挿入
するネジにより、モーター軸挿入溝８２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面８１に対して垂直
方向の応力がネジ穴部８３にかかる。
するネジにより、モーター軸挿入溝８２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面８１に対して垂直
方向の応力がネジ穴部８３にかかる。
【００１３】一方、反射面８１の裏面には背骨構造部８
４と肋骨構造部８５および固定部近傍の肋骨構造の張り
８６を組み合わせた張り構造があり、モーター軸の固定
部とは回転時のねじれに対する剛性を保つ意味から一体
の削り出しになっている。
４と肋骨構造部８５および固定部近傍の肋骨構造の張り
８６を組み合わせた張り構造があり、モーター軸の固定
部とは回転時のねじれに対する剛性を保つ意味から一体
の削り出しになっている。
【００１４】また、背骨構造部８４は、モーター回転に
伴うモーター軸方向の振動の吸収にも寄与している。
伴うモーター軸方向の振動の吸収にも寄与している。
【００１５】さらに肋骨構造部８５および８６の張りは
ミラーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
ミラーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
【００１６】図１１には、図８に示した光学ミラーをモ
ーターに取りつけ、２次元の光学スキャナーを構成した
例を示す。
ーターに取りつけ、２次元の光学スキャナーを構成した
例を示す。
【００１７】本図において、１１１は図８で説明した光
学ミラー、１１２はモーター軸、１１３はモーター部で
あり、位置制御するためのポジションセンサが組み込ま
れている。
学ミラー、１１２はモーター軸、１１３はモーター部で
あり、位置制御するためのポジションセンサが組み込ま
れている。
【００１８】さらに、１１４は入射する光、１１５は所
定の方向に反射された光である。
定の方向に反射された光である。
【００１９】本図に示した２次元光学スキャナーの場
合、図のようにＸ軸とＹ軸の方向に直交して第１スキャ
ナーと第２スキャナーが配置される。
合、図のようにＸ軸とＹ軸の方向に直交して第１スキャ
ナーと第２スキャナーが配置される。
【００２０】本図では、番号末の（ａ）は第１スキャナ
ー、（ｂ）は第２スキャナーとして添え字をして区別し
ている。
ー、（ｂ）は第２スキャナーとして添え字をして区別し
ている。
【００２１】以上のように構成された光学スキャナーに
ついて、以下動作について説明する。
ついて、以下動作について説明する。
【００２２】入射した光１１４は、第１のスキャナーの
光学ミラー１１１（ａ）により第２スキャナーのミラー
１１１（ｂ）面内の所定の位置に向かって反射される。
光学ミラー１１１（ａ）により第２スキャナーのミラー
１１１（ｂ）面内の所定の位置に向かって反射される。
【００２３】この時、第１スキャナーのモーター１１３
（ａ）モーターに組み込まれた位置センサにより光学ミ
ラー１１１（ａ）方向を検出し、位置センサからの信号
をフィードバックして反射する方向を制御する。
（ａ）モーターに組み込まれた位置センサにより光学ミ
ラー１１１（ａ）方向を検出し、位置センサからの信号
をフィードバックして反射する方向を制御する。
【００２４】第２スキャナーに入射した光は、第２スキ
ャナーのモーター１１３（ｂ）に設けられた位置センサ
により光学ミラー１１１（ｂ）の方向を検出し、位置セ
ンサからの信号をフィードバック制御することにより、
反射方向を決めている。
ャナーのモーター１１３（ｂ）に設けられた位置センサ
により光学ミラー１１１（ｂ）の方向を検出し、位置セ
ンサからの信号をフィードバック制御することにより、
反射方向を決めている。
【００２５】このようにして、２次元スキャナーは一定
の方向から入射した光１１４を平面上の任意の点に正確
に誘導することができる。
の方向から入射した光１１４を平面上の任意の点に正確
に誘導することができる。
【００２６】図１２には、図１１に示した光学スキャナ
ーを具備したレーザ加工機の光学系の例を示した。
ーを具備したレーザ加工機の光学系の例を示した。
【００２７】本図において、１２１はレーザ発振器、１
２２はコリメータ、１２３はマスクチェンジャ、１２４
は反射ミラー、１２５は２次元光学スキャナー、１２６
はスキャンレンズ、１２７はワークピース、１２８は２
次元加工テーブルである。
２２はコリメータ、１２３はマスクチェンジャ、１２４
は反射ミラー、１２５は２次元光学スキャナー、１２６
はスキャンレンズ、１２７はワークピース、１２８は２
次元加工テーブルである。
【００２８】以上のように構成されたレーザ加工機につ
いて、以下動作について説明する。
いて、以下動作について説明する。
【００２９】レーザ発振器１２１から出力されたレーザ
光は、コリメータ１２２によりビーム径が変換された
後、マスクチェンジャ１２３上に配置されたマスクに照
射される。
光は、コリメータ１２２によりビーム径が変換された
後、マスクチェンジャ１２３上に配置されたマスクに照
射される。
【００３０】照射されたレーザ光は、その一部がマスク
を通過して、反射ミラー１２４を介して、光学スキャナ
ー１２５に入射して走査方向を制御された後スキャンレ
ンズ１２６により２次元加工テーブル上に置かれている
ワークピース１２７上にマスクの形状が転写結像され、
加工される。
を通過して、反射ミラー１２４を介して、光学スキャナ
ー１２５に入射して走査方向を制御された後スキャンレ
ンズ１２６により２次元加工テーブル上に置かれている
ワークピース１２７上にマスクの形状が転写結像され、
加工される。
【００３１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、ネジを締め上げた時にミラー面に局所的に
歪みが発生し、レーザ加工等にこのような光学ミラーを
用いた光学スキャナーでレーザ光の進路を制御すると、
主加工の穴の外に加工キズが入るという問題点を有して
いた。
の構成では、ネジを締め上げた時にミラー面に局所的に
歪みが発生し、レーザ加工等にこのような光学ミラーを
