JPH07287184A - 共振型光偏向器 - Google Patents
共振型光偏向器Info
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- JPH07287184A JPH07287184A JP8074394A JP8074394A JPH07287184A JP H07287184 A JPH07287184 A JP H07287184A JP 8074394 A JP8074394 A JP 8074394A JP 8074394 A JP8074394 A JP 8074394A JP H07287184 A JPH07287184 A JP H07287184A
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- Japan
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- mirror
- reflection mirror
- shaft portion
- optical deflector
- ribs
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ミラーの動歪の発生を抑制するとともに一層の
高速処理が図れる共振型光偏向器を提供することを目的
とする。 【構成】ミラー２８には、軸部４０から該ミラー２８の
外縁部に向いて形成されたリブ１００ａ〜１００ｅ、１
０２ａ〜１０２ｅが先細となるように形成されている。
このため、慣性モーメントが最大となるミラーの外縁部
近傍のリブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２ｅの
質量が最小限に抑えられ、この結果、ミラーの動歪の発
生を抑制する。
高速処理が図れる共振型光偏向器を提供することを目的
とする。 【構成】ミラー２８には、軸部４０から該ミラー２８の
外縁部に向いて形成されたリブ１００ａ〜１００ｅ、１
０２ａ〜１０２ｅが先細となるように形成されている。
このため、慣性モーメントが最大となるミラーの外縁部
近傍のリブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２ｅの
質量が最小限に抑えられ、この結果、ミラーの動歪の発
生を抑制する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光スキャナーにおいて
光を走査させるために反射ミラーを回転振動させる共振
型光偏向器に関する。
光を走査させるために反射ミラーを回転振動させる共振
型光偏向器に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ミラーを高速度で回転振動させる
ことにより画像等の二次元情報を処理する光スキャナー
が広範に利用されるに至っている。
ことにより画像等の二次元情報を処理する光スキャナー
が広範に利用されるに至っている。
【０００３】前記光スキャナーでは、従来、ミラーを高
速で回転振動させるために、弾性部材をミラー等に装着
し、その弾性部材と慣性との共振現象を利用する装置
（以下、レゾナントスキャナーという）が提案されてい
る。
速で回転振動させるために、弾性部材をミラー等に装着
し、その弾性部材と慣性との共振現象を利用する装置
（以下、レゾナントスキャナーという）が提案されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この種のレゾナントス
キャナーでは、高速の回転振動によりミラーの歪み（以
下、動歪という）が発生するおそれがある。そこで、ミ
ラーの背面に補強材（以下、リブという）を固着して、
ミラーの動歪の発生を阻止するようにしている。しかし
ながら、前記のようにリブを強化する構成では質量の増
大、すなわち、慣性モーメントの増大につながり、レゾ
ナントスキャナーを高速で回転振動させる際の阻害要因
となってしまう。
キャナーでは、高速の回転振動によりミラーの歪み（以
下、動歪という）が発生するおそれがある。そこで、ミ
ラーの背面に補強材（以下、リブという）を固着して、
ミラーの動歪の発生を阻止するようにしている。しかし
ながら、前記のようにリブを強化する構成では質量の増
大、すなわち、慣性モーメントの増大につながり、レゾ
ナントスキャナーを高速で回転振動させる際の阻害要因
となってしまう。
【０００５】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、ミラーの動歪の発生を抑制する
とともに、一層の高速処理が図れる共振型光偏向器を提
供することを目的とする。
なされたものであって、ミラーの動歪の発生を抑制する
とともに、一層の高速処理が図れる共振型光偏向器を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、反射ミラーを回転振動させることで光
ビームを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器に
おいて、前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と
平行に、当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、前
記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在し
且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数の
リブと、を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁
部を向いて幅が狭小となるように形成されていることを
特徴とする。
めに、本発明は、反射ミラーを回転振動させることで光
ビームを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器に
おいて、前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と
