JP5763759B2 - アライメント装置およびアライメント方法 - Google Patents
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Description
前記吸着回転手段の上面と同一水平面に位置する上面が、前記ダイシングフレームの底面側の全面に当接する支持手段と、
前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出手段と、を準備し、
前記アライメント対象物の底面を前記吸着回転手段の上面に吸着させる吸着工程と、
前記吸着回転手段の回転により、前記アライメント対象物を前記支持手段と同期して回転させる回転工程と、
回転する前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出工程と、
前記アライメント対象物を移動させる位置調整工程と、を含む。
11−基板
12−ダイシングテープ(フィルム)
13−ダイシングフレーム
50−ロボットアーム
100−アライメント装置
101−筐体
102−ブリッジ
110−スピンチャック(吸着回転手段)
111−スピンチャック位置調整部
120−撮像部
130−支持部材(支持手段)
150−主制御部
154−スピンチャック制御部
156−画像認識部
Claims (2)
- 上面の外周部を環状のダイシングフレームに保持されたダイシングテープにおける前記ダイシングフレームよりも内側の部分に貼付されたアライメント対象物の底面を上面に吸着して回転する吸着回転手段と、
前記吸着回転手段の上面と同一水平面に位置する上面が、前記ダイシングフレームの底面側の全面に当接する支持手段と、
前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出手段と、を備え、
前記支持手段が、前記吸着回転手段によって前記アライメント対象物と同期して回転するように構成されたことを特徴とするアライメント装置。 - 上面の外周部を環状のダイシングフレームに保持されたダイシングテープにおける前記ダイシングフレームよりも内側の部分に貼付されたアライメント対象物の底面を上面に吸着して回転する吸着回転手段と、
前記吸着回転手段の上面と同一水平面に位置する上面が、前記ダイシングフレームの底面側の全面に当接する支持手段と、
前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出手段と、を準備し、
前記アライメント対象物の底面を前記吸着回転手段の上面に吸着させる吸着工程と、
前記吸着回転手段の回転により、前記アライメント対象物を前記支持手段と同期して回転させる回転工程と、
回転する前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出工程と、
前記アライメント対象物を移動させる位置調整工程と、を含むアライメント方法。
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