用いた光学スキャナーでレーザ光の進路を制御すると、
主加工の穴の外に加工キズが入るという問題点を有して
いた。
【００３２】図９には、従来の光学ミラーにモーター軸
を挿入してネジで固定した時のミラー面の歪みを示した
もので、歪みが生じている部分を曲線で表している。
を挿入してネジで固定した時のミラー面の歪みを示した
もので、歪みが生じている部分を曲線で表している。
【００３３】図からも明らかなように、モーター軸挿入
溝８２の横側に配されたネジ部で発生した歪みがミラー
面の裏面外周部に設けられた張りにより、固定部付近の
ミラー面を歪ませていることがわかる。
溝８２の横側に配されたネジ部で発生した歪みがミラー
面の裏面外周部に設けられた張りにより、固定部付近の
ミラー面を歪ませていることがわかる。
【００３４】このような歪みは、軽量化のために一般的
によく使用されているベリリウム素材を用いた光学ミラ
ーの例ではミラー面精度のＰ−Ｖ値で約４μｍにも達
し、比較的波長の長い炭酸ガスレーザの波長に対しても
約２分の１になり、一般に光学的無収差の値である２０
分の１波長の１０倍に達することが、別途干渉計を用い
て測定した結果からわかった。
によく使用されているベリリウム素材を用いた光学ミラ
ーの例ではミラー面精度のＰ−Ｖ値で約４μｍにも達
し、比較的波長の長い炭酸ガスレーザの波長に対しても
約２分の１になり、一般に光学的無収差の値である２０
分の１波長の１０倍に達することが、別途干渉計を用い
て測定した結果からわかった。
【００３５】図１０には、干渉計を用いて測定したミラ
ーの歪みのデータを入力して図１２に示した加工光学系
を用いてレーザ光を転写した時の像面におけるレーザ光
のスポット強度分布の様子をスキャンエリア全体で比較
した様子を示す。
ーの歪みのデータを入力して図１２に示した加工光学系
を用いてレーザ光を転写した時の像面におけるレーザ光
のスポット強度分布の様子をスキャンエリア全体で比較
した様子を示す。
【００３６】図からも明らかなようにスキャンエリアの
外周部では、ビームの対称性が崩れ、主加工のビームの
外に非対称なビームが存在し、さらにスキャンエリアの
４角では３つに分離して各々が相当のビーム強度を有し
ている。このビーム形状は比較的加工閾値の低い樹脂加
工で顕著な加工不良として現れ、現実の加工で主加工穴
の横に加工キズの穴がスキャンエリア外周で発生するこ
とを確認した。
外周部では、ビームの対称性が崩れ、主加工のビームの
外に非対称なビームが存在し、さらにスキャンエリアの
４角では３つに分離して各々が相当のビーム強度を有し
ている。このビーム形状は比較的加工閾値の低い樹脂加
工で顕著な加工不良として現れ、現実の加工で主加工穴
の横に加工キズの穴がスキャンエリア外周で発生するこ
とを確認した。
【００３７】本発明は前記従来の問題点を解決するもの
で、光学ミラーをモーター軸に固定する際のネジ締めの
応力によるミラー面の歪みを低減せしめる光学ミラーの
構造を提供し、スキャンエリア全体で安定したレーザ加
工を実現することを目的とする。
で、光学ミラーをモーター軸に固定する際のネジ締めの
応力によるミラー面の歪みを低減せしめる光学ミラーの
構造を提供し、スキャンエリア全体で安定したレーザ加
工を実現することを目的とする。
【００３８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に請求項１記載の本発明は、光学特性を有する反射面
と、他部材へ取りつけるための固定部と、反射面の裏面
に設けられた張りを備え、前記張りの固定部近傍部分に
切れ込みを設けた光学ミラーを提供するものである。
に請求項１記載の本発明は、光学特性を有する反射面
と、他部材へ取りつけるための固定部と、反射面の裏面
に設けられた張りを備え、前記張りの固定部近傍部分に
切れ込みを設けた光学ミラーを提供するものである。
【００３９】また、請求項２記載の本発明は、モーター
軸に取りつけられ回転する光学ミラーにおいて、前記光
学ミラーは光学特性を有する反射面と、前記光学ミラー
をモーター軸に取りつけるための固定部と、反射面の裏
側中心に設けられた背骨および肋骨状に伸びた張りから
構成され、かつ前記肋骨状に伸びた張りのうち前記固定
部近傍部分の肋骨状張りとミラー裏面中心に配された背
骨部の間に切れ込みを設けた光学ミラーを提供するもの
である。
軸に取りつけられ回転する光学ミラーにおいて、前記光
学ミラーは光学特性を有する反射面と、前記光学ミラー
をモーター軸に取りつけるための固定部と、反射面の裏
側中心に設けられた背骨および肋骨状に伸びた張りから
構成され、かつ前記肋骨状に伸びた張りのうち前記固定
部近傍部分の肋骨状張りとミラー裏面中心に配された背
骨部の間に切れ込みを設けた光学ミラーを提供するもの
である。
【００４０】
【００４１】
【００４２】
【００４３】
【００４４】また、請求項３記載の本発明は、モーター
と、前記モーターのモーター軸に請求項１または２に記
載された光学ミラーを取りつけた光学スキャナーを提供
するものである。
と、前記モーターのモーター軸に請求項１または２に記
載された光学ミラーを取りつけた光学スキャナーを提供
するものである。
【００４５】また、請求項４記載の本発明は、レーザ発
振器と、前記レーザ発振器から出力されるレーザ光の光
路上に請求項３記載の光学スキャナーを配置したレーザ
加工機を提供するものである。
振器と、前記レーザ発振器から出力されるレーザ光の光
路上に請求項３記載の光学スキャナーを配置したレーザ
加工機を提供するものである。
【００４６】
【発明の実施の形態】上記請求項１の構成により、張り
の固定部近傍部分に切れ込みを設けたので、ネジ止めに
よる応力がミラー面に伝達されることを軽減し、ミラー
面の歪みを抑制することができる。
の固定部近傍部分に切れ込みを設けたので、ネジ止めに
よる応力がミラー面に伝達されることを軽減し、ミラー
面の歪みを抑制することができる。
【００４７】上記請求項２の構成により、固定部近傍部
分の肋骨状張りとミラー裏面中心に配された背骨部の間
に切れ込みを設けたので、ネジ止めによる応力がミラー
面に伝達されることを軽減し、ミラー面の歪みを抑制す
ることができる。
分の肋骨状張りとミラー裏面中心に配された背骨部の間
に切れ込みを設けたので、ネジ止めによる応力がミラー
