JP4204047B2 - 収納容器およびその製造方法 - Google Patents
収納容器およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4204047B2 JP4204047B2 JP2003397759A JP2003397759A JP4204047B2 JP 4204047 B2 JP4204047 B2 JP 4204047B2 JP 2003397759 A JP2003397759 A JP 2003397759A JP 2003397759 A JP2003397759 A JP 2003397759A JP 4204047 B2 JP4204047 B2 JP 4204047B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage container
- container
- hole
- container body
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
こうした収納容器の容器本体は、複数の精密基板を上下に間隔をあけて水平に支持するための支持部材が、容器本体の左右側壁面に一体に設けられている。
しかしながら、昨今の半導体部品に形成される電子回路の配線ピッチの微小化(0.13μm以下)に伴い、精密基板を汚染することのより少ない収納容器が求められてきた。特に、精密基板と直接接触する支持部の材料選択によって精密基板の汚染を防止することが重要になってきた。
また、容器本体と支持部材を、異材質で2色成形やインサート成形によって一体に形成すると、使用材料の融点の違いや相溶性の問題で、容器本体と支持部材の形成材料とが界面で十分に融着しないで、強度不良になるといった問題があるうえに、容器本体と支持部材を異材質で一体に形成する場合、生産に用いる成形機や金型が複雑で高価な物になるという問題があった。
そこで、本発明の課題は、簡単な構造で安価に、高機能な取付部材を一体状に取り付けできる精密基板用の収納容器とその製造方法を提供することにある。
また、本発明の収納容器は、前記取付部材が、精密基板を支持する支持部材であり、前記支持部材は、垂直壁と、垂直壁から水平に突出する複数の基板支持リブを有し、前記支持部材の背面に複数の円柱状の突起を設け、前記容器本体側壁には前記楕円または長円形状の貫通孔を設け、前記円柱状の突起の根元には位置決め用の段部が形成されてことが好ましい。
さらに、本発明の収納容器は、前記取付部材が、シール部材を介して収納容器に取り付けられるのが好ましい。突起の先端部のステーキングは、熱溶着により行われるのが好ましい。
また、取付部材は、収納容器にシール部材を介して一体状に取付けられるため、洗浄時に水滴が、取付部品と収納容器との隙間に入り込みにくく、収納容器洗浄後の乾燥工程での作業性が良くなる。
さらに、収納容器の高機能を要する部分を、異材質で形成して簡単に収納容器の一部とすることができるので、作業性の向上と収納容器の製造コストの低減が図れる。
図1は、本発明の収納容器の開蓋状態を示す斜視図であり、図2は、本発明の収納容器に取付部材として一体状に取り付けられる精密基板を保持する支持部材の部分斜視図である。
本発明の収納容器1は、開口部を有する容器本体2と、開口部を密閉できる蓋体3とから構成され、容器本体2の内部の左右側壁面には、基板Wを水平状に保持する一対の支持部材4が一体状に取り付けられている。
蓋体3は、筺体と表面プレートからなり、筺体内部には、容器本体2に係止するためのラッチ機構が一対内蔵されている。
このラッチ機構は、図示は省略するが、回転プレートと回転プレートと噛み合いこれと連動して直線方向に移動可能な連結プレートと、連結プレートの先端と表面プレートの裏側に軸止される係止部からなり、蓋体3の側面に設けられた貫通孔8から係止部が出没可能に操作される。なお、図1では、係止部が貫通孔8から出た状態を示している。
ラッチ機構の操作は、表面プレートに設けられた貫通孔9に、蓋体開閉装置の操作部材が挿入されて回転部材を回動させて施錠、開錠操作が行われる。
一対の支持部材4は、図2に示すように、垂直壁10とこの垂直壁10から上下に間隔をあけて水平に突出する複数の基板支持リブ11からなる。
基板支持リブ11は、上面がほぼ水平な平面を有し、下面は先端部から垂直壁10に向かって下方に僅かに傾斜している。
基板支持リブ11の先端部は、上面と下面とをアールをつけて連結し、容器本体の開口部から奥部にかけて収納する精密基板の外周形状に沿って僅かに湾曲して形成されている。精密基板Wは、基板支持リブ11の上面に水平に搭載されて保持される。
ステーキングは、支持部材4の背面に設けられた円柱状の突起12を、容器本体2内部の左右側壁に設けられた長円形状の貫通孔13にそれぞれ嵌入し、容器本体2の左右側壁の外壁面から突出した突起12の先端部に、熱溶着や超音波溶着等により、貫通孔の直径よりも大きな頭部が形成され固定される。
また、支持部材4を容器本体2の側壁に取り付ける場合には、支持部材と容器本体の側壁とを、XY方向に位置決めしてから係合させることが必要であるが、同様に支持部材の取り付け方向であるZ方向の位置決めも必要である。
この場合、支持部材の背面に設けられる3個の突起の根元側に貫通孔よりも太い段部14(図4)を各々設け、それらを同じ高さに形成しておくことでZ方向の位置決めを行うことができる。
3箇所に設けられた、断面がV字状の楕円形状または長円形状の貫通孔に、円柱状の突起を嵌合させることで、取り付け部品の取り付け位置が1点に決められる。
なお、図示例とは逆に、容器本体の内部の側壁面に3個の突起を設け、支持部材側に断面V字状の楕円形状または長円形状の貫通孔を設けるようにしてもよい。
図3は、支持部材4の突起12を容器本体2の貫通孔13に嵌入させる前の状態の模式的な断面図を示し、図4は、支持部材4の突起12を貫通孔13に嵌入させた状態の模式的な断面図を示し、図5は、支持部材4の突起12の突出先端部にステーキングしている状態を示す模式的な断面図である。
その際、支持部材4と容器本体2の内側壁面との間に、板状のシール材15を介在させると、支持部材を取付けた後、収納容器の密閉状態が向上する。
このようにして、容器本体2と支持部材4は、局部的に溶融一体化されるので、加熱歪みによる変形等を起こすことなく、支持部材は高精度に容器本体2に一体状に取り付けることができる。
なお、図5では、突起12の突出先端部を、半円球状にステーキングした例を示したが、平板リベット状やその他の形状にステーキングしても良い。
