JP5716861B1 - ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具において、ダイヤモンド膜と工具基体との耐剥離性を向上させるとともに刃先強度を向上させ、耐摩耗性を向上させる。【解決手段】 Ｃｏが３〜１５質量％、ＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量が０．１〜３．０質量％、残部がＷＣで構成される炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体にダイヤモンド膜を被覆形成したダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具において、前記工具基体表面に複数の凸部が存在し、該凸部の上部位はＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種で構成され、上記上部位の下方に位置する前記凸部の下部位はＷＣとＣｏで構成される。【選択図】図１

Description

本発明は、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）などの難削材の高速切削加工において、すぐれた耐衝撃性および密着性を備えることによって、すぐれた耐チッピング性および耐剥離性を発揮するダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具に関する。
本願は、２０１３年１１月２９日に日本に出願された特願２０１３−２４７２８０号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

従来、炭化タングステン（ＷＣ）基超硬合金（以下、「超硬合金」という）からなる工具基体に、ダイヤモンド膜を被覆したダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具（以下、「ダイヤモンド被覆工具」という）が知られている。従来のダイヤモンド被覆工具においては、工具基体とダイヤモンド膜の密着性が十分でないため、これを改善するために、ダイヤモンド膜を成膜する前に超硬合金製工具基体表面からダイヤモンドの形成を阻害するコバルトを除去し、工具基体上にダイヤモンド膜を成膜するなどの種々の提案がなされている。

例えば、特許文献１には、ダイヤモンド被覆工具において、超硬合金基体を段階的にエッチング処理することにより基体表面のＣｏ（コバルト）を除去し、超硬合金基体上にＷＣ粒子程度の凹凸を形成し、ダイヤモンド膜を被覆することによって、ダイヤモンド膜と超硬合金製工具基体との密着性を改善することが開示されている。

また、特許文献２には、ダイヤモンド被覆工具において、電解エッチング処理により凹凸が形成された超硬合金基体上にＷ（タングステン）等の中間層を被覆し、中間層上にダイヤモンド膜を被覆することによって、ダイヤモンド膜と工具基体との密着性改善を図ることが開示されている。

さらに、例えば、特許文献３には、超硬合金製工具基体をダイヤモンドで被覆するにあたり、超硬合金工具基体表面に元素周期律表ＩＶａ族、Ｖａ族、ＶＩａ族の金属炭化物、炭化ケイ素またはアルミナ等のセラミック粒子を埋め込むことが開示されている。特許文献３では、このような超硬合金工具基体表面に電解エッチング処理を施して基体表面に凹凸を形成することにより、工具基体とダイヤモンド膜の密着性を改善している。

欧州特許第５１９５８７号明細書 特開２０００−１４４４５１号公報 特開平８−９２７４１号公報

近年の切削加工の技術分野における省力化および省エネ化、さらに低コスト化に対する要求は強く、これに伴い、切削加工は益々高速化の傾向にある。一方、従来ダイヤモンド被覆工具を、例えば、ＣＦＲＰなどの難削材を高い加工精度での高速切削に用いる場合には、ドリルに鋭利な刃先が要求されるため、特に高い刃先強度が要求されるが、従来ダイヤモンド被覆工具は刃先強度が十分でなく、また、ダイヤモンド膜の剥離が生じやすい。そのため、長期の使用に亘って満足できる耐チッピング性および耐摩耗性を発揮することはできず、その結果、比較的短時間で使用寿命に至ることが多かった。

例えば、特許文献１に開示されているような、工具基体の表面近傍の結合相の量、すなわちＣｏ量を少なくすることによってダイヤモンド膜と工具基体との密着性を向上させる処理を行った場合であっても、ＣＦＲＰなどの高速切削加工においては刃先に繰り返し衝撃が加わるため、刃先近傍の強度が十分でなく、チッピングまたは剥離の発生により早期に切削工具としての寿命に至るという課題があった。

また、特許文献２に示すような前処理を行う場合、電解エッチングによりＷＣとＣｏが同時に溶出してしまうため、凸部の強度維持が困難であり、Ｗ中間層と超硬合金基体間の密着性にも課題があった。特許文献３ではＳｉＣ粒子を超硬合金基体に埋め込み、ＳｉＣ粒子がエッチングを阻害するマスキングとして機能し、凸形状を超硬合金基体上に形成させているが、ＷＣ粒子間に隙間なくＳｉＣ粒子を埋め込むことは困難であり、硬い超硬合金基体に硬質セラミックスであるＳｉＣ粒子を埋め込むことも至難であった。

そこで、本発明が解決しようとする技術的課題、すなわち本発明の目的は、ダイヤモンド被覆工具において、ダイヤモンド膜と工具基体との密着性を向上させるとともにダイヤモンド被覆工具の刃先強度を向上させ、耐チッピング性および耐剥離性が向上した、切削寿命が長いダイヤモンド被覆工具を提供することである。

前述のようなダイヤモンド被覆工具の課題について本発明者らは鋭意、研究と実験を繰り返した。その結果、従来のダイヤモンド被覆工具においては、前述のようにダイヤモンド膜と工具基体との密着性を上げるために工具基体の最表面に存在する金属結合相中のＣｏを除去する処理を行っているが、そのＣｏの除去が刃先における靭性の低下を招き、刃先強度低下の原因となっていることを本発明者らは突き止めた。

そこで、例えば、ＣＦＲＰなどの高速穴あけ加工や高速エンドミル加工のように、切れ刃に高負荷が作用する切削条件に用いられた場合でも、すぐれた刃先強度を備えるとともに、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮するダイヤモンド被覆工具を提供すべく、工具基体表面近傍に存在する金属結合相中のＣｏに焦点を当て鋭意研究を重ねた。その結果、本発明者らは次のような知見を得た。

