JP6296058B2 - 被覆切削工具 - Google Patents

被覆切削工具 Download PDF

Info

Publication number
JP6296058B2
JP6296058B2 JP2015526364A JP2015526364A JP6296058B2 JP 6296058 B2 JP6296058 B2 JP 6296058B2 JP 2015526364 A JP2015526364 A JP 2015526364A JP 2015526364 A JP2015526364 A JP 2015526364A JP 6296058 B2 JP6296058 B2 JP 6296058B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
cutting tool
lower layer
coated cutting
average
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015526364A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2015005364A1 (ja
Inventor
雄亮 平野
雄亮 平野
高橋 欣也
欣也 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tungaloy Corp
Original Assignee
Tungaloy Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tungaloy Corp filed Critical Tungaloy Corp
Publication of JPWO2015005364A1 publication Critical patent/JPWO2015005364A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6296058B2 publication Critical patent/JP6296058B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36Carbonitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/34Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40Oxides
    • C23C16/403Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

本発明は、被覆切削工具に関するものである。
従来、超硬合金からなる基材の表面に、例えば、Tiの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物、並びに酸化アルミニウムの中の1種の単層または2種以上の複層からなる被覆層を、化学蒸着法により、3〜20μmの総膜厚で蒸着形成してなる被覆切削工具が、鋼や鋳鉄などの切削加工に用いられていることは良く知られている。
通常、炭化タングステン基超硬合金の表面に被膜を形成すると、被膜に引張応力が残留するために、被覆切削工具の破壊強度が低下して欠損し易くなるとされている。これまで、被膜形成後、ショットピーニング等によりクラックを発生させることにより、引張残留応力を開放することが提案され、かなりの効果が得られている(例えば、特許文献1参照)。
また、被覆層の特性を改善するため、Al層形成後の冷却時に発生するクラックを無くすことで、切削工具の切削寿命を向上する技術が知られている(例えば、特許文献2参照)。
さらに、基材側下方部分の被膜に高密度クラックを有し、表面側上方部分の被膜低密度クラックを有した切削工具が知られている(例えば、特許文献3参照)。
特開平5−116003号公報 特開平7−216549号公報 特開平6−246512号公報
近年の切削加工では高速化、高送り化および深切込み化が顕著となり、従来よりも工具寿命が低下する傾向が見られるようになってきた。この様な背景により、上記特許文献1に開示された工具であっても、クラックの深さが被膜の表面から基材の界面まで達しているため、耐欠損性が劣るという問題があった。また、特許文献2で開示された工具は、依然として被膜中の引張残留応力が高いため、耐チッピング性が劣るという問題点があった。さらに、特許文献3で開示された工具は、ショットピーニングに使用するメディアが被膜中に残留し、そのメディアを起点にチッピングが生じるという問題があった。さらに、被膜の形成からショットピーニングまでの工程を2回繰り返すため、コストが高いという問題があった。本発明は、これらの問題を解決するためになされたものであり、被覆切削工具に生じるクラック進展の抑制により、優れた耐チッピング性および耐欠損性を持ち、工具寿命の長い被覆切削工具を提供することを目的とする。
本発明者らは、上述の観点から、被覆切削工具の工具寿命の延長について研究を重ねたところ、以下の構成にすると、耐チッピング性および耐欠損性を向上させることができ、その結果、工具寿命を延長することができるという知見を得た。
すなわち、本発明の要旨は以下の通りである。
(1)基材と、該基材の表面に形成された被覆層とを含む被覆切削工具において、
前記被覆層は、上部層と下部層とを有し、
前記下部層は前記基材の表面に形成され、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、WおよびSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、BおよびOからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とで構成される化合物の1層または2層以上から構成され、前記下部層のクラック間隔の平均値Xが10〜80μmであり、
