JP5676516B2 - 基板を格納するための基板容器及びウェハを搬送するための装置 - Google Patents
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Description
ビーム遮断式マッピングは、ウェハの有無、及び、ウェハの容器内の垂直方向位置を求めるための最も信頼できる方法であることがわかった。しかし、300mmのFOUPアーキテクチャによるビーム遮断式マッピングは、感知素子を容器に位置決めするのに高価で複雑な機構を必要とする。
ウェハにアクセスするためには、エンドエフェクタのブレードは、最初、所望の位置に到達するまで隣接したウェハ間を移動しなければならず、その位置において、ウェハを支持棚から持ち上げる。ウェハの直径が増加するに伴い、ウェハの質量及びウェハを支持するのに必要なブレード長さも増加する。大きい直径のウェハに対するエンドエフェクタの妥当な変形特性を維持するためには、エンドエフェクタのブレードはより厚いものでなければならない。エンドエフェクタのブレードの厚さが増加した場合、より厚いエンドエフェクタがウェハに接触することなしにウェハ間を通ることを可能にするように、ウェハ間のピッチも増加させなければならない。容器の大きさを増加させなければならないか又は在来の容器内にはより少ないウェハしか格納できないかのいずれかになる。さらに、エンドエフェクタの追加の移動長さは、ウェハの反り、ひずみ、及びゆがみ、並びに、時間効率的なウェハの取り扱いに必要とされる迅速な水平方向運動及び垂直方向運動によるエンドエフェクタの振動特性を受けやすい。これらすべては、移動するエンドエフェクタとウェハとの間のどのような偶発的な接触もなしで達成されなければならない。エンドエフェクタとウェハとの間の接触は、ウェハ上の敏感な回路に対して深刻な損傷をもたらす傾向、並びに、容器内の他のすべてのウェハを汚染することがある粒子バーストを発生させる傾向がある。
在来のエンドエフェクは、ウェハを容器内に配置し、次いで、次のウェハにランダムにアクセスするための垂直方向運動の間隙を可能にするように引込み、次いでこのウェハは引込められて処理されるようになるか又は計測位置に運ばれる。したがって、容器における各ウェハ交換に対して4つの水平方向の移動が必要になる。
典型的には、ウェハは、処理又は測定のために、平らなチャック又はプラテン上に配置される。多くの適用例において、ウェハは、真空を適用することにより、チャックに固定され(及び平坦化され)る。在来の真空又はエッジグリップ・エンドエフェクタの使用は、ウェハの解除及びエンドエフェクタのブレードの引込みを可能にするようにチャックにおける大きい切り取り領域を必要とする。
今日のアーキテクチャでは、多数のウェハを同時に摘まむ又は配置すること、又は、物質移動モードにおいて所望のウェハの個々の選択を可能にすることは、非常に困難である。
本発明に関連するさらに別の側面は、エンドエフェクタが支持構造体の外側に沿ってウェハ間を移動することができるタイン構造体を提供することである。1つの形態においては、一対の片持ち構造体は、片持ち構造体の上に着座したウェハの一部が各片持ち構造体の外縁を越えて外方に延びるように離間される。本発明に関連するエンドエフェクタは、次いで、各ウェハの外側に沿ってウェハ間を移動して、単にウェハを支持棚から持ち上げるために、ウェハ表面全体を横切って移動する必要性をなくすことができる。1つの形態においては、エンドエフェクタは、エンドエフェクタのアームをウェハの下に位置決めできる高さになるまで、ウェハの外側に沿って移動する。この距離は、一例に過ぎないが、数ミリメートルを含み、エンドエフェクタがウェハ表面を横切って移動することを必要としない。
〔態様1〕
底面及び周縁を有する少なくとも1つの加工物を格納するための加工物容器であって、 容器シェル及び容器ドアによって定められる包囲体と、
前記包囲体の中に配置された加工物支持構造体とを有し、
前記加工物支持構造体は、複数の垂直方向積重ね式格納棚を前記包囲体の中に有し、前記格納棚の各々は、加工物を実質的に水平方向の向きに支持し、
前記加工物支持構造体は、ベース部材と、前記容器シェルに面する外縁を有する第1タインと、前記容器シェルに面する外縁を有する第2タインと、を有し、
加工物が前記複数の垂直方向積重ね式格納棚の1つの上に着座したとき、前記加工物の周縁の一部は、前記第1タイン及び前記第2タインの前記外縁を越えて延びる、
ことを特徴とする加工物容器。
〔態様2〕