すなわち、
（１）超硬合金基体がＴａＣ（炭化タンタル）、ＮｂＣ（炭化ニオブ）を含有する場合、焼結条件によっては焼結時にＴａＣ、ＮｂＣがＷＣ粒子間において結晶粒成長することにより、ＷＣ粒子間にＴａＣ、ＮｂＣ結晶粒が隙間なく形成される。
（２）そのため、ＴａＣ、ＮｂＣ結晶粒が形成されたＷＣ粒子間に存在していたＣｏ結合相は、焼結時にＴａＣ、ＮｂＣとＷＣ粒子間の外側に押し出される。
（３）前記（１）、（２）の基体に酸溶液（酸混合溶液）による第１前処理工程、すなわち、化学的なエッチング（希硫酸＋過酸化水素水）を行うと、基体表面近傍にＴａＣ、ＮｂＣが存在している箇所はＣｏエッチングが進行しない。
（４）基体表面近傍に存在するＴａＣ、ＮｂＣの直下には酸処理（第１前処理工程）によって除去されなかったＣｏが存在している。そして、ＮａＯＨを含むアルカリエッチング溶液を用いた電解エッチング処理（第２前処理工程）によって、ＴａＣ、ＮｂＣの周りのＷＣ粒子が除去される。そして、基体表面のＣｏを酸により除去する工程（第３前処理工程）によって、ＴａＣ、ＮｂＣが上部に残存している凸部が形成される。
（５）その後、この超硬合金基体にダイヤモンド膜を形成すると、ＴａＣ、ＮｂＣが上部に残存している凸部がダイヤモンド膜内部に楔のように食い込む形で存在するため、形状的作用によりダイヤモンド膜の密着性が強くなり、チッピングおよび剥離が抑えられる。

本発明は、前記知見に基づいてなされたものであって、以下を特徴とするものである。
［１］ Ｃｏが３〜１５質量％、ＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量が０．１〜３．０質量％、残部がＷＣで構成される炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体にダイヤモンド膜を被覆形成したダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具において、
前記工具基体表面に複数の凸部が存在し、前記複数の凸部の高さの平均が１．０〜３．０μｍ、幅の平均が０．５〜６．０μｍ、および前記幅に対する前記高さで定義されるアスペクト比の平均が０．５〜３．０であり、
該凸部の上部位はＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種で構成され、上記上部位の下方に位置する前記凸部の下部位はＷＣとＣｏで構成される、ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
［２］ 前記凸部の単位面積当たりの数が５００〜１００００個／ｍｍ^２である［１］に記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
［３］ 前記ダイヤモンド膜の平均膜厚が３〜３０μｍである［１］または［２］に記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
［４］ 前記ダイヤモンド膜の表面に複数の***部が形成され、前記複数の***部の高さの平均が１．０〜３．０μｍ、幅の平均が３．０〜２０．０μｍである［１］乃至［３］のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
［５］ 前記***部の単位面積当たりの数が５００〜１００００個／ｍｍ^２であることを特徴とする［４］に記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
［６］ 前記下部位におけるＣｏの含有量が２〜１３質量％である［１］乃至［５］のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
［７］ 前記上部位におけるＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計の含有量が９５〜１００質量％である［１］乃至［６］のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
［８］ ［１］乃至［７］のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具の製造方法であって、
Ｃｏ粉末と、ＴａＣ粉末及びＮｂＣ粉末の少なくとも一方と、ＷＣ粉末とを、スプレードライヤーを用いて１９０〜２１０℃で造粒する造粒工程と、
前記造粒工程を経た前記Ｃｏ粉末と、前記ＴａＣ粉末及びＮｂＣ粉末の少なくとも一方と、前記ＷＣ粉末とを混合し、０．１〜１０Ｐａ、１３８０〜１５００℃で１〜２時間保持して焼結することにより前記工具基体を形成する焼結工程と、
前記工具基体を、希硫酸と過酸化水素水を含む酸溶液に浸漬する第１前処理工程と、
前記第１前処理工程を施した前記工具基体を、水酸化ナトリウムを含む濃度５〜１５体積％のアルカリエッチング溶液に、１．５〜２．５Ａ／ｄｍ^２の電流を流した状態で３０〜６０分間浸漬して電解エッチング処理を行う第２前処理工程と、
前記第２前処理工程を施した前記工具基体を、希硫酸と過酸化水素水を含む酸溶液に浸漬する第３前処理工程と、
前記第３前処理工程を施した前記工具基体に対し、ダイヤモンド膜を被覆する工程と、
を備えるダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具の製造方法。

ここで、本発明における「凸部の上部位」とは、エッチングの結果、凸部のダイヤモンド膜側に除去されずに残っているＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種を意味している。「凸部の下部位」とは、前述した上部位の下方（凸部の工具基体側）に位置し、上方にＴａＣ、ＮｂＣが存在するためにエッチングによって除去されず残存しているＣｏとＷＣ粒子とから構成されている部分を意味している。なお、凸部は上部位と下部位のみで構成される。

本発明のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具は、Ｃｏが３〜１５質量％、ＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量が０．１〜３．０質量％、残部がＷＣで構成される炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体にダイヤモンド膜を被覆形成したものであって、工具基体表面に複数の凸部が存在し、前記複数の凸部の高さの平均が１．０〜３．０μｍ、幅の平均が０．５〜６．０μｍおよび前記幅に対する前記高さで定義されるアスペクト比が０．５〜３．０であり、該凸部の上部位はＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種で構成され前記上部位の下方に位置する凸部の下部位はＷＣとＣｏで構成されることによって、工具基体とダイヤモンド膜との密着性を向上させるとともに刃先強度を向上させたものである。本発明のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具によれば、ＣＦＲＰなどの切削加工において、すぐれた刃先強度および耐摩耗性を発揮でき、その効果は絶大である。また、凸部の単位面積当たりの数を５００〜１００００個／ｍｍ^２とすることにより、工具基体とダイヤモンド膜との密着性や刃先強度をさらに向上させることができ、より高い効果を得ることができる。