前記上部層は前記下部層の表面に形成され、酸化アルミニウム層を含み、前記酸化アルミニウム層のクラック間隔の平均値Zが20〜100μmであり、
0<Z−X<90の関係を満たす被覆切削工具。
(2)前記下部層のクラック間隔の平均値Xと前記酸化アルミニウム層のクラック間隔の平均値Zとが20<Z−X<75の関係を満たす(1)の被覆切削工具。
(3)前記下部層の前記基材側には、前記基材の成分が前記下部層に拡散した拡散層が形成され、前記拡散層の平均層厚Tと前記下部層の平均層厚Tは0.1≦T/T≦0.8の関係を満たす(1)または(2)の被覆切削工具。
(4)前記下部層に拡散した前記基材の成分は、W、Co、Ni、Ti、Ta、Nb、Mo、Cr、VおよびZrからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素である(1)〜(3)のいずれかの被覆切削工具。
(5)前記被覆層全体の層厚が3〜30μmの平均層厚を有し、
前記下部層の層厚が1.5〜20μmの平均層厚を有し、
前記上部層の層厚が1〜15μmの平均層厚を有する前記下部層の層厚が1.5〜20μmの平均層厚を有する(1)〜(4)のいずれかの被覆切削工具。
(6)前記上部層は、前記下部層と接する表面に、TiとAlからなる元素と、C、NおよびOからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とで構成される化合物からなる中間層を含む(1)〜(5)のいずれかの被覆切削工具。
(7)前記基材は、超硬合金またはサーメットのいずれかである(1)〜(6)のいずれかの被覆切削工具。
<被覆切削工具>
本発明の被覆切削工具は、基材とその基材の表面に形成された被覆層とを含む。被覆切削工具の種類として、具体的には、フライス加工用または旋削加工用刃先交換型切削インサート、ドリル、エンドミルなどを挙げることができる。
<基材>
本発明の基材は、例えば、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体および高速度鋼などを挙げることができる。その中でも、基材が超硬合金またはサーメットであると、耐摩耗性および耐欠損性に優れるので、さらに好ましい。
なお、これらの基材は、その表面が改質されたものであっても差し支えない。例えば、超硬合金の場合はその表面に脱β層が形成されていたり、サーメットの場合には表面硬化層が形成されていてもよく、このように表面が改質されていても、本発明の効果は示される。
<被覆層>
本発明の被覆層は、上部層と下部層とを有する。被覆層全体の平均層厚は、3〜30μmであることが好ましい。3μm未満であると、耐摩耗性に劣る場合があり、30μmを超えると、基材との密着性および耐欠損性が低下する場合がある。その中でも、3〜20μmであるとさらに好ましい。
<下部層>
本発明の下部層は基材の表面に形成され、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、WおよびSiからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、BおよびOからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とで構成される化合物の1層または2層以上から構成されるものである。
本発明の下部層は、Ti、ZrおよびCrからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素と、C、N、BおよびOからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とで構成される化合物であると好ましい。また、本発明の下部層の少なくとも1層は、TiCNからなると、耐摩耗性および耐欠損性に優れるため好ましい。さらに、本発明の下部層は、基材と接する表面にTiNからなる最下層を備えると密着性に優れるため、好ましい。前記最下層の平均層厚は、0.05〜1μmであることが好ましい。
本発明の下部層の平均層厚は、1.5〜20μmであることが好ましい。下部層の平均層厚が、1.5μm未満では、高速切削時に耐摩耗性に劣る場合があり、20μmを超えると、基材との密着性および耐欠損性が低下する場合がある。その中でも、2.5〜15μmであるとさらに好ましい。
本発明の下部層のクラック間隔の平均値Xは10〜80μmである。下部層のクラック間隔の平均値Xが、10μm未満であると下部層のクラックと切削加工中に発生した亀裂とがつながりやすいため、耐チッピング性が低下し、80μmを超えると基材と被覆層との界面に高い引張応力が残留しているため、下部層の靱性が低下し、耐欠損性が低下する。その中でも、10〜60μmであるとさらに好ましい。
本発明の下部層の基材側には、基材の成分が下部層に拡散した拡散層が形成されると、基材と被覆層との密着性が向上し、さらに切削加工中に被覆層の表面に発生した亀裂が下部層で進展するのを抑制するため、耐チッピング性が向上するので好ましい。拡散層の平均層厚Tと下部層の平均層厚Tとの関係T/Tが0.1未満であると、基材と下部層との密着性が低くなる傾向があり、切削加工中に発生した亀裂の進展を下部層で抑制する効果が得られない。拡散層の平均層厚Tと下部層の平均層厚Tとの関係T/Tが0.8を超えると、下部層と上部層との密着性が低くなる傾向があり、耐チッピング性が低下する。このため、拡散層の平均層厚Tと下部層の平均層厚Tは0.1≦T/T≦0.8の関係を満たすと好ましい。また、拡散層に拡散する基材の成分は、W、Co、Ni、Ti、Ta、Nb、Mo、Cr、VおよびZrからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素であると好ましい。その中でも、拡散層に拡散する基材の成分がCoであると、下部層の結晶粒界の界面の靱性が向上し、亀裂の進展を抑制する効果が高いため好ましい。
<上部層>