前記加工物支持構造体は、前記容器ドアの一部として成形される、上記態様1に記載の加工物容器。
〔態様3〕
前記加工物支持構造体は、前記容器シェルの一部として成形される、上記態様1に記載の加工物容器。
〔態様4〕
前記加工物支持構造体は、前記容器シェルに固着される、上記態様1に記載の加工物容器。
〔態様5〕
前記加工物支持構造体は、前記容器ドアに固着される、上記態様1に記載の加工物容器。
〔態様6〕
前記第1タイン及び第2タインは、前記ベース部材から水平方向に延びる、上記態様1に記載の加工物容器。
〔態様7〕
前記第1タイン及び第2タインは各々、前記ベース部材に固着された近位端部を有する、上記態様6に記載の加工物容器。
〔態様8〕
前記第1タイン及び第2タインは各々、前記ベース部材と一緒に成形された近位端部を有する、上記態様6に記載の加工物容器。
〔態様9〕
前記ベース部材は、単一構造体を有する、上記態様6に記載の加工物容器。
〔態様10〕
前記ベース部材は、第1ベース部材と、第2ベース部材とを有する、上記態様1に記載の加工物容器。
〔態様11〕
前記垂直方向積重ね式格納棚は各々、加工物を支持するための少なくとも2つの支持パッドを有する、上記態様1に記載の加工物容器。
〔態様12〕
前記第1タインは、前記第1ベース部材から水平方向に延び、前記第2タインは、前記第2ベース部材から水平方向に延びる、上記態様10に記載の加工物容器。
〔態様13〕
前記第1ベース部材及び第2ベース部材は前記容器シェルに成形されることを特徴とする、上記態様12に記載の加工物容器。
〔態様14〕
前記第1ベース部材及び第2ベース部材は、前記容器ドアと一体に成形される、上記態様12に記載の加工物容器。
底面及び周縁を有する少なくとも1つの加工物を格納するための加工物容器であって、 容器シェルによって定められる包囲体と、
前記包囲体の中に配置された加工物支持構造体とを有し、
前記加工物支持構造体は、複数の垂直方向積重ね式格納棚を前記包囲体の中に有し、前記格納棚の各々は、加工物を支持し、
前記加工物支持構造体は、ベース部材と、前記容器シェルに面する外縁を有する第1タインと、前記容器シェルに面する外縁を有する第2タインと、を有し、
加工物が前記複数の垂直方向積重ね式格納棚の1つの上に着座したとき、前記加工物の周縁の一部は前記第1及び第2のタインの前記外縁を越えて延びる、
ことを特徴とする加工物容器。
〔態様16〕
前記ベース部材は、前記容器シェルの一部として成形される、上記態様15に記載の加工物容器。
〔態様17〕
前記ベース部材は、前記容器シェルに固着される、上記態様15に記載の加工物容器。
〔態様18〕
前記第1タインは、支持パッドを有する遠位端部を有する、上記態様15に記載の加工物容器。
〔態様19〕
前記第2タインは、支持パッドを有する遠位端部を有する、上記態様15に記載の加工物容器。
〔態様20〕
前記複数の格納棚は各々、少なくとも2つの支持パッドを有する、上記態様15に記載の加工物容器。
〔態様21〕
前記第1タイン及び前記第2タインは、前記ベース部材から水平方向に延びる、上記態様15に記載の加工物容器。
〔態様22〕
前記ベース部材は、第1ベース部材及び第2ベース部材を有し、前記第1タインは、前記第1ベース部材から水平方向に延び、前記第2タインは、前記第2ベース部材から水平方向に延びる、上記態様15に記載の加工物容器。
底面及び周縁を有する少なくとも1つの加工物を格納するための加工物容器であって、 容器シェルによって定められる包囲体を有し、前記包囲体は、上内面、後内面、第1横内面、第2横内面、及び下内面を有し、
更に、前記包囲体の中に配置された加工物支持構造体を有し、
前記加工物支持構造体は、複数の垂直方向積重ね式格納棚を前記包囲体の中に有し、前記格納棚の各々は、加工物を支持し、
前記加工物支持構造体は、前記容器シェルの第1横内面に面する縁を有する第1タインと、前記容器シェルの第2横内面に面する縁を有する第2タインとを有し、
加工物が前記複数の垂直方向積重ね式格納棚の1つの上に着座したとき、前記加工物の周縁の一部は、前記第1横内面に面する前記第1タインの縁及び前記第2横内面に面する前記第2タインの縁を越えて延びる、
ことを特徴とする加工物容器。
〔態様24〕
前記第1タイン及び前記第2タインは、前記容器シェルの後内面に成形された近位端部を有する、上記態様23に記載の加工物容器。
〔態様25〕
前記第1タイン及び前記第2タインは、前記容器シェルの後内面に固着された近位端部を有する、上記態様23に記載の加工物容器。
〔態様26〕
前記第1タインは、前記容器シェルの第1横内面に成形された近位端部を含み、前記第2タインは前記容器シェルの第2横内面に成形された近位端部を含む、上記態様23に記載の加工物容器。
〔態様27〕
前記第1タインは、前記容器シェルの第1横内面に固着された近位端部を含み、前記第2タインは容器シェルの前記第2内面に固着された近位端を含むことを特徴とする、上記態様23に記載の加工物容器。
12 ハウジング
14 ドア
28 包囲体
30 支持部
202 支持構造体
204 ベース部材
206 タイン
208 支持パッド
210 支持パッド
212 支持パッド
700 エンドエフェクタ
702 アーム
704 アーム
710〜716 支持パッド
Claims (15)
- 少なくとも1つの基板を格納するための基板容器であって、
基板が存在しているときに前記基板を包囲するハウジングを備え、前記ハウジングは、前記ハウジングの包囲体の中にアクセスするための容器ドアを有しており、
さらに、前記ハウジングの中に配置された支持構造体を備え、
前記支持構造体は、前記ハウジングの包囲体の中に延びる複数のタインを有し、前記タインは、外縁を有しており、
前記複数のタインは、水平方向に配置され、前記基板は周縁を有し、
前記基板の張り出し部分は、前記タインの外縁を越えて延びており、
前記基板の張り出し部分は、前記基板に係合するアクセス領域を形成し、
前記周縁と前記ハウジングの第1横部との間に形成される第1の距離と、前記周縁と前記ハウジングの第2横部との間に形成される第2の距離とにより、前記ハウジング内におけるエンドエフェクタのアームの鉛直方向移動を、前記支持構造体及び前記基板に接触することなしに可能にすることを特徴とする基板容器。 - 前記支持構造体は、前記ハウジングに成形され又は前記ハウジングに固定されることを特徴とする、請求項1に記載の基板容器。
- 前記支持構造体は、さらに、
前記ハウジングの後部に成形された第1のベース部材と、
前記ハウジングの後部に成形された第2のベース部材と、を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板容器。 - 前記タインのうちの1つは、前記第1のベース部材から延び、
前記タインのうちの他の1つは、前記第2のベース部材から延びることを特徴とする、請求項3に記載の基板容器。 - 前記支持構造体は、さらに、
前記ハウジングに固定された第1のベース部材と、
前記ハウジングに固定された第2のベース部材と、を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板容器。 - 前記支持構造体は、さらに、
前記ハウジングの上部、底部または側部に成形された第1のベース部材と、
前記ハウジングの上部、底部または側部に成形された第2のベース部材と、を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板容器。 - 少なくとも1つの基板を格納するための基板容器であって、
ハウジングと、
前記ハウジングの中に配置された支持構造体を備え、
前記支持構造体は、複数のタインを有し、前記タインは、外縁を有しており、
前記複数のタインの間隔を隔てた対は、基板が存在しているときに前記基板を水平方向の向きで支持し、前記基板は周縁を有し、
前記間隔を隔てた対は、前記基板の直径よりも小さい距離で間隔を隔てられていて、前記基板が存在しているときに前記基板に係合するアクセス領域を構成することができるようになっており、
前記アクセス領域は、前記タインの外縁を越えて延びており、
前記周縁と前記ハウジングの第1横部との間に形成される第1の距離と、前記周縁と前記ハウジングの第2横部との間に形成される第2の距離とにより、前記ハウジング内におけるエンドエフェクタのアームの鉛直方向移動を、前記支持構造体及び前記基板に接触することなしに可能にすることを特徴とする基板容器。 - 前記タインは、片持ち構造体を含むことを特徴とする、請求項7に記載の基板容器。
- 前記ハウジングは、容器ドアを含むことを特徴とする、請求項7に記載の基板容器。
- さらに、前記容器ドアから上方に延びる第1のベース部材と、前記容器ドアから上方に延び間隔を隔てた第2のベース部材とを備え、
前記タインのうちの1つは、前記第1のベース部材から延び、
前記タインのうちの他の1つは、前記第2のベース部材から延びることを特徴とする、請求項9に記載の基板容器。 - 少なくとも1つの基板を格納するための基板容器であって、
ハウジングを備え、前記ハウジングは、後部と、上部と、底部と、前記上部と前記底部連結する第1横部とを有しており、
さらに、容器ドアと、
前記ハウジングの中に構成された支持構造体と、を備え、
前記支持構造体は、前記ハウジングの中に延びる複数の片持ち構造体を有しており、
前記基板が存在しているとき、前記基板は、前記ハウジングの内側で前記片持ち構造体の外縁を越えるアクセス領域を有し、
前記基板容器は、基板が存在しているときに前記基板を前記基板容器から移動させたり前記基板容器に移動させたりするエンドエフェクタが、前記基板を前記アクセス領域で支持するように構成され、前記基板は周縁を有し、
前記周縁と前記ハウジングの第1横部との間に形成される第1の距離と、前記周縁と前記ハウジングの第2の横部との間に形成される第2の距離とにより、前記ハウジング内におけるエンドエフェクタのアームの鉛直方向移動を、前記支持構造体及び前記基板に接触することなしに可能にすることを特徴とする基板容器。 - 直径および周縁を有する少なくとも1つの基板を格納するための基板容器であって、
容器シェルおよび容器ドアによって構成された包囲体と、
前記包囲体の中において複数の垂直方向積重ね式格納支持体を形成する基板支持構造体と、を備え、
各々の垂直方向積重ね式格納支持体は、基板が存在しているときに前記基板を水平方向の向きに支持するためのものであり、前記基板は周縁を有し、
前記基板支持構造体は、
前記容器ドアから延びる第1のベース部材と、
前記容器ドアから延びる第2のベース部材と、
前記第1のベース部材から延び、かつ、第1の外縁を有する第1のタインと、
前記第2のベース部材から延び、かつ、第2の外縁を有する第2のタインと、を備え、 前記第2のタインは、前記基板の直径よりも小さい距離だけ前記第1のタインから間隔を隔てられ、
前記基板を搬送するためのアクセス領域が、前記第1の外縁および前記第2の外縁を越えて提供されるようになっており、
前記周縁と前記包囲体の第1横部との間に形成される第1の距離と、前記周縁と前記包囲体の第2横部との間に形成され第2の距離とにより、前記包囲体内におけるエンドエフェクタのアームの鉛直方向移動を、前記支持構造体及び前記基板に接触することなしに可能にすることを特徴とする基板容器。 - 前記アクセス領域のうちの第1のものは、前記周縁と前記第1の外縁との間に形成され、前記アクセス領域のうちの第2のものは、前記基板の周縁と前記第2の外縁との間に形成されることを特徴とする、請求項12に記載の基板容器。
- ウェハを搬送するための装置であって、
ハウジングを備え、前記ハウジングは、上部と、後部と、第1横部と、第2横部と、底部とを有して包囲体を構成しており、
さらに、前記ハウジングの上部または底部に固定され、かつ、複数のベース部材を有する支持構造体と、
ウェハが存在しているときに前記ウェハを支持するための、前記ベース部材から延びる複数のタインとを備え、前記ウェハは周縁を有し、前記各々のタインは、複数の支持パッドを含み、前記支持パッドのうちの1つは、前記タインのうちの1つの一方の端部に配置され、前記支持パッドのうちの他の1つは、前記タインうちの他方の第2端部に配置され、前記タインは、外縁を有しており、
前記ウェハが存在しているときに前記ウェハの一部が、前記外縁を越えて張り出しており、前記ウェハの一部は、アクセス領域を含んでおり、
さらに、第1アームと、第2アームとを含むエンドエフェクタを備え、
前記エンドエフェクタが前記包囲体内に配置されたとき、前記第1アームは、前記ウェハの周縁の周りに沿った輪郭を有し、かつ、前記第2アームは、前記ウェハの周縁の周りに沿った輪郭を有し、
前記エンドエフェクタは、前記アクセス領域のところで、前記ウェハに係合するように構成される、
前記周縁と前記包囲体の第1横部との間に形成される第1の距離と、前記周縁と前記包囲体の第2横部との間に形成される第2の距離とにより、前記包囲体内における前記エンドエフェクタのアームの鉛直方向移動を、前記支持構造体及び前記ウェハに接触することなしに可能にすることを特徴とする装置。 - 前記第1アームおよび前記第2アームは、複数の支持パッドを含み、
前記第1アームおよび前記第2アームの支持パッドは、前記ウェハを前記タインから持ち上げるために前記ウェハの下に配置され、
前記第1アームおよび前記第2アームの支持パッドは、前記支持構造体に干渉しないように構成され、前記アクセス領域のうちの第1のものは、前記タインのうちの1つの前記支持パッドの間に配置されることを特徴とする、請求項14に記載の装置。
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