本発明の実施形態に係るダイヤモンド被覆膜の断面を模式的に表した膜構成模式図である。

以下、本発明の実施形態について図を参照して詳細に説明する。

本実施形態に係るダイヤモンド被覆超合金製切削工具は、Ｃｏが３〜１５質量％、ＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量が０．１〜３．０質量％、残部がＷＣで構成される炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体１２にダイヤモンド膜５を被覆形成したダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具である。本実施形態のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具１００では、図１に模式的に示すように、工具基体１２表面に複数の凸部１３が存在し、複数の凸部１３の高さ７の平均が１．０〜３．０μｍ、幅６の平均が０．５〜６．０μｍ、および前記幅６に対する高さ７で定義されるアスペクト比の平均が０．５〜３．０である。また、凸部１３の上部位８はＴａＣ、ＮｂＣ（符号１）の内の１種または２種で構成され、上記上部位８の下方に位置する凸部１３の下部位９はＷＣ（符号２）とＣｏ（Ｃｏ結合相４）で構成される。
次に、各構成を上述のように規定した理由、及び好ましい構成について説明する。

（工具基体を構成する超硬合金中のＣｏの含有割合：３〜１５質量％）
工具基体１２を構成する超硬合金のＣｏの含有量が３質量％未満の場合、工具基体１２の靭性が低くなり、切削時に欠損が生じやすくなるため好ましくない。一方、１５質量％を超えると、エッチング処理後、Ｃｏが除去された領域において空隙（空孔）３が占める体積割合が多くなりＣｏが除去された領域が脆弱になるため、ダイヤモンド膜５と工具基体１２表面との界面強度が低下し好ましくない。したがって、超硬合金中のＣｏの含有量を、３〜１５質量％と定めた。超硬合金中のＣｏの含有量は、好ましくは５〜７質量％であるが、これに限定されない。

（工具基体を構成する超硬合金中のＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計含有割合：０．１〜３．０質量％）
工具基体１２を構成する超硬合金中のＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計含有割合が、０．１質量％未満の場合、凸部１３の密度（単位体積当たりの数）が５００個／ｍｍ^２を下回り、所望の凸部１３の効果が得られない。一方、硬質粒子であるＴａＣ、ＮｂＣの含有割合が３．０質量％を超えると、工具基体１２の靭性が低下し、欠損を生じやすくなる。したがって、工具基体１２を構成する超硬合金中のＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計含有割合を、０．１〜３．０質量％と定めた。超硬合金中のＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計含有割合は、好ましくは０．５〜１．５質量％であるが、これに限定されない。

（工具基体表面に形成される複数の凸部の高さの平均：１．０〜３．０μｍ）
工具基体１２表面に形成される複数の凸部１３の高さ７が平均で１．０μｍ未満の場合、凸部１３の起伏が小さく、十分なダイヤモンド膜５との密着性を得られない。一方、複数の凸部１３の高さ７が平均で３．０μｍを超えると切削時に凸部１３を起点としてダイヤモンド膜５が剥離する恐れがある。したがって、工具基体１２表面に形成される複数の凸部１３の高さ７の平均を、１．０〜３．０μｍと定めた。複数の凸部１３の高さ７の平均は、好ましくは１．５〜２．０μｍであるが、これに限定されない。

（工具基体表面に形成される複数の凸部の幅の平均：０．５〜６．０μｍ）
工具基体１２表面に形成される複数の凸部１３の幅６が平均で０．５μm未満の場合、凸部１３を構成するＷＣは数粒子程度となり、凸部１３の強度が低く、十分なダイヤモンド膜５との密着性を得られない。一方、複数の凸部１３の幅６が平均で６．０μｍを超えると切削時に凸部１３を起点としてダイヤモンド膜５が剥離する恐れがある。したがって、工具基体１２表面に形成される複数の凸部１３の幅６の平均を、０．５〜６．０μｍと定めた。複数の凸部１３の幅６の平均は、好ましくは１．５〜３．０μｍであるが、これに限定されない。

（工具基体表面に形成される凸部の幅に対する高さで定義されるアスペクト比の平均：０．５〜３．０）
工具基体１２表面に形成される凸部１３の幅６に対する高さ７（高さ／幅）で定義されるアスペクト比の平均が０．５未満の場合、凸部１３の起伏が小さく、十分なダイヤモンド膜５との密着性を得られない。一方、凸部１３のアスペクト比の平均が３．０を超える場合、凸部１３の強度が弱くなり、十分なダイヤモンド膜５との密着性を得られない。したがって、工具基体１２表面に形成される凸部１３の幅６に対する高さ７で定義されるアスペクト比の平均を、０．５〜３．０と定めた。アスペクト比の平均は、好ましくは０．７〜１．３であるが、これに限定されない。