本発明の上部層は、下部層の表面に形成され、本発明の上部層の少なくとも1層は、酸化アルミニウム層(以下、Al層)を含む。Al層の結晶型は特に限定されず、α型、β型、δ型、γ型、κ型、χ型、擬τ型、η型およびρ型等が挙げられる。これらの中でも、Al層の結晶型は、高温で安定なα型、または中間層とAl層との密着性に優れるκ型であると好ましい。特に、高速切削など切削に関与する領域が高温になる場合において、Al層がα型Al層であると、欠損やチッピングを起こしにくくなる。
本発明の上部層の平均層厚は、1〜15μmであることが好ましい。上部層の平均層厚が1μm未満では、すくい面における耐クレータ摩耗性が低下する場合があり、15μmを超えると、剥離が生じやすくなり、耐欠損性が低下する場合がある。その中でも、2〜10μmであるとさらに好ましい。
本発明の上部層は、Al層だけで構成されてもよいが、Al層と下部層との間に、TiとAlからなる元素と、C、NおよびOからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とで構成される化合物からなる中間層を含むと、密着性に優れるため、好ましい。その中でも、TiAlCNOであると好ましい。中間層の平均層厚は、0.05〜1μmであることが好ましい。また、本発明の上部層は、Al層より表面側に表面層を含んでもよい。表面層は、Tiの炭化物、窒化物、および炭窒化物のいずれかであると、切削使用後の被覆切削工具の識別が容易となるため、好ましい。その中でも、Tiの窒化物(すなわちTiNで表される化合物)であると、色彩が最も明瞭であるため、さらに好ましい。
本発明の上部層を構成するAl層のクラック間隔の平均値Zは、20〜100μmである。Al層のクラック間隔の平均値が20μm未満であると、Al層のクラックと切削加工中に被覆層の表面に発生した亀裂とがつながりやすいため、耐チッピング性が低下する。一方、100μmを超えると、Al層に高い引張残留応力が残留しているため、耐欠損性が低下する。その中でも、35〜85μmであるとさらに好ましい。
本発明の被覆層における下部層のクラック間隔の平均値XとAl層のクラック間隔の平均値Zとが、0<Z−X<90の関係を有すると、上部層の表面から基材まで到達するクラックが少ないため、耐欠損性が向上する。また、下部層と上部層との界面に生じる残留応力が小さくなるため、密着性に優れ、耐チッピング性が向上する。その中でも、20<Z−X<75の関係を有すると、さらに好ましい。
〔被覆層の形成方法〕
本発明の被覆切削工具における被覆層を構成する各層の形成方法として、例えば、以下の方法を挙げることができる。
例えば、下部層のTiN層は、原料ガス組成をTiCl:5.0〜10.0mol%、N:20〜60mol%、H:残りとし、温度:850〜920℃、圧力:100〜350hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
下部層のTiCN層は、原料ガス組成をTiCl:10〜15mol%、CHCN:1〜3mol%、N:0〜20mol%、H:残りとし、温度:850〜920℃、圧力:60〜80hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
ZrCN層は、原料ガス組成をZrCl:1.6〜4.1mol%、N:20.0〜40.0mol%、CH:2.0〜5.5mol%、H:残りとし、温度:880〜950℃、圧力:55〜85hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
CrCN層は、原料ガス組成をCrCl:2.1〜5.0mol%、N:11.6〜28.0mol%、CH:2.5〜4.5mol%、H:残りとし、温度:980〜1050℃、圧力:80〜120hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
α型Al層は、原料ガス組成をAlCl:2.1〜5.0mol%、CO:2.5〜4.0mol%、HCl:2.0〜3.0mol%、HS:0.28〜0.45mol%、H:残りとし、温度:900〜1000℃、圧力:60〜80hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
κ型Al層は、原料ガス組成をAlCl:2.1〜5.0mol%、CO:3.0〜6.0mol%、CO:3.0〜5.5mol%、HCl:3.0〜5.0mol%、HS:0.3〜0.5mol%、H:残りとし、温度:900〜1000℃、圧力:60〜80hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
TiAlCNO層は、原料ガス組成をTiCl:3.0〜5.0mol%、AlCl:1.0〜2.0mol%、CO:0.4〜1.0mol%、N:30〜40mol%、H:残りとし、温度:975〜1025℃、圧力:90〜110hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
TiAlCO層は、原料ガス組成をTiCl:0.5〜1.5mol%、AlCl:3.0〜5.0mol%、CO:2.0〜4.0mol%、H:残りとし、温度:975〜1025℃、圧力:60〜100hPaとする化学蒸着法で形成することができる。
上部層のTiN層は、原料ガス組成をTiCl:7.0〜10.0mol%、N:25〜50mol%、H:残りとし、温度:970〜1030℃、圧力:120〜200hPaとする条件で形成することができる。
上部層のTiCN層は、原料ガス組成をTiCl:5.5〜8.0mol%、N:5.0〜15.0mol%、CHCN:0.5〜1.5mol%、H:残りとし、温度:970〜1030℃、圧力:70〜120hPaとする条件で形成することができる。
下部層のクラック間隔の平均値XとAl層のクラック間隔の平均値ZとがZ−X>0を満たすために、以下の方法によって被覆層を形成することができる。