面に伝達されることを軽減し、ミラー面の歪みを抑制す
ることができる。
【００４８】
【００４９】
【００５０】上記請求項３、４の構成により、モーター
と、前記モーターのモーター軸に請求項１または２に記
載された光学ミラーを取りつけたので、ネジ止めによる
応力がミラー面に伝達されることを軽減し、ミラー面の
歪みを抑制した光学ミラーを光学スキャナーに取り付け
ることが可能であり、レーザ加工機において収差の少な
い光の伝送が可能となり、スキャンエリア全体で外周部
分に加工キズの無い安定したレーザ加工が実現できる。
と、前記モーターのモーター軸に請求項１または２に記
載された光学ミラーを取りつけたので、ネジ止めによる
応力がミラー面に伝達されることを軽減し、ミラー面の
歪みを抑制した光学ミラーを光学スキャナーに取り付け
ることが可能であり、レーザ加工機において収差の少な
い光の伝送が可能となり、スキャンエリア全体で外周部
分に加工キズの無い安定したレーザ加工が実現できる。
【００５１】（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態例について、図面を参照しな
がら説明する。
がら説明する。
【００５２】図１に本発明の第１の光学ミラー実施の形
態例を示す。
態例を示す。
【００５３】本図において、１１は図面の裏側に位置す
る光学特性を有する反射面、１２はモーター軸挿入溝、
１３はネジ穴、１４は背骨構造部、１５は肋骨構造の張
り、１６は固定部近傍の肋骨構造の張り、１７は張り１
６の切れこみ部である。
る光学特性を有する反射面、１２はモーター軸挿入溝、
１３はネジ穴、１４は背骨構造部、１５は肋骨構造の張
り、１６は固定部近傍の肋骨構造の張り、１７は張り１
６の切れこみ部である。
【００５４】以上に構成された光学ミラーの例につい
て、図を用いてその動作について説明する。
て、図を用いてその動作について説明する。
【００５５】光学ミラーを固定するにはモーター軸挿入
溝１２にモーター軸（図示せず）を挿入し、半円状の押
さえリング（図示せず）でモーター軸を挟んでネジ穴１
３にネジを入れ締めつけて固定する。
溝１２にモーター軸（図示せず）を挿入し、半円状の押
さえリング（図示せず）でモーター軸を挟んでネジ穴１
３にネジを入れ締めつけて固定する。
【００５６】一般にモーター軸挿入溝１２はモーター軸
より数μｍ大きい径で切削されている。
より数μｍ大きい径で切削されている。
【００５７】従って、光学ミラーを固定するために挿入
するネジにより、モーター軸挿入溝１２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面１１に対して垂直
方向の応力をネジ穴１３に受ける。
するネジにより、モーター軸挿入溝１２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面１１に対して垂直
方向の応力をネジ穴１３に受ける。
【００５８】一方、反射面１１の裏面には背骨構造部１
４と肋骨構造部１５および固定部近傍の肋骨構造の張り
１６を組み合わせた張り構造があり、モーター軸を固定
する光学ミラーの固定部１２ａとは回転時のねじれに対
する剛性を保つ意味から一体の削り出しになっている。
４と肋骨構造部１５および固定部近傍の肋骨構造の張り
１６を組み合わせた張り構造があり、モーター軸を固定
する光学ミラーの固定部１２ａとは回転時のねじれに対
する剛性を保つ意味から一体の削り出しになっている。
【００５９】また、背骨構造部１４は、モーター回転に
伴うモーター軸方向の振動を吸収し、肋骨構造部１５お
よび固定部近傍の肋骨構造の張り１６の張りは光学ミラ
ーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
伴うモーター軸方向の振動を吸収し、肋骨構造部１５お
よび固定部近傍の肋骨構造の張り１６の張りは光学ミラ
ーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
【００６０】１７の張りの切れこみ部は、ネジ止めによ
る応力が反射面１１に伝達されることを軽減し、反射面
１１の歪みを抑制する作用を有している。
る応力が反射面１１に伝達されることを軽減し、反射面
１１の歪みを抑制する作用を有している。
【００６１】図２には、第１の実施の形態例の反射面の
歪みを示しており、歪みが生じている部分を曲線で表し
ている。
歪みを示しており、歪みが生じている部分を曲線で表し
ている。
【００６２】図からも明らかなように、モーター軸挿入
溝１２の横側に配されたネジ穴１３部分で発生した歪み
が、張りの切れこみ１７で遮断され、反射面１１の裏面
外周部に設けられた張りに伝達されることが軽減されて
おり、固定部１２ａ付近の反射面１１の歪みを改善して
いることがわかる。
溝１２の横側に配されたネジ穴１３部分で発生した歪み
が、張りの切れこみ１７で遮断され、反射面１１の裏面
外周部に設けられた張りに伝達されることが軽減されて
おり、固定部１２ａ付近の反射面１１の歪みを改善して
いることがわかる。
【００６３】（参考例）
図３に本発明の第２の光学ミラーの参考例を示す。
【００６４】本図において、３１は図面の裏側に位置す
る光学特性を有する反射面、３２はモーター軸挿入溝、
３３はネジ穴、３４は背骨構造部、３５は肋骨構造の張
り、３７は張りの無い部分で約半周にわたって張りを除
去している。
る光学特性を有する反射面、３２はモーター軸挿入溝、
３３はネジ穴、３４は背骨構造部、３５は肋骨構造の張
り、３７は張りの無い部分で約半周にわたって張りを除
去している。
【００６５】以上に構成された光学ミラーの例につい
て、図を用いてその動作について説明する。
て、図を用いてその動作について説明する。
【００６６】光学ミラーを固定するにはモーター軸挿入
溝３２にモーター軸（図示せず）を挿入し、半円状の押
さえリング（図示せず）でモーター軸を挟んでネジ穴部
３３にネジを入れ締めつけて固定する。
溝３２にモーター軸（図示せず）を挿入し、半円状の押
さえリング（図示せず）でモーター軸を挟んでネジ穴部
３３にネジを入れ締めつけて固定する。
【００６７】一般にモーター軸挿入溝３２はモーター軸
より数μｍ大きい径で切削されている。
