JP5682802B2 - 回転角度測定装置及び回転角度測定方法 - Google Patents
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Description
以下、添付図面に従って第1発明の好ましい実施の形態について説明する。
なお、光路長差xは2Lに比べて十分に小さいことから、次式(2)を用いてもよい。
次に、回転角度補正部68は、ステップS26で算出されたエンコーダ本体26の回転角度θ2に基づき、ステップS22で算出されたエンコーダ軸22の回転角度θ1を補正する(ステップS30)。具体的には、エンコーダ軸22の回転角度θ1にエンコーダ本体26の回転角度θ2を加算することにより、エンコーダ軸22の軸偏心に起因する偏心誤差が取り除かれた補正後の回転角度θ1´を算出する。
次に、第2発明の実施形態について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
次に、第3発明の実施形態について説明する。以下、上述した各実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
Claims (9)
- 回転を一定範囲内とした支持基準体と、前記支持基準体に対し全周回転自在に軸支された駆動する回転体との相対的な回転角度を検出する相対角度検出手段と、
前記回転体及び前記支持基準体から切り離された位置から非接触で、前記支持基準体の回転軸に対して垂直な方向に2本の平行レーザ光を照射し、前記回転体の回転に伴う前記支持基準体の回転角度をレーザ干渉を利用して検出するレーザ干渉式角度検出手段と、
を備える回転角度測定装置。 - 前記相対角度検出手段が検出した回転角度を、前記レーザ干渉式角度検出手段で検出した回転角度に基づいて補正する補正手段を
さらに備える請求項1に記載の回転角度測定装置。 - 前記相対角度検出手段は、前記回転体の回転に伴って周期的に発生する周期誤差の発生周期よりも小さな回転角度毎に前記回転体の相対的な回転角度を検出する請求項1又は2に記載の回転角度測定装置。
- 前記レーザ干渉式角度検出手段は、前記相対角度検出手段による相対的な回転角度の検出と同時に前記支持基準体の回転角度を検出する請求項1〜3のいずれか1項に記載の回転角度測定装置。
- 前記相対角度検出手段は、ロータリエンコーダである請求項1〜4のいずれか1項に記載の回転角度測定装置。
- 回転を一定範囲内とした支持基準体と、前記支持基準体に対し全周回転自在に軸支された回転体との相対的な回転角度を検出する相対角度検出ステップと、
前記回転体及び前記支持基準体から切り離された位置から非接触で、前記支持基準体の回転軸に対して垂直な方向に2本の平行レーザ光を照射し、前記回転体の回転に伴う前記支持基準体の回転角度をレーザ干渉を利用して検出するレーザ干渉式角度検出ステップと、
を含む回転角度測定方法。 - 前記相対角度検出ステップで検出した回転角度を、前記レーザ干渉式角度検出ステップで検出した回転角度に基づいて補正する補正ステップを
さらに含む請求項6に記載の回転角度測定方法。 - 前記相対角度検出ステップは、前記回転体の回転に伴って周期的に発生する周期誤差の発生周期よりも小さな回転角度毎に前記回転体の相対的な回転角度を検出する請求項6又は7に記載の回転角度測定方法。
- 前記レーザ干渉式角度検出ステップは、前記相対角度検出ステップによる相対的な回転角度の検出と同時に前記支持基準体の回転角度を検出する請求項6〜8のいずれか1項に記載の回転角度測定方法。
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