JP2016152394A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位置検出機構124のセンターテーブル124aの外周にはみ出したウェーハWを支持するガイド部124cを備え、凸状に反ったウェーハWを水平に矯正する。また、ウェーハWが水平に矯正された状態でウェーハWの外周縁WEを位置検出センサー124dにより検出し、検出されたウェーハWの外周縁WEに基づいてウェーハWの中心位置を算出してチャックテーブルの中心位置と位置合わせする。
【選択図】図8
Description
実施形態に係る加工装置について説明する。図1は、加工装置の構成例を示す斜視図である。図2は、カセット載置機構の構成例を示す断面図である。図3は、位置検出機構の構成例を示す上面図である。
ガイド部124cは、文字「コ」の形状としたが、センターテーブル124aの外周にはみ出したウェーハWを支持可能な形状であれば、どのような形状でもよい。例えば、ガイド部124cは、文字「U」や「C」の形状としてもよいし、ウェーハWを複数点で支持するように複数のガイド部を配列してもよい。
10 チャックテーブル
20 加工手段
40 加工送り手段
50 割り出し送り手段
60 切り込み送り手段
70 第1搬送手段
90 第2搬送手段
100 搬出入手段
110 カセット
120 カセット載置機構
123 駆動手段
124 位置検出機構
124a センターテーブル
124b 回動手段
124c ガイド部
124d 位置検出センサー
124e 保持面
124f ガイド面
130 洗浄手段
N ノッチ
W ウェーハ
WS 表面
WR 裏面
WE 外周縁
Claims (1)
- ウェーハを収容したカセットを載置するカセット載置台と、該カセット載置台に載置された該カセットからウェーハを搬出するとともに該カセットにウェーハを搬入する搬出入手段と、該搬出入手段によって搬出されたウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、を備えるウェーハの加工装置において、
該カセットから搬出されたウェーハが搬入され、ウェーハの位置を検出する位置検出機構を備え、
該位置検出機構は、
ウェーハの中心付近の領域に対応した保持面でウェーハを吸引保持するセンターテーブルと、
該センターテーブルで保持されたウェーハの外周縁を検出し、ウェーハの位置を割り出す位置検出手段と、
該センターテーブルを回動させる回動手段と、
該センターテーブルの周囲で該センターテーブルの外周にはみ出したウェーハを支持するガイド部と、を備えることを特徴とする加工装置。
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