より数μｍ大きい径で切削されている。
【００６８】従って、光学ミラーを固定するために挿入
するネジにより、モーター軸挿入溝３２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面３１に対して垂直
方向の応力をネジ穴３３に受ける。
するネジにより、モーター軸挿入溝３２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面３１に対して垂直
方向の応力をネジ穴３３に受ける。
【００６９】一方、反射面３１の裏面には背骨構造部３
４の張り構造があり、モーター軸の固定部３２ａとは回
転時のねじれに対する剛性を保つ意味から一体の削り出
しになっている。
４の張り構造があり、モーター軸の固定部３２ａとは回
転時のねじれに対する剛性を保つ意味から一体の削り出
しになっている。
【００７０】また、背骨構造部３４は、モーター回転に
伴うモーター軸方向の振動を吸収し、肋骨構造部３５は
ミラーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
伴うモーター軸方向の振動を吸収し、肋骨構造部３５は
ミラーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
【００７１】３７の張りの無い部分は、ネジ止めによる
応力が反射面３１に伝達されることを軽減し、反射面３
１の歪みを抑制する作用を有している。
応力が反射面３１に伝達されることを軽減し、反射面３
１の歪みを抑制する作用を有している。
【００７２】図４には、第２の実施の形態例の反射面の
歪みを示しており、歪みが生じた部分を曲線で表してい
る。
歪みを示しており、歪みが生じた部分を曲線で表してい
る。
【００７３】図からも明らかなように、モーター軸挿入
溝３２の横側に配されたネジ穴部分で発生した歪みが、
張りの無い部分３７により遮断され、反射面３１に伝達
されることが軽減されており、固定部３２ａ付近の反射
面３１の歪みが改善していることがわかる。
溝３２の横側に配されたネジ穴部分で発生した歪みが、
張りの無い部分３７により遮断され、反射面３１に伝達
されることが軽減されており、固定部３２ａ付近の反射
面３１の歪みが改善していることがわかる。
【００７４】図７に、固定部近傍の張りの切れこみ長と
反射面の歪みの関係を示した。
反射面の歪みの関係を示した。
【００７５】本図はベリリウム素材の光学ミラーの例で
あるが、約２５ｍｍ以上の光を通過させる光学ミラーの
面精度は通常ヘリウムネオンレーザを用いた干渉計で
１．５波長、約９００ｎｍの平面が得られる。
あるが、約２５ｍｍ以上の光を通過させる光学ミラーの
面精度は通常ヘリウムネオンレーザを用いた干渉計で
１．５波長、約９００ｎｍの平面が得られる。
【００７６】図からも明らかなように固定部近傍の張り
の切れこみ長は１ｍｍ程度でほぼ仕様の範囲に入ってお
り、２ｍｍ以上では研磨による平面度の影響に隠れてし
まいネジ締めによる応力の反射面精度への影響は認めら
れない。
の切れこみ長は１ｍｍ程度でほぼ仕様の範囲に入ってお
り、２ｍｍ以上では研磨による平面度の影響に隠れてし
まいネジ締めによる応力の反射面精度への影響は認めら
れない。
【００７７】従って、固定部近傍の肋骨構造の張り１７
または３７に対して切りこみがあるかないかが直接ミラ
ー面への歪みの伝播に影響している。
または３７に対して切りこみがあるかないかが直接ミラ
ー面への歪みの伝播に影響している。
【００７８】（参考例２）
図５に本発明の光学ミラーの参考例２を示す。
【００７９】本図において、５１は図面の裏側に位置す
る光学特性を有する反射面、５２はモーター軸挿入溝、
５３はネジ穴、５４は背骨構造部、５５は肋骨構造の張
り、５８は取りつけ部分の面を反射面５１に対してほぼ
垂直の角度に設けた固定部である。
る光学特性を有する反射面、５２はモーター軸挿入溝、
５３はネジ穴、５４は背骨構造部、５５は肋骨構造の張
り、５８は取りつけ部分の面を反射面５１に対してほぼ
垂直の角度に設けた固定部である。
【００８０】以上に構成された光学ミラーの例につい
て、図を用いてその動作について説明する。
て、図を用いてその動作について説明する。
【００８１】光学ミラーを固定するにはモーター軸挿入
溝５２にモーター軸（図示せず）を挿入し、半円状の押
さえリング（図示せず）でモーター軸を挟んでネジ穴５
３にネジを入れ締めつけて固定する。
溝５２にモーター軸（図示せず）を挿入し、半円状の押
さえリング（図示せず）でモーター軸を挟んでネジ穴５
３にネジを入れ締めつけて固定する。
【００８２】一般にモーター軸挿入溝５２はモーター軸
より数μｍ大きい径で切削されている。
より数μｍ大きい径で切削されている。
【００８３】従って、光学ミラーを固定するために挿入
するネジにより、モーター軸挿入溝５２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面に対して平行方向
の応力をネジ部に受ける。
するネジにより、モーター軸挿入溝５２の底の部分を線
上に拘束した条件下において、反射面に対して平行方向
の応力をネジ部に受ける。
【００８４】一方、反射面５１の裏面には背骨構造部５
４の張り構造があり、モーター軸の固定部とは回転時の
ねじれに対する剛性を保つ意味から一体の削り出しにな
っている。
４の張り構造があり、モーター軸の固定部とは回転時の
ねじれに対する剛性を保つ意味から一体の削り出しにな
っている。
【００８５】また、背骨構造部５５は、モーター回転に
伴うモーター軸方向の振動を吸収し、肋骨構造部５５は
ミラーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
伴うモーター軸方向の振動を吸収し、肋骨構造部５５は
ミラーの回転時のバタツキ抑制に大きく寄与している。
【００８６】固定部５８の取りつけ部分の面を反射面５
１に対してほぼ垂直の角度で設けたことにより、モータ
ー軸挿入溝５２の底の部分を線上に拘束した条件下にお
いて、ネジ穴５３で発生する応力が反射面５１に対して
平行方向になり、反射面５１に垂直方向の応力を軽減ま
たは無くし、反射面５１の歪みを低減できる。
１に対してほぼ垂直の角度で設けたことにより、モータ
ー軸挿入溝５２の底の部分を線上に拘束した条件下にお
いて、ネジ穴５３で発生する応力が反射面５１に対して
平行方向になり、反射面５１に垂直方向の応力を軽減ま
たは無くし、反射面５１の歪みを低減できる。
【００８７】図６には、第３の実施の形態例の反射面の
歪みを示しており、歪みが生じた部分を曲線で表してい
る。
歪みを示しており、歪みが生じた部分を曲線で表してい
る。
【００８８】図からも明らかなように、モーター軸挿入
溝５２の横側に配されたネジ穴で発生した歪みが反射面
に伝達されていないことがわかる。
溝５２の横側に配されたネジ穴で発生した歪みが反射面
に伝達されていないことがわかる。
【００８９】（実施の形態２）
次に光学スキャナーおよびレーザ加工機に対する実施の
形態例について簡単に説明する。
形態例について簡単に説明する。
【００９０】本発明における光学スキャナーは、上述し
た光学ミラーを用いることが特徴であり、モーターやモ
ーター軸への取りつけ構造は図１１に示した従来のもの
と同じものなので、ここではその説明を省略する。
た光学ミラーを用いることが特徴であり、モーターやモ
ーター軸への取りつけ構造は図１１に示した従来のもの
と同じものなので、ここではその説明を省略する。
【００９１】また、本発明におけるレーザ加工機は、上
述した光学ミラーを用いた光学スキャナーをレーザ発振
器から出力されるレーザ光の光路上に配置させることが
特徴であり、レーザ発振器やその他の構成は図１２に示
した従来の構成と同じものなので、ここではその説明を
省略する。
述した光学ミラーを用いた光学スキャナーをレーザ発振
器から出力されるレーザ光の光路上に配置させることが
特徴であり、レーザ発振器やその他の構成は図１２に示
した従来の構成と同じものなので、ここではその説明を
省略する。
【００９２】以上のように各実施の形態例によれば肋骨
状に伸びた張りのうち固定部近傍部分の肋骨状張りと反
射面裏面中心に配された背骨部の間に切れ込みを設けた
り、固定部の取りつけ部分の面を反射面に対してほぼ垂
直の角度に設けたことにより、ネジを締め上げた時の反
射面が極めて局所的にしか歪まないので、レーザ加工等
にこのような光学ミラーを用いた場合、主加工の穴の外
に加工キズが入るという問題点を解決することができ
る。
状に伸びた張りのうち固定部近傍部分の肋骨状張りと反
射面裏面中心に配された背骨部の間に切れ込みを設けた
り、固定部の取りつけ部分の面を反射面に対してほぼ垂
直の角度に設けたことにより、ネジを締め上げた時の反
射面が極めて局所的にしか歪まないので、レーザ加工等
にこのような光学ミラーを用いた場合、主加工の穴の外
に加工キズが入るという問題点を解決することができ
る。
【００９３】
【発明の効果】以上のように本発明は、肋骨状に伸びた
張りのうち固定部近傍部分の肋骨状張りと反射面裏面中
心に配された背骨部の間に切れ込みを設けたことによ
り、ネジを締め上げた時に反射面が極めて局所的にしか
歪まなく、また歪み自体を低減できるので、安定した加
工品質を有する優れた光学ミラー及びこの光学ミラーを
用いた光学スキャナーとレーザ加工機を実現できるもの
である。
張りのうち固定部近傍部分の肋骨状張りと反射面裏面中
心に配された背骨部の間に切れ込みを設けたことによ
り、ネジを締め上げた時に反射面が極めて局所的にしか
歪まなく、また歪み自体を低減できるので、安定した加
工品質を有する優れた光学ミラー及びこの光学ミラーを
用いた光学スキャナーとレーザ加工機を実現できるもの
である。
【図１】本発明の第１の実施の形態における光学ミラー
の裏面から見た斜視図
の裏面から見た斜視図
【図２】本発明の第１の実施の形態における光学ミラー
の歪みを示す説明図
の歪みを示す説明図
【図３】本発明の参考例における光学ミラーの裏面から
見た斜視図
見た斜視図
【図４】本発明の参考例における光学ミラーの歪みを示
す説明図
す説明図
【図５】本発明の参考例２における光学ミラーの裏面か
ら見た斜視図
ら見た斜視図
【図６】本発明の参考例２における光学ミラーの歪みを
示す説明図
示す説明図
【図７】本発明における固定部近傍の張りの切れこみ長
とミラー面歪みの関係を示す図
とミラー面歪みの関係を示す図
【図８】（ａ）従来の軽量化された光学ミラーの構造を
示す表面から見た斜視図 （ｂ）従来の軽量化された光学ミラーの構造を示す裏面
から見た斜視図
示す表面から見た斜視図 （ｂ）従来の軽量化された光学ミラーの構造を示す裏面
から見た斜視図
【図９】従来の光学ミラーにモーター軸を挿入してネジ
で固定した時のミラー面の歪みを示す説明図
で固定した時のミラー面の歪みを示す説明図
【図１０】光学ミラーの歪みによるスキャンエリア全体
におけるレーザスポットの強度分布を比較する説明図
におけるレーザスポットの強度分布を比較する説明図
【図１１】２次元の光学スキャナーの構成した斜視図
【図１２】光学スキャナーを具備したレーザ加工機の概
要図
要図
１１、３１、５１ 反射面
１２、３２、５２ モーター軸挿入溝
１３、３３、５３ ネジ穴
１４、３４、５４ 背骨構造部
１５、３５、５５ 肋骨構造の張り
１６、３６ 固定部近傍の肋骨構造の張り
１７ 張りの切れこみ部
３７ 張りの無い部分
５８ ミラー面と直角に割ってある固定
部 １１１（ａ） 第１スキャナーの光学ミラー １１１（ｂ） 第２スキャナーの光学ミラー １１２（ａ） 第１スキャナーのモーター軸 １１２（ｂ） 第２スキャナーのモーター軸 １１３（ａ） 第１スキャナーのモーター部 １１３（ｂ） 第２スキャナーのモーター部 １１４ 入射する光 １１５ 所定の方向に反射された光 １２１ レーザ発振器 １２２ コリメータ １２３ マスクチェンジャ １２４ 反射ミラー １２５ ２次元光学スキャナー １２６ スキャンレンズ １２７ ワークピース １２８ ２次元加工テーブル
部 １１１（ａ） 第１スキャナーの光学ミラー １１１（ｂ） 第２スキャナーの光学ミラー １１２（ａ） 第１スキャナーのモーター軸 １１２（ｂ） 第２スキャナーのモーター軸 １１３（ａ） 第１スキャナーのモーター部 １１３（ｂ） 第２スキャナーのモーター部 １１４ 入射する光 １１５ 所定の方向に反射された光 １２１ レーザ発振器 １２２ コリメータ １２３ マスクチェンジャ １２４ 反射ミラー １２５ ２次元光学スキャナー １２６ スキャンレンズ １２７ ワークピース １２８ ２次元加工テーブル
