JP2020052231A - ガルバノスキャナ用ミラー - Google Patents
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Abstract
Description
加工対象物に入射させて穴明け加工を行うレーザビームを走査するガルバノスキャナに用いられるミラーであって、繊維強化プラスチックからなる本体の表面に反射膜を設けたガルバノスキャナ用ミラーが提供される。
図1は、実施例によるガルバノスキャナ用ミラーが用いられたレーザ加工装置の概略図である。レーザ光源10から出射したレーザビームが、ベンディングミラー11、1段目のガルバノスキャナ20A、2段目のガルバノスキャナ20B、及びfθレンズ14を経由して、加工対象物15に入射する。なお、必要に応じて、ビームエキスパンダ、アパーチャ、レンズ等が配置される。1段目のガルバノスキャナ20A及び2段目のガルバノスキャナ20Bの各々は、モータ21及びミラー22で構成される。モータ21は、制御装置40からの指令によりミラー22を揺動させる。加工対象物15は、例えばプリント基板であり、レーザビームを入射させることによって穴明け加工が行われる。
図4Aは、本変形例によるミラー22を用いた2段目のガルバノスキャナ20Bの平面図であり、図4Bは、図4Aの一点鎖線4B−4Bにおける断面図である。
11 ベンディングミラー
14 fθレンズ
15 加工対象物
20A 1段目のガルバノスキャナ
20B 2段目のガルバノスキャナ
21 モータ
22 ガルバノスキャナ用のミラー
24 反射膜
25 ミラーの本体
26 取付部
27 補強リブ
27A 補強リブの幹の部分
27B 補強リブの枝の部分
28 回転軸
29 回転軸の中心線の延長線
30 ミラーの重心
35 取付部材
36 締結具
40 制御装置
Claims (3)
- 加工対象物に入射させて穴明け加工を行うレーザビームを走査するガルバノスキャナに用いられるミラーであって、繊維強化プラスチックからなる本体の表面に反射膜を設けたガルバノスキャナ用ミラー。
- 前記本体は、モータの回転軸に取り付けられる一体成形された取付部を有している請求項1に記載のガルバノスキャナ用ミラー。
- 前記取付部を前記モータの前記回転軸に取り付けた状態で、前記回転軸の中心線の延長線が前記本体及び前記反射膜の重心を通過する請求項2に記載のガルバノスキャナ用ミラー。
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JP2018181224A JP2020052231A (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | ガルバノスキャナ用ミラー |
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JP2018181224A JP2020052231A (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | ガルバノスキャナ用ミラー |
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ID=69996941
Family Applications (1)
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4124277A (en) * | 1977-02-16 | 1978-11-07 | Martin Marietta Corporation | Parabolic mirror construction |
JPS6046504A (ja) * | 1983-08-25 | 1985-03-13 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ポリゴンミラ− |
JPH11183822A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Minolta Co Ltd | 共振光学装置 |
JP2003305809A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-28 | Ricoh Co Ltd | プラスチック成形品及びその製造方法 |
JP2005134680A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Mitsubishi Electric Corp | 反射ミラー、導光光学系システム、レーザ加工機、および反射ミラーの製造方法 |
JP2013186442A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガルバノスキャナ |
-
2018
- 2018-09-27 JP JP2018181224A patent/JP2020052231A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4124277A (en) * | 1977-02-16 | 1978-11-07 | Martin Marietta Corporation | Parabolic mirror construction |
JPS6046504A (ja) * | 1983-08-25 | 1985-03-13 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | ポリゴンミラ− |
JPH11183822A (ja) * | 1997-12-22 | 1999-07-09 | Minolta Co Ltd | 共振光学装置 |
JP2003305809A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-28 | Ricoh Co Ltd | プラスチック成形品及びその製造方法 |
JP2005134680A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Mitsubishi Electric Corp | 反射ミラー、導光光学系システム、レーザ加工機、および反射ミラーの製造方法 |
JP2013186442A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ガルバノスキャナ |
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