（凸部の単位体積当たりの数：５００〜１００００個／ｍｍ^２）
工具基体１２表面に形成される凸部１３の単位面積当たりの数が５００〜１００００個／ｍｍ^２であることが好ましい。この数が５００個／ｍｍ^２を下回ると、十分なダイヤモンド膜５との密着性を得られない。一方、この数が１００００個／ｍｍ^２を超える場合は、工具基体１２を構成する超硬合金中のＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量の割合が高いため、工具基体１２の靭性が低下し、欠損を生じる恐れがある。したがって、工具基体１２表面に形成される凸部１３の単位面積当たりの数は、５００〜１００００個／ｍｍ^２とすることが好ましい。凸部１３の単位体積当たりの数は、より好ましくは４０００〜７０００個／ｍｍ^２であるが、これに限定されない。

（凸部の下部位におけるＣｏの含有量：２〜１３質量％）
工具基体１２表面に形成される凸部１３の下部位９は、ＷＣ（図１の符号２）とＣｏ（Ｃｏ結合相４）とのみで構成され、下部位９におけるＣｏの含有量が２〜１３質量％であることが好ましい。この場合、凸部１３の下部位９における強度が、工具基体１２内部と比較して著しく低くなることがない。そのため、凸部１３を起点としてダイヤモンド膜５が剥離し難くなるので、ダイヤモンド膜５との密着性をより高めることができる。凸部１３の下部位９におけるＣｏの含有量は、より好ましくは２〜１３質量％であるが、これに限定されない。

（凸部の上部位におけるＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計の含有量：９５〜１００質量％）
工具基体１２表面に形成される凸部１３の上部位８は、ＴａＣまたはＮｂＣの内の１種または２種を主成分としており、上部位８におけるＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計の含有量が９５〜１００質量％であることが好ましい。図１の例では、ＴａＣまたはＮｂＣからなる一つの結晶粒１のみで上部位８が構成されている。上部位８におけるＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計の含有量を上記の範囲とすることにより、上部位におけるＣｏ量が少なくなるので、下部位へのエッチングを阻害できる。凸部１３の上部位８におけるＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計の含有量は、より好ましくは９５〜１００質量％であるが、これに限定されない。

（ダイヤモンド膜の平均膜厚：３〜３０μｍ）
本実施形態において、工具基体１２表面に被覆するダイヤモンド膜５の平均膜厚が３〜３０μｍであることが好ましい。３μｍ未満では、長期の使用に亘って十分な耐摩耗性と耐剥離性を発揮することができない。一方、ダイヤモンド膜５の平均膜厚が３０μｍを超えると、チッピング、欠損、剥離が発生しやすくなり、かつ加工精度も低下する。したがって、ダイヤモンド膜５の平均膜厚は、３〜３０μｍとすることが好ましい。平均膜厚は、工具の耐摩耗性と加工精度とを両立させるために、１０〜１５μｍであることがより好ましいが、これに限定されない。

（ダイヤモンド膜の表面に形成される***部の単位面積当たりの数：５００〜１００００個／ｍｍ^２）
工具基体１２の表面に形成された凸部１３に起因してダイヤモンド膜５の表面に複数の***部１４が形成される場合、***部１４の単位面積当たりの数が５００〜１００００個／ｍｍ^２であることが好ましい。５００個／ｍｍ^２を下回ると、単位面積あたりの凸部１３の数が少ないため、十分なダイヤモンド膜５との密着性を得られない。一方、単位面積当たりの***部１４の数が１００００個／ｍｍ^２を超える場合、すなわち、凸部１３の数が１００００個／ｍｍ^２を超える場合は、工具基体１２を構成する超硬合金中のＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量の割合が高いため、工具基体１２の靭性が低下し、欠損を生じる恐れがある。したがって、ダイヤモンド膜５の表面に形成される***部１４の単位面積当たりの数は、５００〜１００００個／ｍｍ^２とすることが好ましい。***部１４の単位体積当たりの数は、より好ましくは４０００〜７０００個／ｍｍ^２であるが、これに限定されない。

（ダイヤモンド膜の表面に形成される複数の***部の高さの平均：１．０〜３．０μｍ）
ダイヤモンド膜５の表面に形成された***部１４の高さ１１が平均で１．０〜３．０μｍであることが好ましい。この場合、ダイヤモンド膜と基体との密着力を高めるという効果を得られる。複数の***部１４の高さ１１の平均は、好ましくは１．５〜２．０μｍであるが、これに限定されない。

（ダイヤモンド膜の表面に形成される複数の***部の幅の平均：３．０〜２０．０μｍ）
ダイヤモンド膜５の表面に形成された***部１４の幅１０が平均で３．０〜２０．０μｍであることが好ましい。この場合、切削において被切削材との接触面積を低減できるので、切削抵抗を低減できると共に、切りくずの排出性を向上できる。複数の***部１４の幅１０の平均は、好ましくは８〜１５μｍであるが、これに限定されない。

ここで、ダイヤモンド膜５の表面に***部１４を形成することにより、切削時のトライボロジー特性を向上することができる。特に金属を対象とする切削加工において、ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具のトライボロジー特性を向上できる。一方、ダイヤモンド膜５の表面に***部１４を設けない場合（例えば、凸部に起因して形成された***部１４を研削等により除去した場合）、加工精度をはじめとする加工特性を向上できる。

（測定方法）
工具基体１２表面における凸部１３の高さ７、幅６、幅６に対する高さ７で定義されるアスペクト比の値、および単位面積当たりの凸部１３の数、ならびにダイヤモンド膜５の表面における***部１４の高さ１１、幅１０、および単位面積当たりの***部１４の数、およびダイヤモンド膜５の膜厚は、次のような方法で決定することが好ましい。
まず、走査型電子顕微鏡により工具基体１２表面近傍且つ工具基体１２表面に垂直な断面の観察を行う。ダイヤモンド膜５と超硬合金基体（工具基体１２）との界面（工具基体１２表面）から膜厚方向に１０μｍ、工具基体１２表面と平行な方向に１００μｍの観察領域で得られた画像内に観察された複数の凸部１３および***部１４について測定を行う。

凸部１３の高さ７及び幅６を測定する際、オージェ電子分光法により上記の観察領域においてＴａＣまたはＮｂＣの結晶粒（図１の符号１）で構成される領域、すなわち上部位８を特定する。そして、工具基体１２表面と平行な方向における上部位８の幅の最大値を凸部１３の幅６とする。また、工具基体１２表面から最も距離の大きい上部位８上の点を一端点とし、膜厚方向に線分析を行ってＷＣまたはＣｏが検出されるまでの点を他端点として、両端点間の距離を凸部１３の高さ７とする。
そして、それぞれの凸部１３の高さ７を幅６で割り、算術平均を算出することによってそれぞれの凸部１３のアスペクト比を求める。
また、***部１４の高さ１１については、ダイヤモンド膜５の表面を基準面として、基準面からの距離が最大となる***部１４上の点を一端点とし、基準面から一端点までの距離を***部１４の高さ１１とし、走査型電子顕微鏡を用いて測定する。***部１４の幅１０については、レーザー顕微鏡を用いてダイヤモンド膜５の表面を観察し、基準面からの高低差が１μｍを超えた領域を***部とし、***部の輪郭（***部の起点となる点の集合）の最大径を***部１４の幅１０とする。

ダイヤモンド膜５の平均膜厚は、走査型電子顕微鏡を用いて工具の刃先の断面において、凸部１３が形成されていない領域の任意の５点における膜厚を測定し、算術平均を算出して、平均膜厚とする。

***部１４の単位面積当たりの数については、走査型電子顕微鏡により、ダイヤモンド膜５の表面上の任意の１００μｍ四方の３視野を観察して測定する。各視野のダイヤモンド膜５に形成された***部１４の単位面積当たりの***部１４の数を算出し、３視野の算術平均を算出し、***部１４の単位面積当たりの数とする。
工具基体１２の表面に形成された凸部１３に起因した複数の***部１４をダイヤモンド膜５の表面に形成する場合、***部１４の単位面積当たりの数を凸部１３の単位面積当たりの数とする。一方、工具基体１２の表面に形成された凸部１３に起因した複数の***部１４を形成しない場合は、共焦点光学系を採用した共焦点顕微ラマン分光装置により、共焦点を基体の表面より膜厚方向に１μｍダイヤモンド側に合わせ、任意の１００μｍ四方の３視野を走査し、さらにsp³結合を示すピークの信号強度を２次元的に画像化する。得られた画像において、sp³結合を示すピークの信号強度が得られない箇所を凸部１３として、単位面積当たりの凸部１３の数を算出し、３視野の算術平均を算出し、凸部１３の単位面積当たりの数とする。

（製造方法）
前述したような本実施形態のダイヤモンド被覆工具１００、及びその工具基体１２は、次のような製法で製造することができる。
（１）まず、Ｃｏ粉末と、ＴａＣ粉末及びＮｂＣ粉末の少なくとも一方とを含有するＷＣ基超硬合金を焼結する。ＷＣ基超硬合金における各成分の含有割合は、Ｃｏが３〜１５質量％、ＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量が０．１〜３．０質量％、残部がＷＣである。ここで、ＴａＣ、ＮｂＣの結晶粒成長を施すため、ＴａＣ、ＮｂＣ粉末粒子の粒子径は１μｍ程度（詳細には０．８〜１．３μｍ）が好ましく、より好ましくは１μｍ以下の微粒が好ましい。焼結によりＴａＣ、ＮｂＣが結晶粒成長し、ＷＣ粒子間にＴａＣ、ＮｂＣの結晶粒が隙間なく形成される。Ｃｏ粉末の粒子径は１〜２μｍが好ましく、ＷＣ粉末の粒子径は０．５〜１．５μｍが好ましい。なお、これらの粉末を、スプレードライヤーを用いて、２００℃程度（１９０〜２１０℃）で造粒することが好ましい。
このような粉末を圧粉し、真空雰囲気（０．１〜１０Ｐａ）中、１３８０〜１５００℃の温度で１〜２時間保持して焼結し、焼結体を製造することが好ましい。

（２）次いで、前記焼結体を研磨加工して、超硬合金製工具基体１２を形成する。
（３）第１前処理工程として、希硫酸（１．０体積％）と過酸化水素（３体積％）とからなる酸混合溶液１Ｌに１５〜２５秒間、室温（２３℃）で浸漬し、超硬合金基体表面近傍のＣｏをエッチングで除去する。酸混合溶液において、希硫酸は０．４〜１．０体積％、過酸化水素は２〜５体積％であることが好ましい。また、浸漬温度は２０〜２５℃であることが好ましい。第１前処理工程により、Ｃｏ結合相の一部を５〜６μｍの深さまで除去することが好ましい。

（４）次いで、第２前処理工程として、ＮａＯＨ（５０〜１５０ｇ）を含むエッチング溶液１Ｌ（濃度５〜１５体積％）に、単位面積当たりの電流量が１．５〜２．５Ａ／ｄｍ^２になるように電流を通電した状態で３０〜６０分、電解エッチングを行い、基体の表面のＷＣを除去する。第２前処理工程にて形成される凸部の形状は、エッチング時に印加する電流量とアルカリエッチング溶液の濃度、エッチング時間、超硬合金基体を構成するＴａＣまたはＮｂＣの量、基体製造時のＴａＣまたはＮｂＣの原料粉の粒径、造粒工程および焼結工程によって制御される。

（５）次いで、第３前処理工程として、希硫酸０．４〜１．０体積％と過酸化水素２〜５体積％の酸混合溶液１Ｌに８〜１５秒間、室温（２０〜２５℃）で浸漬する。これにより、Ｃｏ結合相の一部を５〜６μｍの深さまで除去する。
（６）次いで、熱フィラメントＣＶＤプロセスにおいて、平均膜厚３〜３０μｍのダイヤモンド膜５を工具基体１２に被覆する。

上記の方法で製造された本実施形態のダイヤモンド被覆工具のダイヤモンド膜と基体の界面の断面の模式図を図１に示す。走査電子顕微鏡により上記の方法で製造された本実施形態のダイヤモンド被覆工具の断面を観察した結果、ダイヤモンド膜５と超硬合金工具基体１２との界面には複数の凸部１３が存在し、凸部１３の高さ７の平均が１〜３μｍ、幅６の平均が０．５〜６μｍ、幅に対する高さのアスペクト比の平均が０．５〜３．０であり、工具基体１２表面にダイヤモンド膜５に食い込むように凸部１３が形成されていることが確認された。また、ダイヤモンド膜５の表面に、高さが１〜３μｍである***部１４を確認した。オージェ電子分光法により凸部１３断面の組成を分析した結果、凸部１３の上部（上部位８）がＴａＣとＮｂＣ１で構成されており、凸部の下部（下部位９）はＷＣ粒子２とＣｏ（Ｃｏ結合相４）で構成されていた。また本実施形態の表面観察の試料の表面の任意の１００μｍ四方の３視野において、幅１０が３〜２０μｍである***部１４が単位面積当たり５００〜１００００個／ｍｍ^２であることが確認された。このような結果から、上述した製造方法が次のような作用を奏することが分かる。
すなわち、第１前処理工程において、工具基体１２表面のＣｏ（Ｃｏ結合相４）が除去されるのに対し、工具基体１２表面に存在しているＴａＣ、ＮｂＣ１の直下に存在するＣｏは、ＴａＣ、ＮｂＣ１により酸エッチング液との接触が断たれるため、除去されずに残存する。その結果、ＴａＣ、ＮｂＣ１の直下では残存するＣｏ結合相４によりＷＣ粒子２間の結合力が維持される。このため、第２前処理工程において工具基体１２表面のＷＣ２が電解エッチングにより除去されても、凸部１３に含まれるＷＣ粒子２は除去されずに残存する。それによって、上部位８がＴａＣまたはＮｂＣで構成され、下部位９がＷＣ粒子とＣｏで構成される凸部１３が工具基体１２上に形成される。そして、この工具基体１２表面にＣＶＤプロセスを行うと凸部１３がダイヤモンド膜５中に楔のように食い込んだ状態でダイヤモンド膜５が形成されるため、工具基体１２とダイヤモンド膜５との密着性が高くなる。

以上のように、ダイヤモンド被覆工具の膜の密着性と刃先強度とは、工具基体１２とダイヤモンド膜５の接合強度（密着性）を向上するために工具基体１２表面の金属結合相（主としてＣｏおよびＣｏ合金）を除去すると、刃先強度が低下するというという、いわば、トレードオフの関係にある。これに対し本実施形態では、工具基体１２表面に上部（上部位８）がＴａＣまたはＮｂＣで構成され、下部（下部位９）がＷＣとＣｏで構成されている凸部１３を所定の割合で形成するという本実施形態に特有の構成により、工具基体１２表面とダイヤモンド膜５との密着性を向上させている。本実施形態では、このような新規な技術的思想により、上記の密着性と刃先強度との問題を解決している。

つぎに、本実施形態のダイヤモンド被覆工具について、実施例に基づき具体的に説明する。
なお、ここでは、ダイヤモンド被覆工具の具体例としてダイヤモンド被覆超硬合金製ドリルについて述べるが、本発明はこれに限られるものではなく、ダイヤモンド被覆超硬合金製インサート、ダイヤモンド被覆超硬合金製エンドミル等、各種のダイヤモンド被覆工具に適用できることは言うまでもない。

（ａ）原料粉末として、いずれも０．５〜１．０μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末を、表１に示される割合に配合し、さらにバインダー（具体的には、パラフィン）と溶剤（具体的には、トルエン、キシレン、メシチレン、テトラリン、デカリン等）を加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した。その後、いずれも押し出しプレス成形し、直径が１０ｍｍ、長さが１５０ｍｍの丸棒圧粉体とし、これらの丸棒圧粉体を、表２に示す条件、即ち、１Ｐａの真空雰囲気中、１３８０〜１５００℃の温度で１〜２時間保持するという焼結条件で焼結することで焼結体を得た。その後、該焼結体を研磨加工することにより、ＷＣ基超硬合金焼結体を製造した。
ついで、前記ＷＣ基超硬合金焼結体を、溝形成部の外径寸法がφ６．５ｍｍ、長さ８０ｍｍとなるように研削加工することにより、ＷＣ基超硬合金製ドリル基体（以下、単に「ドリル基体」という）を製造した。

（ｂ）ついで、前記ドリル基体を、希硫酸（０．５体積％）と過酸化水素（３体積％）の酸混合溶液１Ｌに８〜１５秒間、室温（２３℃）で浸漬し、ドリル基体の表面近傍のＣｏを主成分とする金属結合相の一部を５〜６μｍの深さまでエッチングで除去した。（第１前処理工程）

（ｃ）さらに、これらのドリル基体を、ＮａＯＨ（８０〜１２０ｇ）を含むエッチング溶液１Ｌに、単位面積当たりの電流量が１．５〜２．５Ａ／ｄｍ^２になるように電流を通電した状態で３０分、電解エッチングを行い基体表面のＷＣを除去した。（第２前処理工程）

（ｄ）ついで、前記ドリル基体を、希硫酸（０．５体積％）と過酸化水素（３体積％）の酸混合溶液１Ｌに８〜１５秒間、室温（２３℃）で浸漬し、ドリル基体の表面近傍のＣｏを主成分とする金属結合相の一部を５〜６μｍの深さまでエッチングで除去した。（第３前処理工程）

（ｅ）次いで、０．１μｍ以下の一次粒子径を有するダイヤモンド粉末を配合したエタノール中で超音波処理による傷つけ処理を行い、ついで、ダイヤモンド粉末を熱フィラメントＣＶＤ装置に装入した。そして、フィラメント温度を２２００℃、水素ガスとメタンガスを１００：１の流量比で流しながら、工具基体温度を９００℃に維持し、３〜３０μｍの膜厚のダイヤモンド膜を成膜した。

上記（ａ）〜（ｅ）の製造工程を行うことにより、表３に示す本実施形態のダイヤモンド被覆ＷＣ基超硬合金製ドリル（以下、単に、「本発明ドリル」という）１〜９を製造した。なお、上記（ｂ）〜（ｄ）の工程は、表２に示す条件で行った。

前記製造工程において、（ａ）の工程の際に、超硬合金基体を構成するＴａＣまたはＮｂＣ原料粉の量および原料粉の粒径、超硬合金の焼結温度、焼結時間、および（ｃ）の工程の際に印加する電流量とエッチング溶液の濃度、エッチング時間によって、工具基体表面に形成される凸部の形状を制御した。

比較のため、表１に示される割合に配合された原料粉末を用いて、上記（a）と同様の方法で、ドリル基体を製造した。ドリル基体を希硫酸（０．５体積％）と過酸化水素（３体積％）の酸混合溶液１Ｌに表２に示す処理時間（１０〜２０秒間）、室温（２３℃）で浸漬して、ドリル基体の表面近傍のＣｏを主成分とする金属結合相の一部を５〜６μｍの深さまでエッチングで除去した（第１前処理工程）。次いで、表２に示す条件、即ち、ＮａＯＨ（１００ｇ）混合アルカリ溶液１Ｌに、単位面積当たりの電流量が０．５〜３．５Ａ／ｄｍ^２になるように電流を通電した状態で２０〜６０分という条件で電解エッチングを行った（第２前処理工程）。その後、本発明ドリルと同様の第３前処理工程を、表２の処理時間だけ行った（第３前処理工程）。これにより、表３に示す比較例のダイヤモンド被覆ＷＣ基超硬合金製ドリル（以下、単に、「比較例ドリル」という）１〜１１を製造した。

参考のため、表１に示される割合に配合された原料粉末を用いて、上記（a）と同様の方法で、ドリル基体を製造した。ドリル基体を、希硫酸（０．５体積％）と過酸化水素（３体積％）の酸混合溶液１Ｌに表２に示す処理時間（８〜１５秒間）、室温（２３℃）で浸漬し、ドリル基体の表面近傍のＣｏを主成分とする金属結合相の一部を５〜６μｍの深さまでエッチングで除去した（第１前処理工程）。次いで、表２に示す条件、即ち、フェルシアン化カリウム（１００ｇ）とＮａＯＨ（１００ｇ）混合アルカリ溶液１Ｌに、４５℃で３０〜６０分浸漬した（第２前処理工程）。そして、希硫酸（０．５体積％）と過酸化水素（３体積％）の酸混合溶液１Ｌに表２に示す処理時間（１２〜１５秒間）、室温（２３℃）で浸漬し、ドリル基体の表面近傍のＣｏを主成分とする金属結合相の一部を除去した（第３前処理工程）。表３に示す参考例のダイヤモンド被覆ＷＣ基超硬合金製ドリル（以下、単に、「参考例ドリル」という）１〜６を製造した。

本発明ドリル１〜９、比較例ドリル１〜１１および参考ドリル１〜６のダイヤモンド膜の膜厚を、前述の走査型電子顕微鏡を用いた断面観察により、観察視野内の凸部が形成されていない５点の膜厚を測定し、平均膜厚を算出した。
表３にこれらの値を示す。

また、本発明ドリル１〜９、比較例ドリル１〜１１および参考ドリル１〜６について、前述の走査型電子顕微鏡による断面観察により、工具基体表面に形成された凸部の高さ、幅および幅に対する高さで定義されるアスペクト比ならびにダイヤモンド膜の表面に形成される***部の高さおよび幅を測定し、それぞれについて算術平均を求めた。その結果、本発明ドリル１〜９において観察された凸部はいずれも高さの平均が１．０〜３．０μｍ、幅の平均が０．５〜６．０μｍおよび前記幅に対する高さで定義されるアスペクト比が０．５〜３．０であり、***部はいずれも高さの平均が１．０〜３．０μｍ、幅の平均が３．０〜２０．０μｍであることが確認された。
さらに、本発明ドリル１〜９および比較例ドリル１〜１１および参考ドリル１〜６について走査型電子顕微鏡により表面観察することにより、単位面積当たりの***部の数（表３における凸部の単位体積当たりの数）を測定した。その結果を表３に示す。
なお、凸部が形成されていないものについてはこれらの値を測定できなかったため、表３に「−」と記した。

つぎに、前記本発明ドリル１〜９、比較例ドリル１〜１１および参考ドリル１〜６（いずれも、ドリル径はφ６．５ｍｍ）を用いて、以下の条件で、ＣＦＲＰの高速ドリル穴開け試験を行った。なお、以下の条件に記載されている通常の切削速度とは、従来被覆工具を用いた場合の効率（一般には、工具寿命までに加工できる部品の数など）が最適となる切削速度である。
被削材：厚さ１５ｍｍのＣＦＲＰ，
切削速度：２４０ｍ／ｍｉｎ（通常の切削速度は、１００ｍ／ｍｉｎ），
送り：０．２３ｍｍ／ｒｅｖ，
穴深さ：１５ｍｍ（貫通穴），
前記切削試験において、切削の異常音および切削時の荷重が異常を示した際に、試験を中断し、剥離・欠損の有無を確認した。剥離・欠損等が確認された場合、それまでの穴あけ加工数を加工寿命とした。
また、１００穴迄欠損せず、切れ刃の中央の逃げ面の摩耗形態が正常である（欠損、チッピングがない）ことを、本発明ドリルの合格条件とした。
表４にこれらの評価結果を示す。

表３、４の結果からも明らかなように、本発明ドリル１〜９は、工具基体表面に高さが１．０〜３．０μｍ、幅が０．５〜６．０μｍおよび前記幅に対する高さで定義されるアスペクト比が０．５〜３．０である複数の凸部が存在し、該凸部の上部位はＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種で構成され前記上部位の下方に位置する凸部の下部位はＷＣとＣｏで構成されていた。また、前記凸部に起因してダイヤモンド膜の表面に形成される***部の高さが１．０〜３．０μｍ、幅が３．０〜２０．０μｍであり、かつ前記***部の単位面積当たりの数が５００〜１００００個／ｍｍ^２であった。これによって、ＣＦＲＰ等の難削材の高速ドリル穴開け切削加工において、すぐれた刃先強度を示すとともに、長期の使用に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮した。

これに対して、本発明ドリルのような工具基体表面に所定の凸部が形成されていない比較ドリル１〜１１および参考ドリル１〜６は、密着性に劣り、短期に寿命に至ることが明らかであった。

本発明のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具は、ダイヤモンド被覆超硬合金製ドリルばかりでなく、ダイヤモンド被覆超硬合金製インサート、ダイヤモンド被覆超硬合金製エンドミル等、各種のダイヤモンド被覆工具に適用できるものである。このため、本発明のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具は、すぐれた刃先強度と耐摩耗性を発揮することから、切削加工の省エネ化、低コスト化に十分満足に対応できるものであり、その産業上の利用可能性はきわめて大きい。

１ ＴａＣ又はＮｂＣ
２ ＷＣ
３ 空孔
４ Ｃｏ結合相
５ ダイヤモンド膜
６ 基体の表面に形成される凸部の幅
７ 基体の表面に形成される凸部の高さ
８ 上部位
９ 下部位
１０ ダイヤモンド膜の表面に形成される***部の幅
１１ ダイヤモンド膜の表面に形成される***部の高さ
１２ 工具基体
１３ 凸部
１４ ***部
１００ ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具

Claims (8)

1. Ｃｏが３〜１５質量％、ＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計量が０．１〜３．０質量％、残部がＷＣで構成される炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体にダイヤモンド膜を被覆形成したダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具において、
   前記工具基体表面に複数の凸部が存在し、前記複数の凸部の高さの平均が１．０〜３．０μｍ、幅の平均が０．５〜６．０μｍ、および前記幅に対する前記高さで定義されるアスペクト比の平均が０．５〜３．０であり、
   該凸部の上部位はＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種で構成され、上記上部位の下方に位置する前記凸部の下部位はＷＣとＣｏで構成される、ダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
2. 前記凸部の単位面積当たりの数が５００〜１００００個／ｍｍ^２である請求項１に記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
3. 前記ダイヤモンド膜の平均膜厚が３〜３０μｍである請求項１または２に記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
4. 前記ダイヤモンド膜の表面に複数の***部が形成され、前記複数の***部の高さの平均が１．０〜３．０μｍ、幅の平均が３．０〜２０．０μｍである請求項１乃至３のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
5. 前記***部の単位面積当たりの数が５００〜１００００個／ｍｍ^２であることを特徴とする請求項４に記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
6. 前記下部位におけるＣｏの含有量が２〜１３質量％である請求項１乃至５のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
7. 前記上部位におけるＴａＣ、ＮｂＣの内の１種または２種の合計の含有量が９５〜１００質量％である請求項１乃至６のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具。
8. 請求項１乃至７のいずれかに記載のダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具の製造方法であって、
   Ｃｏ粉末と、ＴａＣ粉末及びＮｂＣ粉末の少なくとも一方と、ＷＣ粉末とを、スプレードライヤーを用いて１９０〜２１０℃で造粒する造粒工程と、
   前記造粒工程を経た前記Ｃｏ粉末と、前記ＴａＣ粉末及びＮｂＣ粉末の少なくとも一方と、前記ＷＣ粉末とを混合し、０．１〜１０Ｐａ、１３８０〜１５００℃で１〜２時間保持して焼結することにより前記工具基体を形成する焼結工程と、
   前記工具基体を、希硫酸と過酸化水素水を含む酸溶液に浸漬する第１前処理工程と、
   前記第１前処理工程を施した前記工具基体を、水酸化ナトリウムを含む濃度５〜１５体積％のアルカリエッチング溶液に、１．５〜２．５Ａ／ｄｍ^２の電流を流した状態で３０〜６０分間浸漬して電解エッチング処理を行う第２前処理工程と、
   前記第２前処理工程を施した前記工具基体を、希硫酸と過酸化水素水を含む酸溶液に浸漬する第３前処理工程と、
   前記第３前処理工程を施した前記工具基体に対し、ダイヤモンド膜を被覆する工程と、
   を備えるダイヤモンド被覆超硬合金製切削工具の製造方法。