平行に、当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、前
記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在し
且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数の
リブと、を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁
部を向いて幅が狭小となるように形成されていることを
特徴とする。
【０００７】また、本発明は、反射ミラーを回転振動さ
せることで光ビームを被走査体に対して走査させる共振
型光偏向器において、前記反射ミラーはその回転中心と
なる振動軸と平行に、当該反射ミラーの背面に形成され
た軸部と、前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する
方向に延在し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成
された複数のリブと、を有し、前記軸部からミラーの外
縁部までの距離が最大となる反射ミラーの幅広部を支持
するリブは他のリブよりも高さが増大されていることを
特徴とする。
せることで光ビームを被走査体に対して走査させる共振
型光偏向器において、前記反射ミラーはその回転中心と
なる振動軸と平行に、当該反射ミラーの背面に形成され
た軸部と、前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する
方向に延在し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成
された複数のリブと、を有し、前記軸部からミラーの外
縁部までの距離が最大となる反射ミラーの幅広部を支持
するリブは他のリブよりも高さが増大されていることを
特徴とする。
【０００８】さらに、本発明は、反射ミラーを回転振動
させることで光ビームを被走査体に対して走査させる共
振型光偏向器において、前記反射ミラーはその回転中心
となる振動軸と平行に、当該反射ミラーの背面に形成さ
れた軸部と、前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交す
る方向に延在し且つ所定距離離間させて互いに平行に形
成された複数のリブと、を有し、前記軸部からミラーの
外縁部までの距離が最小となる反射ミラーの幅狭部に対
応して前記軸部には穴が画成されていることを特徴とす
る。
させることで光ビームを被走査体に対して走査させる共
振型光偏向器において、前記反射ミラーはその回転中心
となる振動軸と平行に、当該反射ミラーの背面に形成さ
れた軸部と、前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交す
る方向に延在し且つ所定距離離間させて互いに平行に形
成された複数のリブと、を有し、前記軸部からミラーの
外縁部までの距離が最小となる反射ミラーの幅狭部に対
応して前記軸部には穴が画成されていることを特徴とす
る。
【０００９】さらに、また、上記の３つの発明の中、い
ずれか２つを組み合わせ、あるいは３つ全てを組み合わ
せることもできる。
ずれか２つを組み合わせ、あるいは３つ全てを組み合わ
せることもできる。
【００１０】
【作用】本発明に係る共振型光偏向器の反射ミラーで
は、リブが軸部からミラーの外縁部を向いて幅が狭小と
なるように形成されているため、回転振動時にミラー外
縁部のモーメントが減少され、反射ミラーの動歪の発生
が抑制される。
は、リブが軸部からミラーの外縁部を向いて幅が狭小と
なるように形成されているため、回転振動時にミラー外
縁部のモーメントが減少され、反射ミラーの動歪の発生
が抑制される。
【００１１】また、軸部からミラーの外縁部までの距離
が最大となる反射ミラーの幅広部を支持するリブは他の
リブよりも高さが増大されているため、モーメントの大
きい幅広部を効果的に補強することが可能となり、慣性
モーメントを減少させながら反射ミラーの動歪の発生を
抑制することができる。
が最大となる反射ミラーの幅広部を支持するリブは他の
リブよりも高さが増大されているため、モーメントの大
きい幅広部を効果的に補強することが可能となり、慣性
モーメントを減少させながら反射ミラーの動歪の発生を
抑制することができる。
【００１２】さらに、軸部からミラーの外縁部までの距
離が最小となる反射ミラーの幅狭部はモーメントが小さ
いため、前記軸部に穴が画成されているにも拘わらず確
実に支持できるとともに、軸部に穴が画成されることに
よって慣性モーメントが減少される。
離が最小となる反射ミラーの幅狭部はモーメントが小さ
いため、前記軸部に穴が画成されているにも拘わらず確
実に支持できるとともに、軸部に穴が画成されることに
よって慣性モーメントが減少される。
【００１３】
【実施例】本発明に係る共振型光偏向器について、好適
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に
説明する。
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に
説明する。
【００１４】本実施例に係る共振型光偏向器１０ａは、
図１に示すように、円筒管形状の筐体１２を含む。筐体
１２は円周上に沿ってほぼ１８０°切り欠いた開口部１
４を有しており、後述するミラーがこの開口部１４に臨
むように前記筐体１２内に内装される。
図１に示すように、円筒管形状の筐体１２を含む。筐体
１２は円周上に沿ってほぼ１８０°切り欠いた開口部１
４を有しており、後述するミラーがこの開口部１４に臨
むように前記筐体１２内に内装される。
【００１５】筐体１２内には断面円弧状の支持体１６が
固設され、前記筐体１２内の下部には後述する振動軸の
駆動源であるソレノイド１８が設けられる。ソレノイド
１８は、図２に示すように、コイル２０ａ、２０ｂの内
側に磁石２４を備えるとともに該磁石２４には、図３に