すなわち、下部層を850〜1050℃の温度で形成した後に、チャンバ内の温度を200〜400℃に下げ、1時間以上保持することで、下部層にクラックを発生させることができる。このとき、チャンバ内の雰囲気は特に限定されず、30hPa以下の真空雰囲気であってもよく、水素ガス、アルゴンガスまたは窒素ガス雰囲気で50〜750hPaの圧力となるように調整してもよい。冷却して保持した後、上部層を形成する温度まで上昇し、従来公知の形成条件で上部層を形成すると、0<Z−X<90の関係を満たした被覆切削工具が得られる。
拡散層は、以下の熱処理を施すことで形成される。すなわち、上部層を形成した後、チャンバ内の温度を1020〜1100℃に昇温し、1〜7時間保持することで、基材の成分が下部層に拡散する。拡散層の厚さは、チャンバ内の温度と保持時間を調節することで制御することができる。チャンバ内の雰囲気は特に限定されず、30hPa以下の真空雰囲気、水素ガス、アルゴンガスまたは窒素ガス雰囲気で50〜1020hPaの圧力となるように調整すると、拡散層が形成された被覆切削工具を得ることができる。
基材の表面に被覆層を形成した後、乾式ショットブラスト、湿式ショットブラストまたはショットピーニングを施すと、下部層のクラック間隔の平均値XとAl層のクラック間隔の平均値Zをさらに容易に制御できるため、好ましい。例えば、乾式ショットブラストの条件は、被覆層の表面に対して投射角度が30〜90°になるように、投射材を50〜80m/secの投射速度、0.5〜3分の投射時間で投射するとよい。乾式ショットブラストのメディアは、平均粒径100〜150μmのAlやZrOなどの材質であると好ましい。
各層の層厚は、被覆切削工具の断面組織から光学顕微鏡、走査型電子顕微鏡(SEM)、電界放射型走査電子顕微鏡(FE−SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)などを用いて測定することができる。なお、被覆切削工具の層厚は、刃先から被覆切削工具のすくい面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、各層の層厚を3箇所以上測定し、その平均値を求めるとよい。各層の組成は、本発明の被覆切削工具の断面組織からエネルギー分散型X線分光器(EDS)や波長分散型X線分光器(WDS)などを用いて測定することができる。
Al層のクラック間隔の測定方法として、例えば、以下の方法を挙げることができる。Al層が露出するまで基材の表面に対して平行な方向に鏡面研磨し、SEM、FE−SEMなどを用いてクラックを容易に観察することができる。鏡面研磨面を、400〜5000倍の倍率でSEMにて写真を撮影する。得られた写真に数本の直線を引き、クラックとその直線の交点間の距離を求め、それをクラック間隔とする。少なくとも50箇所のクラック間隔を求め、それらの値からクラック間隔の平均値を求めることができる。
下部層のクラック間隔の測定方法として、例えば、以下の方法を挙げることができる。クラック間隔を測定する下部層が露出するまで基材の表面に対して平行な方向に鏡面研磨し、フッ硝酸にてエッチングすると、クラックを容易に観察することができる。フッ硝酸を完全に除去した後に、鏡面研磨面を、75〜150倍の倍率で光学顕微鏡にて光顕写真を撮影する。得られた光顕写真に数本の直線を引き、クラックとその直線の交点間の距離を求め、それをクラック間隔とする。少なくとも50箇所のクラック間隔を求め、それらの値からクラック間隔の平均値を求めることができる。
下部層の拡散層の厚さは、本発明の被覆切削工具の基材の表面に対して垂直な方向における被覆層の断面を鏡面研磨し、SEMおよびFE−SEMなどを用いて、反射電子像を観察することで測定することができる。なお、下部層の拡散層の厚さは、刃先から被覆切削工具のすくい面の中心部に向かって50μmの位置の近傍において、下部層の拡散層の厚さを3箇所以上測定し、その平均値を求めるとよい。下部層に拡散した基材の組成は、本発明の被覆切削工具の断面組織からエネルギー分散型X線分光器(EDS)や波長分散型X線分光器(WDS)などを用いて拡散層を分析することで測定することができる。
本発明の被覆切削工具は、耐チッピング性および耐欠損性に優れるので、従来よりも工具寿命を延長できるという効果を奏する。
以下、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
基材として、JIS規格CNMG120408形状の91.5WC−0.5TiC−1.8TaC−0.2NbC−6.0Co(以上質量%)組成の超硬合金製切削インサートを用意した。この基材の切れ刃稜線部にSiCブラシにより丸ホーニングを施した後、基材の表面を洗浄した。次に基材を外熱式化学蒸着装置に装入し、表1に示す被覆層の構成と平均層厚になるように基材表面に被覆層を形成した。なお、表1の酸化アルミニウム層(Al層)の結晶型における(α)はα型Al層を表し、(κ)はκ型Al層を表す。
発明品1〜19、比較品2〜5については、下部層を形成した後に、50hPa以下の真空になるまで真空引きした。次に、チャンバ内の温度を250℃に下げ、3時間以上保持して冷却した。冷却後、上部層を形成する温度まで昇温した後、上部層を形成した。なお、比較品1、6〜9については、下部層を形成した後、従来通りの化学蒸着法で上部層を形成した。
発明品1〜17、19、比較品1〜6、8、9については、上部層を形成した後、チャンバ内の温度を1030℃に昇温し、窒素ガスの雰囲気でチャンバ内の圧力が200hPaとなるように制御し、表1の拡散層厚となるように、1〜7時間保持した。
発明品1〜19、比較品1、2、4、6〜9については、基材の表面に被覆層を形成した後、乾式ショットブラストを施した。乾式ショットブラストの条件は、被覆層の表面に対して投射角度が45°になるように、投射材を65m/secの投射速度、0.5〜3分の投射時間で投射した。乾式ショットブラストのメディアは、平均粒径150μmのAlを用いた。
Figure 0006296058