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 5/08
G02B 26/10
G02B 7/18
Claims (4)
- 【請求項１】 光学特性を有する反射面と、他部材へ取
りつけるための固定部と、反射面の裏面に設けられた張
りを備え、前記張りの固定部近傍部分に切れ込みを設け
た光学ミラー。 - 【請求項２】 モーター軸に取りつけられ回転する光学
ミラーにおいて、前記光学ミラーは光学特性を有する反
射面と、前記光学ミラーをモーター軸に取りつけるため
の固定部と、反射面の裏側中心に設けられた背骨および
肋骨状に伸びた張りから構成され、かつ前記肋骨状に伸
びた張りのうち前記固定部近傍部分の肋骨状張りとミラ
ー裏面中心に配された背骨部の間に切れ込みを設けた光
学ミラー。 - 【請求項３】 モーターと、前記モーターのモーター軸
に請求項１または２に記載された光学ミラーを取りつけ
た光学スキャナー。 - 【請求項４】 レーザ発振器と、前記レーザ発振器から
出力されるレーザ光の光路上に請求項３記載の光学スキ
ャナーを配置したレーザ加工機。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29963399A JP3531554B2 (ja) | 1999-10-21 | 1999-10-21 | 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 |
| KR1020000061241A KR100678809B1 (ko) | 1999-10-21 | 2000-10-18 | 광학 미러, 광학 스캐너 및 레이저 가공기 |
| US09/691,250 US6556331B1 (en) | 1999-10-21 | 2000-10-19 | Optical mirror and optical scanner and laser machining apparatus using the same |
| DE60017051T DE60017051T2 (de) | 1999-10-21 | 2000-10-20 | Optischer Spiegel, optischer Abtaster und Laserbearbeitungsvorrichtung |
| TW089122139A TW460353B (en) | 1999-10-21 | 2000-10-20 | Optical mirror and optical scanner and laser machining apparatus using the same |
| EP00122895A EP1094343B1 (en) | 1999-10-21 | 2000-10-20 | Optical mirror, optical scanner and laser machining apparatus using the same |
| US10/231,204 US6633422B2 (en) | 1999-10-21 | 2002-08-30 | Optical mirror and optical scanner and laser machining apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29963399A JP3531554B2 (ja) | 1999-10-21 | 1999-10-21 | 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001116911A JP2001116911A (ja) | 2001-04-27 |
| JP3531554B2 true JP3531554B2 (ja) | 2004-05-31 |
Family
ID=17875129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29963399A Expired - Fee Related JP3531554B2 (ja) | 1999-10-21 | 1999-10-21 | 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6556331B1 (ja) |
| EP (1) | EP1094343B1 (ja) |
| JP (1) | JP3531554B2 (ja) |
| KR (1) | KR100678809B1 (ja) |
| DE (1) | DE60017051T2 (ja) |
| TW (1) | TW460353B (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4771059B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2011-09-14 | エルジー エレクトロニクス インコーポレイティド | 走査装置及びその製作方法 |
| JP4522315B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2010-08-11 | 三菱電機株式会社 | スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 |
| US8057463B2 (en) * | 2006-04-07 | 2011-11-15 | Amo Development, Llc. | Adaptive pattern correction for laser scanners |
| JP4979277B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2012-07-18 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振装置 |