本発明の容器本体は、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミドのような透明材料から形成されるが、本発明の取付部材は、前記材料と同一である必要はなく、その機能を十分に発揮できる材料で形成することができる。
図7に示す容器本体2の底部は、加工装置とのインターフェースになる部分であり、この部分には、識別プレート20の他に、加工装置に収納容器1を位置決めするためのV溝を有する位置決め部材21や固定用部材23等が配置されている。
また、本発明の取付部材である容器本体2の識別プレート20には、容器本体2の突起22が嵌入できる2個の長円形状の貫通孔25と1個の円形状の貫通孔26が設けられており、この貫通孔25、26を、それぞれ、容器本体2の突起22に位置決めして係合させた後、嵌入させ、貫通孔25、26から突出した突起22の先端部に熱溶着治具等でステーキングすることで、識別プレート20は、容器本体2に一体状に取付け固定される。
なお、固定の際に、円柱状の突起22の先端部を割りピン状とし、貫通孔25、26の直径よりも若干大きく形成すると、より寸法精度の良い位置決めができる。
図9は、基板を水平状態に収納した本発明における、収納容器の水平方向の断面図であり、図10は、本発明の収納容器の背面にリアリテーナを溶着する状態を示す垂直方向の断面図であり、図11は、図9に示した収納容器の貫通孔と円柱状の突起の配置を示した断面図である。
一対のリアリテーナ30には、収納された基板Wの奥側の左右外周縁と接触する保持溝32が設けられていて、閉蓋された状態では、基板Wは、蓋体3に設けられた一対のフロントリテーナ31の保持溝33と、容器本体2の奥側に設けられた一対のリアリテーナ30の保持溝32によって支持部材4から持ち上げられて保持される。
また、図10に示したような貫通孔34の周縁を、Oリング36でシールすることもできる。
この場合も、容器本体の金型構造を簡素化でき、取付部材を容易に容器本体に一体状に取り付け固定することができる。
IDタグホルダ40は、その上面にバーコードラベル41や内部にトランスポンダ等を収納し、筒状やカード状に形成される。
IDタグホルダ40を使用する工程の仕様に合わせて、基板の収納容器1の外壁に設けられた円柱状の突起42の先端部に、IDタグホルダ40に設けられた貫通孔43を嵌入させ、貫通孔43から突出した突起42の先端部を、熱溶着により平板リベット状にステーキングして、IDタグホルダ40は容器本体2に一体状に取り付け固定できる。
また、突起42の先端部をスポット溶着するだけなのでIDタグホルダ40に収納される電子部品を損傷させたりすることがない。
また、図14のように、貫通孔のステーキングを行う側に凹部45を設け、この凹部45内で、突起の先端部をステーキングすることもできる。この場合、収納容器の外表面に突起部が形成されないという利点がある。
2 容器本体
3 蓋体
4 支持部材
5 ロボティックハンドル
6 穴部
7 シール部材
8 貫通孔
9 貫通孔
10 垂直壁
11 基板支持リブ
12 突起
13 (長円形状の)貫通孔
14 段部
15 シール材
16 受け治具
17 熱溶融治具
20 識別プレート
21 位置決め部材
22 円柱状の突起
23 固定用部材
25 長円形状の貫通孔
26 円形状の貫通孔
30 リアリテーナ
31 フロントリテーナ
32、33 保持溝
34 貫通孔
35 突起
36 Oリング
37 一対の貫通孔
38 他の一対の貫通孔
39 貫通孔
40 IDタグホルダ
41 バーコードラベル
42 突起
43 貫通孔
45 凹部
W 基板
Claims (5)
- 開口部を有し、基板を水平状に支持する一対の支持部材が取り付けられる容器本体と、ラッチ機構が内蔵され開口部を密閉できる蓋体からなる精密基板用の収納容器であって、前記収納容器と該収納容器への取付部材の一方には、複数の円柱状の突起が設けられ、前記取付部材と前記収納容器の他方には、3つの方向に配向された楕円形状または長円形状の貫通孔が形成され、前記楕円または長円形状の貫通孔に前記円柱状の突起が係合して位置決めされて挿入され、前記複数の円柱状の突起の先端部をステーキングして、収納容器に固定されてなることを特徴とする収納容器。
- 前記取付部材が、精密基板を支持する支持部材であり、前記支持部材は、垂直壁と、垂直壁から水平に突出する複数の基板支持リブを有し、前記支持部材の背面に複数の円柱状の突起を設け、前記容器本体側壁には前記楕円または長円形状の貫通孔を設け、前記円柱状の突起の根元には位置決め用の段部が形成されてなる請求項1に記載の収納容器。
- 前記取付部材が、シール部材を介して収納容器に取り付けられる請求項1または2に記載の収納容器。
- 突起の先端部のステーキングが熱溶着により行われる請求項1から3のいずれかに記載の収納容器。
- 容器本体と蓋体からなる精密基板用の収納容器の製造方法であって、前記収納容器と該収納容器の取付部材の一方には、3つの方向に配向された楕円形状または長円形状の貫通孔を、他方には3つの方向に配向された円柱状の突起を、それぞれ設け、前記楕円または長円形状の貫通孔に、前記円柱状の突起が係合して位置決めされて挿入され、前記貫通孔より突出した前記突起の先端部をステーキングして、取付部品を収納容器に固定することを特徴とする収納容器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003397759A JP4204047B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 収納容器およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003397759A JP4204047B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 収納容器およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005153963A JP2005153963A (ja) | 2005-06-16 |
JP4204047B2 true JP4204047B2 (ja) | 2009-01-07 |
Family