Figure 0006296058
得られた試料の各層の層厚は、被覆切削工具の刃先からすくい面の中心部に向かって50μmの位置の近傍の断面を、SEMで3箇所測定し、その平均値を求めた。拡散層の層厚は、被覆切削工具の刃先から中心部に向かって50μmの位置の近傍の断面を、SEMで反射電子像を観察し、拡散層の厚さを3箇所測定し、平均値を求めた。また、下部層に拡散した基材成分は、拡散層の平均層厚の中心の厚さの位置を、基材と被覆層との界面と平行な方向にEDSを用いて線分析により測定した。
得られた試料の下部層のクラック間隔の平均値Xおよび酸化アルミニウム層のクラック間隔の平均値Zは、以下の通りに求めた。まず被覆切削工具の表面を酸化アルミニウム層が露出するまで鏡面研磨し、その鏡面研磨面を400倍の倍率でSEMにて写真を撮影した。得られた写真に10本の直線を引き、クラックとその直線の交点間の距離を求め、それをクラック間隔とした。各試料について、5個のインサートを用意し、それぞれ10箇所のクラック間隔を求め、それらの値から酸化アルミニウム層のクラック間隔の平均値Zを求めた。次に下部層が露出するまで鏡面研磨し、その鏡面研磨面をフッ硝酸にてエッチングした。フッ硝酸を完全に除去した後に、鏡面研磨面を75倍の倍率で光学顕微鏡にて光顕写真を撮影した。得られた光顕写真に数本の直線を引き、クラックとその直線の交点間の距離を求め、それをクラック間隔とした。各試料について、5個のインサートを用意し、それぞれ10箇所のクラック間隔を求め、それらの値から下部層のクラック間隔の平均値Xを求めた。下部層および酸化アルミニウム層のクラック間隔の平均値を表2に示す。
Figure 0006296058
得られた試料を用いて、耐欠損性を評価した。FC200(硬さ:H240)を被削材に使用した。被削材の形状は、直径180mm×厚さ60mmの円盤状の中心に直径60mmの穴があり、中心から外径側に向かって4本の凸部(凸部の縁と隣の凸部の縁がなす角度は80°である。)が設けられた形状とした。切削試験では、下記の切削条件で被削材に対して端面切削を行った。
[切削試験条件]
切削速度:450m/min、
送り:0.30mm/rev、
切り込み:2.0mm、
クーラント:有り、
評価項目:試料が欠損または最大逃げ面摩耗幅が0.3mmに至ったときを工具寿命とし、工具寿命までの加工枚数を測定した。
切削試験の工具寿命までの加工枚数および損傷状態を表3に示した。
Figure 0006296058
表3に示されるように、発明品1〜19は、耐欠損性を評価する試験条件において、いずれも欠損が生じていないことから、大幅に耐欠損性が優れることが分かった。また、発明品は比較品よりも工具寿命に至るまでの加工数が多いため、工具寿命が大幅に長いことが分かる。