| NZ581823A (en) | 2007-06-12 | 2012-09-28 | Technolines Llc | High speed and high power laser scribing system with a laser, mirror and controller |
| JP4974855B2 (ja) * | 2007-11-09 | 2012-07-11 | 三菱電機株式会社 | レーザ光用光学ミラー |
| US8081362B2 (en) * | 2009-08-12 | 2011-12-20 | Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. | Method and apparatus for stabilizing galvanometer scanner |
| JP5700793B2 (ja) * | 2011-01-20 | 2015-04-15 | 株式会社キーエンス | レーザー加工装置 |
| US8585226B2 (en) * | 2011-07-29 | 2013-11-19 | Cambridge Technology, Inc. | Systems and methods for balancing mirrors in limited rotation motor systems |
| CN103842887B (zh) * | 2011-07-29 | 2017-03-08 | 剑桥技术股份有限公司 | 提供具有和化学蚀刻有关的高硬度和低惯性的镜子的***和方法 |
| JP5868226B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2016-02-24 | 住友重機械工業株式会社 | ガルバノスキャナ |
| KR102435765B1 (ko) * | 2015-09-14 | 2022-08-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 결정화 장치 |
| JP6272587B1 (ja) * | 2017-04-12 | 2018-01-31 | 三菱電機株式会社 | ガルバノミラー、ガルバノミラーを用いたガルバノスキャナ、ガルバノミラーを用いたレーザ加工機及びガルバノミラーの製造方法 |
| DE102017128356A1 (de) | 2017-11-30 | 2019-06-06 | Trumpf Laser Gmbh | Scanspiegel, Spiegelhalter und Scanspiegel-Einheit für ein Laser-Scansystem |
| DE102018205786A1 (de) * | 2018-04-17 | 2019-10-17 | Trumpf Laser Gmbh | Scannerspiegel, Scannereinrichtung und Bestrahlungseinrichtung |
| CN112269261A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-26 | 广州新可激光设备有限公司 | 一种高速往复转动振镜的制造工艺 |
| JP7273780B2 (ja) * | 2020-12-09 | 2023-05-15 | 矢崎総業株式会社 | ヘッドアップディスプレイ装置 |
| DE102022130481A1 (de) | 2022-11-17 | 2024-05-23 | Scanlab Gmbh | Scanspiegeleinheit für eine Laserscanvorrichtung |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2527731A1 (de) * | 1975-06-21 | 1976-12-23 | Eltro Gmbh | Schwingspiegel |
| US4655543A (en) * | 1985-05-08 | 1987-04-07 | General Scanning, Inc. | Mount for attaching an optical element to a rotating shaft |
| US4820911A (en) * | 1986-07-11 | 1989-04-11 | Photographic Sciences Corporation | Apparatus for scanning and reading bar codes |
| DE3625642A1 (de) * | 1986-07-29 | 1988-02-11 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Zweifach gelagerter drehspiegel fuer optische systeme |
| JP2697203B2 (ja) * | 1989-11-24 | 1998-01-14 | 三菱電機株式会社 | 反射鏡 |
| US5091646A (en) * | 1990-05-29 | 1992-02-25 | Kollmorgen Corporation | Integrated thermal imaging system |
| JPH07287184A (ja) * | 1994-04-19 | 1995-10-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | 共振型光偏向器 |
| US6239928B1 (en) * | 1999-09-20 | 2001-05-29 | Donnelly Corporation | Extendable exterior rearview mirror assembly for vehicles |
-
1999
- 1999-10-21 JP JP29963399A patent/JP3531554B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-10-18 KR KR1020000061241A patent/KR100678809B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-10-19 US US09/691,250 patent/US6556331B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-10-20 DE DE60017051T patent/DE60017051T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-10-20 TW TW089122139A patent/TW460353B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-10-20 EP EP00122895A patent/EP1094343B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-08-30 US US10/231,204 patent/US6633422B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100678809B1 (ko) | 2007-02-05 |
| EP1094343A3 (en) | 2003-05-21 |
| EP1094343B1 (en) | 2004-12-29 |
| JP2001116911A (ja) | 2001-04-27 |
| DE60017051T2 (de) | 2005-05-25 |
| US6556331B1 (en) | 2003-04-29 |
| KR20010040117A (ko) | 2001-05-15 |
| EP1094343A2 (en) | 2001-04-25 |
| TW460353B (en) | 2001-10-21 |
| US20020196512A1 (en) | 2002-12-26 |
| DE60017051D1 (de) | 2005-02-03 |
| US6633422B2 (en) | 2003-10-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3531554B2 (ja) | 光学ミラーと光学スキャナーおよびレーザ加工機 | |
| USRE34156E (en) | Scanning optical system for use in a laser beam printer | |
| JP3291906B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| US5805199A (en) | Multi-beam write optical system | |
| US4796965A (en) | Optical scanning device | |
| JPH03116112A (ja) | 走査式光学装置 | |
| JPH07333540A (ja) | レーザ・スキャナ装置 | |
| JPH09211277A (ja) | 光結像装置 | |
| JPH0611660A (ja) | 光ビーム・スキャナおよびこれを使用するシステム | |
| CA1284046C (en) | Wobble correction by two reflections on a facet without bow | |
| JPH0737269A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| US5805363A (en) | Collimating lens unit | |
| JP3105261B2 (ja) | 光ビーム偏向装置 | |
| US7486440B2 (en) | Polarized total internal reflection illumination optical system by rotary annulus light | |
| JPH09288245A (ja) | 光走査装置 | |
| KR100529339B1 (ko) | 광주사장치 | |
| JPH06214182A (ja) | オーバフィル形多面体構造を用いたラスター出力スキャナにおける迷光反射の防止 | |
| JP3255543B2 (ja) | 反射型走査光学系 | |
| JP2000193903A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH03131817A (ja) | 光ビーム走査光学装置 | |
| JPH07174996A (ja) | ラスター出力スキャナーイメージシステム | |
| JP2000227565A (ja) | 反射ミラー固定構造及び反射ミラー光学系 | |
| JPH08334720A (ja) | 走査光学系 | |
| JPH0749454Y2 (ja) | 半導体レ−ザ−パツケ−ジの保持装置 | |
| JP2001296493A (ja) | 光走査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031210 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040210 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040223 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080312 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090312 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100312 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110312 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110312 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120312 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |