JP2010128116A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の光走査装置は、入射光を反射させる反射面を有する可動板と、該可動板を回動可能に軸支するトーション梁と、該トーション梁にねじり方向の駆動力を作用させる駆動部とを具備し、少なくとも、可動板とトーション梁の接続部分付近にリブを形成する。
【選択図】 図2
Description
11;可動板、12;トーション梁、13,21,31,81;リブ、
41;反射面、51;SiO2層、52,53;Si層、61;溝部、
71;反射面領域、91;領域。
Claims (11)
- 入射光を反射させる反射面を有する可動板と、該可動板を回動可能に軸支するトーション梁と、該トーション梁にねじり方向の駆動力を作用させる駆動部とを具備する光走査装置において、
少なくとも、前記可動板と前記トーション梁の接続部分付近にリブを形成することを特徴とする光走査装置。 - 前記リブは、前記可動板の外形形状に沿って閉じた形状で形成することを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 前記リブは、前記可動板と前記トーション梁の接続部分付近で前記可動板の外形形状に沿って、かつ回動中心から離れた位置では外形形状に沿わずに、閉じた形状で形成することを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 前記可動板と前記トーション梁の接続部分付近における前記リブの厚みは厚く、前記可動板と前記トーション梁の接続部分付近から回動中心から離れた位置に向かって前記リブの厚みは連続的に徐々に薄くなるように形成することを特徴とする請求項2又は3に記載の光走査装置。
- 前記可動板上の反射面と前記トーション梁の外面部を異なる面上に配置することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記可動板の外形形状の少なくとも一部に沿って形成されたリブを介して、前記可動板と前記トーション梁が接続することを特徴とする請求項5記載の光走査装置。
- 前記リブを前記可動板の裏面に設け、前記リブの高さと前記トーション梁の厚みを等しくすることを特徴とする請求項5記載の光走査装置。
- 前記リブを前記可動板の反射面側に設けることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記可動板の外形形状の少なくとも一部に沿って形成された前記リブを介して、前記可動板と前記トーション梁が接続され、前記リブによる前記可動板と前記トーション梁の接続部分に前記溝部を形成することを特徴とする請求項8記載の光走査装置。
- 入射光を反射させる反射面を有する可動板と、該可動板を回動可能に軸支するトーション梁と、該トーション梁にねじり方向の駆動力を作用させる駆動部とを具備する光走査装置において、
回動軸方向での前記可動板の長さと入射光の幅の差は、回動軸と垂直な方向での前記可動板の長さと入射光の幅の差よりも大きいことを特徴とする光走査装置。 - 前記可動板は、前記トーション梁との接続部分付近で一部が回動軸方向に突き出る形状であることを特徴とする請求項10記載の光走査装置。
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