Claims (5)

  1. 基材と、該基材の表面に形成された被覆層とを含む被覆切削工具において、
    前記被覆層は、上部層と下部層とを有し、
    前記下部層は前記基材の表面に形成され、TiN、TiCN、ZrCN、又はCrCNを含む1層または2層以上から構成され、前記下部層のクラック間隔の平均値Xが10〜80μmであり、
    前記上部層は前記下部層の表面に形成され、酸化アルミニウム層と、酸化アルミニウム層の表面側に形成された表面層を含み、表面層の組成がTiNであり、表面層の平均層厚が0.3〜1.0μmであり、前記酸化アルミニウム層のクラック間隔の平均値Zが20〜100μmであり、
    11≦Z−X≦28の関係を満たし、
    前記被覆層全体の層厚が3〜30μmの平均層厚を有し、
    前記下部層の層厚が1.5〜20μmの平均層厚を有し、
    前記上部層の層厚が1〜15μmの平均層厚を有する、被覆切削工具。
  2. 前記下部層の前記基材側には、前記基材の成分が前記下部層に拡散した拡散層が形成され、前記拡散層の平均層厚Tと前記下部層の平均層厚Tは0.1≦T/T≦0.8の関係を満たす請求項1に記載の被覆切削工具。
  3. 前記下部層に拡散した前記基材の成分は、W、Co、Ni、Ti、Ta、Nb、Mo、Cr、VおよびZrからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素である請求項2に記載の被覆切削工具。
  4. 前記上部層は、前記下部層と接する表面に、TiとAlからなる元素と、C、NおよびOからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素とで構成される化合物からなる中間層を含む請求項1〜3のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
  5. 前記基材は、超硬合金またはサーメットのいずれかである請求項1〜4のいずれか1項に記載の被覆切削工具。
JP2015526364A 2013-07-09 2014-07-09 被覆切削工具 Active JP6296058B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013143416 2013-07-09
JP2013143416 2013-07-09
PCT/JP2014/068245 WO2015005364A1 (ja) 2013-07-09 2014-07-09 被覆切削工具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2015005364A1 JPWO2015005364A1 (ja) 2017-03-02
JP6296058B2 true JP6296058B2 (ja) 2018-03-20

Family

ID=52280042

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015526364A Active JP6296058B2 (ja) 2013-07-09 2014-07-09 被覆切削工具

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6296058B2 (ja)
WO (1) WO2015005364A1 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6555514B2 (ja) * 2015-07-06 2019-08-07 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
US11478857B2 (en) * 2016-12-26 2022-10-25 Kyocera Corporation Cutting insert
JP6521130B2 (ja) * 2017-04-21 2019-05-29 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6999383B2 (ja) 2017-11-29 2022-01-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3833288B2 (ja) * 1994-10-04 2006-10-11 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質合金
WO2013042790A1 (ja) * 2011-09-22 2013-03-28 株式会社タンガロイ 被覆切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
WO2015005364A1 (ja) 2015-01-15
JPWO2015005364A1 (ja) 2017-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102033188B1 (ko) 경질 피복층이 우수한 내치핑성과 내마모성을 발휘하는 표면 피복 절삭 공구
US9993878B2 (en) Coated cutting tool
KR101722009B1 (ko) 피복 절삭 공구
US10722948B2 (en) Coated cutting tool
JP6973026B2 (ja) 被覆切削工具
JP6727553B2 (ja) 被覆切削工具
JP6736032B2 (ja) 被覆切削工具
JP5736600B2 (ja) 被覆切削工具
JP6296058B2 (ja) 被覆切削工具
EP3318661B1 (en) Coated cutting tool
JP2020006487A (ja) 硬質被覆層が優れた耐チッピング性を発揮する表面切削工具
EP3318660B1 (en) Coated cutting tool
JP5858363B2 (ja) 切削工具用の基材およびそれを含む表面被覆切削工具
JP6210348B1 (ja) 被覆切削工具
JP6703311B2 (ja) 被覆切削工具
JP2019107720A (ja) 被覆切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161206

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170131

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170627

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170822

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180123

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180205

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6296058

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250