示すように、角柱からなる振動軸２６が取着される。そ
して、前記振動軸２６の中間部には反射面が扁平な八角
形のミラー２８（図４参照）が前記筐体１２の開口部１
４に臨んで取り付けられる。前記ミラー２８には、図５
および図６に示すように、回転軸Ａの軸線方向に沿って
膨出した軸部４０が形成され、前記軸部４０から軸線方
向に直交してリブ４２が複数本平行に形成されている。
前記リブ４２は、ミラー２８の外縁部を指向して先細に
なるように形成されている。振動軸２６の上端には、ソ
レノイド１８に対してバランサとして機能するウエイト
３０が設けられている。この場合、ミラー２８と振動軸
２６とから構成される可動部３２の重心位置が振動中心
とほぼ一致するように設定される。
固設され、前記筐体１２内の下部には後述する振動軸の
駆動源であるソレノイド１８が設けられる。ソレノイド
１８は、図２に示すように、コイル２０ａ、２０ｂの内
側に磁石２４を備えるとともに該磁石２４には、図３に
示すように、角柱からなる振動軸２６が取着される。そ
して、前記振動軸２６の中間部には反射面が扁平な八角
形のミラー２８（図４参照）が前記筐体１２の開口部１
４に臨んで取り付けられる。前記ミラー２８には、図５
および図６に示すように、回転軸Ａの軸線方向に沿って
膨出した軸部４０が形成され、前記軸部４０から軸線方
向に直交してリブ４２が複数本平行に形成されている。
前記リブ４２は、ミラー２８の外縁部を指向して先細に
なるように形成されている。振動軸２６の上端には、ソ
レノイド１８に対してバランサとして機能するウエイト
３０が設けられている。この場合、ミラー２８と振動軸
２６とから構成される可動部３２の重心位置が振動中心
とほぼ一致するように設定される。
【００１６】前記振動軸２６の上下両端部近傍にはＪ字
形状に湾曲した板ばね３４ａ、３４ｂおよび３６ａ、３
６ｂの一端部が取着され、また、前記板ばね３４ａ、３
４ｂおよび３６ａ、３６ｂの他端部は前記支持体１６に
取着される。この場合、前記Ｊ字形状の板ばね３４ａ、
３４ｂおよび３６ａ、３６ｂはその中央部において夫々
ほぼ直角に交差して配置される。板ばね３４ａ、３４ｂ
および３６ａ、３６ｂの交差位置は可動部３２の重心の
位置にほぼ一致するように配置される。
形状に湾曲した板ばね３４ａ、３４ｂおよび３６ａ、３
６ｂの一端部が取着され、また、前記板ばね３４ａ、３
４ｂおよび３６ａ、３６ｂの他端部は前記支持体１６に
取着される。この場合、前記Ｊ字形状の板ばね３４ａ、
３４ｂおよび３６ａ、３６ｂはその中央部において夫々
ほぼ直角に交差して配置される。板ばね３４ａ、３４ｂ
および３６ａ、３６ｂの交差位置は可動部３２の重心の
位置にほぼ一致するように配置される。
【００１７】本実施例に係る共振型光偏向器１０ａは基
本的には以上のように構成されるものであり、次にその
作用並びに効果について説明する。この場合、前記共振
型光偏向器１０ａが適用される画像走査装置の例を挙げ
て説明する。
本的には以上のように構成されるものであり、次にその
作用並びに効果について説明する。この場合、前記共振
型光偏向器１０ａが適用される画像走査装置の例を挙げ
て説明する。
【００１８】先ず、原稿あるいは記録担体等の被走査体
に対して光ビームを走査させるにあたり、図２に示すよ
うに、ソレノイド１８のコイル２０ａ、２０ｂに対して
外部より交流電流を供給する。これによって、ソレノイ
ド１８の磁石２４および振動軸２６が揺動され、振動軸
２６に取着されたミラー２８が矢印方向に回転振動する
（図７参照）。そこで、ミラー２８に入射した光ビーム
Ｌは前記ミラー２８によって反射偏向され、図示しない
走査レンズを介して原稿等の被走査体上を走査し、画像
の読取あるいは記録が行われる。
に対して光ビームを走査させるにあたり、図２に示すよ
うに、ソレノイド１８のコイル２０ａ、２０ｂに対して
外部より交流電流を供給する。これによって、ソレノイ
ド１８の磁石２４および振動軸２６が揺動され、振動軸
２６に取着されたミラー２８が矢印方向に回転振動する
（図７参照）。そこで、ミラー２８に入射した光ビーム
Ｌは前記ミラー２８によって反射偏向され、図示しない
走査レンズを介して原稿等の被走査体上を走査し、画像
の読取あるいは記録が行われる。
【００１９】そこで、前記共振型光偏向器１０ａにおい
て、先細形状のリブ４２の作用を述べるために、比較例
として先細となっていないリブ４２′を備えたミラーを
図８、図９に示す。
て、先細形状のリブ４２の作用を述べるために、比較例
として先細となっていないリブ４２′を備えたミラーを
図８、図９に示す。
【００２０】本発明の実施例におけるリブ４２は、比較
例のリブ４２′と比較してミラー２８の外縁部を指向し
て先細形状に形成されているため、回転軸Ａから最も離
間している部分の質量が少なく、回転振動時における前
記リブ４２の慣性モーメントが比較例のリブ４２′に比
べて１０％上昇したとしても動歪の歪量は約２０％減少
する（図１０参照）。したがって、共振型光偏向器１０
ａの回転振動の速度を向上させることができるという特
有の効果が得られる。しかも、前記リブ４２の根本部
側、すなわち、軸部４０側は充分に太く形成されている
ため、ミラー２８を確実に支持できる。
例のリブ４２′と比較してミラー２８の外縁部を指向し
て先細形状に形成されているため、回転軸Ａから最も離
間している部分の質量が少なく、回転振動時における前
記リブ４２の慣性モーメントが比較例のリブ４２′に比
べて１０％上昇したとしても動歪の歪量は約２０％減少
する（図１０参照）。したがって、共振型光偏向器１０
ａの回転振動の速度を向上させることができるという特
有の効果が得られる。しかも、前記リブ４２の根本部
側、すなわち、軸部４０側は充分に太く形成されている
ため、ミラー２８を確実に支持できる。
【００２１】以下、第２実施例〜第７実施例について説
明するが、第１実施例と異なるのはリブに関連した構造
であるので、その点についてのみ以下に説明する。
明するが、第１実施例と異なるのはリブに関連した構造
であるので、その点についてのみ以下に説明する。
【００２２】先ず、第２実施例に係る共振型光偏向器１
０ｂについて説明する。なお、第２実施例以降では、第
１実施例と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、
その詳細な説明を省略する。
０ｂについて説明する。なお、第２実施例以降では、第
１実施例と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、
その詳細な説明を省略する。
【００２３】この実施例のミラー２８には、図１１に示
すように、軸部４０と、回転軸Ａに直交する方向に延在
し、互いに所定間隔離間させてリブ５０ａ〜５０ｅ、５
２ａ〜５２ｅが形成されている。その中、ミラー２８の
最も外方へと延在する幅広部２８ａを支持するリブ５０
ｃ、５２ｃは、図１２に示すように、軸部４０に当接す
る位置で他のリブ５０ｂ、５０ｄ、５２ｂ、５２ｄの高
さＨｂよりも高い、高さＨａに形成されている。
すように、軸部４０と、回転軸Ａに直交する方向に延在
し、互いに所定間隔離間させてリブ５０ａ〜５０ｅ、５
２ａ〜５２ｅが形成されている。その中、ミラー２８の
最も外方へと延在する幅広部２８ａを支持するリブ５０
ｃ、５２ｃは、図１２に示すように、軸部４０に当接す
る位置で他のリブ５０ｂ、５０ｄ、５２ｂ、５２ｄの高
さＨｂよりも高い、高さＨａに形成されている。
【００２４】このように構成された共振型光偏向器１０
ｂでは、ミラー２８において、前記幅広部２８ａが最も
回転軸Ａから離間しているため、発生するモーメントが
最も大きく、動歪による歪量も最大となる。しかしなが
ら、前記幅広部２８ａを他のリブ５０ｂ、５０ｄ、５２
ｂ、５２ｄよりも強度が増加したリブ５０ｃ、５２ｃ
（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持するため、ミラー２８の
動歪の発生を抑制できる。すなわち、前記比較例のリブ
４２′よりも、幅広部２８ａに対するリブ５０ｃ、５２
ｃの強度が増加したため、ミラー２８の動歪の歪量が該
比較例に比べて約２０％減少する（図１０参照）。な
お、リブ５０ｃ、５２ｃの体積は比較例に対して若干増
大しただけなので、慣性モーメントは比較例に対してほ
とんど不変である。
ｂでは、ミラー２８において、前記幅広部２８ａが最も
回転軸Ａから離間しているため、発生するモーメントが
最も大きく、動歪による歪量も最大となる。しかしなが
ら、前記幅広部２８ａを他のリブ５０ｂ、５０ｄ、５２
ｂ、５２ｄよりも強度が増加したリブ５０ｃ、５２ｃ
（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持するため、ミラー２８の
動歪の発生を抑制できる。すなわち、前記比較例のリブ
４２′よりも、幅広部２８ａに対するリブ５０ｃ、５２
ｃの強度が増加したため、ミラー２８の動歪の歪量が該
比較例に比べて約２０％減少する（図１０参照）。な
お、リブ５０ｃ、５２ｃの体積は比較例に対して若干増
大しただけなので、慣性モーメントは比較例に対してほ
とんど不変である。
【００２５】さらに、第３実施例に係る共振型光偏向器
１０ｃについて説明する。
１０ｃについて説明する。
【００２６】ミラー２８では、図１３に示すように、軸
部４０と、回転軸Ａに直交する方向に延在し且つ所定間
隔離間させて複数の平行なリブ６０が形成されている。
その中、軸部４０に最も近いミラー２８の幅狭部２８ｂ
に対応する位置には、穴部６２ａ、６２ｂ（図１４参
照）が画成されている。
部４０と、回転軸Ａに直交する方向に延在し且つ所定間
隔離間させて複数の平行なリブ６０が形成されている。
その中、軸部４０に最も近いミラー２８の幅狭部２８ｂ
に対応する位置には、穴部６２ａ、６２ｂ（図１４参
照）が画成されている。
【００２７】このように構成される共振型光偏向器１０
ｃでは、ミラー２８において幅狭部２８ｂが最も回転軸
Ａに接近しているため、発生するモーメントが最も小さ
い。したがって、前記幅狭部２８ｂを支持する軸部４０
は、穴部６２ａ、６２ｂを画成することにより剛性が減
少しても、ミラー２８の動歪による歪量が増加すること
はない。しかも、軸部４０の質量低下により慣性力が低
減され、共振型光偏向器１０ｃの回転振動の高速化に寄
与できる。これは、図１０に示すように、改良されたリ
ブを備えたミラー２８と比較例のものとを比較すると、
歪量はほとんど不変で慣性モーメントが約５％減少する
ことからも証明される。
ｃでは、ミラー２８において幅狭部２８ｂが最も回転軸
Ａに接近しているため、発生するモーメントが最も小さ
い。したがって、前記幅狭部２８ｂを支持する軸部４０
は、穴部６２ａ、６２ｂを画成することにより剛性が減
少しても、ミラー２８の動歪による歪量が増加すること
はない。しかも、軸部４０の質量低下により慣性力が低
減され、共振型光偏向器１０ｃの回転振動の高速化に寄
与できる。これは、図１０に示すように、改良されたリ
ブを備えたミラー２８と比較例のものとを比較すると、
歪量はほとんど不変で慣性モーメントが約５％減少する
ことからも証明される。
【００２８】続いて、第４実施例に係る共振型光偏向器
１０ｄについて説明する。
１０ｄについて説明する。
【００２９】この実施例のミラー２８では、図１５に示
すように、軸部４０と、回転軸Ａに直交する方向に延在
し且つ所定間隔離間させて平行にリブ７０ａ〜７０ｅ、
７２ａ〜７２ｅが形成されている。前記リブ７０ａ〜７
０ｅ、７２ａ〜７２ｅは、ミラー２８の外縁部を向いて
先細になるように形成されている。さらに、ミラー２８
の最外縁を形成する幅広部２８ａのリブ７０ｃ、７２ｃ
は、図１６に示すように、リブ７０ｂ、７０ｄ、７２
ｂ、７２ｄの高さＨｂよりも高い、高さＨａに形成され
ている。
すように、軸部４０と、回転軸Ａに直交する方向に延在
し且つ所定間隔離間させて平行にリブ７０ａ〜７０ｅ、
７２ａ〜７２ｅが形成されている。前記リブ７０ａ〜７
０ｅ、７２ａ〜７２ｅは、ミラー２８の外縁部を向いて
先細になるように形成されている。さらに、ミラー２８
の最外縁を形成する幅広部２８ａのリブ７０ｃ、７２ｃ
は、図１６に示すように、リブ７０ｂ、７０ｄ、７２
ｂ、７２ｄの高さＨｂよりも高い、高さＨａに形成され
ている。
【００３０】以上のように、リブ７０ａ〜７０ｅ、７２
ａ〜７２ｅの形状がミラー２８の外縁部を指向して先細
になるように形成されているため、回転軸Ａから最も離
間している部分の質量が充分に少なく、回転振動時にお
ける前記リブ７０ａ〜７０ｅ、７２ａ〜７２ｅの慣性モ
ーメントを低減させる。したがって、共振型光偏向器１
０ｄの回転振動速度を向上させることができる。さら
に、前記リブ７０ａ〜７０ｅ、７２ａ〜７２ｅの軸部４
０側は充分に太く形成されているため、ミラー２８を確
実に支持できる。特に、回転振動時に発生する慣性モー
メントが最も大きいミラー２８の幅広部２８ａをリブ７
０ｂ、７０ｄ、７２ｂ、７２ｄよりも剛性が増加された
リブ７０ｃ、７２ｃ（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持する
ため、ミラー２８の動歪の発生を抑制できる。
ａ〜７２ｅの形状がミラー２８の外縁部を指向して先細
になるように形成されているため、回転軸Ａから最も離
間している部分の質量が充分に少なく、回転振動時にお
ける前記リブ７０ａ〜７０ｅ、７２ａ〜７２ｅの慣性モ
ーメントを低減させる。したがって、共振型光偏向器１
０ｄの回転振動速度を向上させることができる。さら
に、前記リブ７０ａ〜７０ｅ、７２ａ〜７２ｅの軸部４
０側は充分に太く形成されているため、ミラー２８を確
実に支持できる。特に、回転振動時に発生する慣性モー
メントが最も大きいミラー２８の幅広部２８ａをリブ７
０ｂ、７０ｄ、７２ｂ、７２ｄよりも剛性が増加された
リブ７０ｃ、７２ｃ（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持する
ため、ミラー２８の動歪の発生を抑制できる。
【００３１】続いて、第５実施例に係る共振型光偏向器
１０ｅについて説明する。
１０ｅについて説明する。
【００３２】ミラー２８のリブ８０は、図１７に示すよ
うに、その外縁部を向いて先細になるように形成されて
いる。また、軸部４０は、ミラー２８の幅狭部２８ｂに
対応する部分に穴部８２ａ、８２ｂが形成されている
（図１８参照）。
うに、その外縁部を向いて先細になるように形成されて
いる。また、軸部４０は、ミラー２８の幅狭部２８ｂに
対応する部分に穴部８２ａ、８２ｂが形成されている
（図１８参照）。
【００３３】前記のように、リブ８０の形状がミラー２
８の外縁部を向いて先細になるように形成されているた
め、回転軸Ａから最も離間している部分の質量が充分に
少なくなり、回転振動時における前記リブ８０の慣性モ
ーメントが低減される。また、軸部４０に穴部８２ａ、
８２ｂを画成したたため、軸部４０の質量が低減され、
慣性力が減少する。したがって、共振型光偏向器１０ｅ
の回転振動速度が向上する。さらに、前記リブ８０の軸
部４０側は充分に太く形成されているため、ミラー２８
を確実に支持できる。また、ミラー２８の幅狭部２８ｂ
は回転振動時に発生する慣性モーメントが最も小さいた
め、軸部４０は穴部８２ａ、８２ｂを画成することによ
り剛性が減少しても充分にミラー２８の動歪の発生を抑
止できる。
８の外縁部を向いて先細になるように形成されているた
め、回転軸Ａから最も離間している部分の質量が充分に
少なくなり、回転振動時における前記リブ８０の慣性モ
ーメントが低減される。また、軸部４０に穴部８２ａ、
８２ｂを画成したたため、軸部４０の質量が低減され、
慣性力が減少する。したがって、共振型光偏向器１０ｅ
の回転振動速度が向上する。さらに、前記リブ８０の軸
部４０側は充分に太く形成されているため、ミラー２８
を確実に支持できる。また、ミラー２８の幅狭部２８ｂ
は回転振動時に発生する慣性モーメントが最も小さいた
め、軸部４０は穴部８２ａ、８２ｂを画成することによ
り剛性が減少しても充分にミラー２８の動歪の発生を抑
止できる。
【００３４】続いて、第６実施例に係る共振型光偏向器
１０ｆについて説明する。
１０ｆについて説明する。
【００３５】この実施例のミラー２８では、図１９に示
すように、軸部４０と軸線方向において直交する方向に
所定間隔離間させて複数の平行なリブ９０ａ〜９０ｅ、
９２ａ〜９２ｅが形成されている。ミラー２８の最外縁
の幅広部２８ａを支持するリブ９０ｃ、９２ｃは、図２
０に示すように、他のリブ９０ｂ、９０ｄ、９２ｂ、９
２ｄの高さＨｂよりも高い、高さＨａに形成されてい
る。また、軸部４０のミラー２８の幅狭部２８ｂに対応
する位置には、穴部９４ａ、９４ｂが画成されている。
すように、軸部４０と軸線方向において直交する方向に
所定間隔離間させて複数の平行なリブ９０ａ〜９０ｅ、
９２ａ〜９２ｅが形成されている。ミラー２８の最外縁
の幅広部２８ａを支持するリブ９０ｃ、９２ｃは、図２
０に示すように、他のリブ９０ｂ、９０ｄ、９２ｂ、９
２ｄの高さＨｂよりも高い、高さＨａに形成されてい
る。また、軸部４０のミラー２８の幅狭部２８ｂに対応
する位置には、穴部９４ａ、９４ｂが画成されている。
【００３６】このように構成された共振型光偏向器１０
ｆでは、ミラー２８において回転振動時に発生するモー
メントが最も大きい幅広部２８ａをリブ９０ｂ、９０
ｄ、９２ｂ、９２ｄよりも強度が増加したリブ９０ｃ、
９２ｃ（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持するため、ミラー
２８の動歪の発生を抑制できる。さらに、ミラー２８に
おいて回転振動時に発生するモーメントが最も小さい前
記幅狭部２８ｂを支持する軸部４０は、穴部９４ａ、９
４ｂを画成することにより剛性が減少しても充分にミラ
ー２８の動歪の発生を抑止できる。しかも、軸部４０の
質量低下により慣性モーメントが低減され、共振型光偏
向器１０ｆの回転振動の高速化に寄与できる。
ｆでは、ミラー２８において回転振動時に発生するモー
メントが最も大きい幅広部２８ａをリブ９０ｂ、９０
ｄ、９２ｂ、９２ｄよりも強度が増加したリブ９０ｃ、
９２ｃ（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持するため、ミラー
２８の動歪の発生を抑制できる。さらに、ミラー２８に
おいて回転振動時に発生するモーメントが最も小さい前
記幅狭部２８ｂを支持する軸部４０は、穴部９４ａ、９
４ｂを画成することにより剛性が減少しても充分にミラ
ー２８の動歪の発生を抑止できる。しかも、軸部４０の
質量低下により慣性モーメントが低減され、共振型光偏
向器１０ｆの回転振動の高速化に寄与できる。
【００３７】最後に、第７実施例に係る共振型光偏向器
１０ｇについて説明する。
１０ｇについて説明する。
【００３８】この実施例のミラー２８では、図２１乃至
図２３に示すように、軸部４０と軸線方向に直交する方
向に延在し且つ所定間隔離間させて互いに平行な複数の
リブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２ｅが形成さ
れている。前記リブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１
０２ｅは、ミラー２８の外縁部を向いて先細になるよう
に形成されている。さらに、ミラー２８の最外縁の幅広
部２８ａを支持するリブ１００ｃ、１０２ｃは、図２２
に示すように、リブ１００ｂ、１００ｄ、１０２ｂ、１
０２ｄの高さＨｂよりも高い、高さＨａに形成されてい
る。さらに、軸部４０のミラー２８の幅狭部２８ｂに対
応する位置には、穴部１０４ａ、１０４ｂが画成されて
いる。
図２３に示すように、軸部４０と軸線方向に直交する方
向に延在し且つ所定間隔離間させて互いに平行な複数の
リブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２ｅが形成さ
れている。前記リブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１
０２ｅは、ミラー２８の外縁部を向いて先細になるよう
に形成されている。さらに、ミラー２８の最外縁の幅広
部２８ａを支持するリブ１００ｃ、１０２ｃは、図２２
に示すように、リブ１００ｂ、１００ｄ、１０２ｂ、１
０２ｄの高さＨｂよりも高い、高さＨａに形成されてい
る。さらに、軸部４０のミラー２８の幅狭部２８ｂに対
応する位置には、穴部１０４ａ、１０４ｂが画成されて
いる。
【００３９】したがって、リブ１００ａ〜１００ｅ、１
０２ａ〜１０２ｅの形状がミラー２８の外縁部を向いて
先細になるように形成されているため、回転軸Ａから最
も離間している部分の質量が充分に少なく、回転振動時
における前記リブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０
２ｅの慣性力を低減させる。結局、共振型光偏向器１０
ｇの回転振動速度が向上する。さらに、前記リブ１００
ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２ｅの軸部４０側は充分
に太く形成されているため、ミラー２８を確実に支持で
きる。特に、回転振動時に発生するモーメントが最も大
きいミラー２８の幅広部２８ａをリブ１００ｂ、１００
ｄ、１０２ｂ、１０２ｄよりも強度が増加したリブ１０
０ｃ、１０２ｃ（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持するた
め、ミラー２８の動歪の発生を阻止できる。
０２ａ〜１０２ｅの形状がミラー２８の外縁部を向いて
先細になるように形成されているため、回転軸Ａから最
も離間している部分の質量が充分に少なく、回転振動時
における前記リブ１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０
２ｅの慣性力を低減させる。結局、共振型光偏向器１０
ｇの回転振動速度が向上する。さらに、前記リブ１００
ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２ｅの軸部４０側は充分
に太く形成されているため、ミラー２８を確実に支持で
きる。特に、回転振動時に発生するモーメントが最も大
きいミラー２８の幅広部２８ａをリブ１００ｂ、１００
ｄ、１０２ｂ、１０２ｄよりも強度が増加したリブ１０
０ｃ、１０２ｃ（高さＨｂ＜高さＨａ）が支持するた
め、ミラー２８の動歪の発生を阻止できる。
【００４０】また、ミラー２８において幅狭部２８ｂが
最も回転軸Ａに接近しているため、発生するモーメント
が最も小さい。したがって、前記幅狭部２８ｂを支持す
る軸部４０は、穴部１０４ａ、１０４ｂを画成すること
により剛性が減少しても充分にミラー２８の動歪の発生
を抑止できる。しかも、軸部４０の質量低下により慣性
モーメントが低減され、共振型光偏向器１０ｇの回転振
動の高速化に寄与できる。
最も回転軸Ａに接近しているため、発生するモーメント
が最も小さい。したがって、前記幅狭部２８ｂを支持す
る軸部４０は、穴部１０４ａ、１０４ｂを画成すること
により剛性が減少しても充分にミラー２８の動歪の発生
を抑止できる。しかも、軸部４０の質量低下により慣性
モーメントが低減され、共振型光偏向器１０ｇの回転振
動の高速化に寄与できる。
【００４１】
【発明の効果】本発明に係る共振型光偏向器によれば、
以下の効果が得られる。
以下の効果が得られる。
【００４２】すなわち、リブの剛性を損なわないように
その形状を工夫し、これによって慣性モーメントを減少
させるとともに、反射ミラーの動歪の発生を抑制して共
振型光偏向器の回転振動の高速化を実現できる。
その形状を工夫し、これによって慣性モーメントを減少
させるとともに、反射ミラーの動歪の発生を抑制して共
振型光偏向器の回転振動の高速化を実現できる。
【図１】本発明の実施例に係る共振型光偏向器の要部斜
視説明図である。
視説明図である。
【図２】本発明の実施例に係る共振型光偏向器のソレノ
イドの要部斜視説明図である。
イドの要部斜視説明図である。
【図３】本発明の実施例に係る共振型光偏向器の要部斜
視説明図である。
視説明図である。
【図４】本発明の実施例に係る共振型光偏向器のミラー
の正面図である。
の正面図である。
【図５】本発明の第１実施例に係るミラーの背面図であ
る。
る。
【図６】図５に示すミラーの側面図である。
【図７】本発明の実施例に係るミラーの回転振動状態説
明図である。
明図である。
【図８】従来技術に係るミラーの背面図である。
【図９】図８に示すミラーの側面図である。
【図１０】本発明の第１乃至第３実施例と図８、図９の
比較例のミラーの動歪の歪量と慣性モーメントの増減を
示す説明図である。
比較例のミラーの動歪の歪量と慣性モーメントの増減を
示す説明図である。
【図１１】本発明の第２実施例に係るミラーの背面図で
ある。
ある。
【図１２】図１１に示すミラーの側面図である。
【図１３】本発明の第３実施例に係るミラーの背面図で
ある。
ある。
【図１４】図１３に示すミラーの側面図である。
【図１５】本発明の第４実施例に係るミラーの背面図で
ある。
ある。
【図１６】図１５に示すミラーの側面図である。
【図１７】本発明の第５実施例に係るミラーの背面図で
ある。
ある。
【図１８】図１７に示すミラーの側面図である。
【図１９】本発明の第６実施例に係るミラーの背面図で
ある。
ある。
【図２０】図１９に示すミラーの側面図である。
【図２１】本発明の第７実施例に係るミラーの背面図で
ある。
ある。
【図２２】図２１に示すミラーの側面図である。
【図２３】図２１、図２２に示すミラーの斜視図であ
る。
る。
１０ａ〜１０ｇ…共振型光偏向器 ２８…ミラー ４０…軸部 ４２、５０ａ〜５０ｅ、５２ａ〜５２ｅ、６０、７０ａ
〜７０ｅ、７２ａ〜７２ｅ、８０、９０ａ〜９０ｅ、９
２ａ〜９２ｅ、１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２
ｅ…リブ ６２ａ、６２ｂ、８２ａ、８２ｂ、９４ａ、９４ｂ、１
０４ａ、１０４ｂ…穴部
〜７０ｅ、７２ａ〜７２ｅ、８０、９０ａ〜９０ｅ、９
２ａ〜９２ｅ、１００ａ〜１００ｅ、１０２ａ〜１０２
ｅ…リブ ６２ａ、６２ｂ、８２ａ、８２ｂ、９４ａ、９４ｂ、１
０４ａ、１０４ｂ…穴部
Claims (7)
- 【請求項１】反射ミラーを回転振動させることで光ビー
ムを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器におい
て、 前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、
当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、 前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在
し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数
のリブと、 を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁部を向い
て幅が狭小となるように形成されていることを特徴とす
る共振型光偏向器。 - 【請求項２】反射ミラーを回転振動させることで光ビー
ムを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器におい
て、 前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、
当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、 前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在
し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数
のリブと、 を有し、前記軸部からミラーの外縁部までの距離が最大
となる反射ミラーの幅広部を支持するリブは他のリブよ
りも高さが増大されていることを特徴とする共振型光偏
向器。 - 【請求項３】反射ミラーを回転振動させることで光ビー
ムを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器におい
て、 前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、
当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、 前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在
し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数
のリブと、 を有し、前記軸部からミラーの外縁部までの距離が最小
となる反射ミラーの幅狭部に対応して前記軸部には穴が
画成されていることを特徴とする共振型光偏向器。 - 【請求項４】反射ミラーを回転振動させることで光ビー
ムを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器におい
て、 前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、
当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、 前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在
し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数
のリブと、 を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁部を向い
て幅が狭小となるように形成されるとともに、前記軸部
からミラーの外縁部までの距離が最大となる反射ミラー
の幅広部を支持するリブは他のリブよりも高さが増大さ
れていることを特徴とする共振型光偏向器。 - 【請求項５】反射ミラーを回転振動させることで光ビー
ムを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器におい
て、 前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、
当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、 前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在
し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数
のリブと、 を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁部を向い
て幅が狭小となるように形成されるとともに、前記軸部
からミラーの外縁部までの距離が最小となる反射ミラー
の幅狭部に対応して前記軸部には穴が画成されているこ
とを特徴とする共振型光偏向器。 - 【請求項６】反射ミラーを回転振動させることで光ビー
ムを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器におい
て、 前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、
当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、 前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在
し且つ所定距離離間させて互いに平行に形成された複数
のリブと、 を有し、前記軸部からミラーの外縁部までの距離が最大
となる反射ミラーの幅広部を支持するリブは他のリブよ
りも高さが増大されているとともに、前記軸部からミラ
ーの外縁部までの距離が最小となる反射ミラーの幅狭部
に対応して前記軸部には穴が画成されていることを特徴
とする共振型光偏向器。 - 【請求項７】反射ミラーを回転振動させることで光ビー
ムを被走査体に対して走査させる共振型光偏向器におい
て、 前記反射ミラーはその回転中心となる振動軸と平行に、
当該反射ミラーの背面に形成された軸部と、 前記反射ミラーの背面で前記軸部と直交する方向に延在
し且つ所定距離離間させて形成された複数のリブと、 を有し、前記リブは前記軸部からミラーの外縁部を向い
て幅が狭小となるように形成されるとともに、前記軸部
からミラーの外縁部までの距離が最大となる反射ミラー
の幅広部を支持するリブは他のリブよりも高さが増大さ
れており、さらに、前記軸部からミラーの外縁部までの
距離が最小となる反射ミラーの幅狭部に対応して前記軸
部には穴が画成されていることを特徴とする共振型光偏
向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8074394A JPH07287184A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 共振型光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8074394A JPH07287184A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 共振型光偏向器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07287184A true JPH07287184A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=13726888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8074394A Pending JPH07287184A (ja) | 1994-04-19 | 1994-04-19 | 共振型光偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07287184A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004325578A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | 偏向ミラー |
| JP2006079078A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-23 | Lg Electron Inc | 走査装置及びその製作方法 |
| KR100678809B1 (ko) * | 1999-10-21 | 2007-02-05 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 광학 미러, 광학 스캐너 및 레이저 가공기 |
| EP3561569A1 (en) | 2018-04-26 | 2019-10-30 | Hitachi, Ltd. | Light deflector and light deflector control device |
-
1994
- 1994-04-19 JP JP8074394A patent/JPH07287184A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100678809B1 (ko) * | 1999-10-21 | 2007-02-05 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 광학 미러, 광학 스캐너 및 레이저 가공기 |
| JP2004325578A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | 偏向ミラー |
| JP2006079078A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-23 | Lg Electron Inc | 走査装置及びその製作方法 |
| EP3561569A1 (en) | 2018-04-26 | 2019-10-30 | Hitachi, Ltd. | Light deflector and light deflector control device |
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