ID=34722823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003397759A Expired - Fee Related JP4204047B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 収納容器およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4204047B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070029227A1 (en) * | 2005-07-08 | 2007-02-08 | Bonora Anthony C | Workpiece support structures and apparatus for accessing same |
WO2008008270A2 (en) * | 2006-07-07 | 2008-01-17 | Entegris, Inc. | Wafer cassette |
JP4823094B2 (ja) * | 2007-02-09 | 2011-11-24 | 信越ポリマー株式会社 | ティース体及び基板収納容器 |
JP4973875B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2012-07-11 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスク用合成石英ガラス基板保管ケース |
JP5268858B2 (ja) * | 2009-10-23 | 2013-08-21 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP5363277B2 (ja) * | 2009-11-11 | 2013-12-11 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器、及び支持部材 |
JP5624862B2 (ja) * | 2010-11-30 | 2014-11-12 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハフレームカセット |
JP5717505B2 (ja) * | 2011-03-31 | 2015-05-13 | ミライアル株式会社 | ウエハ収納容器 |
US12037193B2 (en) * | 2019-09-02 | 2024-07-16 | Murata Machinery, Ltd. | Wafer delivery device, wafer storage container, and wafer storage system |
CN115885373A (zh) * | 2020-07-10 | 2023-03-31 | 未来儿股份有限公司 | 基板收纳容器 |
KR102498995B1 (ko) * | 2020-11-30 | 2023-02-13 | 주식회사 삼에스코리아 | 패널 수납용기의 트레이 결합구조 |
-
2003
- 2003-11-27 JP JP2003397759A patent/JP4204047B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005153963A (ja) | 2005-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4204047B2 (ja) | 収納容器およびその製造方法 | |
JP5269077B2 (ja) | 支持体及び基板収納容器 | |
JP3370279B2 (ja) | 精密基板収納容器 | |
JP3838786B2 (ja) | 精密基板収納容器及びその位置決め構造並びに精密基板収納容器の位置決め方法 | |
JP4601932B2 (ja) | 基板収納ケース | |
JP5361805B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2002068364A (ja) | シール部材、密封容器及びそのシール方法 | |
JPWO2005112107A1 (ja) | 基板収納容器及びその位置決め方法 | |
JP4592449B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JPH088332A (ja) | ウェーハ収納容器におけるウェーハバスケット | |
JP2002353299A (ja) | 精密基板収納容器の位置決め部材 | |
JP4965472B2 (ja) | 処理治具用の収納容器 | |
JP3974344B2 (ja) | 精密基板収納容器及びその製造方法 | |
JP5409343B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP6465777B2 (ja) | 基板収納容器及びその製造方法 | |
JP3593122B2 (ja) | 精密基板収納容器 | |
JP2002305239A (ja) | 基板収納容器及びその製造方法 | |
JP4823094B2 (ja) | ティース体及び基板収納容器 | |
JP2005064275A (ja) | 収納容器及びその製造方法 | |
JP4688567B2 (ja) | 固定キャリア | |
JP6576811B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP5070338B2 (ja) | ウエハ収納容器 | |
JP2001298077A (ja) | 基板収納容器 | |
JP2017212258A (ja) | 基板収納容器 | |
JP4726867B2 (ja) | 基板収納容器及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080611 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081008 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081010 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111024 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141024 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |